TWI788155B - 晶圓片夾取裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明係關於一種晶圓片夾取裝置，包括座體、旋動夾取組件及夾鉗組件，旋動夾取組件包括分別樞接在座體且對應配置的旋動構件，旋動構件包括弧形臂，在弧形臂設有凸柱，凸柱設有限位槽；夾鉗組件固定在座體，夾鉗組件包括第一夾爪、對應配置在第一夾爪下方的第二夾爪及分別設置在第一夾爪和第二夾爪的電極導接件，其中第一夾爪和第二夾爪是用以對晶圓片做夾取，並透過電極導接件而電性導通。藉此，可提升夾持的穩固性及導電性。
Description
本發明係有關一種夾取裝置的技術，尤指一種晶圓片夾取裝置。
晶圓片的生產是由矽晶棒經過切片、研磨、拋光後予以製成，而晶圓片經過多次的光罩處理，每一次步驟包括有感光劑塗佈、曝光、顯影、腐蝕、滲透、植入、蝕刻等各種製程，以製作成具有多層線路與元件的IC晶圓片。
晶圓片結構邁向輕薄短小已是必然的趨勢，當其厚度小於一特定值時，不論是在搬移過程和電鍍過程中，稍有閃失都將造成製成品的報廢和損失，因此如何對晶圓片做穩固的夾持及保持良好的導電性，即為本發明人改良之目標。
本發明之一目的，在於提供一種晶圓片夾取裝置，其係利用各旋動構件和各夾爪對晶圓片施以不同方向的夾持，進而提升夾持的穩固性及導電性。
為了達成上述之目的，本發明提供一種晶圓片夾取裝置，包括一座體、一旋動夾取組件及一夾鉗組件，該旋動夾取組件包括分別樞接在該座體且對應配置的二旋動構件，每一該旋動構件包括一弧形臂，在該弧形臂設有複數凸柱，每一該凸柱設有一限位槽；該夾鉗組件固定在該座體，該夾鉗組件包括一第一夾爪、對應配置在該第一夾爪下方的一第二夾爪及分別設置在該第一夾爪和該第二夾爪的一電極導接件，其中該第一夾爪和該第二夾爪係用以對所述晶圓片做夾取，並透過該電極導接件而電性導通。
本發明還具有以下功效，透過各限位槽的V字形結構，使得晶圓片能夠順著各圓錐柱的斜面做滑移和定位。
1:晶圓片夾取總成
10:基座
20:旋轉機構
30:晶圓片夾取裝置
31:座體
311:底板
312:立板
313:樞接座
32:第一旋動構件
321:第一支撐臂
322:第一弧形臂
323:第一凸柱
324:圓錐柱
325:第一限位槽
33:第二旋動構件
331:第二支撐臂
332:第二弧形臂
333:第二凸柱
334:圓錐柱
335:第二限位槽
34:夾鉗組件
341:第一夾爪
342:第二夾爪
343:電極導接件
3431:上導電片
3432:下導電片
3433:導電線
344:驅動器
35:擋板組件
351:左側擋板
352:右側擋板
7:浸鍍設備
71:機台
72:載台結構
73:橫樑結構
74:立柱結構
75:浸鍍槽
8:晶圓片
A1:軸心線
A2:中心線
圖1係本發明晶圓片夾取總成應用於浸鍍設備組合示意圖。
圖2係本發明晶圓片夾取總成與橫樑結構組合示意圖。
圖3係本發明晶圓片夾取總成與立柱結構組合示意圖。
圖4~圖10係本發明晶圓片夾取總成應用於晶圓片使用狀態圖(一)~(七)。
有關本發明之詳細說明及技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。
請參閱圖1至圖3所示，本發明提供一種晶圓片夾取裝置，其是被應用在一浸鍍設備7上，浸鍍設備7主要包括一機台71、一載台結構72、一
橫樑結構73、一立柱結構74、一浸鍍槽75及其它相關的裝置，其中晶圓片夾取總成1是設置在立柱結構74上，且其主要包括一基座10、一旋轉機構20及一晶圓片夾取裝置30。
請一併參閱圖4至圖7所示，基座10是可移動性地連接立柱結構74，旋轉機構20則連接在基座10和晶圓片夾取裝置30之間，並用以驅動晶圓片夾取裝置30產生旋轉。
晶圓片夾取裝置30主要包括一座體31、一旋動夾取組件及一夾鉗組件34，座體31包括一底板311、自底板311延伸出二立板312及固定在其中之一立板312的一樞接座313，底板311是連接在旋轉機構20上，其中旋動夾取組件包括一第一旋動構件32及一第二旋動構件33。在一實施例中，樞接座313為一氣動式致動器，用以致動第一旋動構件32和第二旋動構件33做左右方向旋擺移動。
第一旋動構件32的一端樞接在樞接座313，且其主要包括一第一支撐臂321及一第一弧形臂322，第一支撐臂321為自樞接座313朝著下方傾斜延伸，第一弧形臂322為一C字形，第一弧形臂322是從第一支撐臂321遠離樞接座313的一端延伸而出，在第一弧形臂322背向第一支撐臂321的表面設有複數第一凸柱323，各第一凸柱323是間隔設置，每一第一凸柱323主要包括二圓錐柱324，各圓錐柱324的小直徑端相互對接並於各圓錐柱324之間形成有一第一限位槽325；在一實施例中，第一限位槽325為一V字形。
第二旋動構件33的一端樞接在樞接座313上，並且對應於第一旋動構件32配置，且其主要包括一第二支撐臂331及一第二弧形臂332，第二支撐臂331為自樞接座313朝著下方傾斜延伸，第二弧形臂332為一C字形，第二
弧形臂332是從第二支撐臂331遠離樞接座313的一端延伸而出，在第二弧形臂332背向第二支撐臂331的表面設有複數第二凸柱333，各第二凸柱333是間隔設置，每一第二凸柱333主要包括二圓錐柱334，各圓錐柱334的小直徑端相互對接並於各圓錐柱334之間形成有一第二限位槽335；在一實施例中，第二限位槽335亦為一V字形。其中各第一限位槽325和各第二限位槽335是用以提供一晶圓片8嵌入夾持。
請再次參閱圖2及圖3所示，夾鉗組件34設置在前述樞接座313的下方，夾鉗組件34主要包括一第一夾爪341、一第二夾爪342、一電極導接件343及一驅動器344，第二夾爪342是設置在第一夾爪341的下方，電極導接件343可以連接陽極或陰極，本實施例的電極導接件343是連接陽極，且其主要包括一上導電片3431、一下導電片3432及分別電性連接上導電片3431和下導電片3432的一導電線3433，上導電片3431是固定在第一夾爪341的下表面，下導電片3432則固定在第二夾爪342的上表面，且下導電片3432是與上導電片3431對應配置。驅動器344連接第一夾爪341和第二夾爪342，並且固定在另一立板312上，第一夾爪341和第二夾爪342通過驅動器344的驅動後能夠產生上下方向的移動，進而能夠對一晶圓片8做夾持或放開之動作，電極導接件343透過第一夾爪341和第二夾爪342對晶圓片8的夾持接觸，並透過上導電片3431、下導電片3432和導電線電性導通晶圓片8，從而使晶圓片8與電極導接件343具備有相同極性。
在一實施例中，晶圓片夾取結構30還包括一擋板組件35，其是設置在前述樞接座313上，並且分別形成在第一旋動構件32和第二旋動構件33的一側邊，此擋板組件35主要包括一左側擋板351和一右側擋板352，左側擋
板351是用以限制第一旋動構件32的最大開度，右側擋板352則是用以限制第二旋動構件33的最大開度。
請續參閱圖4至圖10所示，操作時，晶圓片8是置設在前述載台結構72上，首先透過夾鉗組件34的第一夾爪341和第二夾爪342將晶圓片8夾取，並通過上導電片3431和下導電片3432與晶圓片8電性導通，其次利用第一旋動構件32和第二旋動構件33同時朝著晶圓片8方向樞轉，並透過各第一限位槽325和各第二限位槽335共同對晶圓片8做嵌入夾持，利用各限位槽325、335的V字形結構，使得晶圓片8能夠順著各圓錐柱334的斜面做滑移和定位；繼之，透過橫樑結構73帶動立柱結構74做橫向移動，再藉助旋轉機構20驅動晶圓片夾取結構30產生圓弧形移動，進而將晶圓片8浸入浸鍍槽75內，其中浸鍍槽75是連接陰極，透過電極導接件343電性導通晶圓片8，從而使晶圓片8能夠被鍍著加工。
請再參閱圖8及圖9所示，通過旋轉機構20的旋轉中心定義有一軸心線A1，此軸心線A1是平行或重合於旋轉機構20的旋轉中心軸；通過晶圓片8的中心定義有一中心線A2，此中心線A2是垂直於晶圓片8的上、下表面，其中中心線A2的投影線是垂直於軸心線A1，即：晶圓片8在被晶圓片夾取裝置30夾持後，並進行圓弧形移動軌跡中，中心線A2的投影線始終保持與軸心線A1垂直；如此，可有效地防止晶圓片8在移送過程被甩脫的不良情況，更增添夾持的穩固性。
