KR20210114957A - 워크 유지 지그 및 전기 도금 장치 - Google Patents

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KR20210114957A
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마사히로 무라코시
도모지 오쿠다
가즈요시 니시모토
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우에무라 고교 가부시키가이샤
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Abstract

워크 유지 지그(1A)에 있어서, 제1 프레임 체(11) 및 제2 프레임 체(12)를 구비하고, 양 프레임 체(11, 12)는, 각각, 본체(13)와, 도전 부재(15)와, 워크의 주연부(101)에 전기적 접촉이 가능하도록 설치된 접촉 부재(16)와, 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐 설치된 내주 씰 부재(17)를 가지고 있으며, 양 프레임 체(11, 12)는, 각각의 내주 씰 부재(17) 및 접촉 부재(16)가 워크의 주연부(101)에 양측에서 맞닿은 상태로, 워크의 주연부(101)와, 양 프레임 체(11, 12)의 도전 부재(15)와, 양 프레임 체(12)의 접촉 부재(16)를 수용하는 밀봉 공간(5)을 구성하도록 되어 있고, 제1 프레임 체(11) 및/또는 제2 프레임 체(12)는, 밀봉 공간에 액체를 충전하기 위한 액 주입구를 가지고 있으며, 또한, 밀봉 공간 내의 공기를 배기하기 위한 배기구를 가지고 있다.

Description

워크 유지 지그 및 전기 도금 장치
본 발명은, 전기 도금 처리의 피처리물인 직사각형의 판상(板狀) 워크를 유지하기 위한 워크 유지 지그, 및, 해당 워크 유지 지그를 구비한 전기 도금 장치에 관한 것이다. 상기 워크로서는, 예를 들면, 프린트 기판, 웨이퍼, 반도체 기판(특히, Fan-Out Panel Level Package)을 들 수 있다.
직사각형의 판상 워크를 유지하기 위한 워크 유지 지그 및 해당 워크 유지 지그를 구비한 전기 도금 장치는, 특허문헌 1 ~ 9에 나타나는 바와 같이, 공지(公知)이다.
일본국 특허 제5898540호 공보 일본국 특개2016-180148호 공보 일본국 특개2016-156084호 공보 일본국 특개평11-172492호 공보 일본국 특개평11-140694호 공보 일본국 특개평6-108285호 공보 일본국 특개평5-247692호 공보 일본국 특개평5-222590호 공보 일본국 특개평5-218048호 공보
그런데, 종래의 전기 도금 장치에 있어서는, 워크 유지 지그의 워크와 전기적 접촉 단자와의 접속부에 도금액이 침입해, 접속부에 금속이 석출하고, 워크와 전기적 접촉 단자가 유착해, 워크를 워크 유지 지그로부터 떼어내는 것이 어렵게 된다는 문제가 있었다.
또한, 종래의 전기 도금 장치에 있어서는, 워크의 전면(全面)에 대해 균등하게 도금 처리를 실시하기 위해, 모든 전기적 접촉 단자까지의 배선 길이를 동일하게 하는 구성 등을 채용하고, 장치 구성이 복잡화하다는 문제가 있었다.
본 발명은, 상술한 문제점 중 적어도 하나를 해소할 수 있는, 워크 유지 지그 및 전기 도금 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 제1 태양은, 전기 도금 처리의 피처리물인 판상 워크를 유지하기 위한 워크 유지 지그에 있어서,
제1 부재 및 제2 부재를 구비하고, 상기 양 부재의 사이에서 상기 워크를 유지하도록 되어 있으며,
상기 제1 부재는, 상기 제2 부재와의 사이에서 상기 워크의 주연부를 유지하도록 상기 제2 부재에 장착되게 되어 있으며,
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재의 적어도 한쪽이, 프레임 체이며,
상기 프레임 체는, 환상(環狀)의 본체와, 도전 부재와, 상기 워크의 상기 주연부에 전기적 접촉이 가능하도록 상기 도전 부재에 전기적 접속해 설치된 접촉 부재와, 상기 접촉 부재보다 내측에 있어서 상기 본체의 전체 둘레에 걸쳐 설치된 내주 씰(seal) 부재를 가지고 있으며,
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는, 상기 내주 씰 부재 및 상기 접촉 부재가 상기 워크의 상기 주연부에 맞닿은 상태로, 상기 워크의 상기 주연부와, 상기 도전 부재와, 상기 접촉 부재를 수용하는 밀봉 공간을 구성하도록 되어 있으며,
상기 제1 부재 및/또는 상기 제2 부재는, 상기 밀봉 공간에 액체를 충전하기 위한 액 주입구를 가지고 있으며,
상기 제1 부재 및/또는 상기 제2 부재는, 상기 밀봉 공간 내의 공기를 배기하기 위한 배기구를 가지고 있는,
것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제2 태양은, 본 발명의 제1 태양의 워크 유지 지그를 구비하고, 상기 워크를 상기 워크 유지 지그에 의해 유지하여, 유지된 상기 워크에 대해 전기 도금 처리를 실시하는 전기 도금 장치로서,
도금액을 수용하고, 상기 워크에 대해 전기 도금 처리를 실시하는, 도금 처리 탱크와,
상기 워크를 유지한 상기 워크 유지 지그를, 상기 도금 처리 탱크에 대해 반입 반출하는 반송 기구를,
구비하고 있으며,
상기 워크 유지 지그의 상기 밀봉 공간에는, 금속염을 포함하고 있지 않은 액체가 충전되어 있는,
것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제3 태양은, 본 발명의 제1 태양의 워크 유지 지그의 상기 밀봉 공간에 액체를 충전하는 액체 충전 방법으로서,
상기 워크 유지 지그를 액체 속에 침지시키는 침지 공정을 가지고 있으며,
상기 침지 공정에 있어서는, 상기 액 주입구를 상기 액체의 액면보다 하방에 위치시키면서, 상기 배기구를 상기 액면보다 상방에 위치시키면서 상기 워크 유지 지그 전체를 상기 배기구측이 높아지도록 경사지게 하는,
것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제1 태양 및 제2 태양에 따르면, 판상 워크에 대해 편면 도금 처리 또는 양면 도금 처리를 실시할 때, 밀봉 공간에 도금액이 침입하는 것을 방지 할 수 있고, 그러므로, 도금액에 기인한 금속이 워크의 주연부나 접촉 부재에 석출되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 도금 처리 후의 워크를 워크 유지 지그로부터 떼어낼 때, 워크나 접촉 부재가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제3 태양에 따르면, 밀봉 공간 내의 공기를 확실하게 배기구로부터 배기하면서, 액체를, 액 주입구로부터 밀봉 공간 내에 확실하게 충전할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태의 전기 도금 장치의 평면도이다.
도 2는, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 단면 개략도이다.
도 3은, 제1 실시 형태의 워크 유지 지그 및 워크의 분해 사시도이다.
도 4는, 도 3의 제1 프레임 체의 화살표 Ⅳ 방향에서 본 도면이다.
도 5는, 도 3의 V-V 단면에 상당하는 부분 사시도이고, 제2 프레임 체가 제1 프레임 체에 장착되기 전의 상태를 나타내고 있다.
도 6은, 도 3의 V-V 단면에 상당하는 부분도이고, 제2 프레임 체가 제1 프레임 체에 장착되기 전의 상태를 나타내고 있다.
도 7은, 도 3의 V-V 단면에 상당하는 부분도이며, 제2 프레임 체가 제1 프레임 체에 장착된 후의 상태를 나타내고 있다.
도 8은, 도 3의 양 프레임 체를 화살표 Ⅷ 방향에서 본 도면이다.
도 9는, 도 6의 일부 확대 분해도이다.
도 10은, 도 8에 상당하는 도면이며, 제2 프레임 체가 제1 프레임 체에 장착된 상태를 나타낸다.
