JP4051166B2 - ペレットボンディング方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボンディングアームの上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着したペレットをペーストを介して、リードフレーム等の基板にボンディングするペレットボンディング方法および装置に関し、特にペースト厚を一定とし、電気的特性の均一化を図るペレットボンディング方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ペレットボンディング装置とは、半導体ペレットをリードフレーム等の基板の所定位置にペーストを介してボンディングするものである。例えば、ボンディングアームの一端にペレットを吸着するためのノズルを有し、これを用いて吸着したペレットを、ボンディングアームを下降、揺動等することにより、基板の所定位置に押圧し、ペレットと基板との間に介在させたペーストにより固着、即ちボンディングさせるようになっている。
【0003】
そして、このようなペレットボンディング装置においては、下記のような技術を用いて、ペーストの厚みをコントロールしている。即ち、ボンディング動作に先立ち、ペレット吸着ノズルにて基準ペレットを吸着し、この基準ペレットをボンディングステージ上に位置決めされたリードフレームのペレット搭載部に、ペーストを介することなく接触させる。この時の吸着ノズルの基準位置からの下降量を測定し、基準下降量として記憶装置に保持しておく。そして、実際にボンディング対象となるペレットをボンディングする時には、記憶された基準下降量から所定値(=所望のペースト厚)を引いた値だけペレット吸着ノズルを下降させることで、ペーストの厚みが一定になるように制御する。なお、この基準下降量は、その後ボンディングが施される同一品種のボンディング対象ペレット全てに対して一律に適用される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来のペレットボンディング装置においては、半導体ペレットの厚みが必ずしも一定ではないために、つまり半導体ペレットを切り出すウエハの厚みがばらつくことがあるために、ペーストの厚みを厳密に一定にコントロールすることができなかった。そのため、電気的特性にばらつきが生じ、製品不良を生じ得るという問題があった。
【0005】
そこで、本発明は、前記の課題を解決すべくなされたものであり、半導体ペレットの厚みのばらつきの影響を受けることなく、ペーストの厚みを一定にコントロールし、電気的特性を均一化することが可能なペレットボンディング方法および装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明は、ペレット吸着ノズルをボンディングアームに支持し、このボンディングアームの上下動により、供給部から中間ステージ上に供給されたペレットを吸着保持し、ペーストを介して基板にボンディングするペレットボンディング方法において、中間ステージ上に基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量をS1とし、前記基板上に前記ペーストを介することなく前記基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量をS2とし、前記中間ステージ上にボンディング対象ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量をS4とし、所望のペースト厚さをCとするとき、前記ペレット吸着ノズルに吸着されている前記ボンディング対象ペレットを前記基板上に前記ペーストを介して押圧しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S5が、S5=(S2−C)−(S1−S4)の関係を満たす時点で前記ボンディングアームの下降を停止することを特徴とする。
【0007】
また、他の発明は、ペレットを供給する供給部と、この供給部から供給されたペレットを載置する中間ステージと、前記ペレットを吸着するペレット吸着ノズルと、このペレット吸着ノズルを支持するボンディングアームと、このボンディングアームを基板に対して上下動させる駆動部と、この上下駆動部を制御する制御部とを有し、前記供給部から前記中間ステージに供給された前記ペレットを前記ペレット吸着ノズルによりペーストを介して前記基板にボンディングするペレットボンディング装置において、前記ボンディングアームの基準位置からの下降量を検出するアーム位置検出部を有し、このアーム位置検出部は、前記中間ステージ上に基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S1と、前記基板上に前記ペーストを介することなく前記基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S2と、前記中間ステージ上にボンディング対象ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S4とを検出し、前記制御部は、所望のペースト厚さをCとしたとき、前記ペレット吸着ノズルに吸着されている前記ボンディング対象ペレットが前記基板上の前記ペーストを押圧しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S5が、S5=(S2−C)−(S1−S4)の演算結果値に達したら前記ボンディングアームの下降を停止することを特徴とする。
【0008】
ボンディング対象ペレットの厚さを考慮して吸着ノズルの下降停止条件を決定しているので、ボンディング対象ペレットの厚さが変化した場合であっても、ボンディング対象ペレットの下面と基板との間隔、すなわちペースト厚を常に一定にすることができる。従って、所定のペースト厚を維持してボンディングを行うこととなり、電気的特性の均一化を図ることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0010】
図1〜図10は本発明の第1実施形態を示し、図1はボンディングアームが基準位置からS1だけ降下し、かつ中間ステージ上の基準ペレットに吸着ノズルが接触した状態を示す図、図2はボンディングアームが基準位置からS2だけ降下し、かつ吸着ノズルに吸着された基準ペレットをリードフレームに接触させた状態を示す図、図3はボンディングアームが基準位置からS3だけ降下し、かつペーストによって基準ペレットをリードフレームにボンディングした状態を示す図、図4はボンディングアームが基準位置からS4だけ降下し、かつ中間ステージ上のボンディング対象ペレットに吸着ノズルが接触した状態を示す図、図5はボンディングアームが基準位置からS5だけ降下し、かつペーストによってボンディング対象ペレットをリードフレームにボンディングした状態を示す図、図6はボンディングアームの軌跡とボイスコイルモータによる荷重との関係を示す図、図7はボンディングアーム15が基準位置からS5−dだけ降下し、かつストッパ17と当接部18が接している状態を示す図、図8はボンディングアーム15が基準位置からS5だけ降下し、かつストッパ17と当接部18が離れている状態を示す図、図9はボンディングアーム15が基準位置からS5だけ降下し、かつストッパ17と当接部18が接している状態を示す図、図10は各種センサ、制御装置、記憶装置、XYステージ、上下駆動部の接続関係を示すブロック図である。
【0011】
図1〜図10において、11は中間ステージ、12は基準ペレット、13は吸着ノズル、14はボイスコイルモータ、15はボンディングアーム、16は高さ検出センサ、17はストッパ、18はセンサドグ兼用当接部、21はリードフレーム、31はペースト、41はボンディング対象ペレット、51はXYステージ、52は上下駆動部、53は制御装置、54はアーム位置検出センサ、55は記憶装置である。吸着ノズル13は、基準ペレット12やボンディング対象ペレット41を吸着可能であり、かつボンディングアーム15に対して上下方向に相対移動可能に設置されている。また、ボンディングアーム15は、中間ステージ11及びリードフレーム21に対して上下方向に移動可能に、かつ中間ステージ11上からリードフレーム21上へ、また逆にリードフレーム21上から中間ステージ11上へと移動可能に設置されている。
【0012】
すなわち、ボンディングアーム15は、XYステージ51にて水平方向に移動可能とされ、上下駆動部52にて上下方向に移動可能とされる。そして、図10に示すように、XYステージ51と上下駆動部52は、それぞれ制御装置53に接続される。
【0013】
制御装置53は、高さ検出センサ16、ボンディングアーム15の基準位置Z0からの下降量を検出するアーム位置検出部としてのアーム位置検出センサ54、ボンディング対象ペレット41の厚さと所望のペースト厚さCを記憶する記憶装置55、に接続される。なお、本実施の形態においては、ボンディング対象ペレット41の厚さに代えて、後述するボンディングアーム15の下降量S4と下降量S1とから算出されるボンディング対象ペレット41と基準ペレット12との厚さの差Δtをボンディングアーム15の下降量の制御に用いることから、ボンディング対象ペレット41の厚さとしてボンディングアーム15の下降量S1、S4を記憶装置55に記憶させている。
【0014】
次に、本実施の形態の動作について説明する。
【0015】
ボンディング動作に先立って下記の検出動作を行う。
【0016】
