JPH09321069A - ペレットボンディング方法及び装置 - Google Patents
ペレットボンディング方法及び装置Info
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- JPH09321069A JPH09321069A JP15638296A JP15638296A JPH09321069A JP H09321069 A JPH09321069 A JP H09321069A JP 15638296 A JP15638296 A JP 15638296A JP 15638296 A JP15638296 A JP 15638296A JP H09321069 A JPH09321069 A JP H09321069A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ボンディング時のペースト厚を一定とし、電
気的特性の均一化を図ること。 【解決手段】 ペレットボンディング方法において、ボ
ンディング時、ペレット吸着ノズル２２が吸着している
ペレット１の下面とリードフレーム２との間隔ｇが所定
のペースト厚ｃに達した時点を、ペレット吸着ノズル２
２の下降停止タイミングとするもの。
気的特性の均一化を図ること。 【解決手段】 ペレットボンディング方法において、ボ
ンディング時、ペレット吸着ノズル２２が吸着している
ペレット１の下面とリードフレーム２との間隔ｇが所定
のペースト厚ｃに達した時点を、ペレット吸着ノズル２
２の下降停止タイミングとするもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボンディングアー
ムの上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着したペレ
ットをペーストを介して、リードフレーム等の基板にボ
ンディングするペレットボンディング方法及び装置に関
する。
ムの上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着したペレ
ットをペーストを介して、リードフレーム等の基板にボ
ンディングするペレットボンディング方法及び装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程の１つとして、半
導体ペレットをリードフレーム等の基板の所定位置にボ
ンディングするペレットボンディング工程がある。この
工程に用いられるボンディング装置は、ボンディングア
ームの一端にペレット吸着ノズルが取着され、ボンディ
ングアームを下降動（揺動も含む）させることにより、
ペレット吸着ノズルに吸着されたペレットを基板側に押
圧し、両者間に介在させたペースト（接着剤）を用いて
固着、即ちボンディングさせるようになっている。
導体ペレットをリードフレーム等の基板の所定位置にボ
ンディングするペレットボンディング工程がある。この
工程に用いられるボンディング装置は、ボンディングア
ームの一端にペレット吸着ノズルが取着され、ボンディ
ングアームを下降動（揺動も含む）させることにより、
ペレット吸着ノズルに吸着されたペレットを基板側に押
圧し、両者間に介在させたペースト（接着剤）を用いて
固着、即ちボンディングさせるようになっている。
【０００３】然るに、特開昭63-261722 号公報に示され
る従来技術では、ボンディングアームの下降動によりペ
レットに付与される押圧力（ボンディング荷重）が少な
いとボンディング不良となり、大きすぎるとペレットに
ダメージを与え割れや欠けを生ずる危険があるとの観点
から、「ボンディングアームの下降過程で、一定のボン
ディング荷重に達したところでボンディングアームの下
降動を停止させ、この状態を一定時間維持すること」に
より、ボンディング品質の一定化を図ることとしてい
る。
る従来技術では、ボンディングアームの下降動によりペ
レットに付与される押圧力（ボンディング荷重）が少な
いとボンディング不良となり、大きすぎるとペレットに
ダメージを与え割れや欠けを生ずる危険があるとの観点
から、「ボンディングアームの下降過程で、一定のボン
ディング荷重に達したところでボンディングアームの下
降動を停止させ、この状態を一定時間維持すること」に
より、ボンディング品質の一定化を図ることとしてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、ボンディ
ング荷重と時間管理による従来技術では、下記、の
問題点がある。 ペーストの粘性は温度条件等により変化する。このた
め、ペレットに同一のボンディング荷重を一定時間付与
する場合でも、ボンディングの経過等によりペーストの
押しつぶれ量が変化し、ペースト厚にばらつきを生ず
る。
ング荷重と時間管理による従来技術では、下記、の
問題点がある。 ペーストの粘性は温度条件等により変化する。このた
め、ペレットに同一のボンディング荷重を一定時間付与
