JP6893142B2 - ワーク保持治具及び電気めっき装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気めっき処理の被処理物である矩形の板状ワークを保持するためのワーク保持治具、及び、該ワーク保持治具を備えた電気めっき装置、に関する。前記ワークとしては、例えば、プリント基板、ウエハ、半導体基板（特に、Fan-Out Panel Level Package）が挙げられる。

矩形の板状ワークを保持するためのワーク保持治具及び該ワーク保持治具を備えた電気めっき装置は、特許文献１〜９に示されるように、公知である。

特許第５８９８５４０号公報 特開２０１６−１８０１４８号公報 特開２０１６−１５６０８４号公報 特開平１１−１７２４９２号公報 特開平１１−１４０６９４号公報 特開平６−１０８２８５号公報 特開平５−２４７６９２号公報 特開平５−２２２５９０号公報 特開平５−２１８０４８号公報

しかるに、従来の電気めっき装置においては、ワーク保持治具におけるワークと電気的接触端子との接続部にめっき液が浸入し、接続部に金属が析出し、ワークと電気的接触端子とが癒着し、ワークをワーク保持治具から取り外すのが困難になる、という不具合があった。

また、従来の電気めっき装置においては、ワークの全面に対して均等にめっき処理を施すために、全ての電気的接触端子までの配線の長さを等しくするという構成等を、採用しており、装置構成が複雑化するという不具合があった。

本発明は、上述の不具合の少なくとも一方を解消できる、ワーク保持治具及び電気めっき装置を提供することを、目的としている。

本発明の第１態様は、電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の全周に渡って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられたシール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記周縁部、前記導電部材、及び前記接触部材を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
前記導電部材は、全周における任意の点において略均等な抵抗値を示すような、幅広且つ肉厚の形態を、有している、
ことを特徴としている。

本発明の第２態様は、電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の全周に渡って設けられた配線と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記配線に電気的接続して前記配線に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられたシール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記周縁部、前記配線、及び前記接触部材を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
前記フレーム体又は前記バックパネルは、前記密封空間に液体を充填するための液注入口を、有している、
ことを特徴としている。

本発明の第３態様は、前記第１又は第２態様のワーク保持治具を備え、前記ワークを前記ワーク保持治具によって保持し、保持された前記ワークに対して電気めっき処理を施す、電気めっき装置であって、
めっき液を収容しており、前記ワークに対して電気めっき処理を行う、めっき処理槽と、
前記ワークを保持した前記ワーク保持治具を、前記めっき処理槽に対して搬入搬出する、搬送機構と、
を備えており、
前記ワーク保持治具の前記密封空間には、金属塩を含んでいない液体が、充填されている、
ことを特徴としている。

本発明の第１及び第３態様によれば、板状ワークの全周に渡って均一な通電を行うことができ、それ故、ワークの被処理面の全面に渡って均一なめっき処理を施すことができる。

本発明の第２及び第３態様によれば、ワークに対してめっき処理を施す際に、密封空間へめっき液が侵入するのを防止でき、それ故、めっき液に起因した金属がワークの周縁部や接触部材に析出するのを、防止できる。その結果、めっき処理後のワークをワーク保持治具から取り外す際に、ワークや接触部材が損傷するのを防止できる。

本発明の第１実施形態の電気めっき装置の平面図である。 図１のII−II断面略図である。 第１実施形態のワーク保持治具の分解斜視図である。 図３のフレーム体のIV矢視図である。 図３のＶ−Ｖ断面に相当する部分図であり、バックパネルにフレーム体が取り付けられる前の状態を示している。 図３のＶ−Ｖ断面に相当する部分図であり、バックパネルにフレーム体が取り付けられた後の状態を示している。 図２のＶII−ＶII断面略図である。 本発明の第２実施形態の電気めっき装置の平面図である。 図８のIX−IX断面略図である。 第２実施形態のワーク保持治具の分解斜視図である。 図９のＸＩ−ＸＩ断面略図である。 本発明の別の実施形態を示す、図５に相当する図である。 本発明の別の実施形態を示す、図６に相当する図である。 櫛状接続部材の別の例を示す、図４に相当する図である。

