JPH07101697B2 - ダイボンディング装置 - Google Patents
ダイボンディング装置Info
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- JPH07101697B2 JPH07101697B2 JP62271537A JP27153787A JPH07101697B2 JP H07101697 B2 JPH07101697 B2 JP H07101697B2 JP 62271537 A JP62271537 A JP 62271537A JP 27153787 A JP27153787 A JP 27153787A JP H07101697 B2 JPH07101697 B2 JP H07101697B2
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- semiconductor die
- die
- semiconductor
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ダイの大きさに応じてボンディング加
圧力を変えることのできるダイボンディング装置に関す
る。
圧力を変えることのできるダイボンディング装置に関す
る。
（従来の技術） 第６図の第７図を用いて従来のダイボンディング装置を
説明する。第６図において回転軸AXが回転すると、この
回転軸に固定された３個のカム1a,1b,1cが回転する。す
ると、固定ピンPaに一端が軸着されたアーム6aおよび固
定ピンPbに一端が軸着されたアーム6bは、それぞれ連結
しているバネ5bの力によって、カム1aおよびカム1bにそ
れぞれ接触しながら従動し、それぞれのアームの他端が
それぞれピンPaおよびPbを固定点とする往復角運動をす
る。したがって、一端が、バネ5aを介してアーム6aの他
端に連結されるアーム４は、水平方向に運動し、このア
ーム４と他端に設けられるマウントヘッド10が水平動作
する。
説明する。第６図において回転軸AXが回転すると、この
回転軸に固定された３個のカム1a,1b,1cが回転する。す
ると、固定ピンPaに一端が軸着されたアーム6aおよび固
定ピンPbに一端が軸着されたアーム6bは、それぞれ連結
しているバネ5bの力によって、カム1aおよびカム1bにそ
れぞれ接触しながら従動し、それぞれのアームの他端が
それぞれピンPaおよびPbを固定点とする往復角運動をす
る。したがって、一端が、バネ5aを介してアーム6aの他
端に連結されるアーム４は、水平方向に運動し、このア
ーム４と他端に設けられるマウントヘッド10が水平動作
する。
一方、カム1cが回転することにより、固定ピンPcに一端
が軸着されるアーム２は、このアーム２の中央部MPと固
定点FPを連結するバネ5cの力によって、カム1cに接触し
ながら従動し、アーム２の他端がピンPcを固定点とする
往復角運動を行う。すると、一端がアーム２の他端と連
結される上下方向可動アーム３が複数対ベアリグ7bに拘
持されながら上下動する。なおこの可動アーム３の他端
に配設される複数対のベアリング7aによってアーム４が
挟持されるから、可動アーム３の上下動によて、アーム
４の他端に設けられたマウントヘッド10は、上下動す
る。したがって、カム1a,1b,1cのプロフィルを適切に選
定すると、マウントヘッド10の一端に取り付けられる吸
着コレット12は、ウェハリング18上に置かれる半導体ウ
ェハ17のところまで移動して半導体ダイ14を真空を利用
して吸着し、バックアップホールダ16上に載置される半
導体リードフレーム13のところまで搬送することとな
る。
が軸着されるアーム２は、このアーム２の中央部MPと固
定点FPを連結するバネ5cの力によって、カム1cに接触し
ながら従動し、アーム２の他端がピンPcを固定点とする
往復角運動を行う。すると、一端がアーム２の他端と連
結される上下方向可動アーム３が複数対ベアリグ7bに拘
持されながら上下動する。なおこの可動アーム３の他端
に配設される複数対のベアリング7aによってアーム４が
挟持されるから、可動アーム３の上下動によて、アーム
４の他端に設けられたマウントヘッド10は、上下動す
る。したがって、カム1a,1b,1cのプロフィルを適切に選
定すると、マウントヘッド10の一端に取り付けられる吸
着コレット12は、ウェハリング18上に置かれる半導体ウ
ェハ17のところまで移動して半導体ダイ14を真空を利用
して吸着し、バックアップホールダ16上に載置される半
導体リードフレーム13のところまで搬送することとな
る。
なお、マウントヘッド10は、アーム４の他端に設けられ
る複数対のベアリング８によって上下動可能なように拘
持されている。そして、マウントヘッド10の他端に設け
られたストッパ９がアーム４の他端の上面に当るよう
に、バネ11の引張力による下向きの力が常にマウントヘ
ッド10に加わっている。
る複数対のベアリング８によって上下動可能なように拘
持されている。そして、マウントヘッド10の他端に設け
られたストッパ９がアーム４の他端の上面に当るよう
に、バネ11の引張力による下向きの力が常にマウントヘ
ッド10に加わっている。
このような従来のダイボンディング装置のピックアップ
（半導体ダイ14を吸着すること）からダイボンディング
までの動作を第７図のタイムチャートに示す。今、時刻
t0に、マウントヘッド10は半導体ウェハ17の吸着すべき
半導体ダイの真上に位置しているものとする。この時バ
ネ11に作用している力はｆφである。マウントヘッド10
がアーム４の他端とともに下降し、ストロークZ1だけ下
降すると、吸着コレット12の吸着面が半導体ダイの上面
に接触する（時刻t1）。すると、吸着コレット12、すな
わちマウントヘッド10は停止するがアーム４の他端はま
だ下降し続け、バネ11に引張力ｆφ１が作用する。この
バネ11の引張力ｆφ１の反作用によってマウントヘッド
10、すなわちコレット12が半導体ダイに押し付けられ
る。そして真空を利用しこの吸着コレット12に半導体ダ
イを吸着させる（時刻t5）。時間T1（＝t5−t1）がピッ
クアップ動作時間となる。