도 11은, 도 2의 XI-XI 단면 개략도이다.
도 12는, 워크 유지 지그에 액체를 주입하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 13은, 워크 유지 지그가 워크를 유지하기 전의 상태를 나타내는 단면도이다.
도 14는, 워크 유지 지그가 워크를 유지한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 15는, 화살표 Ⅳ 방향에서 본 도면에 상당하는 도면이며, 제1 실시 형태의 변형예의 하나인 제1 프레임 체를 나타낸다.
도 16은, 제1 실시 형태의 변형예의 하나인, 내주 씰 부재를 나타내는 단면 부분도이다.
도 17은, 제1 실시 형태의 변형예의 하나인, 배선을 이용한 워크 유지 지그가, 워크를 유지하기 전의 상태를 나타내는 단면 부분도이다.
도 18은, 도 17의 워크 유지 지그가 워크를 유지한 상태를 나타내는 단면 부분도이다.
도 19는, 제2 실시 형태의 워크 유지 지그 및 워크의 분해 사시도이다.
도 20은, 도 19의 XX-XX 단면에 상당하는 부분도이며, 제1 프레임 체가 백 패널에 장착되기 전의 상태를 나타낸다.
도 21은, 도 19의 XX-XX 단면에 상당하는 부분도이며, 제1 프레임 체가 백 패널에 장착된 후의 상태를 나타낸다.
도 22는, 워크 유지 지그가 워크를 유지하기 전의 상태를 나타내는 단면도이다.
도 23은, 워크 유지 지그가 워크를 유지한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 24는, 제2 실시 형태의 변형예의 하나인, 배선을 이용한 워크 유지 지그가, 워크를 유지하기 전의 상태를 나타내는 단면 부분도이다.
도 25는, 본 발명의 제3 실시 형태의 전기 도금 장치의 평면도이다.
도 26은, 도 25의 XXⅥ-XXⅥ 단면 개략도이다.
도 27은, 제3 실시 형태의 워크 유지 지그의 사시도이다.
도 28은, 도 26의 XXⅧ-XXⅧ 단면 개략도이다.
[제1 실시 형태]
(전체 구성)
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태의 전기 도금 장치의 평면도이다. 도 2는, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 단면 개략도이다. 이 전기 도금 장치(9A)는, 워크 유지 지그(1A)와, 도금 처리 탱크(2A)와, 반송 기구(3A)를 구비하고 있다. 워크 유지 지그(1A)는, 직사각형의 판상 워크(10)를 유지하도록 구성되어 있다. 도금 처리 탱크(2A)는, 워크 유지 지그(1A)에 유지된 워크(10)에 대해 도금 처리를 실시하도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 2대의 도금 처리 탱크(2A)가 일렬로 나란히 배치되어 있다. 반송 기구(3A)는, 워크(10)를 유지한 워크 유지 지그(1A)를, 도금 처리 탱크(2A)에 대해 수직 방향으로부터 반입 반출하도록 구성되어 있다.
(워크 유지 지그)
도 3은, 워크 유지 지그(1A)의 분해 사시도이다. 워크 유지 지그(1A)는, 직사각형의, 제1 프레임 체(제1 부재)(11) 및 제2 프레임 체(제2 부재)(12)를 구비하고, 양자의 사이에서 판상의 워크(10)를 유지하도록 되어 있다. 제2 프레임 체(12)는, 제1 프레임 체(11)와의 사이에서 워크(10)의 주연부(101)를 유지하도록 제1 프레임 체(11)에 장착되게 되어 있다. 제1 프레임 체(11) 및 제2 프레임 체(12)는, 예를 들면 염화 비닐 수지로 구성되어 있다.
도 4는, 도 3의 제1 프레임 체(11)의 화살표 Ⅳ 방향에서 본 도면이다. 도 5는, 도 3의 V-V 단면에 상당하는 부분 사시도이며, 제2 프레임 체(12)가 제1 프레임 체(11)에 장착되기 전의 상태를 나타내고 있다. 도 6은, 도 5의 화살표 Ⅵ 방향에서 본 도면이다. 도 7은, 제2 프레임 체(12)가 제1 프레임 체(11)에 장착된 후의 상태를 나타내고 있으며, 도 6에 상당하는 도면이다. 즉, 도 7은, 워크 유지 지그(1A)가 워크(10)를 유지한 상태를 나타내고 있다.
제1 프레임 체(11)는, 직사각형 환상의 본체(13)와, 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐 설치된 도전 부재(15)와, 워크(10)의 주연부(101)에 전기적 접촉이 가능하도록 도전 부재(15)에 전기적 접속해 도전 부재(15)를 따라 설치된 접촉 부재(16)와, 접촉 부재(16)보다 내측에 있어서 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐 설치된 내주 씰 부재(17)를 가지고 있다. 접촉 부재(16)는, 본체(13)의 각 변을 따라 설치되어 있다.
도전 부재(15)는, 도 4에 나타나는 바와 같이, 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐 형성된 오목부(131) 내에 위치하고 있다. 도전 부재(15)는, 도 6에 나타나는 바와 같이, 폭(W) 및 두께(T)를 가지며, 종래에 비해 폭이 넓으면서도 두꺼운 형태를 가지고 있다. 그러므로, 도전 부재(15)는, 전체 둘레에 있어서의 임의의 점에서 대략 균등한 저항값을 나타내는 특성을 가지고 있다. 구체적으로는, 도전 부재(15)는, 50 ~ 900㎟의 단면적(W×T)를 가지고 있다. 도전 부재(15)는. 50㎟ 미만인 경우에는, 상기와 같은 특성을 거의 나타낼 수 없고, 900㎟를 넘는 경우에는, 너무 무거워져서 취급이 어렵다. 도전 부재(15)는, 예를 들면, 구리(銅) 또는 티타늄의 표면에 염화비닐수지를 코팅해 구성되어 있다. 도전 부재(15)는, "버스 바(bus bar)" 라고도 일컬어진다.
도 8은, 도 3의 양 프레임 체(11, 12)를 화살표 Ⅷ 방향에서 본 도면이다. 도전 부재(15)는, 외부로 돌출된 제1 접속 단자(151) 및 제2 접속 단자(152)를 가지고 있다. 본체(13)는, 상변(13A)의 좌단에, 상방 연재부(13E)를 가지고 있다. 도 4에 나타나는 바와 같이, 오목부(131)는, 외부로 통하는 제1 오목부(1311) 및 제2 오목부(1312)를 가지고 있다. 제1 오목부(1311)는, 본체(13)의 상변(13A)의 우단에 형성되어 있다. 제2 오목부(1312)는, 상방 연재부(13E)를 따라 형성되어 있다. 그리고, 접속 단자(151)는, 제1 오목부(1311)를 통해 상방으로 뻗어 있으며, 접속 단자(152)는, 제2 오목부(1312)를 통해 상방으로 뻗어 있다.
접촉 부재(16)는, 워크(10)의 주연부(101)에 전기적 접촉을 하기 위한 다수의 병설된 판스프링형 접촉 단자(161)를 가진 즐상 접촉 부재이다. 본 실시 형태에서는, 즐상 접촉 부재(16)는, 본체(13)의 각 변에 있어서 6개로 분할해 설치되어 있다. 접촉 부재(16)는, 도전 부재(15)에 볼트(165)로 고정되어 있다. 볼트(165)는, 제1 프레임 체(11)의 일면측에 드러나 있기 때문에, 접촉 부재(16)의 교환 작업을 용이하게 실시할 수 있다. 또한, 접촉 부재(16)는, 접촉 단자(161)의 복원력이 약해졌을 때 교환된다. 접촉 단자(161)는, 예를 들면, 구리에 금을 코팅해 구성되어 있다.