［第１実施形態］
（全体構成）
図１は、本発明の第１実施形態の電気めっき装置の平面図である。図２は、図１のII−II断面略図である。この電気めっき装置９Ａは、ワーク保持治具１Ａと、めっき処理槽２Ａと、搬送機構３Ａと、を備えている。ワーク保持治具１Ａは、矩形の板状ワーク１０を保持するように、構成されている。めっき処理槽２Ａは、ワーク保持治具１Ａに保持されたワーク１０に対してめっき処理を施すように、構成されている。本実施形態では、３台のめっき処理槽２Ａが一列に並んで配置されている。搬送機構３Ａは、ワーク１０を保持したワーク保持治具１Ａを、めっき処理槽２Ａに対して垂直方向から搬入搬出するように、構成されている。

（ワーク保持治具）
図３は、ワーク保持治具１Ａの分解斜視図である。ワーク保持治具１Ａは、矩形のバックパネル１１と矩形のフレーム体１２とを備えており、両者の間で板状のワーク１０を保持するようになっている。バックパネル１１には、ワーク１０が重ねられるようになっている。フレーム体１２は、バックパネル１１との間でワーク１０の周縁部１０１を保持するようにバックパネル１１に取り付けられるようになっている。バックパネル１１及びフレーム体１２は、例えば塩化ビニル樹脂で構成されている。

図４は、図３のフレーム体１２のIV矢視図である。図５及び図６は、図３のＶ−Ｖ断面に相当する部分図であり、図５はバックパネル１１にフレーム体１２が取り付けられる前の状態を示しており、図６はバックパネル１１にフレーム体１２が取り付けられた後の状態を示している。すなわち、図６は、ワーク保持治具１Ａがワーク１０を保持した状態を示している。

フレーム体１２は、矩形環状の本体１３と、本体１３の全周に渡って設けられた導電部材１５と、ワーク１０の周縁部１０１に電気的接触できるように導電部材１５に電気的接続して導電部材１５に沿って設けられた接触部材１６と、接触部材１６より内側において本体１３の全周に渡って設けられたシール部材１７と、を有している。接触部材１６は、本体１３の各辺に沿って設けられている。

バックパネル１１は、本体１３の後側開口１３０に嵌まり込む凸部１１１を、有しており、ワーク１０は、凸部１１１の端面１１２に形成されている浅い凹部１１３に嵌め込まれるようになっている。

導電部材１５は、図５及び図６に示されるように、幅Ｗ及び厚さＴを有しており、従来に比して幅広且つ肉厚の形態を有している。それ故、導電部材１５は、全周における任意の点において略均等な抵抗値を示すという特性を有している。具体的には、導電部材１５は、５０〜９００ｍｍ^２の断面積（Ｗ×Ｔ）を有している。導電部材１５は、５０ｍｍ^２未満の場合には、前記のような特性を殆ど示すことができず、９００ｍｍ^２を越える場合には、重くなりすぎて取扱いが困難となる。導電部材１５は、例えば、銅又はチタンの表面に塩化ビニル樹脂をコーティングして構成されている。導電部材１５は、「ブスバー」とも称される。

接触部材１６は、ワーク１０の周縁部１０１に電気的接触するための多数の並設された板バネ状接触端子１６１を有する、櫛状接触部材である。本実施形態では、櫛状接触部材１６は、本体１３の各辺において３個に分割されて設けられている。接触部材１６は、導電部材１５にボルト１６５で固定されている。ボルト１６５は、フレーム体１２の後面側に現れているので、接触部材１６の交換作業を容易に行うことができる。なお、接触部材１６は、接触端子１６１の復元力が弱くなった時に交換される。接触端子１６１は、例えば、銅に金をコーティングして構成されている。

また、フレーム体１２は、図６の状態で、すなわち、シール部材１７及び接触部材１６の接触端子１６１がワーク１０の周縁部１０１に当接した状態で、周縁部１０１、導電部材１５、及び接触部材１６を収容する、密封空間５を、構成するようになっている。シール部材１７は、例えば、スポンジゴムで構成されている。シール部材１７は、ワーク１０の周縁部１０１に、圧縮されて密着する。なお、フレーム体１２は、バックパネル１１の周縁部１１９にボルト１８によって固定されることにより、バックパネル１１に取り付けられている。

一方、本体１３の上辺１３Ａの上面には、上方に延びた２本の持ち手１２２と、密封空間５に液体を充填するための液注入口１２４及び空気抜き口１２５と、が設けられている。持ち手１２２は、導電部材１５に電気的接続している。更に、本体１３の右辺１３Ｂの側面には、横方向に突出した右ガイドバー１２６が右辺１３Ｂに沿って設けられており、左辺１３Ｃの側面には、横方向に突出した左ガイドバー１２７が左辺１３Ｃに沿って設けられている。