する場合でも、ボンディングの経過等によりペーストの
押しつぶれ量が変化し、ペースト厚にばらつきを生ず
る。
【０００５】ペーストは、基板とペレットとの間に介
在して両者間の通電経路となる。このとき、ペースト厚
が上記によりばらつくと、ペーストの電気抵抗がその
厚みに応じて異なるものとなり、電気的特性にばらつき
を生ずるものとなる。
在して両者間の通電経路となる。このとき、ペースト厚
が上記によりばらつくと、ペーストの電気抵抗がその
厚みに応じて異なるものとなり、電気的特性にばらつき
を生ずるものとなる。
【０００６】本発明の課題は、ボンディング時のペース
ト厚を一定とし、電気的特性の均一化を図るペレットボ
ンディング方法及び装置を提供することにある。
ト厚を一定とし、電気的特性の均一化を図るペレットボ
ンディング方法及び装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ペレット吸着ノズルを支持するボンディングアーム
の上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着したペレッ
トをペーストを介して基板にボンディングするペレット
ボンディング方法において、ボンディング時、ペレット
吸着ノズルが吸着しているペレットの下面と基板との間
隔が所定のペースト厚に達した時点でボンディング力の
付与を停止するようにしたものである。
は、ペレット吸着ノズルを支持するボンディングアーム
の上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着したペレッ
トをペーストを介して基板にボンディングするペレット
ボンディング方法において、ボンディング時、ペレット
吸着ノズルが吸着しているペレットの下面と基板との間
隔が所定のペースト厚に達した時点でボンディング力の
付与を停止するようにしたものである。
【０００８】請求項２に記載の本発明は、ボンディング
アームに対しペレット吸着ノズルをペレットのボンディ
ング方向に弾性的な移動習性を与えて支持し、ボンディ
ングアームの上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着
したペレットをペーストを介して基板にボンディングす
るペレットボンディング方法において、ボンディング
時、前記ボンディングアームの移動原点からの下降距離
と、該ボンディングアームに対するペレット吸着ノズル
の相対位置長さを検出し、ペレット吸着ノズルが吸着し
たペレットの下面がペーストを介することなく基板に接
するティーチング状態でのボンディングアームの下降距
離をａ1 、ペレット吸着ノズルの相対位置長さをｂ1 、
所定のペースト厚をｃとするとき、ペレット吸着ノズル
が吸着したペレットがペーストを介して基板にボンディ
ングされるボンディング状態で検出されるボンディング
アームの下降距離ａ2 、ペレット吸着ノズルの相対位置
長さｂ2 が、 ｃ＝（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ） を満足する時点でボンディング力の付与を停止するよう
にしたものである。
アームに対しペレット吸着ノズルをペレットのボンディ
ング方向に弾性的な移動習性を与えて支持し、ボンディ
ングアームの上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着
したペレットをペーストを介して基板にボンディングす
るペレットボンディング方法において、ボンディング
時、前記ボンディングアームの移動原点からの下降距離
と、該ボンディングアームに対するペレット吸着ノズル
の相対位置長さを検出し、ペレット吸着ノズルが吸着し
たペレットの下面がペーストを介することなく基板に接
するティーチング状態でのボンディングアームの下降距
離をａ1 、ペレット吸着ノズルの相対位置長さをｂ1 、
所定のペースト厚をｃとするとき、ペレット吸着ノズル
が吸着したペレットがペーストを介して基板にボンディ
ングされるボンディング状態で検出されるボンディング
アームの下降距離ａ2 、ペレット吸着ノズルの相対位置
長さｂ2 が、 ｃ＝（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ） を満足する時点でボンディング力の付与を停止するよう
にしたものである。
【０００９】請求項３に記載の本発明は、請求項１又は
２に記載の本発明において更に、ボンディング力付与の
停止は、前記ボンディングアームの上昇、又は前記基板
の下降によるものであるようにしたものである。
２に記載の本発明において更に、ボンディング力付与の
停止は、前記ボンディングアームの上昇、又は前記基板
の下降によるものであるようにしたものである。
【００１０】請求項４に記載の本発明は、ペレット吸着
ノズルを支持するボンディングアームと、ボンディング
アームを基板に対し上下動する上下駆動部とを有し、ボ
