JP7003005B2 - 基板ホルダ及びめっき装置 - Google Patents
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Description
めっき装置は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダ10を基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置140を有する。この基板ホルダ搬送装置140は、第1トランスポータ142と、第2トランスポータ144を有している。第1トランスポータ142は、フィキシングユニット135、ストッカ124、プリウェット槽126、プリソーク槽128、第1洗浄槽130a、及びブロー槽132との間で基板を搬送するように構成される。第2トランスポータ144は、第1洗浄槽130a、第2洗浄槽130b、ブロー槽132、及びめっき槽150との間で基板を搬送するように構成される。具体的には、第1トランスポータ142及び第2トランスポータ144は、保持された基板の面内方向が鉛直方向を向いた状態で、基板ホルダ10を搬送する。言い換えれば、第1トランスポータ142及び第2トランスポータ144は、基板を保持した基板ホルダ10を、鉛直方向を向いた状態で搬送する。
ダ10が垂直に吊下げ支持される。また、第1保持部材11は、基板ホルダ搬送装置140が基板ホルダ10を搬送するときに把持するための一対の開口16を有する。
ている。図4に示すように、第2保持部材12は、シールリングホルダ20と、基板側シール部材21(シール部材の一例に相当する)と、ホルダ側シール部材22(シール部材の一例に相当する)と、インナーリング23と、コンタクト24と、を有する。シールリングホルダ20は、略板状のリングである。シールリングホルダ20は、第2保持部材12を第1保持部材に取り付けたときに露出される部材であり、耐めっき液の観点から、例えばPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)により形成される。
6の一端はベースプレート42に形成された凹部42aに収納され、バネ56の他端は基板載置台43に形成された凹部43aに収納される。図5Aに示すように第2保持部材12が第1保持部材11から離間しているときは、バネ56により、基板載置台43はベースプレート42から最も離間した位置に付勢される。
に電流が流れる。図5Bに示すロック状態では、引っ掛けリング45と引っ掛けピン26とが接触しているので、ベースプレート42、引っ掛けリング45、引っ掛けピン26、インナーリング23を通じて、基板Wfと接触しているコンタクト24に電流が流れる。
状は任意である。また、本実施形態では、引っ掛けリング45は貫通孔45a及び貫通孔45bを有するが、これらに代えて、同様の機能を発揮する切欠きを有していてもよい。
に示した治具用内部通路48は、基板ホルダ10の外部から引っ掛けリング45の複数の歯65に通じるように形成される。
。また、基板載置台43には、基板載置台43とボディ40との隙間の空間と、吸着パッド44とを連通する孔43bが形成される。
ィキシングユニット135により取り外される。具体的には、フィキシングユニット135は、引っ掛けリング45を周方向に移動させて引っ掛けピン26との係合を解除し、第2保持部材12を第1保持部材11から離間させる。ここで、めっき処理の間基板側シール部材21は基板Wfの表面に圧接されているので、基板側シール部材21が基板Wfに貼り付いていることがある。そのため、基板側シール部材21に貼り付いた基板Wfが第2保持部材12と共に第1保持部材11から取り外された場合、基板側シール部材21から不意に脱離するなどして基板Wfが落下して破損することがある。
外周部近傍において、ボルト等の固定部材72a及び72bによって互いに固定される。具体的には、ボディ40は、引っ掛けリング45の径方向外側において固定部材72aによってベースプレート42に固定され、ボディ40の径方向内側において固定部材72bによってベースプレート42に固定される。一方、図示しないが、ボディ40の固定部材72bよりも径方向内側部分は、ベースプレート42には固定されていない。本実施形態によれば、基板ホルダ10が昇温して、ボディ40の熱膨張量とベースプレート42の熱膨張量との差が大きくなっても、固定部材72a及び固定部材72bにより、ボディ40とホルダ側シール部材22とのずれが発生するのを防止することができる。
グ23をシールリングホルダ20に固定するボルト75との間を絶縁するように構成された絶縁材74bとを有する。絶縁材74a及び絶縁材74bは、例えばPVC(ポリ塩化ビニル)等で形成され得る。これにより、シールリングホルダ20がインナーリング23から絶縁され、シールリングホルダ20にめっきされることを防止することができる。
けリング45は、貫通孔45a、貫通孔45b、及び貫通孔45cに代えて、同様の機能を発揮する切欠きを有していてもよい。
第1形態によれば、基板を保持するように構成される基板ホルダが提供される。この基板ホルダは、第1保持部材と、前記第1保持部材と共に前記基板を挟み込むように構成される第2保持部材と、前記基板ホルダの内部に封止された空間を形成するように構成されるシール部材と、前記第1保持部材と前記第2保持部材との一方に固定されるピンと、前記第1保持部材と前記第2保持部材との他方に設けられ、前記ピンと係合するリングと、前記リングを周方向に移動させるように構成される移動機構と、を有する。前記ピンと前記リングとを互いに係合することで前記第1保持部材と前記第2保持部材が互いに固定される。前記ピン及び前記リングは、前記封止された空間の内部に設けられる。
させることができる。
材を第1保持部材に圧接させた状態で第1保持部材と第2保持部材とを互いに固定することができる。
方向内側に作用させることができる。その結果、従来に比べて、基板側シール部材とホルダ側シール部材を第1保持部材に押さえつける力をより均等にすることができ、基板ホルダの内部空間をより適切に封止することができる。
11…第1保持部材
12…第2保持部材
18…外部接点部
20…シールリングホルダ
21…基板側シール部材
22…ホルダ側シール部材
24…コンタクト
26…引っ掛けピン
26a…ロック用大径部
26b…小径部
26c…セミロック用大径部
44…吸着パッド
45…引っ掛けリング
45a…貫通孔
45b…貫通孔
45c…貫通孔
49…ロッド用内部通路
51…基板吸着用真空ライン
56…バネ
60…ロッド部材
61…中間部材
64…治具
64a…歯
65…歯
69…パッキン
70…リーク監視用配線
71…リーク監視用電極
150…めっき槽
Claims (20)
- 基板を保持するように構成される基板ホルダであって、
第1保持部材と、
前記第1保持部材と共に前記基板を挟み込むように構成される第2保持部材と、
前記基板ホルダの内部に封止された空間を形成するように構成されるシール部材と、
前記第2保持部材に固定されるピンと、
前記第1保持部材に設けられ、前記ピンと係合するリングと、
前記リングを周方向に移動させるように構成される移動機構と、を有し、
前記ピンと前記リングとを互いに係合することで前記第1保持部材と前記第2保持部材が互いに固定され、
前記ピン及び前記リングは、前記封止された空間の内部に設けられ、
前記第1保持部材は、外部電源と電気的に接続される外部接点部を有し、
前記リングは、前記外部接点部と電気的に接続され、
前記第2保持部材は、前記基板に電流を供給するように構成されるコンタクトを有し、
前記ピンは、前記コンタクトと電気的に接続され、
前記コンタクトは、前記ピンによって前記外部接点部と電気的に接続され、
前記ピンが前記リングに係合したとき前記基板と接触する前記コンタクトに電流が流れ、
前記ピンが前記リングに係合していないとき前記コンタクトは前記外部接点部と電気的に接続されない、基板ホルダ。 - 請求項1に記載された基板ホルダにおいて、
前記移動機構は、リンク機構を含む、基板ホルダ。 - 請求項2に記載された基板ホルダにおいて、
前記リンク機構は、
一端が前記基板ホルダの外部に位置し、他端が前記基板ホルダ内部に位置して、軸方向に移動可能なロッド部材と、
前記ロッド部材に一端が直接的又は間接的に連結され、他端が前記リングに直接連結された中間部材と、を有する、基板ホルダ。 - 請求項3に記載された基板ホルダにおいて、
前記ロッド部材が挿入されるロッド用内部通路と、
前記ロッド用内部通路を画定する壁面と前記ロッド部材の外周面との間を封止する第1パッキンと、を有する、基板ホルダ。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載された基板ホルダにおいて、
前記移動機構は、周方向に沿って前記リングに形成された複数の歯を有し、
前記基板ホルダは、前記基板ホルダの外部から前記複数の歯に通じる内部通路を有する、基板ホルダ。 - 請求項5に記載された基板ホルダにおいて、
前記複数の歯と係合するように構成された歯を有する治具を有し、