（めっき処理槽）
図７は、図２のＶII−ＶII断面略図である。めっき処理槽２Ａは、めっき液２０で満たされており、槽内に、陽極２１及び噴流機構２２を備えている。めっき処理槽２Ａは、陽極２１とワーク保持治具１Ａに保持されたワーク１０との間に電気を流すことによって、ワーク１０の被処理面１１０に対してめっき処理を施すようになっている。めっき処理槽２Ａにおいては、めっき処理の際、めっき液２０が噴流機構２２によってワーク１０の被処理面１１０に対して吹き付けられるので、常に新鮮なめっき液２０が被処理面１１０に接触することとなり、めっき処理が効果的に施される。

更に、めっき処理槽２Ａは、図２に示されるように、ワーク保持治具１Ａが槽内に搬入される際にワーク保持治具１Ａをガイドするガイド部材を、備えている。具体的には、ガイド部材は、ワーク保持治具１Ａの右ガイドバー１２６を案内する右ガイドレール２３１と、左ガイドバー１２７を案内する左ガイドレール２３２と、を有している。ガイドレールは、ガイドバーが垂直方向にスライドする縦溝からなっている。なお、このガイド部材は、ワーク保持治具１Ａを垂直状態に支持する支持部材としても機能している。

（搬送機構）
搬送機構３Ａは、ワーク保持治具１Ａをめっき処理槽２Ａに対して垂直方向から搬入搬出する垂直搬送機構３１と、ワーク保持治具１Ａをめっき処理槽２Ａに対する搬入搬出位置まで運搬する第１運搬機構３２と、を有している。

垂直搬送機構３１は、キャリアバー３１１と、昇降バー３１２と、左右一対の昇降レール３１３と、を備えている。キャリアバー３１１は、２個の把持部３１５を介して昇降バー３１２に、把持されている。キャリアバー３１１の中央には、ワーク保持治具１Ａが２本の持ち手１２２を介して、引っ掛けられるようになっている。そして、垂直搬送機構３１は、ワーク保持治具１Ａが引っ掛けられたキャリアバー３１１を把持した昇降バー３１２を、昇降レール３１３に沿わせて、昇降させることにより、ワーク保持治具１Ａをめっき処理槽２Ａに対して搬入搬出するようになっている。なお、ワーク１０を保持したワーク保持治具１Ａは、ワーク１０の被処理面１１０が噴流機構２２側に向くように、キャリアバー３１１に引っ掛けられる。

第１運搬機構３２は、左右一対の水平レール３２１を有しており、昇降バー３１２を支持している昇降レール３１３を、一列に並んだ３台のめっき処理槽２Ａの上方において、めっき処理槽２Ａに対する搬入搬出位置まで、水平レール３２１に沿って、水平に移動させるようになっている。よって、第１運搬機構３２は、昇降バー３１２に把持されたキャリアバー３１１に引っ掛けられているワーク保持治具１Ａを、任意のめっき処理槽２Ａに対する搬入搬出位置まで、運搬できる。

（作動）
前記構成の電気めっき装置９Ａは、次のように作動する。
（１）ワーク保持
まず、バックパネル１１を床面に水平に置く。次に、バックパネル１１の凸部１１１の凹部１１３に、ワーク１０を嵌め込む。次に、フレーム体１２を、上方からバックパネル１１に重ねていき、周縁部１１９にボルト１８によって固定する。これにより、ワーク１０がワーク保持治具１Ａによって保持され、ワーク１０の周縁部１０１には、図６に示されるような密封空間５が構成される。

（２）液注入
ワーク１０を保持したワーク保持治具１Ａを、垂直状態に起こして、キャリアバー３１１の中央に持ち手１２２を介して引っ掛ける。そして、液体を、液注入口１２４から、密封空間５へ注入する。その際、密封空間５内の空気は、空気抜き口１２５から確実に抜けていくので、液体の注入は、円滑に行われる。なお、密封空間５へ注入する液体としては、金属塩を含んでいない液体を用いる。「金属塩を含んでいない」とは、「含まれている全ての金属塩の濃度が５ｇ／Ｌ以下である」ことを意味している。そのような液体としては、具体的には、水道水、天然水、又は純水を、使用する。純水としては、脱イオン水、蒸留水、精製水、又はＲＯ水を、使用する。