ンディングアームの上下動により、ペレット吸着ノズル
に吸着したペレットをペーストを介して基板にボンディ
ングするペレットボンディング装置において、ボンディ
ングアームの下降過程で、ペレット吸着ノズルが吸着し
ているペレットの下面と基板との間隔が所定のペースト
厚に達した時点を、ペレット吸着ノズルの下降停止タイ
ミングとして演算し、同タイミングにてボンディングア
ームを上昇させる制御部を有してなるようにしたもので
ある。
ノズルを支持するボンディングアームと、ボンディング
アームを基板に対し上下動する上下駆動部とを有し、ボ
ンディングアームの上下動により、ペレット吸着ノズル
に吸着したペレットをペーストを介して基板にボンディ
ングするペレットボンディング装置において、ボンディ
ングアームの下降過程で、ペレット吸着ノズルが吸着し
ているペレットの下面と基板との間隔が所定のペースト
厚に達した時点を、ペレット吸着ノズルの下降停止タイ
ミングとして演算し、同タイミングにてボンディングア
ームを上昇させる制御部を有してなるようにしたもので
ある。
【００１１】請求項５に記載の本発明は、ペレット吸着
ノズルをペレットのボンディング方向に弾性的な移動習
性を与えて支持するボンディングアームと、ボンディン
グアームを基板に対し上下動する上下駆動部と、上下駆
動部の制御部とを有し、ボンディングアームの上下動に
より、ペレット吸着ノズルに吸着したペレットをペース
トを介して基板にボンディングするペレットボンディン
グ装置において、前記ボンディングアームの移動原点か
らの下降距離を検出するアーム位置検出器と、該ボンデ
ィングアームに対するペレット吸着ノズルの相対位置長
さを検出するノズル位置検出器とを有し、前記制御部
は、アーム位置検出器とノズル位置検出器の検出結果を
得て、ペレット吸着ノズルが吸着したペレットの下面が
ペーストを介することなく基板に接するティーチング状
態でのボンディングアームの下降距離をａ1 、ペレット
吸着ノズルの相対位置長さをｂ1 、所定のペースト厚を
ｃとするとき、ペレット吸着ノズルが吸着したペレット
がペーストを介して基板にボンディングされるボンディ
ング状態で検出されるボンディングアームの下降距離ａ
2 、ペレット吸着ノズルの相対位置長さｂ2 が、ｃ＝
（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ）を満足する時点をペレ
ット吸着ノズルの下降停止タイミングとして演算し、同
タイミングにてボンディングアームを上昇させるように
したものである。
ノズルをペレットのボンディング方向に弾性的な移動習
性を与えて支持するボンディングアームと、ボンディン
グアームを基板に対し上下動する上下駆動部と、上下駆
動部の制御部とを有し、ボンディングアームの上下動に
より、ペレット吸着ノズルに吸着したペレットをペース
トを介して基板にボンディングするペレットボンディン
グ装置において、前記ボンディングアームの移動原点か
らの下降距離を検出するアーム位置検出器と、該ボンデ
ィングアームに対するペレット吸着ノズルの相対位置長
さを検出するノズル位置検出器とを有し、前記制御部
は、アーム位置検出器とノズル位置検出器の検出結果を
得て、ペレット吸着ノズルが吸着したペレットの下面が
ペーストを介することなく基板に接するティーチング状
態でのボンディングアームの下降距離をａ1 、ペレット
吸着ノズルの相対位置長さをｂ1 、所定のペースト厚を
ｃとするとき、ペレット吸着ノズルが吸着したペレット
がペーストを介して基板にボンディングされるボンディ
ング状態で検出されるボンディングアームの下降距離ａ
2 、ペレット吸着ノズルの相対位置長さｂ2 が、ｃ＝
（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ）を満足する時点をペレ
ット吸着ノズルの下降停止タイミングとして演算し、同
タイミングにてボンディングアームを上昇させるように
したものである。
【００１２】請求項１、３、４に記載の本発明によれば
下記の作用がある。 ボンディング時、ペレット吸着ノズルが吸着している
ペレットの下面と基板との間隔が所定のペースト厚に達
した時点でボンディング力の付与を停止するものである
から、ボンディング時のペースト厚を一定とすることが
できる。従って、温度条件等によりペーストの粘性が変
化しても、所定のペースト厚を繰り返し維持してボンデ
ィングを行なうものとなり、電気的特性の均一化を図る
ことができる。
下記の作用がある。 ボンディング時、ペレット吸着ノズルが吸着している
ペレットの下面と基板との間隔が所定のペースト厚に達
した時点でボンディング力の付与を停止するものである
から、ボンディング時のペースト厚を一定とすることが
できる。従って、温度条件等によりペーストの粘性が変
化しても、所定のペースト厚を繰り返し維持してボンデ
ィングを行なうものとなり、電気的特性の均一化を図る
ことができる。
【００１３】請求項２、３、５に記載の本発明によれば