まず、ボンディングアーム15を基準位置Z0から下降させて、図1に示すように、吸着ノズル13の先端を中間ステージ11上の基準ペレット12に当接させる。この当接後、さらにボンディングアーム15を下降させると、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との間に相対移動が生じる。この相対移動により、高さ検出センサ16と吸着ノズル13のセンサドグ兼用の当接部18とのギャップが変化する。このギャップの変化タイミングを、高さ検出センサ16の出力信号の変化により検出する。そして、高さ検出センサ16の出力信号が変化した時点でのボンディングアーム15の下降量S1をアーム位置検出センサ54により検出する。
【0017】
次に、基準ペレット12を吸着ノズル13に吸着させた状態でボンディングアーム15を基準位置Z0から下降させて、図2に示すように、ペーストを介することなく基準ペレット12をリードフレーム21に当接させる。この当接後、さらにボンディングアーム15が下降すると、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との間に相対移動が生じる。この相対移動により、高さ検出センサ16と吸着ノズル13のセンサドグ兼用の当接部18とのギャップが変化する。このギャップの変化タイミングを、高さ検出センサ16の出力信号の変化により検出する。そして、高さ検出センサ16の出力信号が変化した時点でのボンディングアーム15の下降量S2をアーム位置検出センサ54により検出する。これらのボンディングアーム15の下降量S1、S2は記憶装置55に記憶される。
【0018】
図3に示すように、リードフレーム21と基準ペレット12との間のペースト31の厚さがCで、基準ペレット12と吸着ノズル13の先端とが接触し、かつストッパ17とセンサドグ兼用当接部18とが接触しているときのボンディングアーム15の下降量をS3とすると、S3=S2−Cの関係にあるから、S2からCを減算することによりS3を求めることができる。
【0019】
次に、ボンディング動作について説明する。
【0020】
まず、同一ウエハから最初に取り出される半導体ペレットに対して厚み検出を行う。図示しないトランスファーユニットの吸着ノズルによって図示しないウエハステージから取り出され、中間ステージ11に載置されたボンディング対象ペレット41に対して吸着ノズル13を下降させ、吸着ノズル13がボンディング対象ペレット41に当接したときのボンディングアーム15の下降量S4を、上記S1と同様の方法で検出し、記憶装置55に記憶させる。なお、この下降量S4と下降量S1との差Δtが、ボンディング対象ペレット41の基準ペレット12に対する厚さのばらつき量である。
【0021】
次に、吸着ノズル13に負圧を作用させて、中間ステージ11上のボンディング対象ペレット41をピックアップし、ボンディング位置に位置決めされたリードフレーム21上のペースト31にボンディングする。
【0022】
このボンディング時、制御装置53は、S5=(S2−C)−(S1−S4)に基づいて算出される下降量S5でボンディングアーム15の下降を制御する。つまり、S1>S4の場合は、基準ペレット12よりもボンディング対象ペレット41の方がΔtだけ厚いこととなるので、ボンディング時のボンディングアーム15の下降量S5を、図5に示すように、S3(=S2−C)よりΔtだけ少なくする。一方、S1<S4の場合は、基準ペレット12よりもボンディング対象ペレット41の方がΔtだけ薄いこととなるので、ボンディング時のボンディングアーム15の下降量を、S3よりΔtだけ多くする。
【0023】
次に、基準ペレット12よりもボンディング対象ペレット41の方がΔtだけ厚い場合(図5の場合)を例にボンディングアームの軌跡及び吸着ノズル13に印加される荷重について説明する。
【0024】
ボンディング時、ボンディングアーム15は基準位置Z0から所定量(S5)下降し、この下降過程で吸着ノズル13に吸着されたボンディング対象ペレット41は、ペースト31上に当接させられる。このペースト31に対するボンディング対象ペレット41の当接の前後で、ボイスコイルモータ14によって印加される荷重を第1の荷重から第2の荷重へ切り換える。
【0025】
具体的には、ボンディングアーム15が基準位置Z0からS5だけ下降する前の所定のタイミング、例えばボンディングアーム15の下降速度が高速度から低速度に切り換わる点(図6に示すA。基準位置からS5−dだけ下方)で、ボイスコイル14による印加荷重を第1の荷重とする。図7に示すように、ボンディングアーム15が基準位置からS5−dだけ下降した時、ボンディング対象ペレット41は、まだペースト31上に当接していない。
【0026】