도 9는, 도 6의 일부 확대 분해도이다. 내주 씰 부재(17)는, 예를 들면, 스폰지 고무로 구성되어 있다. 내주 씰 부재(17)는, 접촉 볼록부(171)와 삽입 볼록부(172)와 평면부(173)를 가지고 있다. 삽입 볼록부(172)는, 본체(13)에 형성된 홈부(132)에 삽입되어 있다. 평면부(173)는, 접촉 부재(16)의 접촉 단자(161)에 의해 본체(13)를 향해 눌려 있다. 접촉 볼록부(171)는, 접촉 부재(16)의 접촉 단자(161)보다 내측에 있어서, 삽입 볼록부(172)와는 반대 방향이면서 평면부(173)를 넘어 돌출되어 있다. 그리고, 접촉 볼록부(171)의 내측면(1711)은, 바깥쪽을 향해 경사져 있다. 내주 씰 부재(17)는, 본체(13)에 대해 탈착이 자유롭게 되어 있다.
제2 프레임 체(12)는, 상술한 제1 프레임 체(11)와 동일한 구성을 가지고 있는데, 제1 프레임 체(11)에 대해 대칭 관계의 구성을 가지고 있다. 다만, 제1 프레임 체(11)는, 제2 프레임 체(12)와는 다른 다음의 구성 (a) ~ (c)를 가지고 있다.
(a) 본체(13)의 상변(13A)의 상면에, 상방으로 뻗은 2개의 손잡이(122)를 가지고 있다.
(b) 본체(13)의 우변(13B)의 측면에, 가로 방향으로 돌출되면서 우변(13B)을 따라 뻗은 우측 가이드 바(126)를 가지고 있으며, 본체(13)의 좌변(13C)의 측면에, 가로 방향으로 돌출되면서 좌변(13C)을 따라 뻗은 좌측 가이드 바(127)를 가지고 있다.
(c) 도전 부재(15)보다 외측에 있어서 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐, 외주 패킹(170)을 가지고 있다.
따라서, 제1 프레임 체(11) 및 제2 프레임 체(12)는, 도 7에 나타나는 바와 같이, 내주 씰 부재(17) 및 접촉 부재(16)의 접촉 단자(161)가 워크(10)의 주연부(101)에 맞닿은 상태로, 주연부(101), 도전 부재(15) 및 접촉 부재(16)를 수용하는 밀봉 공간(5)을 구성하도록 되어 있다. 밀봉 공간(5)은, 오목부(131)를 포함하고 있다. 또한, 내주 씰 부재(17)는, 워크(10)의 주연부(101)에 압축되어 밀착한다. 제2 프레임 체(12)는, 볼트(18)에 의해 고정됨으로써, 제1 프레임 체(11)에 장착되어 있다.
또한, 제2 프레임 체(12)가 제1 프레임 체(11)에 장착되면, 도 10에 나타나는 바와 같이, 밀봉 공간(5)에 액체를 충전하기 위한 액 주입구(124)와, 밀봉 공간(5) 내의 공기를 배기하기 위한 배기구(125)가 구성된다. 액 주입구(124)는, 제1 프레임 체(11)의 제1 오목부(1311)와 제2 프레임 체(12)의 제1 오목부(1311)가 합쳐져서 구성되어 있다. 배기구(125)는, 제1 프레임 체(11)의 제2 오목부(1312)와 제2 프레임 체(12)의 제2 오목부(1312)가 합쳐져서 구성되어 있다. 도 3 및 도 4에서 알 수 있듯이, 배기구(125)는, 상방 연재부(13E)에 구성되어 있기 때문에, 액 주입구(124)를 위로 향한 상태로 액 주입구(124)보다 높은 위치에 존재하고 있다.
(도금 처리 탱크)
도 11은, 도 2의 XI-XI 단면 개략도이다. 도금 처리 탱크(2A)는, 도금액(20)으로 채워져 있고, 탱크 내의 전측에, 제1 양극(211) 및 제1 분류 기구(221)를 구비하고, 탱크 내의 후측에, 제2 양극(212) 및 제2 분류 기구(222)를 구비하고 있다. 도금 처리 탱크(2A)는, 제1 양극(211)으로부터 워크(10)에 전기를 흘림으로써, 워크(10)의 전면(102)에 대해 도금 처리를 실시하도록 되어 있으며, 또한, 제2 양극(212)으로부터 워크(10)에 전기를 흘림으로써, 워크(10)의 후면(103)에 대해 도금 처리를 실시하도록 되어 있다. 즉, 도금 처리 탱크(2A)는, 편면 도금 처리뿐만 아니라, 양면 도금 처리도 실행이 가능하도록 되어 있다. 또한, 도금 처리 탱크(2A)에 있어서는, 도금 처리시에, 도금액(20)이 제1 분류 기구(221)에 의해 워크(10)의 전면(102)에 대해 분사되기 때문에, 항상 신선한 도금액(20)이 전면(102)에 접촉하게 되고, 전면(102)에 대한 도금 처리가 효과적으로 실시되어, 및/또는, 도금액(20)이 제2 분류 기구(222)에 의해 워크(10)의 후면(103)에 대해 분사되기 때문에, 항상 신선한 도금액(20)이 후면(103)에 접촉하게 되고, 후면(103)에 대한 도금 처리가 효과적으로 실시된다.
나아가, 도금 처리 탱크(2A)는, 도 2에 나타나는 바와 같이, 워크 유지 지그(1A)가 탱크 내에 반입될 때 워크 유지 지그(1A)를 가이드하는 가이드 부재를 구비하고 있다. 구체적으로는, 가이드 부재는, 워크 유지 지그(1A)의 우측 가이드 바(126)를 안내하는 우측 가이드 레일(231)과, 좌측 가이드 바(127)를 안내하는 좌측 가이드 레일(232)을 가지고 있다. 가이드 레일은, 가이드 바가 수직 방향으로 슬라이딩하는 세로 홈으로 이루어진다. 또한, 이 가이드 부재는, 워크 유지 지그(1A)를 수직 상태로 지지하는 지지 부재로서도 기능하고 있다.
(반송 기구)
반송 기구(3A)는, 워크 유지 지그(1A)를 도금 처리 탱크(2A)에 대해 수직 방향으로부터 반입 반출하는 수직 반송 기구(31)와, 워크 유지 지그(1A)를 도금 처리 탱크(2A)에 대한 반입 반출 위치까지 운반하는 제1 운반 기구(32)를 가지고 있다.
수직 반송 기구(31)는, 캐리어 바(311)와, 승강 바(312)와, 좌우 한 쌍의 승강 레일(313)을 구비하고 있다. 캐리어 바(311)는, 2개의 쥠부(315)를 통해 승강 바(312)에 쥐어져 있다. 캐리어 바(311)의 중앙에는, 워크 유지 지그(1A)가 2개의 손잡이(122)를 통해 걸리게 되어 있다. 그리고, 수직 반송 기구(31)는, 워크 유지 지그(1A)가 걸린 캐리어 바(311)를 쥔 승강 바(312)를, 승강 레일(313)을 따르게 승강시킴으로써, 워크 유지 지그(1A)를 도금 처리 탱크(2A)에 대해 반입 반출하도록되어 있다.
제1 운반 기구(32)는, 좌우 한 쌍의 수평 레일(321)을 가지고, 승강 바(312)를 지지하고 있는 승강 레일(313)을, 일렬로 늘어선 2대의 도금 처리 탱크(2A)의 상방에 있어서, 도금 처리 탱크(2A)에 대한 반입 반출 위치까지, 수평 레일(321)을 따라, 수평으로 이동시키도록 되어 있다. 따라서, 제1 운반 기구(32)는, 승강 바(312)에 쥐어진 캐리어 바(311)에 걸려 있는 워크 유지 지그(1A)를, 임의의 도금 처리 탱크(2A)에 대한 반입 반출 위치까지 운반할 수 있다.
(작동)
상기 구성의 전기 도금 장치(9A)는, 다음과 같이 작동한다.