（半導体ダイ14を吸着すること）からダイボンディング
までの動作を第７図のタイムチャートに示す。今、時刻
t0に、マウントヘッド10は半導体ウェハ17の吸着すべき
半導体ダイの真上に位置しているものとする。この時バ
ネ11に作用している力はｆφである。マウントヘッド10
がアーム４の他端とともに下降し、ストロークZ1だけ下
降すると、吸着コレット12の吸着面が半導体ダイの上面
に接触する（時刻t1）。すると、吸着コレット12、すな
わちマウントヘッド10は停止するがアーム４の他端はま
だ下降し続け、バネ11に引張力ｆφ１が作用する。この
バネ11の引張力ｆφ１の反作用によってマウントヘッド
10、すなわちコレット12が半導体ダイに押し付けられ
る。そして真空を利用しこの吸着コレット12に半導体ダ
イを吸着させる（時刻t5）。時間T1（＝t5−t1）がピッ
クアップ動作時間となる。
次に、半導体ダイを吸着した吸着コレット12、すなわち
マウントヘッド10を上昇させる。この時バネ11に作用し
ている力はｆφである。上昇途中（時刻t6）に更に水平
移動をも行わせるが上昇が完了（時刻t7）しても水平移
動は終了しない。そして時刻t8になると、再び下降し始
めるが水平移動はまだ終了しない。下降途中の時刻t
9に、半導体ダイを吸着した吸着コレット12が半導体リ
ードフレーム13の所定位置の真上にくると、水平移動は
終了する。更にマウントヘッド10が下降し続け、半導体
ダイ14を吸着したコレット12が半導体リードフレーム13
に接近する（時刻t10）と、その下降速度を遅くして半
導体ダイ14を半導体リードフレーム13上にソフトランデ
ィングさせる。そしてこの遅い下降速度で下降させ、時
刻t12になると、コレット12に吸着された半導体ダイ14
のボンディング面が半導体リードフレーム13上の所定位
置に塗着された接合剤の上面と接触する。この時からス
トロークZ3だけ、コレット12、すなわちマウントヘッド
10が下降すると（時刻t14）、マウントヘッド10は停止
するが、アーム４の他端はまだ下降し続け、バネ11に引
張力ｆφ２が作用する。この引張力ｆφ２とバネ11の初
期設定力ｆφとの差、ｆφ２−ｆφが半導体ダイ14を半
導体リードフレーム13にボンディングするときのボンデ
ィング加圧力となる。そして時刻t15になるまで、すな
わち所定時間T2（＝t15−t14）経過するまで加圧力が加
えられ、半導体ダイ14が半導体リードフレーム13上にボ
ンディングされる。
マウントヘッド10を上昇させる。この時バネ11に作用し
ている力はｆφである。上昇途中（時刻t6）に更に水平
移動をも行わせるが上昇が完了（時刻t7）しても水平移
動は終了しない。そして時刻t8になると、再び下降し始
めるが水平移動はまだ終了しない。下降途中の時刻t
9に、半導体ダイを吸着した吸着コレット12が半導体リ
ードフレーム13の所定位置の真上にくると、水平移動は
終了する。更にマウントヘッド10が下降し続け、半導体
ダイ14を吸着したコレット12が半導体リードフレーム13
に接近する（時刻t10）と、その下降速度を遅くして半
導体ダイ14を半導体リードフレーム13上にソフトランデ
ィングさせる。そしてこの遅い下降速度で下降させ、時
刻t12になると、コレット12に吸着された半導体ダイ14
のボンディング面が半導体リードフレーム13上の所定位
置に塗着された接合剤の上面と接触する。この時からス
トロークZ3だけ、コレット12、すなわちマウントヘッド
10が下降すると（時刻t14）、マウントヘッド10は停止
するが、アーム４の他端はまだ下降し続け、バネ11に引
張力ｆφ２が作用する。この引張力ｆφ２とバネ11の初
期設定力ｆφとの差、ｆφ２−ｆφが半導体ダイ14を半
導体リードフレーム13にボンディングするときのボンデ
ィング加圧力となる。そして時刻t15になるまで、すな
わち所定時間T2（＝t15−t14）経過するまで加圧力が加
えられ、半導体ダイ14が半導体リードフレーム13上にボ
ンディングされる。
次にコレット12、すなわちマウントヘッド10を上昇させ
るとともに上昇途中（遅刻t17）から水平移動も行わせ
る。ストロークZ2だけ上昇すると上昇は停止する（時刻
t18）が、水平移動は停止しない。そしてコレット12、
すなわちマウントヘッド10が半導体ウェハ17の吸着すべ
き半導体ダイの真上にくると水平移動は停止する（時刻
t19）。そして前述の動作が繰り返される。
るとともに上昇途中（遅刻t17）から水平移動も行わせ
る。ストロークZ2だけ上昇すると上昇は停止する（時刻
t18）が、水平移動は停止しない。そしてコレット12、
すなわちマウントヘッド10が半導体ウェハ17の吸着すべ
き半導体ダイの真上にくると水平移動は停止する（時刻
t19）。そして前述の動作が繰り返される。
（発明が解決しようとする問題点） ボンディング加圧力は、半導体ダイ14のサイズ（面積）
に応じその最適値が決まっているが、従来のボンディン
グ装置では、そのボンディング加圧力はカム1cのプロフ
ィルによって決定される所定値であるため多品種生産す
る場合に加圧力が大き過ぎたり、小さ過ぎたりする場合
が起こる。この時、加圧力が大き過ぎると半導体ダイに
欠けや割れなどが発生し、小さ過ぎると接合剤に巣が発
生するとともに接合剤が良く浸透せず半導体ダイ14と半
導体リードフレームとの接合力が不足するという問題が
発生する。
に応じその最適値が決まっているが、従来のボンディン
グ装置では、そのボンディング加圧力はカム1cのプロフ
ィルによって決定される所定値であるため多品種生産す
る場合に加圧力が大き過ぎたり、小さ過ぎたりする場合
が起こる。この時、加圧力が大き過ぎると半導体ダイに
欠けや割れなどが発生し、小さ過ぎると接合剤に巣が発
生するとともに接合剤が良く浸透せず半導体ダイ14と半
導体リードフレームとの接合力が不足するという問題が
発生する。
また、生産性を上げるためにコレット12の下降スピード
を上げると、半導体ダイ14が半導体リードフレーム13に
衝突する際の衝撃力によって半導体ダイ14に欠け、割れ
が発生するという問題点があった。
を上げると、半導体ダイ14が半導体リードフレーム13に
衝突する際の衝撃力によって半導体ダイ14に欠け、割れ