第1の荷重は、例えば、ペースト31の粘度に応じて決定する。すなわち、粘度が比較的低いペーストに対して、高い荷重を印加した状態でボンディング対象ペレット41を当接させた場合、当接時の衝撃によってペースト31が飛び散りを生じることがある。従って、第1の荷重は、ボンディング対象ペレット41が当接したときの衝撃によってペースト31の飛び散りが生じない程度の大きさに設定する。なお、第1の荷重とする前のボイスコイルモータ14の初期荷重の大きさは、ボンディングアーム15の下降中に当接部18がストッパ17上でバウンドすることを防止できる程度の大きさに設定する。なお図6は、初期荷重を第2の荷重よりも大きい値に設定した例をあらわす。
【0027】
次に、ボンディングアーム15をさらにdだけ降下させる。この降下中、ボンディング対象ペレット41はペースト31に当接すると、ペースト31から反力を受ける。このため、吸着ノズル13を上方に押し上げる力が作用し、吸着ノズル13はボンディングアーム15に対して相対移動を生じ、図8に示すように、当接部18がストッパ17から離れる。
【0028】
ボンディングアーム15が基準位置Z0からS5だけ下降した後、ボイスコイルモータ14の出力を第1の荷重から第2の荷重まで徐々に増加させ、当接部18がストッパ17に当接するまで第2の荷重のままとする。この第2の荷重も、ペースト31の粘度に応じて決定する。
【0029】
吸着ノズル13は、荷重の増加に従って、ペースト31を押しつぶしながら下降し、図9に示すように、吸着ノズル13の当接部18が、ボンディングアーム15のストッパ17に当接したところで停止する。この時、ボンディングアーム15は、ボンディング対象ペレット41の厚さと、所望のペースト厚さCを加味した下降量で、その下降量が制御されるので、ボンディング対象ペレット41の下面とリードフレーム21のペレット搭載部の上面との間隔は、所望のペースト厚さCに等しい間隔となる。
【0030】
その後、吸着ノズル13の吸着を解くと共にボンディングアーム15を基準位置Z0まで上昇させる。
【0031】
そして、上記と同様に、同一ウエハから取り出される全てのボンディング対象ペレット41に対してボンディングを行う。この際、上記Δtは同一ウエハから取り出される全てのボンディング対象ペレット41に適用する。これは、同一ウエハ内のボンディング対象ペレット41間には、厚みのばらつきがほとんど生じないからである。そして、ウエハが交換された時点で、再度ボンディング対象ペレット41の厚み(基準ペレット12との厚みの差)を検出する。
【0032】
次に、本発明の作用について説明する。
【0033】
まず、吸着ノズル13の先端を中間ステージ11上の基準ペレット12に当接させた時のボンディングアーム15の下降量S1と、吸着ノズル13の先端を中間ステージ11上のボンディング対象ペレット41に当接させた時のボンディングアーム15の下降量S4とから、基準ペレット12とボンディング対象ペレット41との厚みの差Δtを算出することができる。また、基準ペレット12を、ペースト31を介することなく、リードフレーム21に当接させた時のボンディングアーム15の下降量S2と所望のペースト厚Cから、基準ペレット12を厚さCのペースト31を介してリードフレーム21にボンディングした時のボンディングアーム15の下降量S3を算出することができる。そして、これらΔt及びS3から、ボンディング対象ペレット41を厚さCのペースト31を介してリードフレーム21にボンディングした時のボンディングアーム15の下降量S5を算出することができる。このようにボンディング対象ペレット41の厚みの変化を考慮してボンディングアーム15の下降量S5を決定しているので、ボンディング対象ペレット41の厚みが変化してもペースト厚を一定に維持することができる。
【0034】
また、ペレット41の下面がペースト31に接触する前は吸着ノズル13に低荷重を印加し、接触した後に高荷重を印加しているため、ペレット41の下面がペースト31に衝突した瞬間にペースト31が飛散することを防止できる。
【0035】
なお、上記実施形態においては、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との相対移動を検出する検出手段として、高さ検出センサ(ギャップセンサ)16を用いたが、圧力センサを利用した変形例や、電気接点の接離を利用した変形例も同様の効果が得られる。
【0036】
図11は、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との相対移動検出手段として、圧力センサを利用した例を示す図である。真空源101により真空路102内を真空状態としておき、当接部18がストッパ17から離れることにより生じる真空路102内の圧力変化を圧力センサ103により検出することにより、吸着ノズル13とボンディングアーム15との間の相対移動の発生を検出する。
【0037】
図12は、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との相対移動検出手段として、電気接点の接離を利用した例を示す図である。電源111から電気を流しておき、2つの接点112が離れる際の電流変化を電流計113により検出することにより、吸着ノズル13とボンディングアーム15との間の相対移動の発生を検出する。