(1) 워크 유지
우선, 제1 프레임 체(11)를 바닥면에 수평으로 놓는다. 다음으로, 제1 프레임 체(11) 위에 워크(10)를 싣는다. 다음으로, 제2 프레임 체(12)를, 상방으로부터, 제1 프레임 체(11)에 겹쳐서 두고, 볼트(18)에 의해 고정한다. 이것으로써, 워크(10)가 워크 유지 지그(1A)에 의해 유지되고, 워크(10)의 주연부(101)에는, 도 7에 나타나는 바와 같은 밀봉 공간(5)이 구성된다.
(2) 액 주입
워크(10)를 유지한 워크 유지 지그(1A)를, 수직 상태로 일으킨다. 다음으로,도 12에 나타나는 바와 같이, 워크 유지 지그(1A)를, 용기(200)의 액체(201) 속에 침지시킨다. 이 때, 워크 유지 지그(1A)는, 배기구(125)가 액 주입구(124)보다 높은 위치에 존재하고 있기 때문에, 액 주입구(124)를 액체(201)의 액면(202)보다 아래에 위치시키면서 배기구(125)를 액면(202)보다 위에 위치시킨 상태로, 경사지게 할 수 있다. 그 결과, 밀봉 공간(5) 내의 공기는, 화살표로 나타나는 바와 같이 진행해, 확실하게 배기구(125)로부터 배기되고, 액체(201)는, 액 주입구(124)로부터 밀봉 공간(5) 내에 확실하게 충전된다.
또한, 밀봉 공간(5)에 주입하는 액체(201)로는, 금속염을 포함하고 있지 않은 액체를 사용한다. 「금속염을 포함하고 있지 않다」라는 것은, 「포함되어 있는 모든 금속염의 농도가 5g/L 이하이다」라는 것을 의미하고 있다. 그와 같은 액체로는, 구체적으로는, 수돗물, 천연수, 또는 순수한 물을 사용한다. 순수한 물로는, 탈(脫) 이온수, 증류수, 정제수, 또는 RO 수(水)를 사용한다.
(3) 운반
제1 운반 기구(32)를 작동시켜서, 워크 유지 지그(1A)를, 도금 처리 탱크(2A)에 대한 반입 반출 위치까지 운반한다. 도 1에서는, 안쪽의 도금 처리 탱크(2A)까지 운반하고 있다.
(4) 반입
수직 반송 기구(31)를 작동시켜서, 워크 유지 지그(1A)를, 도금 처리 탱크(2A)에 반입한다. 그런데, 도금 처리 탱크(2A)의 양측에는, 반송 기구(3A)의 지지대(30)가 배치되고, 지지대(30) 위에는, 바 적치대(318)가 설치되어 있다. 수직 반송 기구(31)는, 캐리어 바(311)가 바 적치대(318)에 놓이는 위치까지, 승강 바(312)를 하강시켜서, 캐리어 바(311)가 바 적치대(318)에 놓이면, 쥠부(315)를 해제해 캐리어 바(311)를 분리하고, 승강 바(312)를 상승시킨다. 이것으로써, 워크 유지 지그(1A)가, 캐리어 바(311)에 걸린 상태로, 도금 처리 탱크(2A)에 반입된다. 또한, 이 때, 워크 유지 지그(1A)는, 좌우의 가이드 바(126, 127)가 좌우의 가이드 레일(231, 232)에 의해 안내되므로, 수직 상태를 유지한 채 원활하게 반입된다.
(5) 도금 처리
전원 스위치(미도시)를 온(on)하고, 워크(10)에의 통전을 실시한다. 이것으로써, 워크(10)에 대해, 편면 도금 처리 또는 양면 도금 처리가 이루어진다. 워크(10)에의 통전은, 전원(미도시)으로부터, 통전로(미도시), 바 적치대(318), 캐리어 바(311), 제1 접속 단자(151), 도전 부재(15) 및 접촉 부재(16)를 거침으로써 이루어진다. 이 때, 밀봉 공간(5)에는 액체(201)가 충전되어 있으므로, 밀봉 공간(5)에의 도금액(20)의 침입을 확실하게 방지할 수 있다.
(6) 반출
수직 반송 기구(31)를 작동시켜서, 승강 바(312)를 하강하게 하고, 쥠부(315)를 작동시켜 캐리어 바(311)을 쥐어서, 승강 바(312)를 상승하게 한다. 이것으로써, 캐리어 바(311)와 함께 워크 유지 지그(1A)가 상승하고, 워크 유지 지그(1A)가 도금 처리 탱크(2A)로부터 상방으로 반출된다.
(효과)
(a) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 워크(10)의 주연부(101), 도전 부재(15), 및 접촉 부재(16)를 수용하는 밀봉 공간(5)을 구성할 수 있고, 액 주입구(124)로부터, 밀봉 공간(5)에 액체를 주입할 수 있다. 따라서, 밀봉 공간(5)에 액체를 주입함으로써, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.
(a1) 워크(10)에 대해 도금 처리를 실시할 때, 밀봉 공간(5)에 도금액(20)이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 그러므로, 도금액(20)에 기인한 금속이 워크(10)의 주연부(101)나 접촉 부재(16)에 석출되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 도금 처리 후의 워크(10)를 워크 유지 지그(1A)로부터 떼어낼 때, 워크(10)나 접촉 부재(16)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
(a2) 워크(10)의 주연부(101)와 접촉 부재(16)와의 사이에서 통전에 의해 발생하는 발열을, 밀봉 공간(5)의 액체에 의해 냉각할 수 있고, 따라서, 양자의 손상이나 고착을 방지할 수 있다.
(b) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 도전 부재(15)가 종래에 비해 폭이 넓으면서도 두꺼운 형태를 가지고 있으므로, 전체 둘레에 있어서의 임의의 점에서 대략 균등한 저항값을 나타낼 수 있고, 따라서, 워크(10)의 전체 둘레에 걸쳐 균일한 통전을 실시할 수 있으며, 그러므로, 워크(10)의 전면(102)만 또는 후면(103)만 또는 양면(102, 103)의, 전면에 걸쳐 균일한 도금 처리를 실시할 수 있다.
(c) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 접촉 부재(16)가 즐상(櫛狀) 접촉 부재이기 때문에, 도전 부재(15)가 폭이 넓으면서 두꺼운 형태를 가지고 있더라도, 워크(10)에 대해 양호한 통전을 실시할 수 있다.
(d) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 즐상 접촉 부재(16)가 본체(13)의 각 변에 있어서 6개로 분할되어 있기 때문에, 고장난 부재(16)만을 용이하게 교환할 수 있다.
(e) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 내주 씰 부재(17)가, 접촉 볼록부(171)와 삽입 볼록부(172)와 평면부(173)를 가지고, 나아가, 접촉 볼록부(171)의 내측면(1711)이 바깥쪽을 향해 경사져 있기 때문에, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.
(e-1) 내측면(1711)이 바깥쪽을 향해 경사져 있기 때문에, 워크 유지 지그(1A)에 의해 워크(10)를 유지할 때, 도 13에 나타나는 바와 같이, 접촉 볼록부(171)가 화살표 방향(외측)을 향해 무너져 간다. 그 결과, 워크(10)는, 도 14에 나타나는 바와 같이, 바깥쪽을 향해 당겨진 상태로 유지된다. 따라서, 워크 유지 지그(1A)에 의해 워크(10)를 유지할 때, 워크(10)가 휘는 것을 방지할 수 있다.