前記治具の歯は、前記治具が前記内部通路に挿入されたときに、前記複数の歯と係合するように構成される、基板ホルダ。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載された基板ホルダにおいて、
前記ピンは、ロック用大径部を有し、
前記リングは、前記ピンの前記ロック用大径部が通過可能な第1部分と、前記ピンの前記ロック用大径部と係合可能な第2部分とを有する、基板ホルダ。 - 請求項7に記載された基板ホルダにおいて、
前記移動機構は、前記ピンの前記ロック用大径部を前記第1部分に通過させて前記シール部材を前記第1保持部材に圧接させた状態において、前記リングを周方向に移動させて、前記ロック用大径部を前記リングの前記第2部分に係合させるように構成される、基板ホルダ。 - 請求項7又は8に記載された基板ホルダにおいて、
前記ピンは、前記ロック用大径部よりも径が小さい小径部と、前記小径部よりも径が大きいセミロック用大径部を有し、
前記小径部は、前記ロック用大径部と前記セミロック用大径部の間に位置し、
前記移動機構は、前記ピンの前記セミロック用大径部を前記第1部分に通過させて前記シール部材を前記第1保持部材から離間させた状態において、前記リングを周方向に移動させて、前記セミロック用大径部に前記リングの前記第2部分を係合させるように構成される、基板ホルダ。 - 請求項7に記載された基板ホルダにおいて、
前記ピンは、前記ロック用大径部よりも径が小さい小径部と、前記ロック用大径部よりも径が大きいセミロック用大径部を有し、
前記リングは、前記ピンのセミロック用大径部を係合可能な第3部分を有し、
前記第1部分と前記第3部分が連続して形成され、
前記第2部分と前記第3部分が連続して形成される、基板ホルダ。 - 請求項10に記載された基板ホルダにおいて、
前記移動機構は、前記ピンの前記ロック用大径部及びセミロック用大径部を前記第1部分に通過させて前記シール部材を前記第1保持部材に圧接させた状態において、前記リン
グを周方向に移動させて、前記ロック用大径部を前記リングの前記第2部分に係合させるように構成される、基板ホルダ。 - 請求項10又は11に記載された基板ホルダにおいて、
前記移動機構は、前記ピンの前記セミロック用大径部を前記第1部分に通過させて前記シール部材を前記第1保持部材から離間させた状態において、前記リングを周方向に移動させて、前記セミロック用大径部を前記リングの前記第3部分を係合させるように構成される、基板ホルダ。 - 請求項1から12のいずれか一項に記載された基板ホルダにおいて、
前記シール部材は、前記基板と接触するように構成される第1シール部と、前記第1保持部材と接触するように構成される第2シール部と、を有し、
前記ピンは、前記第1シール部と前記第2シール部との間に配置される、基板ホルダ。 - 請求項1から13のいずれか一項に記載された基板ホルダにおいて、
前記第1保持部材は、固定プレートと、前記基板を載置可能な基板載置台と、前記基板載置台を前記固定プレートから前記第2保持部材に向けて付勢して基板の厚みの変化を吸収する厚み吸収機構とを有する、基板ホルダ。 - 請求項14に記載された基板ホルダにおいて、
前記基板載置台に載置された前記基板の裏面を吸着するように構成される吸着パッドと、
前記固定プレートと前記基板載置台との間をシールする第2パッキンと、
前記固定プレートに形成され、前記第2パッキンの内部を介して前記吸着パッドと連通する真空ラインと、を有する、基板ホルダ。 - 請求項1から15に記載された基板ホルダと、
前記基板ホルダに保持された基板と、アノードと、を収容するように構成されるめっき槽と、を有する、めっき装置。 - 基板を保持するように構成される基板ホルダであって、
第1保持部材と、
前記第1保持部材と共に前記基板を挟み込むように構成される第2保持部材と、
前記基板ホルダの内部に封止された空間を形成するように構成されるシール部材と、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との一方に固定されるピンと、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との他方に設けられ、前記ピンと係合するリングと、
前記リングを周方向に移動させるように構成される移動機構と、を有し、
前記ピンと前記リングとを互いに係合することで前記第1保持部材と前記第2保持部材が互いに固定され、
前記ピン及び前記リングは、前記封止された空間の内部に設けられ、
前記移動機構は、リンク機構を含み、
