JP4898669B2 - 化学的及び電解的に加工物を処理する装置及び方法 - Google Patents
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Description
1)第1の好ましい実施形態において、加工物に使用された保持要素は、加工物が投入ステーションで掴まれ、保持手段を介して保持(締結)される、フライトバーである。この場合、加工物は、直接又はラックを介してフライトバーに締結されても良い。フライトバーは、実質的にクリーンルームゾーンの内側に設けられ、その両端部においてクリーンルームゾーンから、クリーンルームハウジングの側壁内の、貫通開口部を通して、例えば水平及び垂直スロットを通して突き出ても良い。この実施形態において、フライトバーが上昇され、下降され、さらに一方のタンクから他方に運ばれるので、垂直スロットがフライトバーの上下運動用に、さらにその水平運動用に水平スロットが設けられ、水平スロットは、クリーンルームゾーンハウジングの側壁の上部領域内に配置されるのが好ましい。
第1の変形において、昇降機構は、クリーンルームゾーンから突出する、ゆえにクリーンルームゾーンの部分的に内側及び部分的に外側に配置されても良い。昇降機構は、例えば伸縮自在に嵌合する昇降ピストン及びシリンダの形で構成されても良い。運搬キャリヤによる運搬中、昇降機構は、この場合では貫通開口部、本例の場合ではクリーンルームハウジングの頂部壁に形成された水平スロットを通される。昇降機構に関しては、それらが他の連結手段によって、つまり横断部材によって保持される。この場合、横断部材は、クリーンルームハウジング上のクリーンルームゾーンの外側に配置される。横断部材は運搬キャリッジに締結される。それらは、加工物に必要な上下運動が昇降機構によって実行されるので垂直方向に可動ではない。
2 処理タンク
3 クリーンルームゾーン
4 壁、側壁
5 頂部壁
6 クリーンルームハウジングの頂部壁5の中間支持部
7 クリーンルームハウジングの頂部壁5の貫通開口部
8 運搬キャリッジレール
9 運搬キャリッジシャーシ
10 レールキャリヤ
11 移動モータ
12 昇降シリンダ
13 昇降ロッド
14 加工物1用の把持要素
15 液面高さ
16 昇降ギヤ
17 昇降ビーム
18 運搬キャリッジ
19 歯車ベルト
20 運搬キャリッジ支持フレーム
21 清浄化空気又はガス供給用連結管
22 保守用の窓
23 投入・取出しステーション(保護運搬容器)
24 入口開口部/ロック
25 フライトバー
26 垂直貫通開口部/垂直スロット
27 水平貫通開口部/水平スロット
29 昇降モータ
30 昇降ベルトドラム
31 昇降ベルト
32 ガイド片
33 フライトバー25用のキャリヤアーム
34 X字筋違い
35 横断部材
36 エアフィルタ付きエアフィルタハウジング
37 ファン
38 流出開口部付きフレッシュエアダクト
39 吸引開口部
40 流入開口部
41 カバー
42 底部壁
43 軸
44 保持手段
45 収容装置
Claims (27)
- 加工物(1)を化学的又は電解的に処理する装置であって、加工物を処理するための少なくとも1つの処理タンク(2)と、加工物を運搬するための搬送キャリッジ(18)を備えた少なくとも1つのコンベヤシステムと、上記処理タンク(2)の少なくとも1つの上に配置されているクリーンルームゾーン(3)とを備えて構成され、上記搬送キャリッジは加工物を上記クリーンルームゾーン(3)内で垂直方向に整列して保持し、上記クリーンルームゾーン(3)は上記搬送キャリッジ(18)と連動させられて、上記クリーンルームゾーン(3)が上記運搬キャリッジ(18)と共に一つの処理タンク(2)から他の処理タンクに移動可能であり、上記搬送キャリッジ(18)は、加工物(1)を上記クリーンルームゾーン(3)から上記処理タンク(2)に、あるいは上記処理タンクからクリーンルームゾーンに動かすことが可能な昇降ギヤ(16)を有し、上記クリーンルームゾーン(3)の内部で頂部から底部へクリーンエアの層流を生じる手段が備えられ、加工物(1)の表面に平行なクリーンエアの層流が生じて、加工物(1)を上記クリーンルームゾーン(3)から上記処理タンク(2)に動かす際にクリーンエアが上記処理タンク(2)を覆うカバー(41)と上記クリーンルームゾーン(3)の底部の間の空間から出る、装置。
- 上記運搬キャリッジが上記クリーンルームゾーン(3)の外部に配される、請求項1に記載の装置。
- 上記運搬キャリッジ(18)が動作駆動装置(11)と運搬キャリッジシャーシ(9)とを有する、請求項2に記載の装置。
- 上記運搬キャリッジ(18)が、フライトバー(25)を保持するための垂直方向可動収容装置(33)を有する、請求項2又は3に記載の装置。