が発生するという問題点があった。
本発明は、多品種生産に好適なダイボンディング装置を
提供することを目的とする。
提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段） 第１の発明によるダイボンディング装置は、コレット
と、真空を利用して半導体ダイを前記コレットに吸着さ
せる吸着手段と、コレットを水平移動させる水平移動手
段と、コレットを上下動させる上下動手段と、コレット
に吸着された半導体ダイが上下動手段によって下降させ
られているときに、所定位置に載置される半導体リード
フレームのボンディング面と半導体ダイの下面との接触
を検出する検出手段と、半導体ダイの大きさに応じたボ
ンディング加圧力を設定する設定手段と、検出手段の出
力に基づいてコレットを介して半導体ダイに設定手段に
よって設定されたボンディング加圧力を加える加圧手段
とを備えたことを特徴とする。
と、真空を利用して半導体ダイを前記コレットに吸着さ
せる吸着手段と、コレットを水平移動させる水平移動手
段と、コレットを上下動させる上下動手段と、コレット
に吸着された半導体ダイが上下動手段によって下降させ
られているときに、所定位置に載置される半導体リード
フレームのボンディング面と半導体ダイの下面との接触
を検出する検出手段と、半導体ダイの大きさに応じたボ
ンディング加圧力を設定する設定手段と、検出手段の出
力に基づいてコレットを介して半導体ダイに設定手段に
よって設定されたボンディング加圧力を加える加圧手段
とを備えたことを特徴とする。
第２の発明によるダイボンディング装置は、コレット
と、垂直方向に動作するコレットヘッドと、このコレッ
トヘッドに取付けられ、下端にコレットが取付けられた
コレットシャフトと、このコレットシャフトに設けら
れ、コレットシャフトの落下を防止するストッパと、真
空を利用して半導体ダイをコレットに吸着させる吸着手
段と、コレットヘッドを水平移動させる水平移動手段
と、コレットヘッドを上下動させる上下動手段と、電磁
力を用いてコレットに下向きの力を印加する印加手段
と、この印加手段によって印加される下向きの力の大き
さおよび印加のタイミングを制御する制御手段とを備え
たことを特徴とする。
と、垂直方向に動作するコレットヘッドと、このコレッ
トヘッドに取付けられ、下端にコレットが取付けられた
コレットシャフトと、このコレットシャフトに設けら
れ、コレットシャフトの落下を防止するストッパと、真
空を利用して半導体ダイをコレットに吸着させる吸着手
段と、コレットヘッドを水平移動させる水平移動手段
と、コレットヘッドを上下動させる上下動手段と、電磁
力を用いてコレットに下向きの力を印加する印加手段
と、この印加手段によって印加される下向きの力の大き
さおよび印加のタイミングを制御する制御手段とを備え
たことを特徴とする。
（作 用） このように構成された第１の発明によるダイボンディン
グ装置において、コレットを水平移動手段および上下動
手段によって半導体ダイが載置されている所定位置まで
移動させる。そして、上下動手段によってコレットを下
降させ、コレットの吸着面を半導体ダイの上面と接触さ
せる。次に真空を利用して吸着手段によって半導体ダイ
をコレットに吸着させ、上下動手段および水平移動手段
によって半導体ダイを吸着したコレットが所定位置に載
置される半導体リードフレームのボンディング面の真上
の位置するようにする。そして、上下動手段によって半
導体ダイを吸着したコレットを下降させ、半導体リード
フレームのボンディング面と半導体ダイの下面（接合
面）を接触させる。この接触は検出手段によって検出さ
れる。
グ装置において、コレットを水平移動手段および上下動
手段によって半導体ダイが載置されている所定位置まで
移動させる。そして、上下動手段によってコレットを下
降させ、コレットの吸着面を半導体ダイの上面と接触さ
せる。次に真空を利用して吸着手段によって半導体ダイ
をコレットに吸着させ、上下動手段および水平移動手段
によって半導体ダイを吸着したコレットが所定位置に載
置される半導体リードフレームのボンディング面の真上
の位置するようにする。そして、上下動手段によって半
導体ダイを吸着したコレットを下降させ、半導体リード
フレームのボンディング面と半導体ダイの下面（接合
面）を接触させる。この接触は検出手段によって検出さ
れる。
一方、半導体ダイの大きさに応じたボンディング加圧力
が設定手段によって設定される。そして、検出手段の出
力に基づいて、設定手段によって設定されたボンディン
グ加圧力がコレットを介して上記半導体ダイに加えられ
る。加圧力が印加されて所定時間経過すると半導体ダイ
が半導体リードフレーム上に接合される。そしてコレッ
トを上下動手段によって上昇させ、吸着すべき次の半導
体ダイが載置されている所定の位置まで水平移動手段に
よって移動させ、前述の動作を繰り返す。
が設定手段によって設定される。そして、検出手段の出
力に基づいて、設定手段によって設定されたボンディン
グ加圧力がコレットを介して上記半導体ダイに加えられ
る。加圧力が印加されて所定時間経過すると半導体ダイ
が半導体リードフレーム上に接合される。そしてコレッ
トを上下動手段によって上昇させ、吸着すべき次の半導
体ダイが載置されている所定の位置まで水平移動手段に
よって移動させ、前述の動作を繰り返す。
本発明のダイボンディング装置は、半導体ダイの大き
さ、すなわち品種に応じてダイボンディング加圧力を変
えてダイボンディングを行うことができ、これにより多
品種生産に好適なものとなる。
さ、すなわち品種に応じてダイボンディング加圧力を変
えてダイボンディングを行うことができ、これにより多
品種生産に好適なものとなる。
また、このように構成された第２の発明によるダイボン
ディング装置において、コレットを介して半導体ダイに
下向きの力、すなわちボンディング加圧力が印加手段に
よって印加される。そしてこのボンディング加圧力の大
きさおよび印加のタイミングが制御手段によって制御さ
れることにより本発明のダイボンディング装置は、半導
体ダイの大きさ、すなわち品種に応じてダイボンディン
グ加圧力を変えてダイボンディングを行うことができ、
