JP3803465B2 - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの電極上に導電性ボールを移載する導電性ボールの移載装置および移載方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品が移載されるワークの電極上にバンプを形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用いる方法が知られている。この方法は、導電性ボールをワークの電極上に移載し、その後ワークを加熱することにより、導電性ボールを電極に半田付けしてバンプを形成するものである。このとき導電性ボールと電極の半田付けを良好に行うために一般にフラックスが用いられ、導電性ボールを電極上に移載する前に、導電性ボールまたは電極のいずれかにフラックスを塗布することが行われる。
【0003】
フラックスを塗布する方法として、導電性ボールを真空吸着した吸着ヘッドを容器に貯溜されたフラックスの表面に下降させて導電性ボールをフラックスに着水させ、導電性ボールの先端部にフラックスを転写させて塗布する方法が実施されている。この方法は、吸着ヘッドの下降ストロークを制御することにより、導電性ボールの先端部のみにフラックスを付着させるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導電性ボールの小径化が進むにしたがって、フラックスの塗布時の吸着ヘッドの下降ストロークの制御は高精度を要するようになってきている。その結果、制御用入力データのわずかな誤差によっても導電性ボールへの所定のフラックス塗布量が確保されず、塗布量のばらつきを生じるという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、吸着ツールに真空吸着された半田ボールなどの導電性ボールに所定量のフラックスを確実に塗布することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供することを目的する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の導電性ボールの移載装置は、下面に導電性ボールを真空吸着する複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、ワークを位置決めする位置決め部と、平坦な底面を有するフラックス貯溜部と、前記底面上に導電性ボールの半径以下の厚さでフラックスの膜を形成するフラックス膜形成手段と、前記吸着ヘッドを前記位置決め部と前記フラックス貯溜部との間を相対的に移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドを前記フラックス貯溜部に対して上下動作を行わせる上下動手段と、前記吸着ヘッドが前記上下動手段によって下降し吸着ヘッドに真空吸着された導電性ボールが前記底面に当接したことを検出する当接検出手段とを備え、前記吸着ヘッドは、本体と、この本体の内部に収納されたブロックと、このブロックの下部に結合された吸着ツールから成り、且つ前記ブロックの側端部を前記本体のストッパ上に押し当てることにより前記吸着ツールの下降限度を規定するとともに前記吸着ツールの下面を水平面とするようにし、また前記本体と前記ストッパの接触が断たれたことを前記当接検出手段が検出することにより導電性ボールが前記底面に当接したことを検出するようにした。
【0007】
請求項2記載の導電性ボールの移載方法は、請求項1記載の導電性ボールの移載装置を用いる導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッドの下面に真空吸着した複数の導電性ボールの下部にフラックスを付着させてワークの電極に移載する導電性ボールの移載方法であって、平坦な底面を有するフラックス貯溜部の底面に導電性ボールの半径以下の厚さのフラックスを塗布する工程と、前記吸着ヘッドを前記底面に対して下降させる工程と、前記吸着ヘッドに吸着された導電性ボールが前記底面に当接したことを当接検出手段により検出する工程と、前記当接検出手段が当接を検出したならば前記吸着ヘッドを上昇させ、その後ワークの電極上にフラックスが塗布された導電性ボールを移載する工程とを含む。
【0008】
【発明の実施の形態】
上記構成によれば、導電性ボールを貯溜部に貯溜されたフラックスの液面に着水させて導電性ボールの下面にフラックスを付着させる際に、フラックス貯溜部に所定膜厚のフラックスを塗布して、この貯溜部に対して導電性ボールを吸着した吸着ツールを下降させ、フラックス貯溜部の底面に導電性ボールが当接したことを検出した後に吸着ヘッドを上昇させることにより、導電性ボールに確実に所定量のフラックスを転写して塗布することができる。