- 上記少なくとも1つのコンベヤシステムが、加工物(1)を保持するための少なくとも1つの保持要素を有し、前記少なくとも1つの保持要素が少なくとも実質的に上記クリーンルームゾーン(3)の内部に配される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 少なくとも1つの保持要素が把持要素(14)及びフライトバー(25)を有する群から選択される、請求項5に記載の装置。
- 上記運搬キャリッジ(18)と上記少なくとも1つの保持要素との間に、クリーンルームゾーン(3)の内部、外部又は部分的に内部で且つ部分的に外部に配置される少なくとも1つの連結手段が設けられる、請求項5又は6に記載の装置。
- 少なくとも1つの連結手段が横断部材(35)と昇降機構(12、13)とを有する群から選択される、請求項7に記載の装置。
- 横断部材(35)が運搬キャリッジ(18)によって保持される、請求項8に記載の装置。
- 横断部材(35)が個別の昇降ギヤ(16)によって保持される、請求項8又は9に記載の装置。
- 昇降機構(12、13)が横断部材(35)によって保持される、請求項8〜10のいずれか一項に記載の装置。
- 昇降機構が昇降ピストン/シリンダシステム(12、13)である、請求項8〜11のいずれか一項に記載の装置。
- クリーンルームゾーン(3)は、それぞれが少なくとも1つの貫通開口部(7、24、26、27)を有する少なくとも1つのクリーンルームハウジングによって空間的に画定され、前記少なくとも1つのクリーンルームハウジングは、清浄化ガスが供給されることで加圧可能である、請求項1〜12のいずれか一項に記載の装置。
- 少なくとも1つの貫通開口部(7、24、26、27)がブラシ又は密封リップで密封される、請求項13に記載の装置。
- 横断部材(35)が実質的にクリーンルームゾーン(3)の内部に配置され、少なくとも1つのハウジング内の少なくとも1つの貫通開口部(26、27)を通される、請求項13又は14に記載の装置。
- 昇降機構が一部をクリーンルームゾーン(3)の内部且つ一部を外部に配置され、少なくとも1つのクリーンルームハウジング内の少なくとも1つの貫通開口部(7)を通される、請求項13〜15のいずれか一項に記載の装置。
- フライトバー(25)が少なくとも1つのハウジング内の少なくとも1つの貫通開口部(26、27)を通される、請求項13又は14に記載の装置。
- 少なくとも1つの投入・取出しステーション(23)があり、そこから加工物(1)が少なくとも1つのクリーンルームハウジング内に形成された個別の入口開口部(24)を通してクリーンルームゾーン(3)内に移動させられる、請求項13〜17のいずれか一項に記載の装置。
- カバーを備えた加工物(1)用の入口開口部が少なくとも1つの処理タンク(2)に設けられる、請求項1に記載の装置。
- カバー(41)がタンク(2)の内部を大気から遮断するために密閉可能であり、超過圧力で清浄化ガスを少なくとも1つの処理タンク(2)に供給するための装置が設けられる、請求項19に記載の装置。
- ガスを清浄化するための清浄化手段(36、37)が運搬キャリッジ(18)上に配される、請求項13〜20のいずれか一項に記載の装置。
- 化学的又は電解的にめっきする垂直搬送ラインで化学的又は電解的に加工物(1)を処理するために請求項1〜21のいずれか一項に記載の装置を使用する方法。
- 処理液を収容する少なくとも1つの処理タンク(2)内で加工物(1)を化学的又は電解的に処理する方法であって、上記処理タンク(2)の少なくとも1つの上に配置され一つの処理タンク(2)から他の処理タンクへ移動可能なクリーンルームゾーン(3)内で加工物を垂直方向に整列して保持するステップと、上記クリーンルームゾーン(3)の内部で頂部から底部へ、それゆえ加工物の表面に平行なクリーンエアの層流を生じるステップと、加工物を上記クリーンルームゾーン(3)から上記処理タンク(2)に動かす際に上記処理タンク(2)を覆うカバー(41)と上記クリーンルームゾーン(3)の底部の間の空間からクリーンエアを出すステップとを有する、方法。
- クリーンルームゾーン(3)は、それぞれが少なくとも1つの貫通開口部(7、24、26、27)を有し且つ清浄化ガスが供給されることによって加圧される少なくとも1つのクリーンルームハウジングによって空間的に画定されている、請求項23に記載の方法。
- 加工物(1)が、それぞれが運搬キャリッジ(18)を有する少なくとも1つのコンベヤシステムによってクリーンルームゾーン(3)内で移動され、前記運搬キャリッジがクリーンルームゾーンの外部に配される、請求項23又は24に記載の方法。
- 加工物(1)が、少なくとも実質的にクリーンルームゾーン(3)の内部に配されている少なくとも1つの保持要素によって保持される、請求項23〜25のいずれか一項に記載の方法。
- 加工物(1)用の把持要素(14)及びフライトバー(25)を有する群から選択される少なくとも1つの保持要素が設けられる、請求項26に記載の方法。
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