(e-2) 내주 씰 부재(17)는, 삽입 볼록부(172)를 본체(13)의 홈부(132)에 삽입하고, 접촉 부재(16)를 볼트(165)에 의해 도전 부재(15)에 고정할 때 평면부(173)를 접촉 단자(161)에 의해 누름으로써, 본체(13)에 장착할 수 있다. 또한, 그 반대로, 내주 씰 부재(17)는, 볼트(165)를 뺌으로써 접촉 부재(16)를 도전 부재(15)로부터 떼어내고, 삽입 볼록부(172)를 홈부(132)로부터 꺼냄으로써, 본체(13)로부터 떼어낼 수 있다. 따라서, 내주 씰 부재(17)를 본체(13)에 대해 간단하게 탈착할 수 있고, 내주 씰 부재(17)의 교환을 용이하게 실시할 수 있다. 덧붙여서, 내주 씰 부재(17)는, 반복 사용에 따라 열화 또는 변형이 생기기 쉽기 때문에, 용이하게 교환이 가능하다는 것은, 큰 장점이다.
(e-3) 접촉 단자(161)가, 통전의 역할과 내주 씰 부재(17)를 고정하는 역할의 두 가지 역할을 겸하고 있기 때문에, 부품 수의 삭감을 도모할 수 있다.
(f) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 배기구(125)가 액 주입구(124)보다 높은 위치에 존재하고 있기 때문에, 워크 유지 지그(1A)를 용기(200) 의 액체(201) 속에 침지시킬 때, 액 주입구(124)를 액체(201)의 액면(202)보다 아래에 위치시키면서 배기구(125)를 액면(202)보다 위에 위치시킨 상태로, 경사지게 할 수 있다. 그 결과, 밀봉 공간(5) 내의 공기를 확실하게 배기구(125)로부터 배기하면서, 액체(201)를, 액 주입구(124)로부터 밀봉 공간(5) 내에 확실하게 충전할 수 있다.
(g) 상기 구성의 워크 유지 지그(1A)에 따르면, 제1 프레임 체(11) 및 제2 프레임 체(12)가, 각각, 도전 부재(15), 제1 접속 단자(151), 제2 접속 단자(152) 및 접촉 부재(16)를 가지고 있으므로, 워크(10)의 전면(102)과 후면(103)에 다른 통전량을 설정할 수 있고, 그러므로, 양면 도금 처리를 정밀하게 제어할 수 있다.
(h) 상기 구성의 전기 도금 장치(9A)에 따르면, 워크 유지 지그(1A)의 밀봉 공간(5)에 액체가 충전되어 있기 때문에, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.
(h1) 워크(10)에 대해 도금 처리를 실시할 때, 밀봉 공간(5)에 도금액(20)이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 그러므로, 도금액(20)에 기인한 금속이 워크(10)의 주연부(101)나 접촉 부재(16)에 석출되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 도금 처리 후의 워크(10)를 워크 유지 지그(1A)로부터 떼어낼 때, 워크(10)나 접촉 부재(16)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
(h2) 워크(10)의 주연부(101)와 접촉 부재(16)와의 사이에서 통전에 의해 발생하는 발열을, 밀봉 공간(5)의 액체에 의해 냉각할 수 있고, 따라서, 양자의 손상이나 고착을 방지할 수 있다.
(i) 상기 구성의 전기 도금 장치(9A)에 따르면, 워크 유지 지그(1A)를 도금 처리 탱크(2A)에 대해 수직 방향으로부터 반입 반출하기 때문에, 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.
(j) 상기 구성의 전기 도금 장치(9A)에 따르면, 워크 유지 지그(1A)를 도금 처리 탱크(2A)에 대해 반입할 때, 좌우의 가이드 바(126, 127)가 좌우의 가이드 레일(231, 232)에 의해 안내되기 때문에, 워크 유지 지그(1A)를, 수직 상태를 유지한채 원활하게 반입할 수 있다.
[제1 실시 형태의 변형예]
상술한 제1 실시 형태는, 다음의 변형 구성 (1) ~ (7)을 임의로 하나 이상 채용해도 된다.
(1) 도 15에 나타나는 바와 같이, 즐상 접촉 부재(16)가, 본체(13)의 각 변에 있어서, 각 변의 전체 길이에 걸쳐 연속해 설치되어 있다. 이 구성에 따르면, 양 프레임 체(11, 12)의 조립 작업을 간소화 할 수 있다.
(2) 접촉 부재(16)가, 즐상 이외의 형상, 예를 들면 단순한 평판 형상을 가지고 있다. 나아가, 이 경우에 있어서도, 접촉 부재(16)는, 본체(13)의 각 변에 있어서, 분할해 설치되어도 되고, 또는, 각 변의 전체 길이에 걸쳐 연속해 설치되어도 된다.
(3) 내주 씰 부재(17)가, 도 16에 나타나는 바와 같이, 접촉 볼록부(171)만을 가지고 있다. 또한, 내측면(1711)은, 바깥쪽을 향해 경사져 있다. 이 경우, 내주 씰 부재(17)는, 접착제 또는 나사 고정에 의해, 본체(13)에 접합되어 있다. 이 구성에 따라서도, 제1 실시 형태의 (e-2) 및 (e-3) 이외의 효과를 발휘할 수 있다.
(4) 도 17 및 도 18에 나타나는 바와 같이, 접촉 부재(16)가, 도전 부재(15) 가 아니라 배선(19)에 전기적 접속하고 있다. 배선(19)은, 복수 설치되고, 각 접촉 부재(16)에는, 각각, 동일한 길이의 배선(19)이 접속되어 있다. 또한, 도전 부재(15)는, 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐 설치되어 있는데, 배선(19)은, 모든 접촉 부재(16)에 통전이 가능하다면, 본체(13)의 전체 둘레에 걸쳐 설치되지 않아도 된다. 이 구성에 따라서도, 워크(10)의 전체 둘레에 걸쳐 균일한 통전을 실시할 수 있고, 그러므로, 워크(10)의 전면(102) 및/또는 후면(103)의 전면에 걸쳐, 균일한 도금 처리를 실시할 수 있다. 또한, 도 17 및 도 18에 나타나는 예에서는, 내주 씰 부재(17)는, 도 16에 나타나는 구성을 가지고 있는데, 도 9에 나타나는 구성을 가져도 된다.
(5) 배기구(125)가, 액 주입구(124)를 위로 향한 상태에서 액 주입구(124) 보다 높은 위치에 존재하고 있지 않다. 예를 들면, 배기구(125)가, 액 주입구(124)를 위로 향한 상태에서 액 주입구(124)와 동일한 높이 위치에 존재하고 있다. 이 구성에 따르면, 본체(13)에 상방 연재부(13E)를 형성할 필요가 없기 때문에, 본체(13)의 구성을 간소화 할 수 있고, 따라서, 본체(13)의 생산성을 향상할 수 있다.
(6) 제1 접속 단자(151)와 제2 접속 단자(152)에 동시에 통전하도록 설정한다. 이것에 따르면, 워크(10)의 우변(105)에의 통전 경로의 저항값과, 좌변(106)에의 통전 경로의 저항값을, 대략 동일하게 할 수 있고, 그러므로, 워크(10)의 전면(102) 및/또는 후면(103)의 전면에 걸쳐, 균일한 도금 처리를 실시할 수 있다.
(7) 전기 도금 장치(9A)에, 제1 프레임 체(11)의 제1 접속 단자(151) 및 제2 접속 단자(152)와 제2 프레임 체(12)의 제1 접속 단자(151) 및 제2 접속 단자(152)에 통전하기 위한 4개소의 통전부를 설치한다. 이것에 따르면, 워크(10)의 우변(105)에의 통전 경로의 저항값과, 좌변(106)에의 통전 경로의 저항값을, 대략 동일하게 해, 균일한 도금 처리를 실시할 수 있고, 또한, 워크(10)의 전면(102)과 후면(103)에 다른 통전량을 설정해, 양면 도금 처리를 정밀하게 제어할 수 있다.
