JP2762081B2 - 半導体製造装置による加工方法 - Google Patents
半導体製造装置による加工方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ダイボンデイング装置、ペースト滴下装置
及びワイヤボンデイング装置等の半導体製造装置による
加工方法に関する。
及びワイヤボンデイング装置等の半導体製造装置による
加工方法に関する。
［従来の技術］ 従来の例えばダイボンデイング装置は、XY方向に移動
するXYテーブルに上下動ブロツクが上下動自在に設けら
れ、この上下動ブロツクにコレツトが取付けられてお
り、更にXYテーブルにダイボンデイング位置を検出する
カメラが取付けられている。
するXYテーブルに上下動ブロツクが上下動自在に設けら
れ、この上下動ブロツクにコレツトが取付けられてお
り、更にXYテーブルにダイボンデイング位置を検出する
カメラが取付けられている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、XYテーブルにカメラが取付けられて
いるので、カメラの焦点調整は手動でカメラを上下動さ
せて行わなければならなく、調整操作に多大の時間を要
すると共に、微調整ができないという問題点があった。
また一つの基板に複数個のダイをボンデイングする場
合、前記複数のボンデイング部の高さが異なると、カメ
ラの焦点がぼけ、ボンデイング位置を高精度に検出でき
ないという問題点があった。
いるので、カメラの焦点調整は手動でカメラを上下動さ
せて行わなければならなく、調整操作に多大の時間を要
すると共に、微調整ができないという問題点があった。
また一つの基板に複数個のダイをボンデイングする場
合、前記複数のボンデイング部の高さが異なると、カメ
ラの焦点がぼけ、ボンデイング位置を高精度に検出でき
ないという問題点があった。
本発明の目的は、カメラの焦点を極めて容易に、かつ
高精度で調整できると共に、加工部の高さが異なっても
カメラの焦点を自動的に合せることができる半導体製造
装置による加工方法を提供することにある。
高精度で調整できると共に、加工部の高さが異なっても
カメラの焦点を自動的に合せることができる半導体製造
装置による加工方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するための本発明の手段は、Ｘ軸方向
及びＹ軸方向に移動可能に設けられた水平動ブロック
と、この水平動ブロックに上下動可能に設けられた上下
動ブロックと、前記水平動ブロックをＸ軸方向及びＹ軸
方向に駆動するＸ軸モータ及びＹ軸モータと、前記上下
動ブロックを上下駆動するＺ軸モータと、前記上下動ブ
ロックに保持された加工工具と、この加工工具より一定
距離オフセツトして配設されたカメラとを備え、加工時
における加工部の位置ずれ検出時には、まずＸ軸モータ
及びＹ軸モータを駆動してカメラを加工部の上方に位置
させて加工部の位置ずれを検出し、次の実際の加工時に
は、前記オフセット量と前記加工部の位置ずれ補正量に
従って前記水平動ブロックを水平移動させて前記加工工
具を実際の加工部の上方に導き、続いて前記Ｚ軸モータ
が駆動されて前記水平動ブロックが下降して加工工具で
実際の加工部に加工を施す半導体製造装置による加工方
法において、前記カメラは加工工具を保持する前記上下
動ブロックに取付けられ、予め前記Ｘ軸モータ及びＹ軸
モータを駆動して前記水平動ブロックを水平移動させて
前記カメラを加工部の上方に位置させ、続いてＺ軸モー
タを駆動してカメラを上下動させて焦点を合わせ、この
焦点が合ったカメラの上下位置を基準カメラ位置とし、
加工時における加工部の位置ずれ検出時には、カメラを
加工部の上方に位置させるだけでなく、Ｚ軸モータを駆
動して予め設定された前記基準カメラ位置に位置させて
加工部の位置ずれを検出することを特徴とする。
及びＹ軸方向に移動可能に設けられた水平動ブロック
と、この水平動ブロックに上下動可能に設けられた上下
動ブロックと、前記水平動ブロックをＸ軸方向及びＹ軸
方向に駆動するＸ軸モータ及びＹ軸モータと、前記上下
動ブロックを上下駆動するＺ軸モータと、前記上下動ブ
ロックに保持された加工工具と、この加工工具より一定
距離オフセツトして配設されたカメラとを備え、加工時
における加工部の位置ずれ検出時には、まずＸ軸モータ
及びＹ軸モータを駆動してカメラを加工部の上方に位置
させて加工部の位置ずれを検出し、次の実際の加工時に
は、前記オフセット量と前記加工部の位置ずれ補正量に
従って前記水平動ブロックを水平移動させて前記加工工
具を実際の加工部の上方に導き、続いて前記Ｚ軸モータ
が駆動されて前記水平動ブロックが下降して加工工具で
実際の加工部に加工を施す半導体製造装置による加工方
法において、前記カメラは加工工具を保持する前記上下
動ブロックに取付けられ、予め前記Ｘ軸モータ及びＹ軸
モータを駆動して前記水平動ブロックを水平移動させて
前記カメラを加工部の上方に位置させ、続いてＺ軸モー
タを駆動してカメラを上下動させて焦点を合わせ、この
焦点が合ったカメラの上下位置を基準カメラ位置とし、
加工時における加工部の位置ずれ検出時には、カメラを
加工部の上方に位置させるだけでなく、Ｚ軸モータを駆
動して予め設定された前記基準カメラ位置に位置させて
加工部の位置ずれを検出することを特徴とする。
［作用］ 加工工具が取付けられた上下動ブロツクにカメラが取
付けられているので、加工工具を上下動させるモータを
駆動することによりカメラは上下動する。そこで、モー
タに入力するパルス数によって微調整でもってカメラの
焦点は容易に合せられる。また加工部の高さが変った場
合には、その高さの差に応じた量だけモータを駆動させ
て加工部とカメラとの距離を一定に保つことができ、焦
点は自動的に合せられる。焦点合せが終わった後は、加
工動作に入る。加工動作は、まずカメラが加工部の上方
の基準カメラ位置に移動して加工部の位置ずれを検出す
る。位置ずれがある場合は、演算部に記憶された位置が
補正される。次にオフセット量と加工部の位置ずれ補正
量に従って水平動ブロック及び上下動ブロックが水平移
動させられ、加工工具が実際の加工部の上方に導かれ
る。そして、続いて加工工具が下降して加工部への加工
が施される。
付けられているので、加工工具を上下動させるモータを
駆動することによりカメラは上下動する。そこで、モー
タに入力するパルス数によって微調整でもってカメラの
焦点は容易に合せられる。また加工部の高さが変った場
合には、その高さの差に応じた量だけモータを駆動させ
て加工部とカメラとの距離を一定に保つことができ、焦
点は自動的に合せられる。焦点合せが終わった後は、加
工動作に入る。加工動作は、まずカメラが加工部の上方
の基準カメラ位置に移動して加工部の位置ずれを検出す
る。位置ずれがある場合は、演算部に記憶された位置が
補正される。次にオフセット量と加工部の位置ずれ補正
量に従って水平動ブロック及び上下動ブロックが水平移
動させられ、加工工具が実際の加工部の上方に導かれ
る。そして、続いて加工工具が下降して加工部への加工
が施される。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１
図、第２図及び第３図に示すように、図示しないＸ軸モ
ータでＸ軸方向（第１図で紙面に垂直方向）に駆動され
るＸテーブル１には枠体２が固定されている。枠体２に
は、Ｙ軸方向（第１図で左右方向）に伸びたＹ軸用送り
ねじ３の両端が回転自在に支承されており、Ｙ軸用送り
ねじ３の一端（第１図で左側）には枠体２に固定された
Ｙ軸モータ４の出力軸が連結されている。またＹ軸用送
りねじ３の上下には、該Ｙ軸用送りねじ３と平行な案内
部5a、6aを有するガイドレール５、６が枠体２に固定さ
れて配設されている。このガイドレール５、６の案内部
5a、6aを挟持するような形ちで水平動ブロツク７が配設
されており、この水平動ブロツ７には案内部5a、6aに沿
って移動できるようにベアリング８、９が取り付けられ
ている。前記Ｙ軸用送りねじ３には雌ねじ10が螺合され
ており、この雌ねじ10は前記水平動ブロツク７に固定さ
れている。
図、第２図及び第３図に示すように、図示しないＸ軸モ
ータでＸ軸方向（第１図で紙面に垂直方向）に駆動され
るＸテーブル１には枠体２が固定されている。枠体２に
は、Ｙ軸方向（第１図で左右方向）に伸びたＹ軸用送り
ねじ３の両端が回転自在に支承されており、Ｙ軸用送り
ねじ３の一端（第１図で左側）には枠体２に固定された
Ｙ軸モータ４の出力軸が連結されている。またＹ軸用送
りねじ３の上下には、該Ｙ軸用送りねじ３と平行な案内
部5a、6aを有するガイドレール５、６が枠体２に固定さ
れて配設されている。このガイドレール５、６の案内部
5a、6aを挟持するような形ちで水平動ブロツク７が配設
されており、この水平動ブロツ７には案内部5a、6aに沿
って移動できるようにベアリング８、９が取り付けられ
ている。前記Ｙ軸用送りねじ３には雌ねじ10が螺合され
ており、この雌ねじ10は前記水平動ブロツク７に固定さ
れている。
水平動ブロツク７には垂直の案内部15aを有するボー
ルスライドレール15が固定され、案内部15aには上下動
ブロック16が上下動自在に設けられている。また前記水
平動ブロツク７にはＺ軸モータ17が固定されており、こ
のＺ軸モータ17の出力軸には検出板18と２個の偏心カム
19、20とが固定されている。検出板18の回転位置は水平
動ブロツク７に固定されたセンサ21、22によって検出さ
れる。一方、前記上下動ブロツク16には前記偏心カム1
9、20の側方に伸びた上下駆動レバー23が固定されてお
り、上下駆動レバー23には、一方の偏心カム19の上面及
び他方の偏心カム20の下面に当接するようにピン24、25
が固定されている。また水平動ブロツク７と上下動ブロ
ツク16とには図示しない引っ張りばねが掛けられて上下
動ブロツク16が上方に付勢されており、この引っ張りば
ねによって上下動ブロツク16及びこの上下動ブロツク16
に取付けられた部材の重量軽減を図っている。
ルスライドレール15が固定され、案内部15aには上下動
ブロック16が上下動自在に設けられている。また前記水
平動ブロツク７にはＺ軸モータ17が固定されており、こ
のＺ軸モータ17の出力軸には検出板18と２個の偏心カム
19、20とが固定されている。検出板18の回転位置は水平
動ブロツク７に固定されたセンサ21、22によって検出さ
れる。一方、前記上下動ブロツク16には前記偏心カム1
9、20の側方に伸びた上下駆動レバー23が固定されてお
り、上下駆動レバー23には、一方の偏心カム19の上面及
び他方の偏心カム20の下面に当接するようにピン24、25
が固定されている。また水平動ブロツク７と上下動ブロ
ツク16とには図示しない引っ張りばねが掛けられて上下
動ブロツク16が上方に付勢されており、この引っ張りば
ねによって上下動ブロツク16及びこの上下動ブロツク16
に取付けられた部材の重量軽減を図っている。
上下動ブロツク16には第１の支持板30が固定され、こ
の支持板30の下面側には、第２の支持板31を介してコレ
ットホルダー支持板32が固定されている。コレットホル
ダー支持板32には、第４図乃至第６図に示すように、垂
直の案内部33aを有するボールスライドレール33が固定
され、案内部33aにはコレットホルダー34が上下動自在
に設けられている。またコレットホルダー支持板32には
絶縁ブツシユ35を介して接触子36が固定され、前記コレ
ットホルダー34にも前記接触子36の上面に接触するよう
に接触子37が固定されている。接触子36には端子38が固
定され、前記接触子37と電気的に導通するコレットホル
ダー支持板32には端子39が固定されている。そして、端
子39にアースされ、端子38、39には図示しない手段によ
り所定の電圧がかけられている。なお、端子39はコレッ
トホルダー支持板32と電気的に絶縁して接触子37に接続
し、端子38、39にプラス、マイナスの電圧をかけてもよ
い。
の支持板30の下面側には、第２の支持板31を介してコレ
ットホルダー支持板32が固定されている。コレットホル
ダー支持板32には、第４図乃至第６図に示すように、垂
直の案内部33aを有するボールスライドレール33が固定
され、案内部33aにはコレットホルダー34が上下動自在
に設けられている。またコレットホルダー支持板32には
絶縁ブツシユ35を介して接触子36が固定され、前記コレ
ットホルダー34にも前記接触子36の上面に接触するよう
に接触子37が固定されている。接触子36には端子38が固
定され、前記接触子37と電気的に導通するコレットホル
ダー支持板32には端子39が固定されている。そして、端
子39にアースされ、端子38、39には図示しない手段によ
り所定の電圧がかけられている。なお、端子39はコレッ
トホルダー支持板32と電気的に絶縁して接触子37に接続
し、端子38、39にプラス、マイナスの電圧をかけてもよ
い。
前記接触子37の上方に対応したコレットホルダー支持
板32の部分には荷重調整用ねじ45が螺合されており、こ
の荷重調整用ねじ45と接触子37には圧縮ばね46が装着さ
れている。前記コレットホルダー34にはコレット47が固
定されており、このコレット47の吸着孔47aに連通する
ようにコレットホルダー34にはパイプ48が固定されてい
る。パイプ48は図示しない真空ポンプに接続されてい
る。
板32の部分には荷重調整用ねじ45が螺合されており、こ
の荷重調整用ねじ45と接触子37には圧縮ばね46が装着さ
れている。前記コレットホルダー34にはコレット47が固
定されており、このコレット47の吸着孔47aに連通する
ようにコレットホルダー34にはパイプ48が固定されてい
る。パイプ48は図示しない真空ポンプに接続されてい
る。
再び第１図乃至第３図において、また前記上下動ブロ
ツク16の上端にはカメラ50を保持するカメラホルダー51
が固定されている。ここで、カメラ50の中心軸は前記コ
レット47の中心軸に対して距離Ｌだけオフセツトされて
いる。
ツク16の上端にはカメラ50を保持するカメラホルダー51
が固定されている。ここで、カメラ50の中心軸は前記コ
レット47の中心軸に対して距離Ｌだけオフセツトされて
いる。
次に作用について説明する。Ｘテーブル１が図示しな
いＸ軸モータでＸ方向に移動させられると、Ｘテーブル
１に固定された枠体２と共に水平動ブロツク７がＸ方向
に移動する。またＹ軸モータ４が駆動されると、Ｙ軸用
送にねじ３によって雌ねじ10と共に水平動ブロツク７が
Ｙ方向に移動する。即ち、水平動ブロツク７は前記した
Ｘ方向及びＹ方向の移動の組合せによって平面上の任意
の点に移動させることができる。水平動ブロツク７には
上下動ブロツク16が上下動自在に設けられているので、
上下動ブロツク16も水平動ブロツク７と共に移動する。
いＸ軸モータでＸ方向に移動させられると、Ｘテーブル
１に固定された枠体２と共に水平動ブロツク７がＸ方向
に移動する。またＹ軸モータ４が駆動されると、Ｙ軸用
送にねじ３によって雌ねじ10と共に水平動ブロツク７が
Ｙ方向に移動する。即ち、水平動ブロツク７は前記した
Ｘ方向及びＹ方向の移動の組合せによって平面上の任意
の点に移動させることができる。水平動ブロツク７には
上下動ブロツク16が上下動自在に設けられているので、
上下動ブロツク16も水平動ブロツク７と共に移動する。
またＺ軸モータ17が駆動されると、偏心カム19、20に
よってピン24、25が上下動させられるので、ピン24、25
によって上下駆動レバー23を介して上下動ブロツク16が
上下動させられる。即ち、上下動ブロツク16にはカメラ
50が固定されているので、上下動ブロツク16と共にカメ
ラ50も上下動する。また上下動ブロツク16には支持板3
0、31を介してコレットホルダー支持板32が取付けら
れ、コレットホルダー支持板32にはコレット47が固定さ
れたコレットホルダー34が上下動自在に設けられている
ので、上下動ブロツク16と共にコレット47も上下動す
る。
よってピン24、25が上下動させられるので、ピン24、25
によって上下駆動レバー23を介して上下動ブロツク16が
上下動させられる。即ち、上下動ブロツク16にはカメラ
50が固定されているので、上下動ブロツク16と共にカメ
ラ50も上下動する。また上下動ブロツク16には支持板3
0、31を介してコレットホルダー支持板32が取付けら
れ、コレットホルダー支持板32にはコレット47が固定さ
れたコレットホルダー34が上下動自在に設けられている
ので、上下動ブロツク16と共にコレット47も上下動す
る。
まずボンデイング動作に入る前にカメラ50の焦点合せ
を行う。この操作は、前記したように、Ｘ軸モータ及び
Ｙ軸モータ４を駆動させて水平動ブロツク７を水平移動
させ、カメラ50をボンデイング部の上方に位置させる。
次にデイジタルスイツチ（図示せず）を使用して一定パ
ルスを順次Ｚ軸モータ17に入力してＺ軸モータ17を駆動
させ、上下ブロツク16、即ちカメラ50を上下動させ、カ
メラ50で映し出されるモニタ画面（図示せず）を見なが
らカメラ50の焦点が合ったところでＺ軸モータ17を停止
させる。このカメラ50の焦点が合ったカメラ50の上下位
置は、基準カメラ位置として図示しない演算装置に記憶
される。
を行う。この操作は、前記したように、Ｘ軸モータ及び
Ｙ軸モータ４を駆動させて水平動ブロツク７を水平移動
させ、カメラ50をボンデイング部の上方に位置させる。
次にデイジタルスイツチ（図示せず）を使用して一定パ
ルスを順次Ｚ軸モータ17に入力してＺ軸モータ17を駆動
させ、上下ブロツク16、即ちカメラ50を上下動させ、カ
メラ50で映し出されるモニタ画面（図示せず）を見なが
らカメラ50の焦点が合ったところでＺ軸モータ17を停止
させる。このカメラ50の焦点が合ったカメラ50の上下位
置は、基準カメラ位置として図示しない演算装置に記憶
される。
次にコレット47の高さ（レベル）調整を行う。コレッ
ト47はカメラ50に対してＹ軸方向に距離Ｌだけオフセツ
トされているので、図示しない演算装置にオフセツト量
Ｌを記憶させておくことにより、スイツチを押すのみで
Ｙ軸モータ４が駆動してコレット47がボンデイング部の
上方に位置させられる。そこで、コレット47にダイ55を
真空吸着させた状態で、コレット47を基板56の上方に位
置させ、コレットホルダー支持板32を下降させる。これ
により、コレットホルダー34及びコレット47は共に下降
する。ダイ55が基板56に接触すると、コレット47及びコ
レットホルダー34の下降は停止するが、コレットホルダ
ー支持板32は下降できるので、コレットホルダー支持板
32を更に下降させると、両接触子36、37は離れる。この
両接触子36、37が離れる信号を図示しない演算装置に記
憶させておく。そこで、両接触子36、37が離れる検出信
号を基準としてコレット47の急下降停止位置及びボンデ
イング荷重（更に下降する位置）を設定する。
ト47はカメラ50に対してＹ軸方向に距離Ｌだけオフセツ
トされているので、図示しない演算装置にオフセツト量
Ｌを記憶させておくことにより、スイツチを押すのみで
Ｙ軸モータ４が駆動してコレット47がボンデイング部の
上方に位置させられる。そこで、コレット47にダイ55を
真空吸着させた状態で、コレット47を基板56の上方に位
置させ、コレットホルダー支持板32を下降させる。これ
により、コレットホルダー34及びコレット47は共に下降
する。ダイ55が基板56に接触すると、コレット47及びコ
レットホルダー34の下降は停止するが、コレットホルダ
ー支持板32は下降できるので、コレットホルダー支持板
32を更に下降させると、両接触子36、37は離れる。この
両接触子36、37が離れる信号を図示しない演算装置に記
憶させておく。そこで、両接触子36、37が離れる検出信
号を基準としてコレット47の急下降停止位置及びボンデ
イング荷重（更に下降する位置）を設定する。
コレット47の急下降停止位置の設定は、基板56より例
えば0.1mm上方にダイ55が位置した時であるとすると、
両接触子36、37が離れる検出信号を基準として基板56よ
り0.1mm上方にダイ55が位置した時のコレットホルダー
支持板32の位置を演算装置に記憶させる。またボンデイ
ング荷重は、基板56にダイ55が接触した時に接触子36、
37が離れ圧縮ばね46により荷重が加わる。
えば0.1mm上方にダイ55が位置した時であるとすると、
両接触子36、37が離れる検出信号を基準として基板56よ
り0.1mm上方にダイ55が位置した時のコレットホルダー
支持板32の位置を演算装置に記憶させる。またボンデイ
ング荷重は、基板56にダイ55が接触した時に接触子36、
37が離れ圧縮ばね46により荷重が加わる。
次にボンデイング方法について説明する。コレット47
が図示しないダイピックアップ位置でダイ55を吸着し、
水平動ブロツク７及び上下動ブロツク16がXY方向に移動
させられ、カメラ50が基板56のボンディング部の上方に
位置させられる。そして、カメラ５によってボンデイン
グ部の位置が検出される。予め定められたボンデイング
部の位置に対して実際のボンデイング部の位置ずれがあ
る場合には、その差が演算装置に入力されて位置が補正
される。次にオフセツト量Ｌと前記ボンデイング部の位
置ずれ補正量に従って水平動ブロツク７及び上下動ブロ
ツク16が水平移動させられ、コレット47が実際のボンデ
イング部の上方に導かれる。次にＺ軸モータ17が駆動さ
れ、上下動ブロツク16及びコレットホルダー支持板32が
急速度で下降させられ、基板56より0.1mm上方にダイ55
が位置すると、演算装置の指令によって上下動ブロツク
16及びコレットホルダー支持板32は低速度で下降させら
れる。そして、ダイ55が基板56に接触して更に上下ブロ
ツク16及びコレットホルダー支持板32が下降させられる
と、両接触子36、37が離れて検出信号を出力するので、
この検出信号を基準として予め定められた量だけ上下動
ブロツク16及びコレットホルダー支持板32は下降して停
止し、ダイ55は予め定められた一定のボンデイング荷重
で基板56に圧接されてボンデイングされる。その後、上
下動ブロツク16及びコレツトホルダー支持板32は上昇す
る。
が図示しないダイピックアップ位置でダイ55を吸着し、
水平動ブロツク７及び上下動ブロツク16がXY方向に移動
させられ、カメラ50が基板56のボンディング部の上方に
位置させられる。そして、カメラ５によってボンデイン
グ部の位置が検出される。予め定められたボンデイング
部の位置に対して実際のボンデイング部の位置ずれがあ
る場合には、その差が演算装置に入力されて位置が補正
される。次にオフセツト量Ｌと前記ボンデイング部の位
置ずれ補正量に従って水平動ブロツク７及び上下動ブロ
ツク16が水平移動させられ、コレット47が実際のボンデ
イング部の上方に導かれる。次にＺ軸モータ17が駆動さ
れ、上下動ブロツク16及びコレットホルダー支持板32が
急速度で下降させられ、基板56より0.1mm上方にダイ55
が位置すると、演算装置の指令によって上下動ブロツク
16及びコレットホルダー支持板32は低速度で下降させら
れる。そして、ダイ55が基板56に接触して更に上下ブロ
ツク16及びコレットホルダー支持板32が下降させられる
と、両接触子36、37が離れて検出信号を出力するので、
この検出信号を基準として予め定められた量だけ上下動
ブロツク16及びコレットホルダー支持板32は下降して停
止し、ダイ55は予め定められた一定のボンデイング荷重
で基板56に圧接されてボンデイングされる。その後、上
下動ブロツク16及びコレツトホルダー支持板32は上昇す
る。
このように、コレット47を保持した上下動ブロツク16
にカメラ50が取付けられているので、コレット47を上下
動させるＺ軸モータ17を駆動することによりカメラ50は
上下動する。そこで、Ｚ軸モータ17に入力するパルス数
によって微調整でもってカメラ50の焦点を容易に合せる
ことができる。
にカメラ50が取付けられているので、コレット47を上下
動させるＺ軸モータ17を駆動することによりカメラ50は
上下動する。そこで、Ｚ軸モータ17に入力するパルス数
によって微調整でもってカメラ50の焦点を容易に合せる
ことができる。
一つの基板に高さが異なる複数のボンディング部があ
る場合には、その高さの差を演算装置に記憶させてお
き、カメラ50が高さの異なるボンデイング部の上方に移
動させられた時に、ボンデイング部の高さの差だけＺ軸
モータ17を上下動させるようにすれば、カメラ50の焦点
は自動的に合せられる。
る場合には、その高さの差を演算装置に記憶させてお
き、カメラ50が高さの異なるボンデイング部の上方に移
動させられた時に、ボンデイング部の高さの差だけＺ軸
モータ17を上下動させるようにすれば、カメラ50の焦点
は自動的に合せられる。
なお、上記実施例においては、ダイボンデイング装置
に適応した場合について説明したが、ペースト滴下装置
及びワイヤボンデイング装置にも同様に適応できる。こ
の場合、ダイボンデイング装置のコレツトは、ペースト
滴下装置においてはペーストを充填したシリンジとな
り、ワイヤボンデイング装置においてはウエツジ、キヤ
ピラリなどのツールとなることはいうまでもない。また
ペースト滴下装置においては、上下動ブロツク16をXY方
向に移動させる必要はない。
に適応した場合について説明したが、ペースト滴下装置
及びワイヤボンデイング装置にも同様に適応できる。こ
の場合、ダイボンデイング装置のコレツトは、ペースト
滴下装置においてはペーストを充填したシリンジとな
り、ワイヤボンデイング装置においてはウエツジ、キヤ
ピラリなどのツールとなることはいうまでもない。また
ペースト滴下装置においては、上下動ブロツク16をXY方
向に移動させる必要はない。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、カ
メラの焦点を極めて容易に、かつ高精度で調整できると
共に、加工部の高さが異なってもカメラの焦点を自動的
に合せることができる。
メラの焦点を極めて容易に、かつ高精度で調整できると
共に、加工部の高さが異なってもカメラの焦点を自動的
に合せることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図の平面図、第３図は第１図の右側面図、第４図はコレ
ットの保持部分を示す正面図、第５図は第４図の左側面
図、第６図は第４図の平面図である。 16:上下動ブロツク、17:Z軸モータ、 47:コレット、50:カメラ。
図の平面図、第３図は第１図の右側面図、第４図はコレ
ットの保持部分を示す正面図、第５図は第４図の左側面
図、第６図は第４図の平面図である。 16:上下動ブロツク、17:Z軸モータ、 47:コレット、50:カメラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福家 滋 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (72)発明者 田中 泰志 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 昭61−119054（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−19345（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−148828（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−95851（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−81941（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭63−48178（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に設けら
れた水平動ブロックと、この水平動ブロックに上下動可
能に設けられた上下動ブロックと、前記水平動ブロック
をＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動するＸ軸モータ及びＹ軸
モータと、前記上下動ブロックを上下駆動するＺ軸モー
タと、前記上下動ブロックに保持された加工工具と、こ
の加工工具より一定距離オフセットして配設されたカメ
ラとを備え、加工時における加工部の位置ずれ検出時に
は、まずＸ軸モータ及びＹ軸モータを駆動してカメラを
加工部の上方に位置させて加工部の位置ずれを検出し、
次の実際の加工時には、前記オフセット量と前記加工部
の位置ずれ補正量に従って前記水平動ブロックを水平移
動させて前記加工工具を実際の加工部の上方に導き、続
いて前記Ｚ軸モータが駆動されて前記水平動ブロックが
下降して加工工具で実際の加工部に加工を施す半導体製
造装置による加工方法において、前記カメラは加工工具
を保持する前記上下動ブロックに取付けられ、予め前記
Ｘ軸モータ及びＹ軸モータを駆動して前記水平動ブロッ
クを水平移動させて前記カメラを加工部の上方に位置さ
せ、続いてＺ軸モータを駆動してカメラを上下動させて
焦点を合わせ、この焦点が合ったカメラの上下位置を基
準カメラ位置とし、加工時における加工部の位置ずれ検
出時には、カメラを加工部の上方に位置させるだけでな
く、Ｚ軸モータを駆動して予め設定された前記基準カメ
ラ位置に位置させて加工部の位置ずれを検出することを
特徴とする半導体製造装置による加工方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008960A JP2762081B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 半導体製造装置による加工方法 |
| KR1019890000348A KR910007511B1 (ko) | 1988-01-18 | 1989-01-14 | 가공위치 검출기구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008960A JP2762081B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 半導体製造装置による加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01183339A JPH01183339A (ja) | 1989-07-21 |
| JP2762081B2 true JP2762081B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=11707238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63008960A Expired - Fee Related JP2762081B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 半導体製造装置による加工方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2762081B2 (ja) |
| KR (1) | KR910007511B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106123597B (zh) * | 2016-06-23 | 2019-05-28 | 攀钢集团西昌钢钒有限公司 | 烧结机机头风箱 |
| WO2023089660A1 (ja) * | 2021-11-16 | 2023-05-25 | 株式会社新川 | 実装装置、実装方法および実装制御プログラム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61119054A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-06 | Rohm Co Ltd | 自動ワイヤボンデイング装置 |
| JPS6295851U (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-18 |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP63008960A patent/JP2762081B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-01-14 KR KR1019890000348A patent/KR910007511B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR910007511B1 (ko) | 1991-09-26 |
| JPH01183339A (ja) | 1989-07-21 |
| KR890012374A (ko) | 1989-08-26 |
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