これにより多品種生産に好適なものとなる。
ディング装置において、コレットを介して半導体ダイに
下向きの力、すなわちボンディング加圧力が印加手段に
よって印加される。そしてこのボンディング加圧力の大
きさおよび印加のタイミングが制御手段によって制御さ
れることにより本発明のダイボンディング装置は、半導
体ダイの大きさ、すなわち品種に応じてダイボンディン
グ加圧力を変えてダイボンディングを行うことができ、
これにより多品種生産に好適なものとなる。
（実施例） 第１図と第２図を用いて第１の発明によるダイボンディ
ング装置の実施例を説明する。第１図においてアーム４
の先端部に設けられる第4aにモータ22が取り付けられて
いる。このモータ22の回転軸22aにねじ23が直結され、
回転軸22aと一体となって回転する。このねじ23にはコ
レットヘッド26がねじ結合され、ねじ23の回動によって
アーム４の先端部に設けられるガイド軸4bに沿って上下
動するように設けられている。そして、このコレットヘ
ッド26の本体部26aに垂直方向に貫通穴が設けられ、こ
の貫通穴に、エアブアリング21が取り付けられている。
このエアベアリング21に、コレットシィフト27が上下方
向に滑動できるように貫入されている。なお、このエア
ベアリング21には、コレットヘッド26の本体部26aの中
央部の外側に取り付けられる配管46を介して空気が供給
される。このコレットシャフト27の上部にストッパ９が
設けられ、下部には半導体ダイ14を吸着するコレット12
が取り付けられている。また、コレットシャフト27の下
部近傍にバネ受け部27aが設けられている。そしてこの
バネ受け部27aとコレットヘッド26の本体部26aの下面と
の間に、コレット12に吸着された半導体ダイ14にボンデ
ィング加圧力を印加できるようにバネ20が設けられてい
る。なお、コレットヘッド26の上部にギャップセンサ24
が設けられ、コレット12に吸着された半導体ダイ14の接
着面（下面）と、半導体リードフレーム13の所定位置に
塗着されたペースト19の上面との接触を検出する。そし
て、ボンディング時以外はギャップセンサ24の上面（検
知部）とストッパ９が接触した状態となっている。
ング装置の実施例を説明する。第１図においてアーム４
の先端部に設けられる第4aにモータ22が取り付けられて
いる。このモータ22の回転軸22aにねじ23が直結され、
回転軸22aと一体となって回転する。このねじ23にはコ
レットヘッド26がねじ結合され、ねじ23の回動によって
アーム４の先端部に設けられるガイド軸4bに沿って上下
動するように設けられている。そして、このコレットヘ
ッド26の本体部26aに垂直方向に貫通穴が設けられ、こ
の貫通穴に、エアブアリング21が取り付けられている。
このエアベアリング21に、コレットシィフト27が上下方
向に滑動できるように貫入されている。なお、このエア
ベアリング21には、コレットヘッド26の本体部26aの中
央部の外側に取り付けられる配管46を介して空気が供給
される。このコレットシャフト27の上部にストッパ９が
設けられ、下部には半導体ダイ14を吸着するコレット12
が取り付けられている。また、コレットシャフト27の下
部近傍にバネ受け部27aが設けられている。そしてこの
バネ受け部27aとコレットヘッド26の本体部26aの下面と
の間に、コレット12に吸着された半導体ダイ14にボンデ
ィング加圧力を印加できるようにバネ20が設けられてい
る。なお、コレットヘッド26の上部にギャップセンサ24
が設けられ、コレット12に吸着された半導体ダイ14の接
着面（下面）と、半導体リードフレーム13の所定位置に
塗着されたペースト19の上面との接触を検出する。そし
て、ボンディング時以外はギャップセンサ24の上面（検
知部）とストッパ９が接触した状態となっている。
次に実施例の作用を説明する。アーム４が上下動および
水平移動させられて、コレット12が所定位置に載置され
ている半導体ウェハ（図示していない）上の吸着すべき
半導体ダイ14の真上に位置しているものとする。この時
アーム４を下降させて行くとコレット12が半導体ダイ14
に近づいて、コレット12の吸着面（下面）と半導体ダイ
14の上面が接触し、コレット12、すなわちコレットシャ
フト27は停止する。しかしアーム４が停止しないため、
コレットヘッド26の上部に設けられたギャップセンサ24
も停止せず下降する。すると、ストップ９とギャップセ
ンサ24との間に隙間が生じ、ギャップセンサ24はOFF信
号を発する。OFF信号が発せられるとアーム４は停止す
る。そしてコレットシャフト27の内部に軸方向に沿って
設けられた貫通穴部の空気を抜いて真空にすると、半導
体ダイ14がコレット12に吸着される。つぎにアーム４を
上昇および水平移動させ、コレット12に吸着された半導
体ダイ14がバックアップホルダ16上に載置されている半
導体リードフレーム13上の所定位置に塗着されたペース
ト19の真上に位置するようにする。そしてアーム４を下
降させて行くと、コレット12に吸着された半導体ダイ14
の下面（接着面）が半導体リードフレーム13上に塗着さ
れたペースト19の上面と接触する。そして更にアーム４
が下降すると前述したと同様にギャップセンサ24とスト
ッパ９が接触しなくなり、OFF信号がギャップセンサ24
から発せられ、アーム４が停止する。この時、モータ22
を回転させると、ねじ23も回転し、コレットヘッド26が
アーム４の先端部のガイド軸4bに沿って下降し、バネ20
が圧縮され、バネ20に圧縮力が作用する。この圧縮力の
反作用によって半導体ダイ14がコレット12を介して半導
体リードフレーム13上に加圧され、ボンディングが行わ
れる。この時の加圧力はコレットヘッド26の下降ストロ
ーク、すなわちモータ22の回転角度によって決まる。し
たがって、半導体ダイ14の品種、あるいは大きさに応じ
てボンディング加圧力を予め設定しておき、この設定さ
れたボンディング加圧力に基づいて、モータ22の回転角
度を制御すれば、設定されたボンディング加圧力が半導
体ダイ14に加えられることになる。これらの加圧制御工
程を第２図にブロックで示す。半導体ダイ14の品種デー
タ、および加圧力データを予め入力機構30に入力してお