（３）運搬
第１運搬機構３２を作動させて、ワーク保持治具１Ａを、めっき処理槽２Ａに対する搬入搬出位置まで、運搬する。図１では、最奥のめっき処理槽２Ａまで運搬している。

（４）搬入
垂直搬送機構３１を作動させて、ワーク保持治具１Ａを、めっき処理槽２Ａへ搬入する。ところで、めっき処理槽２Ａの両側には、搬送機構３Ａの支持台３０が配置されており、支持台３０上には、バー載置台３１８が設けられている。垂直搬送機構３１は、キャリアバー３１１がバー載置台３１８に載る位置まで、昇降バー３１２を下降させ、キャリアバー３１１がバー載置台３１８に載ると、把持部３１５を解除してキャリアバー３１１を離し、昇降バー３１２を上昇させる。これにより、ワーク保持治具１Ａが、キャリアバー３１１に引っ掛かった状態で、めっき処理槽２Ａへ搬入される。なお、この際、ワーク保持治具１Ａは、左右のガイドバー１２６、１２７が左右のガイドレール２３１、２３２によって案内されるので、垂直状態を維持したまま円滑に搬入される。

（５）めっき処理
電源スイッチ（図示せず）をオンして、ワーク１０及び陽極２１への通電を行う。これにより、ワーク１０と陽極２１との間に電界が形成されてワーク１０に対するめっき処理が行われる。ワーク１０への通電は、電源（図示せず）から、通電路（図示せず）、バー載置台３１８、キャリアバー３１１、持ち手１２２、導電部材１５、及び接触部材１６を経ることにより、行われる。この際、密封空間５には液体が充填されているので、密封空間５へのめっき液２０の侵入を防ぐことができる。仮に、密封空間５に液体が充填されていない場合には、密封空間５の内外の圧力差によって、めっき液２０が密封空間５に侵入することとなる。

（６）搬出
垂直搬送機構３１を作動させて、昇降バー３１２を下降させ、把持部３１５を作動させてキャリアバー３１１を把持し、昇降バー３１２を上昇させる。これにより、キャリアバー３１１と共にワーク保持治具１Ａが上昇し、ワーク保持治具１Ａがめっき処理槽２Ａから上方へ搬出される。

（効果）
（ａ）前記構成のワーク保持治具１Ａによれば、ワーク１０の周縁部１０１、導電部材１５、及び接触部材１６を収容する、密封空間５を、構成でき、液注入口１２４から、密封空間５に液体を注入できる。したがって、ワーク１０に対してめっき処理を施す際に、密封空間５へめっき液２０が侵入するのを防止でき、それ故、めっき液２０に起因した金属がワーク１０の周縁部１０１や接触部材１６に析出するのを、防止できる。その結果、めっき処理後のワーク１０をワーク保持治具１Ａから取り外す際に、ワーク１０や接触部材１６が損傷するのを防止できる。

（ｂ）前記構成のワーク保持治具１Ａによれば、導電部材１５が従来に比して幅広且つ肉厚の形態を有しているので、全周における任意の点において略均等な抵抗値を示すことができ、したがって、ワーク１０の全周に渡って均一な通電を行うことができ、それ故、ワーク１０の被処理面１１０の全面に渡って均一なめっき処理を施すことができる。

（ｃ）前記構成のワーク保持治具１Ａによれば、接触部材１６が櫛状接触部材であるので、導電部材１５が幅広且つ肉厚の形態を有していても、ワーク１０に対して良好な通電を行うことができる。

（ｄ）前記構成のワーク保持治具１Ａによれば、櫛状接触部材１６が本体１３の各辺において３個に分割されているので、故障した部材１６のみを容易に交換できる。

（ｅ）前記構成の電気めっき装置９Ａによれば、ワーク保持治具１Ａの密封空間５に液体が充填されているので、ワーク１０に対してめっき処理を施す際に、密封空間５へめっき液２０が侵入するのを防止でき、それ故、めっき液２０に起因した金属がワーク１０の周縁部１０１や接触部材１６に析出するのを、防止できる。その結果、めっき処理後のワーク１０をワーク保持治具１Ａから取り外す際に、ワーク１０や接触部材１６が損傷するのを防止できる。

（ｆ）前記構成の電気めっき装置９Ａによれば、ワーク保持治具１Ａをめっき処理槽２Ａに対して垂直方向から搬入搬出するので、装置の設置面積を小さくできる。

（ｇ）前記構成の電気めっき装置９Ａによれば、ワーク保持治具１Ａをめっき処理槽２Ａに対して搬入する際、左右のガイドバー１２６、１２７が左右のガイドレール２３１、２３２によって案内されるので、ワーク保持治具１Ａを、垂直状態を維持したまま円滑に搬入できる。

［第２実施形態］
（全体構成）
図８は、本発明の第２実施形態の電気めっき装置９Ｂの平面図である。図９は、図８のIX−IX断面略図である。この電気めっき装置９Ｂは、ワーク保持治具１Ｂと、めっき処理槽２Ｂ及び干満槽４と、搬送機構３Ｂと、を備えている。ワーク保持治具１Ｂは、矩形の板状ワークを保持するように構成されている。めっき処理槽２Ｂは、ワーク保持治具１Ｂに保持されたワークに対してめっき処理を施すように、構成されている。本実施形態では、３台のめっき処理槽２Ｂが一列に並んで配置されており、各めっき処理槽２Ｂには干満槽４が前置されている。搬送機構３Ｂは、ワークを保持したワーク保持治具１Ｂを、めっき処理槽２Ｂに対して水平方向から搬入搬出するように、構成されている。

（ワーク保持治具）
図１０は、ワーク保持治具１Ｂの分解斜視図である。ワーク保持治具１Ｂは、第１実施形態のワーク保持治具１Ａに比して、次の点のみが異なっており、その他の構成、すなわち、液注入口１２４、空気抜き口１２５、本体１３、導電部材１５、及び接触部材１６等の構成は、同じである。

（ｉ）本体１３の上辺１３Ａに、持ち手１２２に代えて、把持部１２３を有している。なお、把持部１２３は、導電部材１５に電気的接続していない。

（ii）本体１３の上辺１３Ａの端部に、通電端子１２１を有している。なお、通電端子１２１は、導電部材１５に電気的接続している。

（iii）左右のガイドバー１２６、１２７に代えて、上下のガイドバー１２８、１２９を有している。上ガイドバー１２８は、本体１３の上辺１３Ａに沿って設けられており、上辺１３Ａの前面において前方向に突出した上前ガイドバー１２８１と、上辺１３Ａの後面において後方向に突出した上後ガイドバー１２８２と、を有している。下ガイドバー１２９は、本体１３の下辺１３Ｄに沿って設けられており、下辺１３Ｄの下面において下方向に突出している。

（めっき処理槽）
図１１は、図９のＸＩ−ＸＩ断面略図である。めっき処理槽２Ｂは、第１実施形態のめっき処理槽２Ａに比して、次の点のみが異なっており、その他の構成、すなわち、めっき液２０、陽極２１、及び噴流機構２２等の構成は、同じである。

（ｉ）通電部２４を有している。通電部２４は、ワーク保持治具１Ｂがめっき処理槽２Ｂに搬入された際に、通電端子１２１に当接するように設けられている。

（ii）左右のガイドレール２３１、２３２に代えて、ワーク保持治具１Ｂがめっき処理槽２Ｂに対して水平方向から搬入搬出される際に上下のガイドバー１２８、１２９を案内する上下のガイドレール２５１、２５２を、有している。上ガイドレール２５１は、上前ガイドバー１２８１を案内する上前ガイドレール２５１１と、上後ガイドバー１２８２を案内する上後ガイドレール２５１２と、を有している。なお、ガイドレールは、ガイドバーが水平方向にスライドできる横溝を、有している。

（iii）前段に、干満槽４を備えている。すなわち、めっき処理槽２Ｂには干満槽４が前置されており、両槽の間は、第１開閉ゲート４１で仕切られている。干満槽４は、ワーク保持治具１Ｂが干満槽４に対して水平方向から搬入搬出される際に上下のガイドバー１２８、１２９を案内する上下のガイドレール４２１、４２２を、有している。上下のガイドレール４２１、４２２は、めっき処理槽２Ｂの上下のガイドレール２５１、２５２と同じ構成を有している。更に、干満槽４は、第１開閉ゲート４１に対向する側に、第２開閉ゲート４３を有している。両開閉ゲート４１、４３は、左右方向に開閉するようになっている。

（搬送機構）
搬送機構３Ｂは、ワーク保持治具１Ｂをめっき処理槽２Ｂに対して水平方向から搬入搬出する水平搬送機構３４と、ワーク保持治具１Ｂをめっき処理槽２Ｂに対する搬入搬出位置まで運搬する第２運搬機構３５と、を有している。