【0009】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の斜視図、図2は同導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの断面図、図3は同導電性ボールの移載装置のフラックス貯溜部の側断面図、図4、図5は同導電性ボールの移載装置のフラックスの塗布動作の説明図、図6は同導電性ボールの移載装置の半田ボールの移載動作の説明図である。
【0010】
図1において、11はワークであり、ガイドレール13に載置されている。ガイドレール13は、ワーク11をクランプして位置決めする位置決め部となっている。ワーク11の上面には導電性ボールとしての半田ボール1が移載される電極12が多数個形成されている。ガイドレール13の側方には、半田ボール1の供給部14と、フラックス2の貯溜部としての容器16が設置されている。17は容器16に貯溜されたフラックス2の液面を平滑するスキージユニットである。容器16の下方にはスキージユニット17の駆動手段18が配設されている。供給部14はボックスから成り、その内部に半田ボール1が貯溜されている。
【0011】
ガイドレール13の上方には吸着ヘッド20が設けられている。吸着ヘッド20はガイドシャフト21に沿ってX方向へ移動する。またガイドシャフト21の両端部はスライダ22を介してガイドシャフト23に結合されており、ガイドシャフト21はガイドシャフト23に沿ってY方向へ移動する。すなわち、ガイドシャフト21、23は、吸着ヘッド20をX方向やY方向へ移動させる移動手段となっている。なお吸着ヘッド20をガイドシャフト21、23に沿って移動させるための動力系の説明は省略している。
【0012】
次に、図2を参照して吸着ヘッド20の構造を説明する。30は本体としてのボックスである。ボックス30は無底であって、その内部にはブロック31が収納されている。ブロック31の下部には箱型の吸着ツール32が結合されている。吸着ツール32はチューブ33を介して吸引ユニット36に接続されており、吸引ユニット36が作動することにより、その下面に多数個形成された吸着孔35に半田ボール1を真空吸着する。
【0013】
図2において、ブロック31の側端部を、ボックス30の底板30a上に押し当てることにより、吸着ツール32の下面の水平面に対する平行度を確保している。すなわち底板30aは、吸着ツール32の下降限度を規定するとともに、吸着ツール32の下面を水平面とするためのストッパとなっている。また本実施の形態では、ブロック31の両側部をストッパに当接させているので、吸着ツール32の下面の平行度を再現性よく維持できる。
【0014】
また、ボックス30の底板30a上のブロック31の側端部との当接面にはタッチセンサ43が設けられている。タッチセンサ43は、ブロック31の側端部とボックス30の底板30aの接触が断たれたことを検出する。この当接面は通常時には常に当接して接触状態にあり、吸着ヘッド20の下降動作中に吸着ツール32の下面に吸着された半田ボール1が固定物に当接すると、当接面が非接触状態となる。すなわち、この当接面の接触・非接触を電気的に検出することにより、吸着ツール32の下面に吸着された半田ボール1が固定物に当接したことを検出する。したがって、タッチセンサ43は半田ボール1が後述する容器16の底面16aに当接したことを検出する当接検出手段となっている。なお、当接検出手段としては、非接触式のギャップセンサを用いてもよい。
【0015】
ボックス30の上面にはシリンダ38が設置されており、そのロッド39の下端部にブロック31は結合されている。40はバネ材であって、ボックス30の天井面とブロック31の上面を結合している。バネ材40はそのバネ力でブロック31を上方へ弾発し、吸着ツール32側の自重を軽減している。本実施の形態では、バネ材40のバネ力は、ブロック31および吸着ツール32の自重と等しくしている。ブロック31の両側面に設けられたスライダ41は、ボックス30の内面に設けられた垂直なレール42にスライド自在に嵌合している。
【0016】
次にボックス30の上下動手段について説明する。50はボックス30の側部に設けられた縦長の駆動ケースであり、その内部には垂直なボールねじ51が収納されている。ボールねじ51にはナット52が螺合しており、ナット52はロッド53を介してボックス30に結合されている。駆動ケース50の側面には垂直なレール54が設けられており、ボックス30の側面に設けられたスライダ55はこのレール54にスライド自在に嵌合している。モータ56が駆動してボールねじ51が回転すると、ナット52はボールねじ51に沿って上下動する。これにより、ボックス30や吸着ツール32は上下動作を行う。