く。一方ギャップセンサ24からなる接触検出機構40によ
って、コレット12に吸着された半導体ダイ14の接着面
（下面）と半導体リードフレーム13上の所定位置に塗着
されたペースト19の上面との接触が検出される。そして
この接触検出機構40の出力41と、データ入力機構30の出
力、すなわち品種データ35および加圧データ36に基づい
て、演算装置31によってコレットヘッド26の下降ストロ
ーク、あるいはモータ22の回転角度37が演算され、この
演算された下降ストローク、あるいは回転角度37に基づ
いて、バネ20からなるボンディング加圧機構32によって
半導体ダイ14に所定のボンディング加圧力が加えられ
る。
水平移動させられて、コレット12が所定位置に載置され
ている半導体ウェハ（図示していない）上の吸着すべき
半導体ダイ14の真上に位置しているものとする。この時
アーム４を下降させて行くとコレット12が半導体ダイ14
に近づいて、コレット12の吸着面（下面）と半導体ダイ
14の上面が接触し、コレット12、すなわちコレットシャ
フト27は停止する。しかしアーム４が停止しないため、
コレットヘッド26の上部に設けられたギャップセンサ24
も停止せず下降する。すると、ストップ９とギャップセ
ンサ24との間に隙間が生じ、ギャップセンサ24はOFF信
号を発する。OFF信号が発せられるとアーム４は停止す
る。そしてコレットシャフト27の内部に軸方向に沿って
設けられた貫通穴部の空気を抜いて真空にすると、半導
体ダイ14がコレット12に吸着される。つぎにアーム４を
上昇および水平移動させ、コレット12に吸着された半導
体ダイ14がバックアップホルダ16上に載置されている半
導体リードフレーム13上の所定位置に塗着されたペース
ト19の真上に位置するようにする。そしてアーム４を下
降させて行くと、コレット12に吸着された半導体ダイ14
の下面（接着面）が半導体リードフレーム13上に塗着さ
れたペースト19の上面と接触する。そして更にアーム４
が下降すると前述したと同様にギャップセンサ24とスト
ッパ９が接触しなくなり、OFF信号がギャップセンサ24
から発せられ、アーム４が停止する。この時、モータ22
を回転させると、ねじ23も回転し、コレットヘッド26が
アーム４の先端部のガイド軸4bに沿って下降し、バネ20
が圧縮され、バネ20に圧縮力が作用する。この圧縮力の
反作用によって半導体ダイ14がコレット12を介して半導
体リードフレーム13上に加圧され、ボンディングが行わ
れる。この時の加圧力はコレットヘッド26の下降ストロ
ーク、すなわちモータ22の回転角度によって決まる。し
たがって、半導体ダイ14の品種、あるいは大きさに応じ
てボンディング加圧力を予め設定しておき、この設定さ
れたボンディング加圧力に基づいて、モータ22の回転角
度を制御すれば、設定されたボンディング加圧力が半導
体ダイ14に加えられることになる。これらの加圧制御工
程を第２図にブロックで示す。半導体ダイ14の品種デー
タ、および加圧力データを予め入力機構30に入力してお
く。一方ギャップセンサ24からなる接触検出機構40によ
って、コレット12に吸着された半導体ダイ14の接着面
（下面）と半導体リードフレーム13上の所定位置に塗着
されたペースト19の上面との接触が検出される。そして
この接触検出機構40の出力41と、データ入力機構30の出
力、すなわち品種データ35および加圧データ36に基づい
て、演算装置31によってコレットヘッド26の下降ストロ
ーク、あるいはモータ22の回転角度37が演算され、この
演算された下降ストローク、あるいは回転角度37に基づ
いて、バネ20からなるボンディング加圧機構32によって
半導体ダイ14に所定のボンディング加圧力が加えられ
る。
なお、加圧制御は、第３図な示すように行っても良い。
すなわち、バックアップホルダ16に載置される半導体リ
ードフレーム13の側面近傍に置かれたカメラ25から出力
される映像信号38を画像処理装置33において処理し、処
理したデータ39を演算装置31に送ることによって、現在
のペースト19の厚さを割り出す。そしてこのペースト19
の厚さと、データ入力機構30出力、すなわち品種データ
35および加圧力データ36に基づいて、コレットヘッド26
の下降ストロークあるいはモータ22お回転角度37が演算
装置31によって演算され、ボンディング加圧機構32に送
られてボンディング加圧力の制御が行われる。
すなわち、バックアップホルダ16に載置される半導体リ
ードフレーム13の側面近傍に置かれたカメラ25から出力
される映像信号38を画像処理装置33において処理し、処
理したデータ39を演算装置31に送ることによって、現在
のペースト19の厚さを割り出す。そしてこのペースト19
の厚さと、データ入力機構30出力、すなわち品種データ
35および加圧力データ36に基づいて、コレットヘッド26
の下降ストロークあるいはモータ22お回転角度37が演算
装置31によって演算され、ボンディング加圧機構32に送
られてボンディング加圧力の制御が行われる。
以上述べたことにより本実施例のダイボンディング装置
は、半導体ダイの品種、あるいは大きさに応じたボンデ
ィング加圧力を半導体ダイに加えることができ、これに
より多品種生産に好適なものとなる。
は、半導体ダイの品種、あるいは大きさに応じたボンデ
ィング加圧力を半導体ダイに加えることができ、これに
より多品種生産に好適なものとなる。
次に第４図および第５図を用いて第２の発明によるダイ
ボンディング装置の実施例を説明する。第４図におい
て、アーム４の先端にコレットヘッド26の一端が取り付
けられているコレットヘッド26の本体部26aには垂直方
向に貫通穴が設けられ、この貫通穴にエアベアリング21
が嵌入されている。そしてこのエアベアリング21に上下
方向に滑動できるようにコレットシャフト27が貫入され
ている。なお、エアベアリング21には、コレットヘッド
26の本体部26aの中央部の外側に取り付けられる配管46
より空気が供給される。またコレットシャフト27の下部
には、半導体ダイ14を吸着するコレット12が取り付けら
れ、上部にはストッパ９が取り付けられている。そして
