JP7264780B2 - 基板ホルダ及びそれを備えた基板めっき装置、並びに電気接点 - Google Patents

Description

本発明は、基板めっき装置において半導体ウェハなどの基板を保持する基板ホルダ及びそれを備えた基板めっき装置、並びに電気接点に関する。

半導体ウェハ、プリント回路基板などの基板は、表面に配線やバンプ（突起状電極）などが形成されるものである。基板上に配線やバンプ（突起状電極）などを形成するには、例えば、電解めっき法、蒸着法、印刷法、ボールバンプ法などにより行われ、なかでも、微細化が可能で性能が安定する電解めっき法により行われることが広く見られる。

電解めっき法は、基板をめっき液に浸漬させて通電することにより基板表面にめっきを形成するものであり、電解めっき法を用いた基板めっき装置としては、例えば、基板表面（被めっき面）のみを露出させて保持した基板ホルダを、めっき液に浸漬させて基板に通電し、基板表面にめっきを施すことができるようにしたものがある。

このような基板めっき装置や基板ホルダに関し、下記特許文献１には、基板を支持する支持面を有する第１保持部材と、第１保持部材と共に基板を挟み込んで保持する第２保持部材と、を有し、第１保持部材は、支持面の周囲に沿って配置された平板形状の第１接点を有し、第２保持部材は、支持面に配置された基板と接触する第１端部と、第１接点と接触する第２端部と、を有する第２接点を有し、第２端部は、第１保持部材と第２保持部材とで基板を保持したときに第１接点に対して弾性接触するように構成される、基板ホルダが開示されている。この基板ホルダは、第１接点及び第２接点を高価なバネ材で形成しなくとも、第２接点を第１接点に確実に接触させることができるようにしたものである。

上記特許文献１に例示された基板ホルダは、円形状の基板を保持できるものであるが、最近では基板の大型化に伴い、矩形状の基板なども出現しており、矩形状の基板を保持できる基板ホルダも開発されている（下記特許文献２参照）。さらには、基板の両面にめっきを施すことができる基板ホルダも開発されている（下記特許文献３参照）。

特開２０１７－２０３１７８号公報 特開２０１８－４００４５号公報 特開２０１９－７０７５号公報

基板ホルダは、例えば、特許文献１に示されたとおり、基板を２つの保持部材で挟み込んで保持するものであり、保持する際に、一方の保持部材に設けた第２接点が基板に接触するとともに、他方の保持部材の第１接点にも接触した状態となり、この状態で通電することにより基板にめっきが施されるものである。
このような電気接点は、基板に接触する部位の汚れなどにより、接触不良を起こすことがある。また、めっき時には、２つの保持部材により形成された空間は気密にシールされており、その空間内にある電気接点に対してめっき液が付着しにくい構造となっているが、保持部材の開放時に、めっき液が飛散して接点に付着し、通電不良を起こすこともあった。

そこで、電気接点は、定期的に或いは不良時に交換が行われている。電気接点は、例えば、特許文献１の図７に示されるとおり、複数の孔（図７では５か所の孔）が設けられ、ここにねじを締結して保持部材に固定されるものである。しかし、１つの電気接点につき５か所をねじ止めしなければならず、交換作業に時間を要するものであった。
さらには、特許文献１に示されるとおり基板が円形状である場合は、保持部材も円形状になり、その内周面に接点を固定することになるため、円弧凹状の面に沿わせて平板状の接点を固定しなければならず、作業の困難性を高めるものであった。

そこで、本発明の主な目的は、交換を容易に行うことができる電気接点を備えた基板の表面にめっきするための基板ホルダを提供することにある。

本発明の一形態の基板の表面にめっきするための基板ホルダは、第一保持部材と、基板の表面を露出させるための開口部を有し、前記第一保持部材と共に基板を挟み込んで保持する第二保持部材と、先端部に膨頭状の頭部を有し、前記第二保持部材の周方向に配した複数の係合軸部と、前記基板の縁部に当接する接点部を有し、隣接する前記係合軸部に係合させて前記第二保持部材の開口部の周囲に沿わせて配列させる切欠き状の係合受部を有する電気接点と、を備えたことを特徴とする。

このように、基板ホルダの第二保持部材に、先端部に膨頭状の頭部を有する係合軸部を所定間隔で複数設け、この係合軸部に、電気接点に設けた切欠き状の係合受部を係合させることにより電気接点が取り付けられるため、電気接点が第二保持部材に簡単に取り付けられ、交換作業を容易に行うことができる。

上記一形態の基板ホルダは、前記係合受部を湾曲凹状の切欠きとすることが好ましい。このようにすることにより、係合受部が係合軸部に係合しやすくなるため、交換作業がしやすくなる。

上記一形態の基板ホルダは、前記電気接点に、前記第二保持部材に設けた係合溝に係合するフック状のフック片部を備えることが好ましい。係合受部だけでなくフック片部でも第二保持部材に係合させることができ、係合力を高めることができる。

上記一形態の基板ホルダは、前記電気接点の中央付近に孔部を備え、その孔部に締結部材を挿通して締結し、前記電気接点を前記第二保持部材に固定することが好ましい。このようにすることにより、ねじなどの締結部材が少なくとも１つあれば、電気接点を第二保持部材に確実に固定することができ、従来に比べて交換作業を簡便にすることができる。

上記一形態の基板ホルダは、前記第二保持部材を、導電性を有する金属から形成することが好ましい。このようにすることにより、第二保持部材が導電性を有するので、第二保持部材に通電させれば電気接点にも通電でき、通電不良などを起こしにくくすることができる。

上記一形態の基板ホルダは、前記第二保持部材の前記開口部側に、前記第二保持部材の内外方向に湾曲した内周面を有し、前記電気接点を前記内周面に沿わせて取り付けることができる。このようにすることにより、電気接点を撓ませて取り付けることになり、弾性力の働きにより内周面に沿い安定して取り付けることができる。

上記一形態の基板ホルダは、前記第二保持部材を多角形枠状又は円形枠状にすることができる。円形状の基板の他、矩形状などの多角形状の基板にも対応することができ、電気接点はどのような形態の基板ホルダにも取り付けられる。

本発明は、上記一形態の基板ホルダを備えた基板めっき装置、該基板ホルダ用のコンタクト、該基板ホルダの電気接点の取付構造をも対象とする。

本発明の第一の実施形態の基板ホルダを示し、基板を保持した状態において鉛直向きでの正面側斜視図である。 図１の基板ホルダのボディ部を透過させて示した背面側斜視図である。 図１の基板ホルダを用いた基板めっき装置の一例を示した概略平面図である。 図１の基板ホルダにおいて、基板を基板載置台に載せ置いた状態を示した部分拡大断面図である。 図４の状態における部分拡大平面図である。 図１の基板ホルダにおいて、第二保持部材を構成する本体部の一部分を示した部分拡大図である。 図１の基板ホルダにおいて、第二保持部材を構成する本体部に電気接点を取り付けた状態を示し、（Ａ）は部分拡大図、（Ｂ）はＸ－Ｘ線断面図、（Ｃ）はＹ－Ｙ線断面図である。 図１の基板ホルダにおいて、基板を保持した状態における電気接点の締結部材付近の部分拡大断面図である。 図１の基板ホルダに用いる電気接点の一例を示し、（Ａ）は正面側斜視図、（Ｂ）は背面側斜視図、（Ｃ）は正面図、（Ｄ）は側面図である。 図１の基板ホルダに用いる電気接点の他例を示し、（Ａ）は正面側斜視図、（Ｂ）は背面側斜視図、（Ｃ）は正面図、（Ｄ）は側面図である。 図１の基板ホルダにおいて、基板を保持した状態を示した部分拡大平面図である。 図１１の状態における部分拡大断面図である。 本発明の第二の実施形態の基板ホルダを示した分解斜視図である。 図１３の基板ホルダで基板を保持した状態を示した部分拡大断面図である。 本発明の第三の実施形態の基板ホルダを示した分解斜視図である。 図１５の基板ホルダで基板を保持した状態を示した部分拡大断面図である。

以下、本発明の一実施形態の基板ホルダを説明する。但し、本発明は、この実施形態に限定されるものではない。

本発明の一実施形態の基板ホルダ１は、図１又は図２に示すように、基板Ｗを保持し、基板めっき装置などで基板Ｗの表面にめっきを施すために用いるものである。第一の実施形態の基板ホルダ１は、基板Ｗとして円形のウエハを保持するために用いられる。
基板めっき装置は、従来からある装置を用いることができ、例えば、以下の基板めっき装置１００を用いることができる。

基板めっき装置１００は、概略を説明すると、図３に示すように、フープ１０１と、アライナ１０２と、スピンリンスドライヤ１０３と、基板ホルダ１を載せ置くフィッキシングユニット１０４とを備え、これらの中央に、基板搬送装置１０５を備えており、基板搬送装置１０５により基板ホルダ１への基板Ｗの受渡しを行うことができる。

基板めっき装置１００は、さらに、ストッカ１０６と、プリウェット槽１０７と、プリソーク槽１０８と、第１洗浄槽１０９と、ブロー槽１１０と、第２洗浄槽１１１と、めっき槽１１２とを備え、プリウェット槽１０７から第２洗浄層１１１まで順次に基板ホルダ１を搬送させることにより基板Ｗの洗浄、エッチングなどを行うことができる。基板ホルダ１の搬送は、基板ホルダ搬送装置１１４により行うことができる。

めっき槽１１２には、複数のめっきセル１１３を備え、各めっきセル１１３は、内部に１つの基板Ｗを収納し、内部のめっき液中に基板Ｗを浸漬させて基板Ｗ表面に銅めっき等のめっきを施すように構成されている。

また、基板ホルダ搬送装置１１４は、第１トランスポータ１１５及び第２トランスポータ１１６を備え、基板ホルダ１を鉛直方向に向いた状態で搬送することができるようにしてある。

基板めっき装置１００によるめっき処理の一例を説明する。
まず、基板Ｗを収納してあるフープ１０１から、基板搬送装置１０５で基板を１つ取出し、アライナ１０２に基板を搬送する。アライナ１０２は、オリフラやノッチなどの位置を所定の方向に合わせる。このアライナ１０２で方向を合わせた基板Ｗを基板搬送装置１０５でフィッキシングユニット１０４まで搬送する。

ストッカ１０６内に収容されていた基板ホルダ１を、フィッキシングユニット１０４まで搬送しておき、そして、基板ホルダ１に基板搬送装置１０５で基板Ｗを搬送し、基板Ｗを基板ホルダ１で保持させる。
次に、基板Ｗを保持した基板ホルダ１を、第１トランスポータ１１５及び第２トランスポータ１１６にて、プリウェット槽１０７、プリソーク槽１０８、第１洗浄槽１０９、めっき槽１１２に順次搬送し、めっき液を満たしためっきセル１１３に収納する。このようにして基板Ｗを保持した基板ホルダ１をめっき槽１１２の各々のめっきセル１１３に収納する。

各めっきセル１１３では、めっきセル１１３内のアノードと基板Ｗとの間にめっき電圧を印加し、基板Ｗの表面にめっきを行うことができる。

めっきが終了した後、めっき後の基板を保持した基板ホルダ１を第２洗浄槽１１１、ブロー槽１１０に順次搬送し、その後、基板ホルダ１を、フィッキシングユニット１０４に搬送する。

フィッキシングユニット１０４では、基板搬送装置１０５によって基板ホルダ１から処理後の基板Ｗが取り出され、スピンリンスドライヤ１０３に搬送され、乾燥させる。乾燥した基板Ｗは、基板搬送装置１０５によりフープ１０１に戻される。
このようにして、基板ホルダ１に保持した基板Ｗにめっきを施すことができる。

基板めっき装置１００のより詳しい構成は、本出願人による日本特許出願の特願２０１８－１１９８７５号明細書の段落［００１１］～［００１７］などの記載を参酌することができる。

基板ホルダ１は、図１又は図２に示すように、第一保持部材２と、第二保持部材３とを備える。なお、図１又は図２は基板ホルダ１を鉛直方向に向かせた状態を示す。

基板ホルダ１は、第一保持部材２と第二保持部材３とで基板Ｗを挟み込み、これらを連結固定して基板Ｗを保持できるようにしてあり、図３に例示したような基板めっき装置１００などに備えることができる。
基板Ｗとしては、半導体基板（ウェハ）、ガラス基板、プリント回路基板などを挙げることができ、この他、磁気記録媒体、磁気記録センサ、ミラー、光学素子、微小機械素子、部分的に製作された集積回路などを含むものである。

第一保持部材２は、固定保持部材ともいい、図１、図２又は図４に示すように、外面を形成するボディ部２１と、基板Ｗを載せ置いて支持する基板載置台２２と、第二保持部材３を固定するための引っ掛けリング２３と、基板ホルダ１をめっき液などに浸漬させる際に吊り下げるためのハンド部２４と、外部電源と電気的に接続される外部接点２５とを備える。

ボディ部２１は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などの樹脂等からなり、図１又は図２に示すように、平板状の筐体とし、内部に基板載置台２２、引っ掛けリング２３、ベースプレート２６などを配してある。
ベースプレート２６は、導電性を有するステンレス鋼などの金属からなり、扇形状の開口部を複数有する円形平板状とし、ボディ部２１の一端寄り（図１の下端寄り）に配してある。

基板載置台２２は、図２又は図４に示すように、円形平板状とし、図４に示すように、ベースプレート２６上に、圧縮ばね２２ａなどを介して取り付け、基板Ｗ側（図４の上側）に向け付勢してある。

引っ掛けリング２３は、導電性を有するステンレス鋼などの金属からなり、平板からなるリング形状とし、図４に示すように、ボディ部２１の基板載置台２２の外縁沿いに設けた周溝部２１ａ内に配し、周溝部２１ａ内を回転移動できるようにしてある。また、ボディ部２１とベースプレート２６とにより挟み込まれ、ベースプレート２６とは接するようにしてある。
引っ掛けリング２３には、図５に示すように、複数の貫通孔２３ａが設けてあり、後述する第二保持部材３の引っ掛けピン３５を係合させて第二保持部材３を固定できるようにしてある。貫通孔２３ａは、鍵穴状とし、大径の大径孔部２３ｂとそれよりも小径の小径孔部２３ｃが連なる形状としてある。
なお、本実施形態では、引っ掛けリング２３は、図２に示す、ロッド部材４を上下方向に移動させることにより、回転移動できるように構成されており、例えば、ロッド部材４を下側に移動させることにより、図１１に示すように、引っ掛けピン３５が小径孔部２３ｃに係合し、ロッド部材４を上側に移動させることにより、図５に示すように、引っ掛けピン３５が小径孔部２３ｃから係合解除するようにしてある。

ハンド部２４は、図１又は図２に示すように、ボディ部２１の一端部側（図１の上端側）に設けてあり、ボディ部２１から左右両側に突き出すように形成し、基板ホルダ１をめっき液などに浸漬させる際に吊り下げられるようにしてある。片側のハンド部２４には、突き出た部分の一面（基板ホルダ１の吊り下げ時の下面）に外部接点２５が設けてある。
外部接点２５は、図２に示すように、ベースプレート２６に連結した導線２５ａと接続されており、基板ホルダ１をめっき液に浸漬させた際に外部電源と電気的に接続され、ベースプレート２６に通電させることができるようにしてある。

第二保持部材３は、可動保持部材ともいい、図１又は図４に示すように、開口部３ａを有する円形リング状としてあり、基板Ｗを保持した基板載置台２２の周囲に被せ、基板Ｗを挟み込み、基板Ｗの表面を開口部３ａに露出させつつ保持することができるものである。
第二保持部材３は、図４に示すように、本体部３１と、基板Ｗの縁部に接触する電気接点３２と、基板を保持した際に第一保持部材２及び第二保持部材３で形成される空間を密閉する上側シール部３３及び下側シール部３４と、引っ掛けピン３５とを備える。

本体部３１は、図６に示すように、断面横長長方形状とした円形リング状で、内周面３１ａに沿わせて後述する電気接点３２を備え付けることができる。また、本体部３１の上面には、リング内側に軒状に張り出す突片部３１ｅを全周に渡り設け、基板Ｗを保持する際に第一保持部材２及び第二保持部材３の間にできる隙間空間を覆い電気接点３２を囲えるようにしてある。
本体部３１は、導電性を有する金属、例えば、ステンレス鋼、アルミニウムなどで形成し、基板Ｗを保持する際に、図１２に示すように、本体部３１の下面に設けた引っ掛けピン３５が引っ掛けリング２３に接触し、ベースプレート２６、引っ掛けリング２３及び本体部３１と電気的に接続し、電気接点３２に通電できるようにしてある。

本体部３１の内周面３１ａは、第二保持部材３の上面に対して略垂直になるように形成し、面上を平滑面として電気接点３２をこの面に沿わせて配列できるようにしてある。内周面３１ａは、平面視において円形状としてあり、このように内周面３１ａを第二保持部材３の内外方向に湾曲させた湾曲面形状とすることにより、電気接点３２を配列した際に弾性力が働き、電気接点３２の位置ずれを防ぐことができる。
また、内周面３１ａには、図６又は図７に示すように、係合軸部３６が略等間隔で複数設けてある。係合軸部３６は、軸部３６ａの先端部に膨頭状の頭部３６ｂを有する形状としてある。
係合軸部３６は、本実施形態では、軸部３６ａを円形軸状とし、頭部３６ｂを軸部３６ａよりも大径の円形平板状としてあり、より具体的には、係合軸部３６を、皿ねじを用いて形成し、内周面３１ａに設けた第一締結孔３１ｂに締結して形成してある。
内周面３１ａと頭部３６ｂとの間には、図７（Ｃ）に示すように、電気接点３２を差し込める隙間が設けてある。

内周面３１ａには、図６又は図７に示すように、各係合軸部３６間に第二締結孔３１ｃが設けてあり、図８に示すように、ねじなどの締結部材Ｓを締結し、電気接点３２を固定できるようにしてある。なお、第一締結孔３１ｂ及び第二締結孔３１ｃは、同径の孔としてもよく、異径の孔としてもよい。また、第二締結孔３１ｃを設けなくともよい。

本体部３１の下面には、図４に示すように、下方に軸状に突出する引っ掛けピン３５が複数設けてあり、第一保持部材２の貫通孔２３に係合できるようにしてある。また、長孔状に開口した所定深さの係合溝３１ｄが複数設けてあり、後述する電気接点３２のフック片部３２ｃが係合できるようにしてある。

電気接点３２は、基板Ｗに接触させて通電させるものである。以下、電気接点３２を説明するにあたり、図７（Ａ）に表された向きを正面側として説明する。
電気接点３２は、図９に示すように、矩形板状、より具体的には横長長方形板状としてある。電気接点３２の厚みは、特に限定するものではないが、撓ませることができる程度の厚みとし、内周面３１ａに取り付け又は取り外しやすくするのが好ましい。

電気接点３２は、一方の長手端部側（図９（Ｃ）の上側）に、複数の切れ込みを入れて櫛歯状にした基板Ｗの縁部に接触する接点部３２ａを設け、両側の短手端部側（図９（Ｃ）の左右側）に、切欠き状の係合受部３２ｂを設け、他方の長手端部側（図９（Ｃ）の下側）に、フック状のフック片部３２ｃを設けてある。

接点部３２ａは、第一保持部材２及び第二保持部材３で基板Ｗを保持した状態において、図８に示すように、基板Ｗの縁部に接触して基板に通電することができるようにした箇所であり、電気接点３２の上側を湾曲状に折り曲げて、その先端部が水平面状になるようにして形成してある。接点部３２ａは、先端部側から複数の切れ込みを入れて櫛歯状にし、基板Ｗの縁部に弾性接触するようにしてある。本実施形態では、２２本の切れ込みを等間隔で入れてあるがこれに限定されるものではなく、例えば、図１０（Ａ）～（Ｄ）に示されるような４５本の切れ込みを入れた電気接点３２Ｘにしてもよい。

係合受部３２ｂは、図９（Ａ）～（Ｃ）に示すように、電気接点３２の左右側端部の高さ中間付近に設け、係合軸部３６の軸部３６ａに係合できるように切欠き状に形成してある。
係合受部３２ｂの形状は、切欠き状としてあればよく、特に限定されるものではないが、倒Ｖ字状などの奥側が窄まる形状とするのが好ましく、特に倒Ｕ字状又は半円状などの湾曲凹状の切欠きにするのが係合軸部３６への係合しやすさの観点から好ましい。
なお、隣接する係合軸部３６の距離は、電気接点３２の係合受部３２ｂの最短距離よりもやや長くするのが好ましく、係合軸部３６に電気接点３２を取り付けやすくなる。また、係合受部３２ｂの幅は、係合軸部３６の幅とほぼ同じにするのが好ましく、電気接点３２を取り付けた際に上下に動きにくくすることができる。

フック片部３２ｃは、図９（Ｂ）又は（Ｄ）に示すように、電気接点３２の下側端部から背面側に向けて延び、先端部を上側に折り曲げたフック状にし、先端部が係合溝３１ｅに係合できるようにしてある。本実施形態では、２か所にフック片部３２ｃを設けてあるがこれに限定されるものではない。

電気接点３２には、図９（Ｃ）に示すように、中央付近に孔部３２ｄを備え、ねじなどの締結部材Ｓを挿通し、図８に示すように、第二締結孔３１ｃに締結固定することができるようにしてある。本実施形態では孔部３２ｄを円形状としてあるがこれに限定されるものではない。また、孔部３２ｄは必ずしも設けなくともよい。
また、電気接点３２には、図９（Ｂ）に示すように、下側端部の中間付近から背面側に延びる位置決め片３２ｅが設けてあり、第二保持部材３の本体部３１に固定する際に本体部３１の下面に当接して上下方向の位置決めをすることができる。
電気接点３２の本体部３１への取り付け方の詳細は後述する。

上側シール部３３及び下側シール部３４は、ゴム、シリコンなどの弾性を有する材質で形成されたリング形状とし、図８に示すように、第一保持部材２及び第二保持部材３とで形成される空間を密閉し、めっき時にめっき液が浸入して電気接点３２などにめっき液が付着することを防止するものである。

上側シール部３３は、本体部３１の内周側に配し、図８に示すように、基板Ｗを保持した状態で先端部が第一保持部材２の基板載置台２２に載せ置いた基板Ｗの表面に当接してめっき液の浸入を防ぐことができる。
下側シール部３４は、本体部３１の外周側に配し、図８に示すように、基板Ｗを保持した状態で先端部が第一保持部材２のボディ部２１の上面に当接してめっき液の浸入を防ぐことができる。
上側シール部３３及び下側シール部３４は、図４又は図８に示すように、本体部３１とシールリングホルダ３７とにより挟み込まれて固定されている。

引っ掛けピン３５は、導電性を有するステンレス鋼などの金属からなり、図４に示すように、本体部３１の下面から下方に突出する円柱軸状とし、軸の途中に外方に張り出すロック用大径部３５ａを有する。本実施形態では、引っ掛けピン３５は先端部をねじ部として、本体部３１の下面に設けたねじ孔（図示せず）に締結固定してある。
ロック用大径部３５ａは、引っ掛けリング２３の貫通孔２３ａの大径孔部２３ｂよりも小径とし、かつ、小径孔部２３ｃよりも大径としてあり、図５に示すように、ロック用大径部３５ａを大径孔部２３ｂに挿し通した状態で引っ掛けリング２３を移動させ、図１１に示すように、小径孔部２３ｃに掛かるようにして第二保持部材３を第一保持部材２に固定させることができる。

基板ホルダ１のより詳しい構成は、本出願人による日本特許出願の特願２０１８－１１９８７５号明細書の段落［００１８］～［０１１４］などの記載を参酌することができる。

電気接点３２を第二保持部材３に取り付けるには、例えば、以下のように行うことができる。
まず、電気接点３２の左右端縁部の一方側を、係合軸部３６の頭部３６ｂと内周面３１ａとの間に滑り込ませながら、係合受部３２ｂ内に軸部３６ａを入れ、係合受部３２ｂの奥側まで軸部３６ａを入り込ませる。

次に、電気接点３２をやや湾曲するように撓ませて、電気接点３２の左右端縁部の他方側を、隣接する係合軸部３６の頭部３６ｂと内周面３１ａとの間に滑り込ませながら、係合受部３２ｂ内に軸部３６ａを入れ、両側の係合受部３２ｂを係合軸部３６に係合させる。
電気接点３２の中央付近を、第二保持部材３の内周面３１ａに沿わせるように押し込み、図７（Ｃ）に示すように、フック片部３２ｃを係合溝３１ｄに係合させる。
そして、ねじなどの締結部材Ｓを孔部３２ｄに挿し通し、第二締結孔３１ｃに締結固定して、図８に示すように、電気接点３２を第二保持部材３に固定することができる。このように、他の電気接点３２を第二保持部材３の内周面３１ａに順次配列させていき、電気接点３２を取り付けることができる。電気接点３２は、内周面３１ａに取り付けた状態では、撓ませた状態から戻る弾性力の働きにより内周面３１ａに沿い安定して取り付けることができる。これにより、電気接点３２の接点部３２ａが基板Ｗに接触する位置が基板Ｗの半径方向にずれることを防ぐことができる。

基板ホルダ１に基板Ｗを保持させるには、第一保持部材２の基板載置台２２に基板Ｗを載せ、その周囲に被せるように第二保持部材３を重ねる。この際、図４又は図５に示すように、貫通孔２３ａの大径孔部２３ｂの上方に引っ掛けピン３５が位置するようにする。そして、第二保持部材３をやや押さえ込みながら、ロック用大径部３５ａを大径孔部２３ｂに挿し込ませ、ロック用大径部３５ａが引っ掛けリング２３よりも下方になるように位置させる。この状態で、ロッド部材４を押す（下方に移動）ことにより、引っ掛けリング２３が回転し、図１１又は図１２に示すように、引っ掛けピン３５の相対位置が大径孔部２３ｂから小径孔部２３ｃへと移動し、ロック用大径部３５ａが引っ掛けリング２３に係合され、第二保持部材３が第一保持部材２に固定される。上側シール部３３は、基板Ｗの縁部を弾性的に押圧して基板Ｗを基板ホルダ１に保持させることができる。この際に露出した表面が被めっき面となる。