前記リンク機構は、
一端が前記基板ホルダの外部に位置し、他端が前記基板ホルダ内部に位置して、軸方向に移動可能なロッド部材と、
前記ロッド部材に一端が直接的又は間接的に連結され、他端が前記リングに直接連結された中間部材と、を有し、
前記基板ホルダは、
前記ロッド部材が挿入されるロッド用内部通路と、
前記ロッド用内部通路を画定する壁面と前記ロッド部材の外周面との間を封止する第1
パッキンと、を有する、基板ホルダ。 - 基板を保持するように構成される基板ホルダであって、
第1保持部材と、
前記第1保持部材と共に前記基板を挟み込むように構成される第2保持部材と、
前記基板ホルダの内部に封止された空間を形成するように構成されるシール部材と、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との一方に固定されるピンと、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との他方に設けられ、前記ピンと係合するリングと、
前記リングを周方向に移動させるように構成される移動機構と、を有し、
前記ピンと前記リングとを互いに係合することで前記第1保持部材と前記第2保持部材が互いに固定され、
前記ピン及び前記リングは、前記封止された空間の内部に設けられ、
前記移動機構は、周方向に沿って前記リングに形成された複数の歯を有し、
前記基板ホルダは、前記基板ホルダの外部から前記複数の歯に通じる内部通路を有する、基板ホルダ。 - 基板を保持するように構成される基板ホルダであって、
第1保持部材と、
前記第1保持部材と共に前記基板を挟み込むように構成される第2保持部材と、
前記基板ホルダの内部に封止された空間を形成するように構成されるシール部材と、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との一方に固定されるピンと、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との他方に設けられ、前記ピンと係合するリングと、
前記リングを周方向に移動させるように構成される移動機構と、を有し、
前記ピンと前記リングとを互いに係合することで前記第1保持部材と前記第2保持部材が互いに固定され、
前記ピン及び前記リングは、前記封止された空間の内部に設けられ、
前記ピンは、ロック用大径部を有し、
前記リングは、前記ピンの前記ロック用大径部が通過可能な第1部分と、前記ピンの前記ロック用大径部と係合可能な第2部分とを有し、
前記ピンは、前記ロック用大径部よりも径が小さい小径部と、前記小径部よりも径が大きいセミロック用大径部を有し、
前記小径部は、前記ロック用大径部と前記セミロック用大径部の間に位置し、
前記移動機構は、前記ピンの前記セミロック用大径部を前記第1部分に通過させて前記シール部材を前記第1保持部材から離間させた状態において、前記リングを周方向に移動させて、前記セミロック用大径部に前記リングの前記第2部分を係合させるように構成される、基板ホルダ。 - 基板を保持するように構成される基板ホルダであって、
第1保持部材と、
前記第1保持部材と共に前記基板を挟み込むように構成される第2保持部材と、
前記基板ホルダの内部に封止された空間を形成するように構成されるシール部材と、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との一方に固定されるピンと、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との他方に設けられ、前記ピンと係合するリングと、
前記リングを周方向に移動させるように構成される移動機構と、を有し、
前記ピンと前記リングとを互いに係合することで前記第1保持部材と前記第2保持部材が互いに固定され、
前記ピン及び前記リングは、前記封止された空間の内部に設けられ、
前記ピンは、ロック用大径部を有し、
前記リングは、前記ピンの前記ロック用大径部が通過可能な第1部分と、前記ピンの前記ロック用大径部と係合可能な第2部分とを有し、
前記ピンは、前記ロック用大径部よりも径が小さい小径部と、前記ロック用大径部よりも径が大きいセミロック用大径部を有し、
前記リングは、前記ピンのセミロック用大径部を係合可能な第3部分を有し、
前記第1部分と前記第3部分が連続して形成され、
前記第2部分と前記第3部分が連続して形成される、基板ホルダ。
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