コレットヘッド26の上面に設けられた凹部に、ボイスコ
イルモータのマグネット43が納置されている。一方、ス
トッパ９の下面の中央部には、コレットシャフト27を取
り囲んで、かつマグネット43の内側に内地されるように
ボイスコイルモータのコイル44が設けられている。
ボンディング装置の実施例を説明する。第４図におい
て、アーム４の先端にコレットヘッド26の一端が取り付
けられているコレットヘッド26の本体部26aには垂直方
向に貫通穴が設けられ、この貫通穴にエアベアリング21
が嵌入されている。そしてこのエアベアリング21に上下
方向に滑動できるようにコレットシャフト27が貫入され
ている。なお、エアベアリング21には、コレットヘッド
26の本体部26aの中央部の外側に取り付けられる配管46
より空気が供給される。またコレットシャフト27の下部
には、半導体ダイ14を吸着するコレット12が取り付けら
れ、上部にはストッパ９が取り付けられている。そして
コレットヘッド26の上面に設けられた凹部に、ボイスコ
イルモータのマグネット43が納置されている。一方、ス
トッパ９の下面の中央部には、コレットシャフト27を取
り囲んで、かつマグネット43の内側に内地されるように
ボイスコイルモータのコイル44が設けられている。
また、ストッパ９は、コレットヘッド26本体部26aの下
部の外側に設けられたバネ支え60aおよび60bとそれぞれ
ばね20aおよび20bによって連結されている。なお、コレ
ットヘッド26の本体部26aの上部には、コレット12に吸
着される半導体ダイ14と半導体リードフレーム13上に塗
着されたペースト19との接触を検知するためにギャップ
センサ24が設けられ、通常の状態ではストッパ９と接触
している。そして、コイル44に適切な電流を流すことに
よって電磁力を発生させコレットシャフト27、すなわち
コレット12を上下動させる。
部の外側に設けられたバネ支え60aおよび60bとそれぞれ
ばね20aおよび20bによって連結されている。なお、コレ
ットヘッド26の本体部26aの上部には、コレット12に吸
着される半導体ダイ14と半導体リードフレーム13上に塗
着されたペースト19との接触を検知するためにギャップ
センサ24が設けられ、通常の状態ではストッパ９と接触
している。そして、コイル44に適切な電流を流すことに
よって電磁力を発生させコレットシャフト27、すなわち
コレット12を上下動させる。
次に第５図のタイミチャートを参照して実施例の作用を
説明する。コイル43に適切な電流を流して、電磁力fiを
発生させ、コレットシャフト27を下降させてストッパ９
がギャップセンサ24に接触するようにしておく。そし
て、今（時刻t0）、コレット12が所定位置に置かれた半
導体ウェハ（図置していない）上の吸着すべき半導体ダ
イの真上の位置にあるものとする。この時、アーム４を
Z1だけ下降させるとコレットヘッド26およびコレットシ
ャフト27も一緒に下降し、コレット12が吸着すべき半導
体ダイ14と接触する（時刻t1）。次にコイル43に働く電
磁力Ｆをf1（＜fi）まで減少させ（時刻t2）、コレット
12が半導体ダイ14に衝突するときの衝撃力を小さくす
る。そしてコレットシャフト27の上部に接続される配管
45を通してコレットシャフト27の貫通穴の空気を抜くと
ともに、半導体ダイ14を下から押してやる（時刻t3）。
すると半導体ダイ14がコレット12の吸着面に吸着され
る。この時、半導体ダイ14が下から押されるとコレット
シャフト27は上向きに押されて、若干上昇し、ストッパ
９がギャップセンサ24と接触しなくなり、ギャップセン
サ24はOFFされる。次に所定時間T1（＝t4−t2）経過す
ると、電磁力Ｆを増加させる。そして電磁力Ｆが設定置
fiになる（時刻t5）と、コレット12、すなわちアーム４
を上昇させる。この時ギャップセンサ24は、ストッパ９
と接触し、ON状態となっている。上昇途中（時刻t6）で
アーム４を水平移動させる。更に上昇させて所定の高さ
まで上昇しても水平移動は停止しない（時刻t7）。そし
て時刻t8になると再び下降し始める。そして、半導体ダ
イ14を吸着したコレット12が所定位置に載置される半導
体リードフレーム13上のボンディング面に塗着されるペ
ースト19の真上にくると、アーム４の水平移動が停止す
る（時刻t9）。この時、アーム４は下降し続けている
が、コレト12に吸着された半導体ダイ14が半導体リード
フレーム13上のボンディング面に接近すると（時刻
t10）、アーム４の下降速度を減少させるとともにコイ
ル43に作用する電磁力ＦもfiからF2（＜fi）に減少させ
る（時刻t11）。そして、更にアーム４が下降すると半
導体ダイ14の下面（接着面）がペースト19の上面に接触
し（時刻t12）、ストッパ９とギャップセンサ24との間
に隙間が生じ、ギャップセンサ24がOFFされる（時刻
t12）。この時、コイル43に使用する電磁力はf2から所
定のボンディング加圧力f3に変化させられる。この加圧
力f3は半導体ダイ14の品種、あるいは大きさに応じて予
め設定した値である。そして、更にストロークZ3だけア
ーム４が下降すると、アーム４は停止し、ボンディング
加圧力f3がコレット12を介して半導体ダイ14に所定時間
T2印加され、半導体ダイ14が半導体リードフレーム13上
にボンディングされる。所定時間T2が経過すると（時刻
t15）、コレット12すなわちアーム４は上昇させられる
とともに、コイル43に作用する電磁力Ｆが設定値fiに戻
される（時刻t16）。するとギャップセンサ24はストッ
パ９と接触し、ON状態となる。そして上昇途中（時刻t
17）で再びアーム４は水平移動させられる。ストローク
Z2だけ上昇すると（時刻t18）、アーム４の上昇動作は
停止するが水平移動は停止せず、次に吸着すべき半導体
ダイの真上コレット12が移動したときに水平移動を停止
する（時刻t19）。そして、前述の動作が繰り返され
る。
説明する。コイル43に適切な電流を流して、電磁力fiを
発生させ、コレットシャフト27を下降させてストッパ９
がギャップセンサ24に接触するようにしておく。そし
て、今（時刻t0）、コレット12が所定位置に置かれた半