水平搬送機構３４は、搬送レール３４１と、搬送部３４２と、を備えている。搬送レール３４１は、干満槽４及びめっき処理槽２Ｂの上方において両槽を横切って延びるように、設けられている。搬送部３４２は、垂直状態のワーク保持治具１Ｂを把持部１２３を介して把持し、ワーク保持治具１Ｂを伴って、搬送レール３４１に沿って移動するように、設けられている。

第２運搬機構３５は、左右一対の水平レール３５１と、運搬台３５２と、を有している。水平レール３５１は、一列に並んで配置されている３台の干満槽４に沿って、延びている。運搬台３５２上には、めっき処理槽２Ｂの上ガイドレール２５１及び干満槽４の上ガイドレール４２１と同じ上ガイドレール３５３と、めっき処理槽２Ｂの下ガイドレール２５２及び干満槽４の下ガイドレール４２２と同じ下ガイドレール３５４とが、設けられている。運搬台３５２は、搬送部３４２に把持され且つ上ガイドレール３５３及び下ガイドレール３５３に支持されたワーク保持治具１Ｂを、搬送レール３４１と共に、水平レール３５１に沿って、運搬するようになっている。よって、第２運搬機構３５は、搬送部３４２に把持されたワーク保持治具１Ｂを、任意のめっき処理槽２Ｂに対する搬入搬出位置まで、運搬できる。

（作動）
前記構成の電気めっき装置９Ｂは、次のように作動する。
（１）ワーク保持
第１実施形態と同様に行うことにより、ワーク保持治具１Ｂによってワーク１０を保持する。これにより、ワーク１０の周縁部１０１には、図６に示されるような密封空間５が構成される。

（２）液注入
ワーク１０を保持したワーク保持治具１Ｂを、垂直状態に起こして、下ガイドバー１２９を運搬台３５２の下ガイドレール３５４に嵌め込むとともに、搬送部３４２によって把持部１２３を把持する。そして、液体を、液注入口１２４から、密封空間５へ注入する。その際、密封空間５内の空気は、空気抜き口１２５から確実に抜けていくので、液体の注入は、円滑に行われる。

（３）運搬
第２運搬機構３５を作動させて、ワーク保持治具１Ｂを、めっき処理槽２Ｂに対する搬入搬出位置まで、運搬する。図８では、最奥のめっき処理槽２Ｂまで運搬している。

（４）搬入
まず、第２開閉ゲート４３を開ける。このとき、第１開閉ゲート４１は閉じており、めっき処理槽２Ｂにはめっき液２０が満たされている。次に、水平搬送機構３４を作動させて、搬送部３４２をワーク保持治具１Ｂと共に搬送レール３４１に沿って移動させ、ワーク保持治具１Ｂを、干満槽４へ搬入する。次に、第２開閉ゲート４３を閉じる。次に、干満槽４へめっき液２０を注入し、干満槽４をめっき液２０で満たす。次に、第１開閉ゲート４１を開く。次に、水平搬送機構３４を作動させて、搬送部３４２をワーク保持治具１Ｂと共に搬送レール３４１に沿って移動させ、ワーク保持治具１Ｂを、干満槽４からめっき処理槽２Ｂへ搬入する。次に、第１開閉ゲート４１を閉じる。これにより、ワーク保持治具１Ｂが、めっき処理槽２Ｂへ搬入される。なお、この際、ワーク保持治具１Ｂは、下ガイドバー１２９が、運搬台３５２の下ガイドレール３５４、干満槽４の下ガイドレール４２２、及びめっき処理槽２Ｂの下ガイドレール２５２によって、案内され、上ガイドバー１２８が、干満槽４の上ガイドレール４２１及びめっき処理槽２Ｂの上ガイドレール２５１によって案内されるので、垂直状態を維持したまま、干満槽４、更にはめっき処理槽２Ｂに円滑に搬入される。

（５）めっき処理
電源スイッチ（図示せず）をオンして、ワーク１０及び陽極２１への通電を行う。これにより、ワーク１０と陽極２１との間に電界が形成されてワーク１０に対するめっき処理が行われる。ワーク１０への通電は、電源（図示せず）から、通電路（図示せず）、通電部２４、通電端子１２１、導電部材１５、及び接触部材１６を経ることにより、行われる。この際、密封空間５には液体が充填されているので、密封空間５へのめっき液２０の侵入を防ぐことができる。したがって、めっき液２０に起因した金属がワーク１０の周縁部１０１や接触部材１６に析出するのを、防止できる。仮に、密封空間５に液体が充填されていない場合には、密封空間５の内外の圧力差によって、めっき液２０が密封空間５に侵入して来ることとなる。

