JP7080692B2 - 測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 - Google Patents
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Description
一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、前記センサ部は、一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、を備えたものである。
Claims (9)
- ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドにおいて、
一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、
前記センサ部は、
一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、
前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、
前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、
を備えたことを特徴とする測定ヘッド。 - 前記第1プレートと前記第2プレートは板状部材とされ、少なくともいずれか一方に長穴が設けられ、その範囲で固定位置を任意に変えることを可能としたことを特徴とする請求項1に記載の測定ヘッド。
- 前記第1プレートと前記第2プレートとで熱膨張率が異なることを特徴とする請求項1又は2に記載の測定ヘッド。
- 前記第2プレートを前記第1プレートに比べて低熱膨張材としたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の測定ヘッド。
- 前記センサロッドと前記第1プレートを鉄、前記リニアスケールを石英、前記第2プレートをNi系合金、前記測定ヘッド本体をアルミニウムとしたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の測定ヘッド。
- ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドにおいて、
一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、
前記センサ部は、
一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、
前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、
前記第2プレートに固定される取付板と、
前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記取付板に固定された基板と、
を備えたことを特徴とする測定ヘッド。 - 前記第2プレートの材質は前記取付板に対して、より低熱膨張材としたことを特徴とする請求項6に記載の測定ヘッド。
- 前記取付板は、取付穴の中央部にV字状の切込みが設けられていることを特徴とする請求項6又は7に記載の測定ヘッド。
- 一端がワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、を有し、前記ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドの温度特性を調整する方法であって、
前記センサ部は、一端が前記測定ヘッドの本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、を有し、前記第1プレートと前記第2プレートとの固定位置を可変することを特徴とする測定ヘッドの温度特性を調整する方法。
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