導体ウェハ（図置していない）上の吸着すべき半導体ダ
イの真上の位置にあるものとする。この時、アーム４を
Z1だけ下降させるとコレットヘッド26およびコレットシ
ャフト27も一緒に下降し、コレット12が吸着すべき半導
体ダイ14と接触する（時刻t1）。次にコイル43に働く電
磁力Ｆをf1（＜fi）まで減少させ（時刻t2）、コレット
12が半導体ダイ14に衝突するときの衝撃力を小さくす
る。そしてコレットシャフト27の上部に接続される配管
45を通してコレットシャフト27の貫通穴の空気を抜くと
ともに、半導体ダイ14を下から押してやる（時刻t3）。
すると半導体ダイ14がコレット12の吸着面に吸着され
る。この時、半導体ダイ14が下から押されるとコレット
シャフト27は上向きに押されて、若干上昇し、ストッパ
９がギャップセンサ24と接触しなくなり、ギャップセン
サ24はOFFされる。次に所定時間T1（＝t4−t2）経過す
ると、電磁力Ｆを増加させる。そして電磁力Ｆが設定置
fiになる（時刻t5）と、コレット12、すなわちアーム４
を上昇させる。この時ギャップセンサ24は、ストッパ９
と接触し、ON状態となっている。上昇途中（時刻t6）で
アーム４を水平移動させる。更に上昇させて所定の高さ
まで上昇しても水平移動は停止しない（時刻t7）。そし
て時刻t8になると再び下降し始める。そして、半導体ダ
イ14を吸着したコレット12が所定位置に載置される半導
体リードフレーム13上のボンディング面に塗着されるペ
ースト19の真上にくると、アーム４の水平移動が停止す
る（時刻t9）。この時、アーム４は下降し続けている
が、コレト12に吸着された半導体ダイ14が半導体リード
フレーム13上のボンディング面に接近すると（時刻
t10）、アーム４の下降速度を減少させるとともにコイ
ル43に作用する電磁力ＦもfiからF2（＜fi）に減少させ
る（時刻t11）。そして、更にアーム４が下降すると半
導体ダイ14の下面（接着面）がペースト19の上面に接触
し（時刻t12）、ストッパ９とギャップセンサ24との間
に隙間が生じ、ギャップセンサ24がOFFされる（時刻
t12）。この時、コイル43に使用する電磁力はf2から所
定のボンディング加圧力f3に変化させられる。この加圧
力f3は半導体ダイ14の品種、あるいは大きさに応じて予
め設定した値である。そして、更にストロークZ3だけア
ーム４が下降すると、アーム４は停止し、ボンディング
加圧力f3がコレット12を介して半導体ダイ14に所定時間
T2印加され、半導体ダイ14が半導体リードフレーム13上
にボンディングされる。所定時間T2が経過すると（時刻
t15）、コレット12すなわちアーム４は上昇させられる
とともに、コイル43に作用する電磁力Ｆが設定値fiに戻
される（時刻t16）。するとギャップセンサ24はストッ
パ９と接触し、ON状態となる。そして上昇途中（時刻t
17）で再びアーム４は水平移動させられる。ストローク
Z2だけ上昇すると（時刻t18）、アーム４の上昇動作は
停止するが水平移動は停止せず、次に吸着すべき半導体
ダイの真上コレット12が移動したときに水平移動を停止
する（時刻t19）。そして、前述の動作が繰り返され
る。
本実施例のダイボディング装置によれば半導体ダイ14の
品種、あるいは大きさに応じたボンディング加圧力を半
導体ダイに加えることができ、これにより多品種生産に
好適なものとなる。また、半導体ダイ14を吸着するとき
に、電磁力Ｆを加減することによりコレット12と半導体
ダイ14との衝突による衝撃力を小さくすることができ、
これにより吸着時の半導体ダイ14の欠け、割れの発生を
防止することができるとともに生産性を上げることがで
きる。
品種、あるいは大きさに応じたボンディング加圧力を半
導体ダイに加えることができ、これにより多品種生産に
好適なものとなる。また、半導体ダイ14を吸着するとき
に、電磁力Ｆを加減することによりコレット12と半導体
ダイ14との衝突による衝撃力を小さくすることができ、
これにより吸着時の半導体ダイ14の欠け、割れの発生を
防止することができるとともに生産性を上げることがで
きる。
［発明の効果］ 本発明によれば多品種生産に好適なダイボンディング装
置を提供することができる。
置を提供することができる。
第１図は本発明によるダイボンディング装置の第１の実
施例の要部の構造図、第２図は第１図に示す第１の実施
例の加圧力制御の一例を示すブロック図、第３図は第１
図に示す第１の実施例の加圧力制御の他の例を示すブロ
ック図、第４図は本発明によるダイボンディング装置の
第２の実施例の要部の構造図、第５図は第４図に示す第
２の実施例の作用を説明するタイムチャート、第６図は
従来のダイボンディング装置の構造図、第７図は従来の
ダイボンディング装置の作用を説明するタイムチャート
である。 ４……アーム、９……ストッパ、12……コレット、13…
…半導体リードフレーム、14……半導体ダイ、19……ペ
ースト、20……バネ、21……エアベアリング、22……モ
ータ、23……ねじ、24……ギャップセンサ、25……カメ
ラ、26……コレットヘッド、27……コレットシャフト、
32……ボンディング加圧機構。
施例の要部の構造図、第２図は第１図に示す第１の実施
例の加圧力制御の一例を示すブロック図、第３図は第１
図に示す第１の実施例の加圧力制御の他の例を示すブロ
ック図、第４図は本発明によるダイボンディング装置の
第２の実施例の要部の構造図、第５図は第４図に示す第
２の実施例の作用を説明するタイムチャート、第６図は
従来のダイボンディング装置の構造図、第７図は従来の
ダイボンディング装置の作用を説明するタイムチャート
である。 ４……アーム、９……ストッパ、12……コレット、13…
…半導体リードフレーム、14……半導体ダイ、19……ペ
ースト、20……バネ、21……エアベアリング、22……モ
ータ、23……ねじ、24……ギャップセンサ、25……カメ
ラ、26……コレットヘッド、27……コレットシャフト、
32……ボンディング加圧機構。