[제2 실시 형태]
본 발명의 제2 실시 형태는, 제1 실시 형태의 워크 유지 지그(1A)와는 다른 워크 유지 지그(1B)에 관한 것이다. 워크 유지 지그(1B)는, 도 19에 나타나는 바와 같이, 워크 유지 지그(1A)에 대해, 제2 프레임 체(12) 대신에 백 패널(제2 부재)(12A)을 이용한 점만이 다르다. 즉, 워크 유지 지그(1B)는, 직사각형의 제1 프레임 체(11)와 직사각형의 백 패널(12A)을 구비하고, 양자의 사이에서 판상의 워크(10)를 유지하도록 되어 있으며, 양면 도금 처리가 아니라 편면 도금 처리를 실행하도록 되어 있다.
백 패널(12A)에는, 워크(10)가 겹쳐지도록 되어 있다. 제1 프레임 체(11)는, 백 패널(12A)과의 사이에서 워크(10)의 주연부(101)를 유지하도록 백 패널(12A)에 장착되게 되어 있다. 백 패널(12A)도, 예를 들면 염화비닐수지로 구성되어 있다.
도 20 및 도 21은, 도 19의 XX-XX 단면에 상당하는 부분도이며, 도 20은 제1 프레임 체(11)가 백 패널(12A)에 장착되기 전의 상태를 나타내고 있고, 도 21은 제1 프레임 체(11)가 백 패널(12A)에 장착된 후의 상태를 나타내고 있다. 즉, 도 21은, 워크 유지 지그(1A)가 워크(10)를 유지한 상태를 나타내고 있다. 백 패널 (12A)은, 본체(13)의 후측 개구(130)에 끼운 볼록부(111)를 가지며, 워크(10)는, 볼록부(111)의 단면 (112)에 형성되어 있는 얕은 오목부(113)에 끼워지게 되어 있다. 또한, 제1 프레임 체(11)는, 도 21의 상태에서, 즉, 씰 부재(17) 및 접촉 부재(16)의 접촉 단자(161)가 워크(10)의 주연부(101)에 맞닿은 상태로, 주연부(101), 도전 부재(15), 및 접촉 부재(16)를 수용하는 밀봉 공간(5)을 구성하도록 되어 있다. 또한, 제1 프레임 체(11)는, 백 패널(12A)의 주연부(119)에 볼트(18)로 고정됨으로써, 백 패널(12A)에 장착되어 있다.
이 구성에 따라서도, 제1 실시 형태의 워크 유지 지그(1A)와 마찬가지의 효과를 발휘할 수 있다. 예를 들면, 내주 씰 부재(17)의 내측면(1711)이 바깥쪽을 향해 경사져 있기 때문에, 워크 유지 지그(1A)에 의해 워크(10)를 유지할 때, 도 22에 나타나는 바와 같이, 접촉 볼록부(171)가 화살표 방향(외측)을 향해 무너져 가고, 그 결과, 워크(10)는, 도 23에 나타나는 바와 같이, 바깥쪽을 향해 당겨진 상태로 유지된다. 따라서, 워크 유지 지그(1A)에 의해 워크(10)를 유지할 때, 워크(10)가 휘는 것을 방지할 수 있다.
[제2 실시 형태의 변형예]
제1 실시 형태의 경우와 동일한 변형 구성 (1) ~ (5) 및 변형 구성 (8)을, 임의로 하나 이상 채용해도 된다. 예를 들면, 도 24에 나타나는 변형예에서는, 제1 프레임 체(11)가, 도 16과 동일한 구성의 내주 씰 부재(17)를 나타내고, 또한, 도 17과 동일한 구성의 배선(19)을 가지며, 볼트(18)의 관통 구멍을 가지고, 백 패널(12A)이, 외주 패킹(170)을 가지고 있다.
(8) 액 주입구(124) 및/또는 배기구(125)가, 백 패널(12A)에 설치되어 있다.
[제3 실시 형태]
(전체 구성)
도 25는, 본 발명의 제3 실시 형태의 전기 도금 장치(9B)의 평면도이다. 도 26은, 도 25의 XXⅥ-XXⅥ 단면 개략도이다. 이 전기 도금 장치(9B)는, 워크 유지 지그(1B)와, 도금 처리 탱크(2B) 및 간만 탱크(4)와, 반송 기구(3B)를 구비하고 있다. 워크 유지 지그(1B)는, 직사각형의 판상 워크를 유지하도록 구성되어 있다. 도금 처리 탱크(2B)는, 워크 유지 지그(1B)에 유지된 워크에 대해 도금 처리를 실시하도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 3대의 도금 처리 탱크(2B)가 일렬로 나란히 배치되고, 각 도금 처리 탱크(2B)에는 간만 탱크(4)가 전치되어 있다. 반송 기구(3B)는, 워크를 유지한 워크 유지 지그(1B)를, 도금 처리 탱크(2B)에 대해 수평 방향으로부터 반입 반출하도록 구성되어 있다.
(워크 유지 지그)
도 27은, 워크 유지 지그(1B)의 분해 사시도이다. 워크 유지 지그(1B)는, 제1 실시 형태의 워크 유지 지그(1A)에 비해, 다음과 같은 점에서만 차이가 있고, 그 외의 구성, 즉, 액 주입구(124), 공기 빼냄구(125), 본체(13), 도전 부재(15), 및 접촉 부재(16) 등의 구성은 동일하다.
(i) 제1 프레임 체(11)의 본체(13)의 상변(13A)에, 손잡이(122)를 대신해, 쥠부(123)를 가지고 있다.
(ii) 좌우의 가이드 바(126, 127)를 대신해, 상하의 가이드 바(128, 129)를 가지고 있다. 상단 가이드 바(128)는, 본체(13)의 상변(13A)을 따라 설치되고, 제1 프레임 체(11)의 상변(13A)의 전면에 있어서 전방향으로 돌출된 상전 가이드 바(1281)와, 제2 프레임 체(12)의 상변(13A)의 후면에 있어서 후방향으로 돌출된 상후 가이드 바(1282)를 가지고 있다. 하단 가이드 바(129)는, 제1 프레임 체(11)의 본체(13)의 하변(13D)을 따라 설치되고, 하변(13D)의 하면에 있어서 아래 방향으로 돌출되어 있다.
(도금 처리 탱크)
도 28은, 도 26의 XXⅧ-XXⅧ 단면 개략도이다. 도금 처리 탱크(2B)는, 제1 실시 형태의 도금 처리 탱크(2A)에 비해, 다음과 같은 점에서만 차이가 있고, 그 외의 구성, 즉, 도금액(20), 제1 양극(211), 제2 양극(212), 제1 분류 기구(221), 및 제2 분류 기구(222) 등의 구성은 동일하다.
(i) 통전부(24)를 가지고 있다. 통전부(24)는, 워크 유지 지그(1B)가 도금 처리 탱크(2B)에 반입된 때, 제1 접속 단자(151)에 맞닿도록 설치되어 있다.
(ii) 좌우의 가이드 레일(231, 232)을 대신해, 워크 유지 지그(1B)가 도금 처리 탱크(2B)에 대해 수평 방향으로부터 반입 반출될 때 상하의 가이드 바(128, 129)를 안내하는 상하의 가이드 레일(251, 252)을 가지고 있다. 상단 가이드 레일(251)은, 상전 가이드 바(1281)를 안내하는 상전 가이드 레일(2511)과, 상후 가이드 바(1282)를 안내하는 상후 가이드 레일(2512)을 가지고 있다. 또한, 가이드 레일은, 가이드 바가 수평 방향으로 슬라이딩이 가능한 기구를 가지고 있다.
(iii) 전단에, 간만 탱크(4)를 구비하고 있다. 즉, 도금 처리 탱크(2B)에는 간만 탱크(4)가 전치되고, 양 탱크의 사이는, 제1 개폐 게이트(41)로 나뉘어져 있다. 간만 탱크(4)는, 워크 유지 지그(1B)가 간만 탱크(4)에 대해 수평 방향으로부터 반입 반출될 때 상하의 가이드 바(128, 129)를 안내하는 상하의 가이드 레일(421, 422)을 가지고 있다. 상하의 가이드 레일(421, 422)은, 도금 처리 탱크(2B)의 상하의 가이드 레일(251, 252)과 같은 구성을 가지고 있다. 나아가, 간만 탱크(4)는, 제1 개폐 게이트(41)에 대향하는 측에, 제2 개폐 게이트(43)를 가지고 있다. 양 개폐 게이트(41, 43)는, 좌우 방향으로 개폐하도록 되어 있다.
(반송 기구)
반송 기구(3B)는, 워크 유지 지그(1B)를 도금 처리 탱크(2B)에 대해 수평 방향으로부터 반입 반출하는 수평 반송 기구(34)와, 워크 유지 지그(1B)를 도금 처리 탱크(2B)에 대한 반입 반출 위치까지 운반하는 제2 운반 기구(35)를 가지고 있다.
수평 반송 기구(34)는, 반송 레일(341)과, 반송부(342)를 구비하고 있다. 반송 레일(341)은, 간만 탱크(4) 및 도금 처리 탱크(2B)의 상방에 있어서 양 탱크를 가로질러 뻗도록 설치되어 있다. 반송부(342)는, 수직 상태의 워크 유지 지그(1B)를 쥠부(123)를 통해 쥐고, 워크 유지 지그(1B)를 동반해, 반송 레일(341)을 따라 이동하도록 설치되어 있다.
제2 운반 기구(35)는, 좌우 한 쌍의 수평 레일(351)과, 운반대(352)를 가지고 있다. 수평 레일(351)은, 일렬로 나란히 배치되어 있는 3대의 간만 탱크(4)를 따라서 뻗어 있다. 운반대(352) 위에는, 도금 처리 탱크(2B)의 상단 가이드 레일(251) 및 간만 탱크(4)의 상단 가이드 레일(421)과 동일한 상단 가이드 레일(353)과, 도금 처리 탱크(2B)의 하단 가이드 레일(252) 및 간만 탱크(4)의 하단 가이드 레일(422)과 동일한 하단 가이드 레일(354)이 설치되어 있다. 운반대(352)는, 반송부(342)에 쥐어지면서 상단 가이드 레일(353) 및 하단 가이드 레일(353)에 지지된 워크 유지 지그(1B)를, 반송 레일(341)과 함께, 수평 레일(351)을 따라서 운반하도록 되어 있다. 따라서, 제2 운반 기구(35)는, 반송부(342)에 쥐어진 워크 유지 지그(1B)를, 임의의 도금 처리 탱크(2B)에 대한 반입 반출 위치까지 운반할 수 있다.
(작동)
상기 구성의 전기 도금 장치(9B)는, 다음과 같이 작동한다.
(1) 워크 유지
제1 실시 형태와 마찬가지로 실시함으로써, 워크 유지 지그(1B)에 의해 워크(10)를 유지한다. 이것으로써, 워크(10)의 주연부(101)에는, 도 7에 나타나는 바와 같은 밀봉 공간(5)이 구성된다.
(2) 액 주입
제1 실시 형태와 마찬가지로 실시함으로써, 액체를, 액 주입구(124)로부터 밀봉 공간(5)에 주입한다. 그 때, 밀봉 공간(5) 내의 공기는, 공기 빼냄구(125)로부터 확실하게 빠져 나가므로, 액체의 주입은 원활하게 이루어진다.
(3) 운반
제2 운반 기구(35)를 작동시켜서, 워크 유지 지그(1B)를, 도금 처리 탱크(2B)에 대한 반입 반출 위치까지 운반한다. 도 25에서는, 가장 안쪽의 도금 처리 탱크(2B)까지 운반하고 있다.
(4) 반입
우선, 제2 개폐 게이트(43)를 연다. 이 때, 제1 개폐 게이트(41)는 닫혀 있고, 도금 처리 탱크(2B)에는 도금액(20)이 채워져 있다. 다음으로, 수평 반송 기구(34)를 작동시켜서, 반송부(342)를 워크 유지 지그(1B)와 함께 반송 레일(341)을 따라 이동하게 하고, 워크 유지 지그(1B)를, 간만 탱크(4)에 반입한다. 다음으로, 제2 개폐 게이트(43)를 닫는다. 다음으로, 간만 탱크(4)에 도금액(20)을 주입하고, 간만 탱크(4)를 도금액(20)으로 채운다. 다음으로, 제1 개폐 게이트(41)를 연다. 다음으로, 수평 반송 기구(34)를 작동시켜서, 반송부(342)를 워크 유지 지그(1B)와 함께 반송 레일(341)을 따라 이동하게 하고, 워크 유지 지그(1B)를, 간만 탱크(4)로부터 도금 처리 탱크(2B)에 반입한다. 다음으로, 제1 개폐 게이트(41)를 닫는다. 이것으로써, 워크 유지 지그(1B)가, 도금 처리 탱크(2B)에 반입된다. 또한, 이 때, 워크 유지 지그(1B)는, 하단 가이드 바(129)가, 운반대(352)의 하단 가이드 레일(354), 간만 탱크(4)의 하단 가이드 레일(422), 및 도금 처리 탱크(2B)의 하단 가이드 레일(252)에 의해 안내되고, 상단 가이드 바(128)가, 간만 탱크(4)의 상단 가이드 레일(421) 및 도금 처리 탱크(2B)의 상단 가이드 레일(251)에 의해 안내되므로, 수직 상태를 유지한 채, 간만 탱크(4), 나아가서는 도금 처리 탱크(2B)에 원활하게 반입된다.
(5) 도금 처리
전원 스위치(미도시)를 온하고, 워크(10)에의 통전을 실시한다. 이것으로써, 워크(10)에 대해, 편면 도금 처리 또는 양면 도금 처리가 이루어진다. 워크(10)에의 통전은, 전원(미도시)으로부터, 통전로(미도시), 통전부(24), 제1 접속 단자(151), 도전 부재(15), 및 접촉 부재(16)를 거침으로써 실시된다. 이 때, 밀봉 공간(5)에는 액체가 충전되어 있기 때문에, 밀봉 공간(5)에의 도금액(20)의 침입을 방지할 수 있다.
(6) 반출
우선, 제1 개폐 게이트(41)를 연다. 다음으로, 수평 반송 기구(34)를 작동시켜서, 반송부(342)를 워크 유지 지그(1B)와 함께 반송 레일(341)을 따라 이동하게 하고, 워크 유지 지그(1B)를, 도금 처리 탱크(2B)로부터 간만 탱크(4)에 반출한다. 다음으로, 제1 개폐 게이트(41)를 닫는다. 다음으로, 간만 탱크(4) 내의 도금액(20)을 간만 탱크(4)로부터 배출한다. 다음으로, 제2 개폐 게이트(43)를 연다. 그리고, 수평 반송 기구(34)를 작동시켜서, 반송부(342)를 워크 유지 지그(1B)와 함께 반송 레일(341)을 따라 이동하게 하고, 워크 유지 지그(1B)를, 간만 탱크(4)로부터 반출한다.
(효과)
상기 구성의 워크 유지 지그(1B) 및 전기 도금 장치(9B)에 따르면, 제1 실시 형태와 동일한 (a) ~ (j)의 효과를 발휘할 수 있다. 나아가, 다음의 효과를 발휘할 수 있다.
(k) 상기 구성의 전기 도금 장치(9B)에 따르면, 워크 유지 지그(1B)를 도금 처리 탱크(2B)에 대해 수평 방향으로부터 반입 반출하기 때문에, 장치의 설치 공간을 낮게 할 수 있다.
(l) 상기 구성의 전기 도금 장치(9B)에 따르면, 워크 유지 지그(1B)를 도금 처리 탱크(2B)에 대해 반입할 때, 상하의 가이드 바(128, 129)가 상하의 가이드 레일(251, 252; 421, 422)에 의해 안내되므로, 워크 유지 지그(1B)를, 수직 상태를 유지한 채 원활하게 반입할 수 있다.