綜上所述，本發明晶圓片夾取裝置，確可達到預期之使用目的，而解決習知之缺失，又因極具新穎性及進步性，完全符合發明專利申請要件，爰依專利法提出申請，敬請詳查並賜准本案專利，以保障發明人之權利。
10:基座
20:旋轉機構
30:晶圓片夾取裝置
31:座體
311:底板
312:立板
313:樞接座
32:第一旋動構件
321:第一支撐臂
322:第一弧形臂
323:第一凸柱
325:第一限位槽
33:第二旋動構件
331:第二支撐臂
332:第二弧形臂
333:第二凸柱
335:第二限位槽
34:夾鉗組件
341:第一夾爪
342:第二夾爪
343:電極導接件
3431:上導電片
3432:下導電片
3433:導電線
344:驅動器
74:立柱結構
Claims (8)
- 一種晶圓片夾取裝置，包括：一座體；一旋動夾取組件，包括分別樞接在該座體且對應配置的二旋動構件，每一該旋動構件包括一弧形臂，在該弧形臂設有複數凸柱，每一該凸柱設有一限位槽；以及一夾鉗組件，固定在該座體，該夾鉗組件包括一第一夾爪、對應配置在該第一夾爪下方的一第二夾爪及分別設置在該第一夾爪和該第二夾爪的一電極導接件，其中該第一夾爪和該第二夾爪係用以對所述晶圓片做夾取，並透過該電極導接件而電性導通。
- 如請求項1所述之晶圓片夾取裝置，其中該夾鉗組件還包括一驅動器，該驅動器係連接該第一夾爪和該第二夾爪，並用以驅動該第一夾爪和該第二夾爪產生上下方向的移動。
- 如請求項1所述之晶圓片夾取裝置，其中該電極導接件包括一上導電片、一下導電片及分別電性連接該上導電片和該下導電片的一導電線，該上導電片係固定在該第一夾爪，該下導電片固定在該第二夾爪且與該上導電片對應配置。
- 如請求項1所述之晶圓片夾取裝置，其中該座體包括一樞接座，每一該旋動構件的一端係樞接在該樞接座，每一該旋動構件還包括一支撐臂，該支撐臂為自該樞接座朝著下方傾斜延伸，該弧形臂為一C字形，該弧形臂係從該支撐臂遠離該樞接座的一端延伸而出。
- 如請求項4所述之晶圓片夾取裝置，其中每一該凸柱係間隔設置在該弧形臂背向該支撐臂的表面上。
- 如請求項5所述之晶圓片夾取裝置，其中每一該凸柱包括二圓錐柱，各該圓錐柱的小直徑端相互對接並於各該圓錐柱之間形成有該限位槽，該限位槽係呈一V字形。
- 如請求項1所述之晶圓片夾取裝置，其還包括一擋板組件，該座體包括一樞接座，該擋板組件包括設置在該樞接座的一左側擋板和一右側擋板，該左側擋板形成在其中之一該旋動構件的一側邊，並用以限制該旋動構件的最大開度，該右側擋板形成在另一該旋動構件的一側邊，並用以限制另一該旋動構件的最大開度。
- 如請求項7所述之晶圓片夾取裝置，其中該樞接座為一氣動式致動器，用以致動各該旋動構件做左右方向旋擺移動。
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|---|---|---|---|
| TW110148321A TWI788155B (zh) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | 晶圓片夾取裝置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| TW110148321A TWI788155B (zh) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | 晶圓片夾取裝置 |
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2021
- 2021-12-23 TW TW110148321A patent/TWI788155B/zh active
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