フロントページの続き (72)発明者 平瀬 清人 福岡県北九州市小倉北区下到津１―10―１ 株式会社東芝北九州工場内 (72)発明者 原田 利文 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１ 東芝マイコンエンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−131847（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−7445（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−211949（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−189300（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】コレットと、垂直方向に動作するコレット
ヘッドと、このコレットヘッドに取付けられ、下端に前
記コレットが取付けられたコレットシャフトと、このコ
レットシャフトに設けられ、前記コレットシャフトの落
下を防止するストッパと、真空を利用して半導体ダイを
前記コレットに吸着させる吸着手段と、前記コレットヘ
ッドを水平移動させる水平移動手段と、前記コレットヘ
ッドを上下動させる上下動手段と、バネ力と電磁力を組
合せて前記コレットに前記半導体ダイの押圧力となる下
向の力を印加する印加手段と、この印加手段によって印
加される下向きの力の大きさおよび印加のタイミングを
制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記半
導体ダイが前記吸着手段によって前記コレットに吸着さ
れる場合、および吸着された半導体ダイが半導体リード
フレームのボンディング面に接近した場合、ならびに吸
着された半導体のダイの下面が前記ボンディング面上の
ペーストの上面に接触した場合に、前記印加手段によっ
て印加される前記半導体ダイの押圧力となる下向きの力
の大きさを、水平移動時に比べて各々小さくなるように
制御するとともに、印加される下向きの力の大きさを変
える場合には前記力の大きさを各々所定の時間間隔で連
続的に増加または減少させるように制御することを特徴
とするダイボンディング装置。 - 【請求項２】前記制御手段は、前記コレットに吸着され
た半導体ダイの下面が半導体リードフレームのボンディ
ング面と接触したことの検知結果に基づいて前記下向き
の力の大きさを変えることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のダイボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62271537A JPH07101697B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | ダイボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62271537A JPH07101697B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | ダイボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112738A JPH01112738A (ja) | 1989-05-01 |
| JPH07101697B2 true JPH07101697B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=17501444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62271537A Expired - Lifetime JPH07101697B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | ダイボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101697B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101649073B1 (ko) * | 2015-03-26 | 2016-08-18 | (주) 예스티 | 반도체 패키지 제조를 위한 본딩 장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001156085A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Nec Corp | 搭載方法、搭載装置及び搭載処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6021533A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-02 | Toshiba Corp | 回路素子の圧着方法およびその装置 |
| JPS60178637A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング装置 |
| JPS61131847A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-19 | Nec Kansai Ltd | ワ−ク供給方法 |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP62271537A patent/JPH07101697B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101649073B1 (ko) * | 2015-03-26 | 2016-08-18 | (주) 예스티 | 반도체 패키지 제조를 위한 본딩 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01112738A (ja) | 1989-05-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |