JP2007042935A - 電子部品の圧着装置及び圧着方法 - Google Patents
電子部品の圧着装置及び圧着方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007042935A JP2007042935A JP2005226717A JP2005226717A JP2007042935A JP 2007042935 A JP2007042935 A JP 2007042935A JP 2005226717 A JP2005226717 A JP 2005226717A JP 2005226717 A JP2005226717 A JP 2005226717A JP 2007042935 A JP2007042935 A JP 2007042935A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- electronic component
- pressure
- pressurizing
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】基板に熱硬化性接着部材を介して仮圧着された電子部品23を、クッション材を介して加圧ツール18で加圧加熱して圧着する電子部品の圧着装置であって、昇降駆動機構1と、加圧ツール及び加圧ツールに加圧力を付与するエアシリンダ15が設けられ昇降駆動機構によって上下駆動される加圧ユニット11と、加圧ツールがクッション材に接触して電子部品に加圧力を付与してから上昇を開始してクッション材から離れるまでの時間を基板に電子部品を加圧加熱する圧着時間として昇降駆動機構及びエアシリンダによる加圧ツールの駆動を制御する制御装置31とを具備する。
【選択図】 図1
Description
昇降駆動機構と、
上記加圧ツール及びこの加圧ツールに加圧力を付与する加圧手段が設けられ上記昇降駆動機構によって上下駆動される加圧ユニットと、
上記加圧ツールが上記クッション材に接触してこのクッション材の圧縮を開始してから上昇を開始するまでの時間を上記基板に上記電子部品を加圧加熱する圧着時間として上記昇降駆動機構及び上記加圧手段による上記加圧ツールの駆動を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の圧着装置にある。
上記加圧ツールを下降させる工程と、
下降した上記加圧ツールによって上記クッション材を圧縮して上記電子部品を上記基板に加圧加熱する工程と、
上記加圧ツールが上記クッション材に接触してから上昇を開始するまでの時間を上記基板に上記電子部品を加圧加熱する圧着時間として上記加圧ツールによる上記電子部品の圧着時間を制御する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の圧着方法にある。
図1に示すこの発明の圧着装置は昇降駆動機構1を備えている。この昇降駆動機構1は固定部2の垂直面2aに取り付け固定された筐体3を有する。この筐体3内にはねじ軸4が上下方向に沿って回転可能に設けられている。このねじ軸4は、上記筐体3の上面に設けられたZ駆動源5によって回転駆動されるようになっている。
加圧ツール18が上昇し、バックアップツール19が下降した状態で、テーブル21が制御装置31によって駆動され、このテーブル21上に吸着保持された基板Wの電子部品23が仮圧着された一辺が上記加圧ツール18とバックアップツール19との間に位置決めされる。
Claims (5)
- 基板に熱硬化性接着部材を介して仮圧着された電子部品を、クッション材を介して加圧ツールで加圧加熱して圧着する電子部品の圧着装置であって、
昇降駆動機構と、
上記加圧ツール及びこの加圧ツールに加圧力を付与する加圧手段が設けられ上記昇降駆動機構によって上下駆動される加圧ユニットと、
上記加圧ツールが下降し上記クッション材に接触して上記電子部品に加圧力を付与してから上昇を開始して上記クッション材から離れるまでの時間を上記基板に上記電子部品を加圧加熱する圧着時間として上記昇降駆動機構及び上記加圧手段による上記加圧ツールの駆動を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の圧着装置。 - 上記制御手段は、上記圧着時間の終了後に上記加圧ツールを上昇させる際、この加圧ツールが上記クッション材から離れるまでの上昇速度を、離れてからの上昇速度よりも遅くなるよう制御することを特徴とする請求項1記載の電子部品の圧着装置。
- 上記制御手段は、上記加圧ツールを下降させて上記電子部品を上記基板に圧着する際、所定の速度で下降する上記加圧ツールの下降速度を、この加圧ツールがクッション材に接触する前に減速させることを特徴とする請求項1記載の電子部品の圧着装置。
- 基板に熱硬化性接着部材を介して仮圧着された電子部品を、クッション材を介して加圧ツールで加圧加熱して圧着する電子部品の圧着方法であって、
上記加圧ツールを下降させる工程と、
下降した上記加圧ツールによって上記クッション材を圧縮して上記電子部品を上記基板に加圧加熱する工程と、
上記加圧ツールが上記クッション材に接触して上記電子部品に加圧力を付与してから上昇を開始して上記クッション材から離れるまでの時間を上記基板に上記電子部品を加圧加熱する圧着時間として上記加圧ツールによる上記電子部品の圧着時間を制御する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の圧着方法。 - 上記圧着時間が終了後に上記加圧ツールが上昇する際、この加圧ツールが上記クッション材から離れるまでの上昇速度を、離れてからの上昇速度よりも遅くすることを特徴とする請求項4記載の電子部品の圧着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005226717A JP2007042935A (ja) | 2005-08-04 | 2005-08-04 | 電子部品の圧着装置及び圧着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005226717A JP2007042935A (ja) | 2005-08-04 | 2005-08-04 | 電子部品の圧着装置及び圧着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007042935A true JP2007042935A (ja) | 2007-02-15 |
Family
ID=37800629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005226717A Pending JP2007042935A (ja) | 2005-08-04 | 2005-08-04 | 電子部品の圧着装置及び圧着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007042935A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102666332A (zh) * | 2010-11-15 | 2012-09-12 | 松下电器产业株式会社 | 带粘结设备和带粘结方法 |
CN108475484A (zh) * | 2017-06-22 | 2018-08-31 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 承载装置和压合设备 |
CN109644564A (zh) * | 2017-06-01 | 2019-04-16 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 柔性面板与柔性线路板的压合方法及压合设备 |