【0038】
また、上記実施形態においては、ボンディング対象ペレット41がペースト31に当接する前後でボイスコイルモータ14に印加される荷重を第1の荷重から第2の荷重へ切り換えたが、当接後直ちに第2の荷重へ切り換えずに、所定時間経過後に第2の荷重へ切り換えてもよい。
【0039】
また、第1の荷重から第2の荷重へ移行する際、図6に示すように荷重を直線的に増加させたが、段階的に増加させてもよい。
【0040】
また、同一ウエハにおいて、最初に取り出される半導体ペレットについてのみ厚みの測定を行い、2番目以降の半導体ペレットについては、最初の半導体ペレットの測定値を用いるようにしたが、半導体ペレットの取り出し毎に厚みの測定を行ってもよい。
【0041】
また、中間ステージを介することなく、ウエハステージからピックアップした半導体ペレットを直接リードフレームに搭載するものにも適用できる。このとき、ウエハシートを介してウエハステージ上に載置した基準ペレットに吸着ノズルを接触させたときの吸着ノズルの下降量を基準下降量として予め記憶させておくものとし、実際のボンディングを行うときには、上述の中間ステージを介してボンディングを行う場合と同様にして、ボンディングアームの下降量の制御を行う。ここで、基準ペレットを、ウエハシートを介してウエハステージ上に載置するのは、ウエハはウエハシートに貼着された状態でウエハステージにセットされることを考慮してのことである。
【0042】
また、吸着ノズルの下降量の差に基づいて、半導体ペレットの厚みの差を測定したが、他の手段を用いてもよい。例えば、レーザ変位計などの非接触距離検出センサを用いて、基準ペレット及びボンディング対象ペレットの厚みを測定し、両者を比較することにより厚みの差を測定するようにしてもよい。
【0043】
また、半導体ペレットを、ウエハからではなく、トレイから供給するものにも、上述の実施の形態と同様な手段を用いることが可能である。
【0044】
また、ボンディングアーム15の下降中、高さ検出センサ16の出力値が変化した時点でボンディングアームの高さを検出するようにしたが、この方法では、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との間に僅かながら相対移動が生じた後であることから、この相対移動分が検出値に含まれてしまう。そこで、高さ検出センサ16がボンディングアーム15と吸着ノズル13との相対移動を検出した後、ボンディングアームを上昇させ、ボンディングアーム15と吸着ノズル13との相対移動が零、すなわち、高さ検出センサ16の出力値がセンサドグ兼用当接部18がストッパ17に当接している状態での出力値と等しくなった時点でのボンディングアーム15の高さを検出するようにすれば、より高精度にボンディングアーム15の高さを検出することができる。
【0045】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、半導体ペレット厚のばらつきを考慮した上でボンディングアーム等の高さを制御することにより、ペースト厚を極めて精度よく制御することが可能となり、ペーストの電気的特性の均一化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に関し、ボンディングアームが基準位置からS1だけ降下し、かつ中間ステージ上の基準ペレットに吸着ノズルが接触した状態を示す図である。
【図2】本発明の実施形態に関し、ボンディングアームが基準位置からS2だけ降下し、かつ吸着ノズルに吸着された基準ペレットをリードフレームに接触させた状態を示す図である。
【図3】本発明の実施形態に関し、ボンディングアームが基準位置からS3だけ降下し、かつペーストによって基準ペレットをリードフレームにボンディングした状態を示す図である。
【図4】本発明の実施形態に関し、ボンディングアームが基準位置からS4だけ降下し、かつ中間ステージ上のボンディング対象ペレットに吸着ノズルが接触した状態を示す図である。
【図5】本発明の実施形態に関し、ボンディングアームが基準位置からS5だけ降下し、かつペーストによってボンディング対象ペレットをリードフレームにボンディングした状態を示す図である。
【図6】本発明の実施形態に関し、ボンディングアームの軌跡とボイスコイルモータによる荷重との関係を示す図である。
【図7】本発明の実施形態に関し、ボンディングアーム15が基準位置からS5−dだけ降下し、かつストッパ17と当接部18が接している状態を示す図である。
【図8】本発明の実施形態に関し、ボンディングアーム15が基準位置からS5だけ降下し、かつストッパ17と当接部18が離れている状態を示す図である。