下記の作用がある。 ペレット吸着ノズルの下降停止タイミングを、ボンデ
ィングアームの移動原点からの下降距離ａ1 、ａ2 と、
ペレット吸着ノズルのボンディングアームに対する相対
位置長さｂ1 、ｂ2 と、予め定められる所定のペースト
厚ｃとから演算するものであり、ペースト厚が一定とな
るペレット吸着ノズルの下降停止タイミングを正確に制
御できる。
下記の作用がある。 ペレット吸着ノズルの下降停止タイミングを、ボンデ
ィングアームの移動原点からの下降距離ａ1 、ａ2 と、
ペレット吸着ノズルのボンディングアームに対する相対
位置長さｂ1 、ｂ2 と、予め定められる所定のペースト
厚ｃとから演算するものであり、ペースト厚が一定とな
るペレット吸着ノズルの下降停止タイミングを正確に制
御できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１はボンディング装置の一例を
示す模式図、図２はボンディングアームとペレット吸着
ノズルを示す模式図、図３は本発明の制御系統を示すブ
ロック図である。
示す模式図、図２はボンディングアームとペレット吸着
ノズルを示す模式図、図３は本発明の制御系統を示すブ
ロック図である。
【００１５】図１において、１はペレット、２はリード
フレーム（基板）、３はペーストである。そして、ペレ
ットボンディング装置１０において、１１はＸＹテーブ
ル、１２はＸＹテーブル１１上に立設された機台、１３
は機台１２に回転自在に支持され軸線を垂直方向とされ
るねじ軸、１４は機台１２に支持されねじ軸１３を回転
駆動するサーボモータ（上下駆動部）、１５はねじ軸１
３と平行に機台１２に固定支持される案内軸、１６は機
台１２に対し案内軸１５に沿って上下動される昇降板
で、摺動部にブッシュ１７を設け、更にねじ軸１３に対
応するところには雌ねじ１８を設け、この雌ねじ１８と
ねじ軸１３とは螺合している。１９は昇降板１６と一体
に垂設される支持軸、２１は一端を支持軸１９に固定さ
れ水平方向に延びるボンディングアーム、２２はボンデ
ィングアーム２１の他端側に設けられる案内軸２３に案
内されて摺動自在に保持されるペレット吸着ノズルを示
す。２４はボンディングアーム２１とペレット吸着ノズ
ル２２との間に介装されるスプリングであり、ボンディ
ングアーム２１はこのスプリング２４の存在によりペレ
ット吸着ノズル２２をペレット１のボンディング方向に
弾性的な移動習性を与えて支持する。ボンディングアー
ム２１が移動原点ｚ側にあるとき、ペレット吸着ノズル
２２はスプリング２４によりボンディングアーム２１の
ストッパ２１Ａに衝合保持される。ペレット吸着ノズル
２２は不図示の電磁弁等を介して吸引装置に連通され
る。
フレーム（基板）、３はペーストである。そして、ペレ
ットボンディング装置１０において、１１はＸＹテーブ
ル、１２はＸＹテーブル１１上に立設された機台、１３
は機台１２に回転自在に支持され軸線を垂直方向とされ
るねじ軸、１４は機台１２に支持されねじ軸１３を回転
駆動するサーボモータ（上下駆動部）、１５はねじ軸１
３と平行に機台１２に固定支持される案内軸、１６は機
台１２に対し案内軸１５に沿って上下動される昇降板
で、摺動部にブッシュ１７を設け、更にねじ軸１３に対
応するところには雌ねじ１８を設け、この雌ねじ１８と
ねじ軸１３とは螺合している。１９は昇降板１６と一体
に垂設される支持軸、２１は一端を支持軸１９に固定さ
れ水平方向に延びるボンディングアーム、２２はボンデ
ィングアーム２１の他端側に設けられる案内軸２３に案
内されて摺動自在に保持されるペレット吸着ノズルを示
す。２４はボンディングアーム２１とペレット吸着ノズ
ル２２との間に介装されるスプリングであり、ボンディ
ングアーム２１はこのスプリング２４の存在によりペレ
ット吸着ノズル２２をペレット１のボンディング方向に
弾性的な移動習性を与えて支持する。ボンディングアー
ム２１が移動原点ｚ側にあるとき、ペレット吸着ノズル
２２はスプリング２４によりボンディングアーム２１の
ストッパ２１Ａに衝合保持される。ペレット吸着ノズル
２２は不図示の電磁弁等を介して吸引装置に連通され
る。
【００１６】次に、図３において、３１は制御装置（制
御部）、３２はＸＹテーブル１１のＸＹ駆動部、３３は
サーボモータ１４の上下駆動部を示す。即ち、制御装置
３１はＸＹテーブル１１とサーボモータ１４を制御し、
以下の如くのボンディング動作を行なう。
御部）、３２はＸＹテーブル１１のＸＹ駆動部、３３は
サーボモータ１４の上下駆動部を示す。即ち、制御装置
３１はＸＹテーブル１１とサーボモータ１４を制御し、
以下の如くのボンディング動作を行なう。
【００１７】(1) ボンディングアーム２１が上昇位置に
位置した状態で制御装置３１からＸＹ駆動部３２に駆動
信号が送出され、ＸＹテーブル１１が移動し、ペレット
吸着ノズル２２をペレット供給位置Ａに位置させる。次
にサーボモータ１４が正転せしめられボンディングアー
ム２１は下降する。そして、ペレット吸着ノズル２２が