この状態で、図３に示した、基板めっき装置１００のめっき槽１１２に浸漬させて基板Ｗに通電することにより、被めっき面にめっきを施すことができる。この際、外部接点２５が外部電源に接続され、外部接点２５、導線２５ａ、ベースプレート２６、引っ掛けリング２３、引っ掛けピン３５、本体部３１、電気接点３２の順に通電され、基板Ｗに通電することができる。

電気接点３２を交換するために取り外すときには、取り付けとは逆の手順で行えばよく、例えば、孔部３２ｄに締結してあるねじなどの締結部材Ｓを緩めて取り外し、電気接点３２を内周面３２ａから離反する方向に引き、フック片部３２ｃを係合溝３１ｄから外す。
次に、電気接点３２をやや撓ませながら、左右端縁部の一方側を引くようにして、係合受部３２ｄを係合軸部３６から外す。そして、他方側の係合受部３２ｄを係合軸部３６から引き抜いて外すことにより、電気接点３２を取り外すことができる。

このように、本発明は、係合軸部３６に切欠き状の係合受部３２ｂを係合させれば電気接点３２を第二保持部材３に取り付けることができ、また、この係合を解除させれば電気接点３２を取り外すことができるため、電気接点３２の交換が容易に行え、交換作業の効率化が図られる。
また、フック片部３２ｃを係合溝３１ｄに係合できる構造としておけば、係合受部３２ｂ及びフック片部３２ｃの両方で第二保持部材３に係合することができ、外れにくくなり、特に第二保持部材３をリング状にした場合には、内周面３１ａの円弧凹状部分に沿わせやすくなる。
さらには、電気接点３２の中央付近に孔部３２ｄを設け、ねじなどの締結部材Ｓで第二保持部材３に締結固定できるようにしておけば、少なくとも１本の締結部材で確実に固定することができ、従来に比べて締結部材の数を減少させながらも従来と同様の固定力を有する。

上記形態において、第二保持部材３の本体部３１を、導電性を有する材料から形成してあるが、これに限定されるものではなく、塩化ビニル樹脂など導電性を有しない材料から形成してもよく、この際は、電気接点３２の下側の端縁部が任意の弾性部材を介してベースプレート２５に接触し、通電できるようにするのが好ましい。

また、上記実施形態において、基板ホルダ１は、円形状の基板Ｗを保持できるものとしてあるが、これに限定されるものではなく、矩形状などの多角形状の基板を保持できるようにしてもよい。

例えば、図１３には、第二の実施形態の基板ホルダ１０が示してあり、基板ホルダ１０は、矩形状の開口部１２を有する矩形平板枠状のフロントプレート（第二保持部材）１１と、平板状のバックプレート（第一保持部材）１３を備え、フロントプレート１１及びバックプレート１３で基板Ｗを挟み込んで保持し、開口部１２に露出した基板Ｗにめっきを施すことができるものである。
フロントプレート１１には、図１４に示すように、内周側に電気接点１４を設け、フロントプレート１１の基板Ｗの表面と平行になる面に電気接点１４を取り付けてあり、基板Ｗを保持した際に電気接点１４の先端部が基板Ｗの縁部に接触して通電できるようにしてある。

このような形態の基板ホルダ１０においても、電気接点１４の取付構造として、上記に示した軸状の係合軸部３６と切欠き状の係合受部３２ｂとによる取付構造を採用することができる。
基板ホルダ１０の詳細については、例えば、特開２０１８－４００４５号公報の段落［００３４］～［００７３］の記載を参酌することができる。

また、基板の両面側にめっきを施せるようにしてもよい。
例えば、図１５には、第三の実施形態の基板ホルダ１５が示してあり、基板ホルダ１５は、第一保持部材１６と第二保持部材１７とを備え、第一保持部材１６及び第二保持部材１７は、それぞれ矩形状の開口部１８ａ，１８ｂを有する矩形平板枠状としてある。第一保持部材１６と第二保持部材１７で基板Ｗを挟み込んで保持し、開口部１８ａ，１８ｂに露出した基板Ｗにめっきを施すことができるものである。
第一保持部材１６及び第二保持部材１７には、図１６に示すように、それぞれ内周側に電気接点１９ａ，１９ｂが設けてあり、基板Ｗを保持した際に各電気接点１９ａ，１９ｂの先端部が基板Ｗの縁部に接触して通電できるようにしてある。