（６）搬出
まず、第１開閉ゲート４１を開く。次に、水平搬送機構３４を作動させて、搬送部３４２をワーク保持治具１Ｂと共に搬送レール３４１に沿って移動させ、ワーク保持治具１Ｂを、めっき処理槽２Ｂから干満槽４へ搬出する。次に、第１開閉ゲート４１を閉じる。次に、干満槽４内のめっき液２０を干満槽４から排出する。次に、第２開閉ゲート４３を開ける。そして、水平搬送機構３４を作動させて、搬送部３４２をワーク保持治具１Ｂと共に搬送レール３４１に沿って移動させ、ワーク保持治具１Ｂを、干満槽４から搬出する。

（効果）
前記構成のワーク保持治具１Ｂ及び電気めっき装置９Ｂによれば、第１実施形態と同じ（ａ）〜（ｅ）の効果を発揮できる。更に、次の効果を発揮できる。

（ｆ）前記構成の電気めっき装置９Ｂによれば、ワーク保持治具１Ｂをめっき処理槽２Ｂに対して水平方向から搬入搬出するので、装置の設置空間を低くできる。

（ｇ）前記構成の電気めっき装置９Ｂによれば、ワーク保持治具１Ｂをめっき処理槽２Ｂに対して搬入する際、上下のガイドバー１２８、１２９が上下のガイドレール２５１、２５２；４２１、４２２によって案内されるので、ワーク保持治具１Ｂを、垂直状態を維持したまま円滑に搬入できる。

［別の実施形態］
本発明は、下記のような別の構成を採用してもよい。
（１）前記実施形態におけるワーク保持治具１Ａ、１Ｂにおいて、液注入口１２４及び空気抜き口１２５が設けられていない。よって、そのようなワーク保持治具を備えた電気めっき装置においては、密封空間５に液体が充填されていない。この構成によっても、前記実施形態の（ａ）及び（ｅ）以外の効果を発揮できる。

（２）前記実施形態におけるワーク保持治具１Ａ、１Ｂにおいて、図１２及び図１３に示されるように、接触部材１６が、導電部材１５ではなく配線１９に電気的接続している。なお、図１２は、図５に相当しており、図１３は、図６に相当している。配線１９は複数設けられており、各接触部材１６には、それぞれ、同じ長さの配線１９が接続されている。このワーク保持治具を備えた電気めっき装置においては、密封空間５に液体が充填されている。この構成によっても、前記実施形態の同様の効果を発揮できる。

（３）図１４に示されるように、櫛状接続部材１６が、本体１３の各辺において、各辺の全長に渡って連続して、設けられている。これによれば、フレーム体１２の組立作業を簡素化できる。

（４）液注入口１２４が、液体の注入と共に空気抜きを行う構造を有している。これによれば、空気抜き口１２５を省略できる。

（５）液注入口１２４及び／又は空気抜き口１２５が、バックパネル１１に設けられている。

（６）ワーク保持治具が、ワーク１０を、垂直ではなく、傾斜して又は水平に、保持するようになっている。

（７）バックパネル１１とフレーム体１２とが、ボルト１８ではなく、パッチン錠、例えばトグルラッチを用いて、固定されている。

（８）板状ワーク１０が、矩形ではなく、円形又は多角形又はその他の形状を有している。また、それに対応して、バックパネル１１及びフレーム体１２も、矩形ではなく、円形又は多角形又はその他の形状を有している。

本発明のワーク保持治具は、めっき処理後のワークをワーク保持治具から取り外す際にワークや接触部材が損傷するのを、防止できるので、産業上の利用価値が大である。

１Ａ、１Ｂ ワーク保持治具 １０ ワーク １０１ 周縁部 １１ バックパネル
１２ フレーム体 １２６ 右ガイドバー １２７ 左ガイドバー
１２８ 上ガイドバー １２９ 下ガイドバー １３ 本体 １５ 導電部材
１６ 接触部材 １６１ 接触端子 １７ シール部材 １９ 配線
２Ａ、２Ｂ めっき処理槽 ２３１ 右ガイドレール ２３２ 左ガイドレール
２５１ 上ガイドレール ２５２ 下ガイドレール ３Ａ、３Ｂ 搬送機構
３１ 垂直搬送機構 ３２ 第１運搬機構 ３４ 水平搬送機構 ３５ 第２運搬機構
２０ めっき液 ４ 干満槽 ５ 密封空間 ９Ａ、９Ｂ 電気めっき装置