CN111679462A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-18 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种压接装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01251729A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Corp | インナーリードボンディング装置及びインナーリードボンディング方法 |
JPH11145197A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田バンプ付電子部品の熱圧着方法 |
JP2000114319A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置の製造法 |
JP2002270646A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Sony Corp | 半導体素子の実装方法 |
JP2003059973A (ja) * | 2001-06-08 | 2003-02-28 | Shibaura Mechatronics Corp | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 |
JP2005072078A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Shibaura Mechatronics Corp | テープ部材の貼着装置及び貼着方法 |
-
2005
- 2005-08-04 JP JP2005226717A patent/JP2007042935A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01251729A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Corp | インナーリードボンディング装置及びインナーリードボンディング方法 |
JPH11145197A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田バンプ付電子部品の熱圧着方法 |
JP2000114319A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置の製造法 |
JP2002270646A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Sony Corp | 半導体素子の実装方法 |
JP2003059973A (ja) * | 2001-06-08 | 2003-02-28 | Shibaura Mechatronics Corp | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 |
JP2005072078A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Shibaura Mechatronics Corp | テープ部材の貼着装置及び貼着方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102666332A (zh) * | 2010-11-15 | 2012-09-12 | 松下电器产业株式会社 | 带粘结设备和带粘结方法 |
CN109644564A (zh) * | 2017-06-01 | 2019-04-16 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 柔性面板与柔性线路板的压合方法及压合设备 |
CN108475484A (zh) * | 2017-06-22 | 2018-08-31 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 承载装置和压合设备 |
WO2018232711A1 (zh) * | 2017-06-22 | 2018-12-27 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 承载装置和压合设备 |
CN108475484B (zh) * | 2017-06-22 | 2022-02-15 | 深圳市柔宇科技股份有限公司 | 承载装置和压合设备 |
CN111679462A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-18 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种压接装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4256413B2 (ja) | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 | |
WO2016024365A1 (ja) | 電子部品の実装装置 | |
JP2007042935A (ja) | 電子部品の圧着装置及び圧着方法 | |
CN108695180B (zh) | 压接装置 | |
WO1998014821A1 (fr) | Appareil de collage sous pression d'un panneau a cristaux liquides, et procede de fabrication d'un dispositif a cristaux liquides | |
JP4689430B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP4943936B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP3743424B2 (ja) | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 | |
JP2002043336A (ja) | 電子部品圧着装置 | |
JP2008251727A (ja) | 電子部品の実装装置 | |
JP2009295787A (ja) | 熱圧着方法 | |
JP4917994B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JPH09148790A (ja) | 電子部品装着装置 | |
JP2006135207A (ja) | フリップチップ接合方法 | |
TWI664069B (zh) | 壓接裝置 | |
JP4768188B2 (ja) | チップ実装方法および装置 | |
JP5356873B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP3303684B2 (ja) | 導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法 | |
JPH09283990A (ja) | マウントヘッド及びボンディング装置 | |
JP2008004685A (ja) | 熱圧着装置、及び熱圧着装置の制御方法 | |
JP4381846B2 (ja) | 部品実装装置 | |
KR0138299Y1 (ko) | 다이본딩 장치 | |
JP2008135643A (ja) | 圧着装置および圧着方法 | |
JP2007096188A (ja) | 圧着装置および圧着方法 | |
JPH05206690A (ja) | 電子部品装着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20101019 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20101110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110927 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120403 |