【図9】本発明の実施形態に関し、ボンディングアーム15が基準位置からS5だけ降下し、かつストッパ17と当接部18が接している状態を示す図である。
【図10】本発明の実施形態に関し、各種センサ、制御装置、記憶装置、XYステージ、上下駆動部の接続関係を示すブロック図である。
【図11】本発明の変形例に関し、ボンディングアームと吸着ノズルとの相対移動検出手段として、圧力センサを利用した例を示す図である。
【図12】本発明の変形例に関し、ボンディングアームと吸着ノズルとの相対移動検出手段として、電気接点の接離を利用した例を示す図である。
【符号の説明】
11 中間ステージ
12 基準ペレット
13 吸着ノズル
14 ボイスコイルモータ
15 ボンディングアーム
16 高さ検出センサ
17 ストッパ
18 センサドグ兼用当接部
21 リードフレーム
31 ペースト
41 ボンディング対象ペレット
Z0 ボンディングアーム基準位置
Claims (4)
- ペレット吸着ノズルをボンディングアームに支持し、このボンディングアームの上下動により、供給部から中間ステージ上に供給されたペレットを吸着保持し、ペーストを介して基板にボンディングするペレットボンディング方法において、
中間ステージ上に基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量をS1とし、
前記基板上に前記ペーストを介することなく前記基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量をS2とし、
前記中間ステージ上にボンディング対象ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量をS4とし、所望のペースト厚さをCとするとき、
前記ペレット吸着ノズルに吸着されている前記ボンディング対象ペレットを前記基板上に前記ペーストを介して押圧しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S5が、
S5=(S2−C)−(S1−S4)
の関係を満たす時点で前記ボンディングアームの下降を停止することを特徴とするペレットボンディング方法。 - 請求項1に記載のペレットボンディング方法において、
前記ボンディングアームを下降させて前記ボンディング対象ペレットによって前記基板上の前記ペーストを押圧する際、押圧開始当初に印加する第1の荷重を前記ペーストが飛散しない程度の低荷重とし、押圧開始から所定時間経過後に高荷重である第2の荷重へと切り換えることを特徴とするペレットボンディング方法。 - ペレットを供給する供給部と、この供給部から供給されたペレットを載置する中間ステージと、前記ペレットを吸着するペレット吸着ノズルと、このペレット吸着ノズルを支持するボンディングアームと、このボンディングアームを基板に対して上下動させる駆動部と、この上下駆動部を制御する制御部とを有し、前記供給部から前記中間ステージに供給された前記ペレットを前記ペレット吸着ノズルによりペーストを介して前記基板にボンディングするペレットボンディング装置において、
前記ボンディングアームの基準位置からの下降量を検出するアーム位置検出部を有し、このアーム位置検出部は、
前記中間ステージ上に基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S1と、
前記基板上に前記ペーストを介することなく前記基準ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S2と、
前記中間ステージ上にボンディング対象ペレットを介して前記ペレット吸着ノズルが接触しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S4とを検出し、
前記制御部は、所望のペースト厚さをCとしたとき、前記ペレット吸着ノズルに吸着されている前記ボンディング対象ペレットが前記基板上の前記ペーストを押圧しているときの前記ボンディングアームの基準位置からの下降量S5が、
S5=(S2−C)−(S1−S4)
の演算結果値に達したら前記ボンディングアームの下降を停止することを特徴とするペレットボンディング装置。 - 請求項3に記載のペレットボンディング装置において、
さらに、前記ペレット吸着ノズルが前記ペレットを介して前記ペーストに印加する荷重を変化する荷重変化手段を有し、
この荷重変化手段は、前記ペレット吸着ノズルがボンディング対象ペレットを介して前記基板上の前記ペーストを押圧する際、押圧開始当初に印加する第1の荷重を前記ペーストが飛散しない程度の低荷重とし、押圧開始から所定時間経過後に高荷重である第2の荷重へと切り換え可能であることを特徴とするペレットボンディング装置。
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