【0017】
60は制御部であって、吸引ユニット36、モータ駆動回路61、押圧力制御部62などを制御し、またタッチセンサ43に接続されたタッチ検出回路66から信号が入力される。63は圧力源である。モータ駆動回路61は、モータ56を制御する。押圧力制御部62はシリンダ38を制御する。
【0018】
次に、図3を参照してフラックスの貯溜部について説明する。図3において、吸着ヘッド20の下方には、フラックス貯溜用の容器16が水平に配設されている。容器16の底面16aは平坦な面となっており、吸着ヘッド20の吸着ツール32の下面に対して平行になるように水平度が調整される。容器16の上方にはスキージユニット17が配設されている。スキージユニット17は容器16の下方に設けられた駆動手段18によって底面16a上で前後動する。
【0019】
駆動手段18について説明する。スキージユニット17のブラケット70はナット77に結合されている。ナット77には送りねじ78が螺入している。送りねじ78は軸受け79によって支持されており、送りねじ78にはプーリ80が装着されている。モータ81の軸端に装着されたプーリ82と、送りねじ78のプーリ80の間にはベルト83が調帯されており、モータ81を正逆駆動することにより、スキージユニット17は水平方向に前後動する。
【0020】
スキージユニット17には、2つのスキージ75,76が装着されており、スキージ75,76はそれぞれシリンダ72,73によって上下動する。スキージユニット17の前進(図3において右方へ移動)時にはスキージ75が下降し、また後進時には逆方向に傾いているスキージ76が下降し、それぞれのスキージの先端が容器16の底面16a上で直進運動をすることにより、フラックス2を底面16a上で延展して均一な膜厚で塗布する。
【0021】
シリンダ72,73のロッド73,74の突出時の高さ位置を調整することにより、スキージ75,76の先端と底面16aの間のクリアランスが調整され、したがって底面16a上に塗布されるフラックス2の厚さを任意の厚さ、例えば半田ボールの半径以下の厚さに設定することができる。したがって、容器16とモータ81およびスキージユニット17は底面16a上にフラックス2の膜を形成するフラックス膜形成手段となっている。
【0022】
この導電性ボールの移載装置は上記のように構成されており、次に動作を説明する。図1において、吸着ヘッド20は供給部14の上方へ移動する。次にモータ56(図2)が駆動することにより吸着ヘッド20は下降・上昇し、吸着ツール32の下面の吸着孔35に半田ボール1を真空吸着してピックアップする。
【0023】
吸着ヘッド20はフラックス貯溜部の容器16の上方へ移動し、そこで図4に示すように、モータ56が駆動して吸着ヘッド20がフラックス貯溜部の容器16に対して下降する。このとき、図5に示すように、吸着ツール32の下面に吸着された半田ボール1が容器16の底面16aに当接してタッチセンサ43により当接が検知されるまで下降動作が継続される。したがって、下降ストロークの途中で下降動作が中断することはなく、半田ボール1は底面16aに塗布されたフラックス2中に確実に埋入し、その結果底面16aに所定膜厚tで塗布されたフラックス2が確実に半田ボール1に転写され、常に所定量のフラックス2が半田ボール1に塗布される。
【0024】
この場合、図3に示すようにブロック31の側端下部31aは本体30のストッパ30aに押し当てられているので、吸着ツール32の下面は完全な水平面となっており、したがって吸着孔35に真空吸着されたすべての半田ボール1をフラックス2に同じ深さで埋入させ、すべての半田ボール1にフラックス2を等量塗布することができる。
【0025】
この後吸着ヘッド20は上昇し、次いでワーク11の上方へ移動する。そこで吸着ヘッドは下降・上昇動作を行い、図6に示すように半田ボール1をワーク11の電極12上に移載する。ワーク11に半田ボール1が移載されたならば、ワーク11はガイドレール13に沿って次の工程へ送り出される。次に新たなワーク11がガイドレール13へ送られ、上述した動作が繰り返される。
【0026】
【発明の効果】
本発明によれば、導電性ボールを貯溜部に貯溜されたフラックスの液面に着水させて導電性ボールの下面にフラックスを付着させる際に、フラックス貯溜部に所定膜厚のフラックスを塗布してこの貯溜部に対して導電性ボールを吸着した吸着ヘッドを下降させ、フラックス貯溜部の底面に導電性ボールが当接したことを検出した後に吸着ヘッドを上昇させるようにしているので、吸着ヘッドの下降ストロークの制御データの誤差に起因するフラックス塗布量のばらつきがなく、導電性ボールに確実に所定量のフラックスを転写して塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの断面図
【図3】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のフラックス貯溜部の側断面図
【図4】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のフラックスの塗布動作の説明図
【図5】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のフラックスの塗布動作の説明図
【図6】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の半田ボールの移載動作の説明図
【符号の説明】
1 半田ボール
2 フラックス
11 ワーク
12 電極
14 半田ボールの供給部
16 容器
16a 底面
17 スキージユニット
20 吸着ヘッド
32 吸着ツール
43 タッチセンサ
56 モータ
81 モータ
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの電極上に導電性ボールを移載する導電性ボールの移載装置および移載方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品が移載されるワークの電極上にバンプを形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用いる方法が知られている。この方法は、導電性ボールをワークの電極上に移載し、その後ワークを加熱することにより、導電性ボールを電極に半田付けしてバンプを形成するものである。このとき導電性ボールと電極の半田付けを良好に行うために一般にフラックスが用いられ、導電性ボールを電極上に移載する前に、導電性ボールまたは電極のいずれかにフラックスを塗布することが行われる。
【0003】
フラックスを塗布する方法として、導電性ボールを真空吸着した吸着ヘッドを容器に貯溜されたフラックスの表面に下降させて導電性ボールをフラックスに着水させ、導電性ボールの先端部にフラックスを転写させて塗布する方法が実施されている。この方法は、吸着ヘッドの下降ストロークを制御することにより、導電性ボールの先端部のみにフラックスを付着させるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導電性ボールの小径化が進むにしたがって、フラックスの塗布時の吸着ヘッドの下降ストロークの制御は高精度を要するようになってきている。その結果、制御用入力データのわずかな誤差によっても導電性ボールへの所定のフラックス塗布量が確保されず、塗布量のばらつきを生じるという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、吸着ツールに真空吸着された半田ボールなどの導電性ボールに所定量のフラックスを確実に塗布することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供することを目的する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の導電性ボールの移載装置は、下面に導電性ボールを真空吸着する複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、ワークを位置決めする位置決め部と、平坦な底面を有するフラックス貯溜部と、前記底面上に導電性ボールの半径以下の厚さでフラックスの膜を形成するフラックス膜形成手段と、前記吸着ヘッドを前記位置決め部と前記フラックス貯溜部との間を相対的に移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドを前記フラックス貯溜部に対して上下動作を行わせる上下動手段と、前記吸着ヘッドが前記上下動手段によって下降し吸着ヘッドに真空吸着された導電性ボールが前記底面に当接したことを検出する当接検出手段とを備え、前記吸着ヘッドは、本体と、この本体の内部に収納されたブロックと、このブロックの下部に結合された吸着ツールから成り、且つ前記ブロックの側端部を前記本体のストッパ上に押し当てることにより前記吸着ツールの下降限度を規定するとともに前記吸着ツールの下面を水平面とするようにし、また前記本体と前記ストッパの接触が断たれたことを前記当接検出手段が検出することにより導電性ボールが前記底面に当接したことを検出するようにした。
【0007】
請求項2記載の導電性ボールの移載方法は、請求項1記載の導電性ボールの移載装置を用いる導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッドの下面に真空吸着した複数の導電性ボールの下部にフラックスを付着させてワークの電極に移載する導電性ボールの移載方法であって、平坦な底面を有するフラックス貯溜部の底面に導電性ボールの半径以下の厚さのフラックスを塗布する工程と、前記吸着ヘッドを前記底面に対して下降させる工程と、前記吸着ヘッドに吸着された導電性ボールが前記底面に当接したことを当接検出手段により検出する工程と、前記当接検出手段が当接を検出したならば前記吸着ヘッドを上昇させ、その後ワークの電極上にフラックスが塗布された導電性ボールを移載する工程とを含む。
【0008】
【発明の実施の形態】
上記構成によれば、導電性ボールを貯溜部に貯溜されたフラックスの液面に着水させて導電性ボールの下面にフラックスを付着させる際に、フラックス貯溜部に所定膜厚のフラックスを塗布して、この貯溜部に対して導電性ボールを吸着した吸着ツールを下降させ、フラックス貯溜部の底面に導電性ボールが当接したことを検出した後に吸着ヘッドを上昇させることにより、導電性ボールに確実に所定量のフラックスを転写して塗布することができる。
【0009】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の斜視図、図2は同導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの断面図、図3は同導電性ボールの移載装置のフラックス貯溜部の側断面図、図4、図5は同導電性ボールの移載装置のフラックスの塗布動作の説明図、図6は同導電性ボールの移載装置の半田ボールの移載動作の説明図である。
【0010】
図1において、11はワークであり、ガイドレール13に載置されている。ガイドレール13は、ワーク11をクランプして位置決めする位置決め部となっている。ワーク11の上面には導電性ボールとしての半田ボール1が移載される電極12が多数個形成されている。ガイドレール13の側方には、半田ボール1の供給部14と、フラックス2の貯溜部としての容器16が設置されている。17は容器16に貯溜されたフラックス2の液面を平滑するスキージユニットである。容器16の下方にはスキージユニット17の駆動手段18が配設されている。供給部14はボックスから成り、その内部に半田ボール1が貯溜されている。
【0011】
ガイドレール13の上方には吸着ヘッド20が設けられている。吸着ヘッド20はガイドシャフト21に沿ってX方向へ移動する。またガイドシャフト21の両端部はスライダ22を介してガイドシャフト23に結合されており、ガイドシャフト21はガイドシャフト23に沿ってY方向へ移動する。すなわち、ガイドシャフト21、23は、吸着ヘッド20をX方向やY方向へ移動させる移動手段となっている。なお吸着ヘッド20をガイドシャフト21、23に沿って移動させるための動力系の説明は省略している。
【0012】
次に、図2を参照して吸着ヘッド20の構造を説明する。30は本体としてのボックスである。ボックス30は無底であって、その内部にはブロック31が収納されている。ブロック31の下部には箱型の吸着ツール32が結合されている。吸着ツール32はチューブ33を介して吸引ユニット36に接続されており、吸引ユニット36が作動することにより、その下面に多数個形成された吸着孔35に半田ボール1を真空吸着する。
【0013】
図2において、ブロック31の側端部を、ボックス30の底板30a上に押し当てることにより、吸着ツール32の下面の水平面に対する平行度を確保している。すなわち底板30aは、吸着ツール32の下降限度を規定するとともに、吸着ツール32の下面を水平面とするためのストッパとなっている。また本実施の形態では、ブロック31の両側部をストッパに当接させているので、吸着ツール32の下面の平行度を再現性よく維持できる。
【0014】
また、ボックス30の底板30a上のブロック31の側端部との当接面にはタッチセンサ43が設けられている。タッチセンサ43は、ブロック31の側端部とボックス30の底板30aの接触が断たれたことを検出する。この当接面は通常時には常に当接して接触状態にあり、吸着ヘッド20の下降動作中に吸着ツール32の下面に吸着された半田ボール1が固定物に当接すると、当接面が非接触状態となる。すなわち、この当接面の接触・非接触を電気的に検出することにより、吸着ツール32の下面に吸着された半田ボール1が固定物に当接したことを検出する。したがって、タッチセンサ43は半田ボール1が後述する容器16の底面16aに当接したことを検出する当接検出手段となっている。なお、当接検出手段としては、非接触式のギャップセンサを用いてもよい。
【0015】
ボックス30の上面にはシリンダ38が設置されており、そのロッド39の下端部にブロック31は結合されている。40はバネ材であって、ボックス30の天井面とブロック31の上面を結合している。バネ材40はそのバネ力でブロック31を上方へ弾発し、吸着ツール32側の自重を軽減している。本実施の形態では、バネ材40のバネ力は、ブロック31および吸着ツール32の自重と等しくしている。ブロック31の両側面に設けられたスライダ41は、ボックス30の内面に設けられた垂直なレール42にスライド自在に嵌合している。
【0016】
次にボックス30の上下動手段について説明する。50はボックス30の側部に設けられた縦長の駆動ケースであり、その内部には垂直なボールねじ51が収納されている。ボールねじ51にはナット52が螺合しており、ナット52はロッド53を介してボックス30に結合されている。駆動ケース50の側面には垂直なレール54が設けられており、ボックス30の側面に設けられたスライダ55はこのレール54にスライド自在に嵌合している。モータ56が駆動してボールねじ51が回転すると、ナット52はボールねじ51に沿って上下動する。これにより、ボックス30や吸着ツール32は上下動作を行う。
【0017】
60は制御部であって、吸引ユニット36、モータ駆動回路61、押圧力制御部62などを制御し、またタッチセンサ43に接続されたタッチ検出回路66から信号が入力される。63は圧力源である。モータ駆動回路61は、モータ56を制御する。押圧力制御部62はシリンダ38を制御する。
【0018】
次に、図3を参照してフラックスの貯溜部について説明する。図3において、吸着ヘッド20の下方には、フラックス貯溜用の容器16が水平に配設されている。容器16の底面16aは平坦な面となっており、吸着ヘッド20の吸着ツール32の下面に対して平行になるように水平度が調整される。容器16の上方にはスキージユニット17が配設されている。スキージユニット17は容器16の下方に設けられた駆動手段18によって底面16a上で前後動する。
【0019】
駆動手段18について説明する。スキージユニット17のブラケット70はナット77に結合されている。ナット77には送りねじ78が螺入している。送りねじ78は軸受け79によって支持されており、送りねじ78にはプーリ80が装着されている。モータ81の軸端に装着されたプーリ82と、送りねじ78のプーリ80の間にはベルト83が調帯されており、モータ81を正逆駆動することにより、スキージユニット17は水平方向に前後動する。
【0020】
スキージユニット17には、2つのスキージ75,76が装着されており、スキージ75,76はそれぞれシリンダ72,73によって上下動する。スキージユニット17の前進(図3において右方へ移動)時にはスキージ75が下降し、また後進時には逆方向に傾いているスキージ76が下降し、それぞれのスキージの先端が容器16の底面16a上で直進運動をすることにより、フラックス2を底面16a上で延展して均一な膜厚で塗布する。
【0021】
シリンダ72,73のロッド73,74の突出時の高さ位置を調整することにより、スキージ75,76の先端と底面16aの間のクリアランスが調整され、したがって底面16a上に塗布されるフラックス2の厚さを任意の厚さ、例えば半田ボールの半径以下の厚さに設定することができる。したがって、容器16とモータ81およびスキージユニット17は底面16a上にフラックス2の膜を形成するフラックス膜形成手段となっている。
【0022】
この導電性ボールの移載装置は上記のように構成されており、次に動作を説明する。図1において、吸着ヘッド20は供給部14の上方へ移動する。次にモータ56(図2)が駆動することにより吸着ヘッド20は下降・上昇し、吸着ツール32の下面の吸着孔35に半田ボール1を真空吸着してピックアップする。
【0023】
吸着ヘッド20はフラックス貯溜部の容器16の上方へ移動し、そこで図4に示すように、モータ56が駆動して吸着ヘッド20がフラックス貯溜部の容器16に対して下降する。このとき、図5に示すように、吸着ツール32の下面に吸着された半田ボール1が容器16の底面16aに当接してタッチセンサ43により当接が検知されるまで下降動作が継続される。したがって、下降ストロークの途中で下降動作が中断することはなく、半田ボール1は底面16aに塗布されたフラックス2中に確実に埋入し、その結果底面16aに所定膜厚tで塗布されたフラックス2が確実に半田ボール1に転写され、常に所定量のフラックス2が半田ボール1に塗布される。
【0024】
この場合、図3に示すようにブロック31の側端下部31aは本体30のストッパ30aに押し当てられているので、吸着ツール32の下面は完全な水平面となっており、したがって吸着孔35に真空吸着されたすべての半田ボール1をフラックス2に同じ深さで埋入させ、すべての半田ボール1にフラックス2を等量塗布することができる。
【0025】
この後吸着ヘッド20は上昇し、次いでワーク11の上方へ移動する。そこで吸着ヘッドは下降・上昇動作を行い、図6に示すように半田ボール1をワーク11の電極12上に移載する。ワーク11に半田ボール1が移載されたならば、ワーク11はガイドレール13に沿って次の工程へ送り出される。次に新たなワーク11がガイドレール13へ送られ、上述した動作が繰り返される。
【0026】
【発明の効果】
本発明によれば、導電性ボールを貯溜部に貯溜されたフラックスの液面に着水させて導電性ボールの下面にフラックスを付着させる際に、フラックス貯溜部に所定膜厚のフラックスを塗布してこの貯溜部に対して導電性ボールを吸着した吸着ヘッドを下降させ、フラックス貯溜部の底面に導電性ボールが当接したことを検出した後に吸着ヘッドを上昇させるようにしているので、吸着ヘッドの下降ストロークの制御データの誤差に起因するフラックス塗布量のばらつきがなく、導電性ボールに確実に所定量のフラックスを転写して塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの断面図
【図3】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のフラックス貯溜部の側断面図
【図4】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のフラックスの塗布動作の説明図
【図5】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のフラックスの塗布動作の説明図
【図6】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の半田ボールの移載動作の説明図
【符号の説明】
1 半田ボール
2 フラックス
11 ワーク
12 電極
14 半田ボールの供給部
16 容器
16a 底面
17 スキージユニット
20 吸着ヘッド
32 吸着ツール
43 タッチセンサ
56 モータ
81 モータ
Claims (2)
- 下面に導電性ボールを真空吸着する複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、ワークを位置決めする位置決め部と、平坦な底面を有するフラックス貯溜部と、前記底面上に導電性ボールの半径以下の厚さでフラックスの膜を形成するフラックス膜形成手段と、前記吸着ヘッドを前記位置決め部と前記フラックス貯溜部との間を相対的に移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドを前記フラックス貯溜部に対して上下動作を行わせる上下動手段と、前記吸着ヘッドが前記上下動手段によって下降し吸着ヘッドに真空吸着された導電性ボールが前記底面に当接したことを検出する当接検出手段とを備え、前記吸着ヘッドは、本体と、この本体の内部に収納されたブロックと、このブロックの下部に結合された吸着ツールから成り、且つ前記ブロックの側端部を前記本体のストッパ上に押し当てることにより前記吸着ツールの下降限度を規定するとともに前記吸着ツールの下面を水平面とするようにし、また前記本体と前記ストッパの接触が断たれたことを前記当接検出手段が検出することにより導電性ボールが前記底面に当接したことを検出するようにしたことを特徴とする導電性ボールの移載装置。
- 請求項1記載の導電性ボールの移載装置を用いる導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッドの下面に真空吸着した複数の導電性ボールの下部にフラックスを付着させてワークの電極に移載する導電性ボールの移載方法であって、平坦な底面を有するフラックス貯溜部の底面に導電性ボールの半径以下の厚さのフラックスを塗布する工程と、前記吸着ヘッドを前記フラックス貯溜部に対して下降させる工程と、前記吸着ヘッドに吸着された導電性ボールが前記底面に当接したことを当接検出手段により検出する工程と、前記当接検出手段が当接を検出したならば前記吸着ヘッドを上昇させ、その後ワークの電極上にフラックスが塗布された導電性ボールを移載する工程とを含むことを特徴とする導電性ボールの移載方法。
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