ペレット１を吸着する。
位置した状態で制御装置３１からＸＹ駆動部３２に駆動
信号が送出され、ＸＹテーブル１１が移動し、ペレット
吸着ノズル２２をペレット供給位置Ａに位置させる。次
にサーボモータ１４が正転せしめられボンディングアー
ム２１は下降する。そして、ペレット吸着ノズル２２が
ペレット１を吸着する。
【００１８】(2) ボンディングアーム２１はペレット吸
着ノズル２２によりペレット１を吸着した状態で上昇す
る。次にＸＹテーブル１１が移動制御され、ペレット吸
着ノズル２２に吸着されたペレット１をリードフレーム
２におけるボンディング位置Ｂに位置付ける。そしてサ
ーボモータ１４によりボンディングアーム２１を移動原
点ｚから下降せしめ、ペレット１とリードフレーム２と
をペースト３を介してボンディングする。ボンディング
時、ボンディングアーム２１は、ペレット吸着ノズル２
２がスプリング２４による移動習性力に抗して移動する
に充分な位置まで下降して停止する。そして、ペレット
吸着ノズル２２が後述する下降停止タイミングに達した
ときに、ボンディングアーム２１を上昇させて移動原点
ｚに位置付け、ボンディング作業の 1サイクルを終了す
る。
着ノズル２２によりペレット１を吸着した状態で上昇す
る。次にＸＹテーブル１１が移動制御され、ペレット吸
着ノズル２２に吸着されたペレット１をリードフレーム
２におけるボンディング位置Ｂに位置付ける。そしてサ
ーボモータ１４によりボンディングアーム２１を移動原
点ｚから下降せしめ、ペレット１とリードフレーム２と
をペースト３を介してボンディングする。ボンディング
時、ボンディングアーム２１は、ペレット吸着ノズル２
２がスプリング２４による移動習性力に抗して移動する
に充分な位置まで下降して停止する。そして、ペレット
吸着ノズル２２が後述する下降停止タイミングに達した
ときに、ボンディングアーム２１を上昇させて移動原点
ｚに位置付け、ボンディング作業の 1サイクルを終了す
る。
【００１９】然るに、制御装置３１は、上述したボンデ
ィング動作のうちの(2) のボンディング時、ボンディン
グアーム２１の下降過程で、ペレット吸着ノズル２２が
吸着しているペレット１の下面がペースト３を介してリ
ードフレーム２に接した後、ボンディングアーム２１を
更に下降させ、予め定めた最下降位置にて停止させる。
これにより、ペレット吸着ノズル２２は、ボンディング
アーム２２に対して相対移動し、スプリング２４を押し
縮めた状態でストッパ２１Ａから離れる。そしてこのス
プリング力によってペレット吸着ノズル２２はペースト
３を押しつぶしつつ下降を続ける。制御装置３１は、ペ
レット吸着ノズル２２が吸着しているペレット１の下面
とリードフレーム２との間隔ｇが所定のペースト厚ｃに
達した時点を、ペレット吸着ノズル２２の下降停止タイ
ミングとして演算し、サーボモータ１４の上下駆動部３
３に対しボンディングアーム２１の上昇を開始させ、こ
の時点でボンディング力の付与を停止させる。
ィング動作のうちの(2) のボンディング時、ボンディン
グアーム２１の下降過程で、ペレット吸着ノズル２２が
吸着しているペレット１の下面がペースト３を介してリ
ードフレーム２に接した後、ボンディングアーム２１を
更に下降させ、予め定めた最下降位置にて停止させる。
これにより、ペレット吸着ノズル２２は、ボンディング
アーム２２に対して相対移動し、スプリング２４を押し
縮めた状態でストッパ２１Ａから離れる。そしてこのス
プリング力によってペレット吸着ノズル２２はペースト
３を押しつぶしつつ下降を続ける。制御装置３１は、ペ
レット吸着ノズル２２が吸着しているペレット１の下面
とリードフレーム２との間隔ｇが所定のペースト厚ｃに
達した時点を、ペレット吸着ノズル２２の下降停止タイ
ミングとして演算し、サーボモータ１４の上下駆動部３
３に対しボンディングアーム２１の上昇を開始させ、こ
の時点でボンディング力の付与を停止させる。
【００２０】制御装置３１は、上述のペレット吸着ノズ
ル２２の下降停止タイミングを演算するため、アーム位
置検出器４１と、ノズル位置検出器４２とを有する。ア
ーム位置検出器４１は、例えばねじ軸１３の回転量を検
出するエンコーダからなり、ボンディングアーム２１の
移動原点ｚからの下降距離を検出する。また、ノズル位
置検出器４２は、例えばボンディングアーム２１に設け
られてペレット吸着ノズル２２との間隙を検出するギャ
ップセンサからなり、ボンディングアーム２１に対する
ペレット吸着ノズル２２の相対位置長さを検出する。
ル２２の下降停止タイミングを演算するため、アーム位
置検出器４１と、ノズル位置検出器４２とを有する。ア
ーム位置検出器４１は、例えばねじ軸１３の回転量を検
出するエンコーダからなり、ボンディングアーム２１の
移動原点ｚからの下降距離を検出する。また、ノズル位
置検出器４２は、例えばボンディングアーム２１に設け
られてペレット吸着ノズル２２との間隙を検出するギャ
ップセンサからなり、ボンディングアーム２１に対する
ペレット吸着ノズル２２の相対位置長さを検出する。
【００２１】これにより、制御装置３１は、アーム位置
検出器４１とノズル位置検出器４２の検出結果を得て、
ペレット吸着ノズル２２が吸着したペレット１の下面が
ペースト３を介することなくリードフレーム２に接する
ティーチング状態（図２（Ａ））でのボンディングアー
ム２１の下降距離をａ1 、ペレット吸着ノズル２２の相
対位置長さをｂ1 、所定のペースト厚をｃとするとき、
ペレット吸着ノズル２２が吸着したペレット１がペース
ト３を介してリードフレーム２にボンディングされるボ
ンディング状態（図２（Ｂ））で検出されるボンディン
グアーム２１の下降距離ａ2 、ペレット吸着ノズル２２
の相対位置長さｂ2 が、 ｃ＝（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ） を満足する時点を、吸着ノズル２２の前述した下降停止
タイミングとする。
検出器４１とノズル位置検出器４２の検出結果を得て、
ペレット吸着ノズル２２が吸着したペレット１の下面が
ペースト３を介することなくリードフレーム２に接する
ティーチング状態（図２（Ａ））でのボンディングアー
ム２１の下降距離をａ1 、ペレット吸着ノズル２２の相
対位置長さをｂ1 、所定のペースト厚をｃとするとき、
ペレット吸着ノズル２２が吸着したペレット１がペース
ト３を介してリードフレーム２にボンディングされるボ
ンディング状態（図２（Ｂ））で検出されるボンディン
グアーム２１の下降距離ａ2 、ペレット吸着ノズル２２
の相対位置長さｂ2 が、 ｃ＝（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ） を満足する時点を、吸着ノズル２２の前述した下降停止
タイミングとする。
【００２２】従って、ボンディング装置１０において、
ボンディングアーム２１が支持するペレット吸着ノズル
２２が吸着しているペレット１を、ペースト３を介し
て、リードフレーム２にボンディングするとき、ペレッ
ト吸着ノズル２２の下降停止タイミングを上述した如く
に定める本実施の形態によれば、下記、の作用があ
る。
ボンディングアーム２１が支持するペレット吸着ノズル
２２が吸着しているペレット１を、ペースト３を介し
て、リードフレーム２にボンディングするとき、ペレッ
ト吸着ノズル２２の下降停止タイミングを上述した如く
に定める本実施の形態によれば、下記、の作用があ
る。
【００２３】ボンディング時、ペレット吸着ノズル２
２が吸着しているペレット１の下面とリードフレーム２
との間隔が所定のペースト厚ｃに達した時点を、ペレッ
ト吸着ノズル２２の下降停止タイミングとし、このタイ
ミングでボンディング力の付与を停止させるものである
から、ボンディング時のペースト厚を一定とすることが
できる。従って、温度条件等によりペースト３の粘性が
変化しても、所定のペースト厚を繰り返し維持してボン
ディングを行なうものとなり、電気的特性の均一化を図
ることができる。
２が吸着しているペレット１の下面とリードフレーム２
との間隔が所定のペースト厚ｃに達した時点を、ペレッ
ト吸着ノズル２２の下降停止タイミングとし、このタイ
ミングでボンディング力の付与を停止させるものである
から、ボンディング時のペースト厚を一定とすることが
できる。従って、温度条件等によりペースト３の粘性が
変化しても、所定のペースト厚を繰り返し維持してボン
ディングを行なうものとなり、電気的特性の均一化を図
ることができる。
【００２４】ペレット吸着ノズル２２の下降停止タイ
ミングを、アーム位置検出器４１が検出するボンディン
グアーム２１の移動原点からの下降距離ａ1 、ａ2 と、
ノズル位置検出器４２が検出するペレット吸着ノズル２
２のボンディングアーム２１に対する相対位置長さｂ
1 、ｂ2 と、予め定められる所定のペースト厚ｃとから
演算するものであり、ペースト厚が一定となるペレット
吸着ノズル２２の下降停止タイミングを正確に制御でき
る。
ミングを、アーム位置検出器４１が検出するボンディン
グアーム２１の移動原点からの下降距離ａ1 、ａ2 と、
ノズル位置検出器４２が検出するペレット吸着ノズル２
２のボンディングアーム２１に対する相対位置長さｂ
1 、ｂ2 と、予め定められる所定のペースト厚ｃとから
演算するものであり、ペースト厚が一定となるペレット
吸着ノズル２２の下降停止タイミングを正確に制御でき
る。
【００２５】以上、本発明の実施の形態を図面を用いて
詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に
限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、
ボンディングアームの上下駆動部は、サーボモータに限
らずリニア型駆動装置でも良い。また、ボンディングア
ームの上下駆動機構はねじ軸を用いるものに限らず、制
御部からの停止信号で即座に停止する回転カムでも良
い。
詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に
限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、
ボンディングアームの上下駆動部は、サーボモータに限
らずリニア型駆動装置でも良い。また、ボンディングア
ームの上下駆動機構はねじ軸を用いるものに限らず、制
御部からの停止信号で即座に停止する回転カムでも良
い。
【００２６】また、ペレット吸着ノズルは、ボンディン
グアームに一体でも良い（相対移動しない）。この場
合、ペレット吸着ノズルの下降停止タイミング＝ボンデ
ィングアームの下降停止タイミングとなる。
グアームに一体でも良い（相対移動しない）。この場
合、ペレット吸着ノズルの下降停止タイミング＝ボンデ
ィングアームの下降停止タイミングとなる。
【００２７】また、上記実施の形態では、ペレット吸着
ノズルの下降停止タイミングにてボンディングアームの
上昇を開始させることで、ボンディング力付与を停止さ
せるようにしたが、それに代えて同タイミングでリード
フレーム２を下降させるようにしても良い。
ノズルの下降停止タイミングにてボンディングアームの
上昇を開始させることで、ボンディング力付与を停止さ
せるようにしたが、それに代えて同タイミングでリード
フレーム２を下降させるようにしても良い。
【００２８】また、ボンディングアームの移動原点から
の下降距離ａ1 、ａ2 、ペレット吸着ノズルのボンディ
ングアームに対する相対位置長さｂ1 、ｂ2 を任意に設
定することで、必要とするペースト厚ｃを得ることがで
きる。
の下降距離ａ1 、ａ2 、ペレット吸着ノズルのボンディ
ングアームに対する相対位置長さｂ1 、ｂ2 を任意に設
定することで、必要とするペースト厚ｃを得ることがで
きる。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ボンディ
ング時のペースト厚を一定とし、電気的特性の均一化を
図るペレットボンディング方法及び装置を得ることがで
きる。
ング時のペースト厚を一定とし、電気的特性の均一化を
図るペレットボンディング方法及び装置を得ることがで
きる。
【図１】図１はボンディング装置の一例を示す模式図で
ある。
ある。
【図２】図２はボンディングアームとペレット吸着ノズ
ルを示す模式図である。
ルを示す模式図である。
【図３】図３は本発明の制御系統を示すブロック図であ
る。
る。
１ ペレット ２ リードフレーム（基板） ３ ペースト １０ ボンディング装置 ２１ ボンディングアーム ２２ ペレット吸着ノズル ３１ 制御装置（制御部） ４１ アーム位置検出器 ４２ ノズル位置検出器
Claims (5)
- 【請求項１】 ペレット吸着ノズルを支持するボンディ
ングアームの上下動により、ペレット吸着ノズルに吸着
したペレットをペーストを介して基板にボンディングす
るペレットボンディング方法において、 ボンディング時、ペレット吸着ノズルが吸着しているペ
レットの下面と基板との間隔が所定のペースト厚に達し
た時点でボンディング力の付与を停止することを特徴と
するペレットボンディング方法。 - 【請求項２】 ボンディングアームに対しペレット吸着
ノズルをペレットのボンディング方向に弾性的な移動習
性を与えて支持し、 ボンディングアームの上下動により、ペレット吸着ノズ
ルに吸着したペレットをペーストを介して基板にボンデ
ィングするペレットボンディング方法において、 ボンディング時、前記ボンディングアームの移動原点か
らの下降距離と、該ボンディングアームに対するペレッ
ト吸着ノズルの相対位置長さを検出し、 ペレット吸着ノズルが吸着したペレットの下面がペース
トを介することなく基板に接するティーチング状態での
ボンディングアームの下降距離をａ1 、ペレット吸着ノ
ズルの相対位置長さをｂ1 、所定のペースト厚をｃとす
るとき、 ペレット吸着ノズルが吸着したペレットがペーストを介
して基板にボンディングされるボンディング状態で検出
されるボンディングアームの下降距離ａ2 、ペレット吸
着ノズルの相対位置長さｂ2 が、 ｃ＝（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ） を満足する時点でボンディング力の付与を停止するペレ
ットボンディング方法。 - 【請求項３】 ボンディング力付与の停止は、前記ボン
ディングアームの上昇、又は前記基板の下降によるもの
である請求項１又は２記載のペレットボンディング方
法。 - 【請求項４】 ペレット吸着ノズルを支持するボンディ
ングアームと、ボンディングアームを基板に対し上下動
する上下駆動部とを有し、 ボンディングアームの上下動により、ペレット吸着ノズ
ルに吸着したペレットをペーストを介して基板にボンデ
ィングするペレットボンディング装置において、 ボンディングアームの下降過程で、ペレット吸着ノズル
が吸着しているペレットの下面と基板との間隔が所定の
ペースト厚に達した時点を、ペレット吸着ノズルの下降
停止タイミングとして演算し、同タイミングにてボンデ
ィングアームを上昇させる制御部を有してなることを特
徴とするペレットボンディング装置。 - 【請求項５】 ペレット吸着ノズルをペレットのボンデ
ィング方向に弾性的な移動習性を与えて支持するボンデ
ィングアームと、ボンディングアームを基板に対し上下
動する上下駆動部と、上下駆動部の制御部とを有し、 ボンディングアームの上下動により、ペレット吸着ノズ
ルに吸着したペレットをペーストを介して基板にボンデ
ィングするペレットボンディング装置において、 前記ボンディングアームの移動原点からの下降距離を検
出するアーム位置検出器と、 該ボンディングアームに対するペレット吸着ノズルの相
対位置長さを検出するノズル位置検出器とを有し、 前記制御部は、アーム位置検出器とノズル位置検出器の
検出結果を得て、ペレット吸着ノズルが吸着したペレッ
トの下面がペーストを介することなく基板に接するティ
ーチング状態でのボンディングアームの下降距離をａ
1 、ペレット吸着ノズルの相対位置長さをｂ1 、所定の
ペースト厚をｃとするとき、ペレット吸着ノズルが吸着
したペレットがペーストを介して基板にボンディングさ
れるボンディング状態で検出されるボンディングアーム
の下降距離ａ2 、ペレット吸着ノズルの相対位置長さｂ
2 が、 ｃ＝（ａ1 ＋ｂ1 ）−（ａ2 ＋ｂ2 ） を満足する時点をペレット吸着ノズルの下降停止タイミ
ングとして演算し、同タイミングにてボンディングアー
ムを上昇させることを特徴とするペレットボンディング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15638296A JP3590196B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ペレットボンディング方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15638296A JP3590196B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ペレットボンディング方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09321069A true JPH09321069A (ja) | 1997-12-12 |
| JP3590196B2 JP3590196B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=15626538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15638296A Expired - Fee Related JP3590196B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ペレットボンディング方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3590196B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005252008A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Olympus Corp | 半導体接合方法及び接合装置 |
| JP2010016288A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Seiko Npc Corp | ピックアップ装置 |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP15638296A patent/JP3590196B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005252008A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Olympus Corp | 半導体接合方法及び接合装置 |
| JP4530688B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2010-08-25 | オリンパス株式会社 | 半導体接合方法及び接合装置 |
| JP2010016288A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Seiko Npc Corp | ピックアップ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3590196B2 (ja) | 2004-11-17 |
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