Claims (12)

1. 電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
   バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
   前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
   前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の全周に渡って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられたシール部材と、を有しており、
   前記フレーム体は、前記シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記周縁部、前記導電部材、及び前記接触部材を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
   前記フレーム体又は前記バックパネルは、前記密封空間に液体を充填するための液注入口を、有している、
   ことを特徴とするワーク保持治具。
2. 電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
   バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
   前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
   前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の全周に渡って設けられた配線と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記配線に電気的接続して前記配線に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられたシール部材と、を有しており、
   前記フレーム体は、前記シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記周縁部、前記配線、及び前記接触部材を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
   前記フレーム体又は前記バックパネルは、前記密封空間に液体を充填するための液注入口を、有している、
   ことを特徴とするワーク保持治具。
3. 前記接触部材は、前記ワークの前記周縁部に電気的接触するための多数の並設された板バネ状接触端子を有する、櫛状接触部材である、
   請求項１又は２に記載にワーク保持治具。
4. 前記フレーム体の前記本体が、矩形を有しており、
   前記櫛状接触部材は、前記本体の各辺において、連続して、又は、分割されて、設けられている、
   請求項３記載のワーク保持治具。
5. 請求項１〜４の何れか一つに記載のワーク保持治具を備え、前記ワークを前記ワーク保持治具によって保持し、保持された前記ワークに対して電気めっき処理を施す、電気めっき装置であって、
   めっき液を収容しており、前記ワークに対して電気めっき処理を行う、めっき処理槽と、
   前記ワークを保持した前記ワーク保持治具を、前記めっき処理槽に対して搬入搬出する、搬送機構と、
   を備えており、
   前記ワーク保持治具の前記密封空間には、金属塩を含んでいない液体が、充填されている、
   ことを特徴とする電気めっき装置。
6. 前記液体は、水道水、天然水、又は純水であり、
   前記純水は、脱イオン水、蒸留水、精製水、又はＲＯ水である、
   請求項５記載の電気めっき装置。
7. 前記搬送機構が、前記ワーク保持治具を前記めっき処理槽に対して垂直方向から搬入搬出する、垂直搬送機構を、有している、
   請求項５記載の電気めっき装置。
8. 水平方向に並設された複数の前記めっき処理槽を備えており、
   前記垂直搬送機構は、前記ワーク保持治具を前記めっき処理槽に対する搬入搬出位置まで運搬する第１運搬機構に、連結されている、
   請求項７記載の電気めっき装置。
9. 前記フレーム体の前記本体が、矩形を有しており、
   前記搬送機構は、前記ワークを垂直に保持した前記ワーク保持治具を、前記めっき処理槽に対して搬入搬出するようになっており、
   前記ワーク保持治具は、前記本体の右辺に沿った右ガイドバーと、前記本体の左辺に沿った左ガイドバーと、を有しており、
   前記めっき処理槽は、前記右ガイドバーを案内する右ガイドレールと、前記左ガイドバーを案内する左ガイドレールと、を有している、
   請求項７又は８に記載の電気めっき装置。
10. 前記めっき処理槽には、干満槽が前置されており、
    前記搬送機構は、前記ワーク保持治具を前記めっき処理槽及び前記干満槽に対して水平方向から搬入搬出する、水平搬送機構を、有している、
    請求項５記載の電気めっき装置。
11. 水平方向に並設された複数の前記めっき処理槽及び前記干満槽を備えており、
    前記水平搬送機構は、前記ワーク保持治具を前記めっき処理槽に対する搬入搬出位置まで運搬する第２運搬機構に、連結されている、
    請求項１０記載の電気めっき装置。
12. 前記フレーム体の前記本体が、矩形を有しており、
    前記搬送機構は、前記ワークを垂直に保持した前記ワーク保持治具を、前記めっき処理槽に対して搬入搬出するようになっており、
    前記ワーク保持治具は、前記本体の上辺に沿った上ガイドバーと、前記本体の下辺に沿った下ガイドバーと、を有しており、
    前記めっき処理槽及び前記干満槽は、それぞれ、前記上ガイドバーを案内する上ガイドレールと、前記下ガイドバーを案内する下ガイドレールと、を有している、
    請求項１０又は１１に記載の電気めっき装置。

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