このような形態の基板ホルダ１５においても、電気接点１９ａ，１９ｂの取付構造として、上記に示した軸状の係合軸部３６と切欠き状の係合受部３２ｂによる取付構造を採用することができる。
基板ホルダ１５の詳細については、例えば、特開２０１９－７０７５号公報の段落［００２５］～［０１５８］の記載を参酌することができる。

図１５に示すような基板ホルダでは、基板載置台はなくてもよい。また実施の形態によっては、基板ホルダで基板を挟み込む際に、電気接点コンタクトが取り付けられる第二保持部材側に基板を載置するようにしてもよい。

１ 基板ホルダ
２ 第一保持部材
２１ ボディ部
２１ａ 周溝部
２２ 基板載置台
２３ 引っ掛けリング
２３ａ 貫通孔
２３ｂ 大径孔部
２３ｃ 小径孔部
２４ ハンド部
２５ 外部接点
２５ａ 導線
２６ ベースプレート
３ 第二保持部材
３ａ 開口部
３１ 本体部
３１ａ 内周面
３１ｂ 第一締結孔
３１ｃ 第二締結孔
３１ｄ 係合溝
３１ｅ 突片部
３２，３２Ｘ 電気接点
３２ａ 接点部
３２ｂ 係合受部
３２ｃ フック片部
３２ｄ 孔部
３２ｅ 位置決め片
３３ 上側シール部
３４ 下側シール部
３５ 引っ掛けピン
３５ａ ロック用大径部
３６ 係合軸部
３６ａ 軸部
３６ｂ 頭部
３７ シールリングホルダ
４ ロッド部材
１００ 基板めっき装置
Ｗ 基板
Ｓ 締結部材

Claims (13)

1. 第一保持部材と、
   基板の表面を露出させるための開口部を有し、前記第一保持部材と共に基板を挟み込んで保持する第二保持部材と、
   先端部に膨頭状の頭部を有し、前記第二保持部材の周方向に配した複数の係合軸部と、
   基板の縁部に当接する接点部を有し、隣接する前記係合軸部に係合させて前記第二保持部材の開口部の周囲に沿わせて配列させる切欠き状の係合受部を有する電気接点と、
   を備えた、基板の表面にめっきするための基板ホルダ。
2. 前記係合受部を湾曲凹状の切欠きとした請求項１に記載の基板ホルダ。
3. 前記電気接点に、前記第二保持部材に設けた係合溝に係合するフック状のフック片部を備えた請求項１又は２に記載の基板ホルダ。
4. 前記電気接点の中央付近に孔部を備え、該孔部に締結部材を挿通して締結し、前記電気接点を前記第二保持部材に固定した請求項１～３のいずれかに記載の基板ホルダ。
5. 前記第二保持部材を、導電性を有する金属から形成した請求項１～４のいずれかに記載の基板ホルダ。
6. 前記第二保持部材は、前記開口部側に前記第二保持部材の内外方向に湾曲した内周面を有し、前記電気接点を前記内周面に沿わせて取り付けた請求項１～５のいずれかに記載の基板ホルダ。
7. 前記第二保持部材を、多角形枠状とした請求項１～６のいずれかに記載の基板ホルダ。
8. 前記第二保持部材を、円形枠状とした請求項１～６のいずれかに記載の基板ホルダ。
9. 請求項１～８のいずれかに記載の基板ホルダを備えた基板めっき装置。
10. 基板ホルダに保持された基板に通電するための電気接点であって、
    前記基板の縁部に当接する接点部と、
    前記電気接点の対向する端縁部側に切欠き状の係合受部と、を備え、
    前記係合受部を、前記基板ホルダ側に設けた、先端部を膨頭状の頭部とした係合軸部に係合可能とした、電気接点。
11. 前記係合受部を湾曲凹状の切欠きとした請求項１０に記載の電気接点。
12. 前記電気接点に、先端部が上側に向いたフック状のフック片部を備えた請求項１０又は１１に記載の電気接点。
13. 基板ホルダに保持された基板に通電する電気接点を取り付けるための構造であって、
    前記基板ホルダは、第一保持部材と、基板の表面を露出させるための開口部を有し、前記第一保持部材と共に基板を挟み込んで保持する第二保持部材とを備え、
    前記第二保持部材には、先端部に膨頭状の頭部を有する係合軸部を周方向に配してあり、
    前記電気接点は、対向する端縁部側に設けた切欠き状の係合受部と、前記基板の縁部に接する接点部とを備え、
    前記係合受部を隣接する係合軸部に係合させ、前記電気接点を前記第二保持部材の開口部の周囲に沿わせて配した、電気接点の取付構造。

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