[제3 실시 형태의 변형예]
상술한 제3 실시 형태도, 제1 실시 형태와 동일한 변형 구성을 채용해도 된다.
[다른 실시 형태]
본 발명은, 하기와 같은 다른 구성을 채용해도 된다.
(i) 워크 유지 지그가, 워크(10)를, 수직이 아니라, 경사지게 또는 수평으로, 유지하도록 되어 있다.
(ii) 제1 프레임 체(11)와 제2 프레임 체(12)가, 볼트(18)가 아니라, 매미 고리(draw latch), 예를 들면 토글 래치를 이용해 고정되어 있다.
(iii) 판상 워크(10)가, 직사각형이 아니라, 원형 또는 다각형 또는 그 외의 형상을 가지고 있다. 또한, 그것에 대응하여, 제1 프레임 체(11) 및 제2 프레임 체(12)도, 직사각형이 아니라, 원형 또는 다각형 또는 그 외의 형상을 가지고 있다.
(iv) 액 주입구(124) 및/또는 배기구(125)가, 제1 프레임 체(11)에만 설치되고, 또는, 제2 프레임 체(12)에만 설치되어 있다.
본 발명의 워크 유지 지그는, 도금 처리 후의 워크를 워크 유지 지그로부터 떼어낼 때 워크나 접촉 부재가 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 산업상의 이용 가치가 크다.
1A, 1B --- 워크 유지 지그
10 --- 워크
101 --- 주연부
11 --- 제1 프레임 체 (제1 부재)
12 --- 제2 프레임 체 (제2 부재)
124 --- 액 주입구
125 --- 배기구
13 --- 본체
132 --- 홈부
15 --- 도전 부재
16 --- 접촉 부재
161 --- 접촉 단자 (선단부)
17 --- 내주 씰 부재
171 --- 접촉 볼록부
1711 --- 내측면
172 --- 삽입 볼록부
173 --- 평면부
19 --- 배선
2A, 2B --- 도금 처리 탱크
3A, 3B --- 반송 기구
20 --- 도금액
5 --- 밀봉 공간
9A, 9B --- 전기 도금 장치

Claims (10)

  1. 전기 도금 처리의 피처리물인 판상(板狀) 워크를 유지하기 위한 워크 유지 지그에 있어서,
    제1 부재 및 제2 부재를 구비하고, 상기 양 부재의 사이에서 상기 워크를 유지하도록 되어 있으며,
    상기 제1 부재는, 상기 제2 부재와의 사이에서 상기 워크의 주연부를 유지하도록 상기 제2 부재에 장착되게 되어 있으며,
    상기 제1 부재 및 상기 제2 부재의 적어도 한쪽이, 프레임 체이며,
    상기 프레임 체는, 환상(環狀)의 본체와, 도전 부재와, 상기 워크의 상기 주연부에 전기적 접촉이 가능하도록 상기 도전 부재에 전기적 접속해 설치된 접촉 부재와, 상기 접촉 부재보다 내측에 있어서 상기 본체의 전체 둘레에 걸쳐 설치된 내주 씰 부재를 가지고 있으며,
    상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는, 상기 내주 씰 부재 및 상기 접촉 부재가 상기 워크의 상기 주연부에 맞닿은 상태로, 상기 워크의 상기 주연부와, 상기 도전 부재와, 상기 접촉 부재를 수용하는 밀봉 공간을 구성하도록 되어 있으며,
    상기 제1 부재 및/또는 상기 제2 부재는, 상기 밀봉 공간에 액체를 충전하기 위한 액 주입구를 가지고 있으며,
    상기 제1 부재 및/또는 상기 제2 부재는, 상기 밀봉 공간 내의 공기를 배기하기 위한 배기구를 가지고 있는,
    것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
  2. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 배기구는, 상기 액 주입구를 위로 향한 상태에서 상기 액 주입구보다 높은 위치에 존재하고 있는, 워크 유지 지그.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2의 기재에 있어서,
    상기 제1 부재 및 상기 제2 부재의 양쪽이, 프레임 체이며,
    상기 양 프레임 체는, 각각, 상기 본체와, 상기 도전 부재와, 상기 접촉 부재와, 상기 내주 씰 부재를 가지고 있으며,
    상기 양 프레임 체는, 각각의 상기 내주 씰 부재 및 상기 접촉 부재가 상기 워크의 상기 주연부에 양측에서 맞닿은 상태로, 상기 워크의 상기 주연부와, 상기 양 프레임체의 상기 도전 부재와, 상기 양 프레임 체의 상기 접촉 부재를 수용하는 밀봉 공간을 구성하도록 되어 있는, 워크 유지 지그.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항의 기재에 있어서,
    상기 도전 부재는, 상기 본체의 전체 둘레에 걸쳐 설치되고, 전체 둘레에 있어서의 임의의 점에서 대략 균등한 저항값을 나타내는 듯한, 폭이 넓으면서도 두꺼운 형태를 가지고 있는, 워크 유지 지그.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항의 기재에 있어서,
    상기 내주 씰 부재는, 접촉 볼록부와 삽입 볼록부와 평면부를 가지고 있으며,
    상기 삽입 볼록부는, 상기 본체에 형성된 홈부에 삽입되어 있으며,
    상기 평면부는, 상기 접촉 부재의 선단부에 의해 상기 본체를 향해 눌려 있으며,
    상기 접촉 볼록부는, 상기 접촉 부재의 상기 선단부보다 내측에 있어서, 상기 삽입 볼록부와는 반대 방향이면서 상기 평면부를 넘어 돌출되어 있으며,
    상기 접촉 볼록부의 내측면은, 바깥쪽을 향해 경사져 있는, 워크 유지 지그.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 기재에 있어서,
    상기 접촉 부재는, 상기 워크의 상기 주연부에 전기적 접촉을 하기 위한 다수의 병설된 판스프링형 접촉 단자를 가진 즐상(櫛狀) 접촉 부재인, 워크 유지 지그.
  7. 청구항 6의 기재에 있어서,
    상기 본체는, 직사각형을 가지고 있으며,
    상기 즐상 접촉 부재는, 상기 본체의 각 변에 있어서, 연속해, 또는, 분할해 설치되어 있는, 워크 유지 지그.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 워크 유지 지그를 구비하고, 상기 워크를 상기 워크 유지 지그에 의해 유지하여, 유지된 상기 워크에 대해 전기 도금 처리를 실시하는, 전기 도금 장치로서,
    도금액을 수용하고, 상기 워크에 대해 전기 도금 처리를 실시하는, 도금 처리 탱크와,
    상기 워크를 유지한 상기 워크 유지 지그를, 상기 도금 처리 탱크에 대해 반입 반출하는 반송 기구를,
    구비하고 있으며,
    상기 워크 유지 지그의 상기 밀봉 공간에는, 금속염을 포함하고 있지 않은 액체가 충전되어 있는,
    것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  9. 청구항 8의 기재에 있어서,
    상기 액체는, 수돗물, 천연수, 또는 순수한 물이며,
    상기 순수한 물은, 탈(脫)이온수, 증류수, 정제수, 또는 RO수(水)인, 전기 도금 장치.
  10. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 워크 유지 지그의 상기 밀봉 공간에 액체를 충전하는 액체 충전 방법으로서,
    상기 워크 유지 지그를 액체 속에 침지시키는 침지 공정을 가지고 있으며,
    상기 침지 공정에 있어서는, 상기 액 주입구를 상기 액체의 액면보다 하방에 위치시키면서, 상기 배기구를 상기 액면보다 상방에 위치시키고, 동시에, 상기 워크 유지 지그 전체를 상기 배기구측이 높아지도록 경사지게 하는,
    것을 특징으로 하는 액체 충전 방법.
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