KR20220057484A - 기판 홀더 및 그것을 구비한 기판 도금 장치, 그리고 전기 접점 - Google Patents

Abstract

교환을 용이하게 행할 수 있는 전기 접점을 구비한 기판의 표면에 도금하기 위한 기판 홀더를 제공한다. 기판 홀더(1)는, 제1 보유 지지 부재(2)와, 기판(W)의 표면을 노출시키기 위한 개구부(3a)를 갖고, 제1 보유 지지 부재(2)와 함께 기판(W)을 끼워 넣어서 보유 지지하는 제2 보유 지지 부재(3)와, 선단부에 팽두상의 헤드부(36b)를 갖고, 제2 보유 지지 부재(2)의 둘레 방향에 배치한 복수의 걸림 결합 축부(36)와, 기판(W)의 테두리부에 맞닿는 접점부(32d)를 갖고, 인접하는 걸림 결합 축부(36)에 걸림 결합시켜서 제2 보유 지지 부재(3)의 개구부(3a)의 주위를 따르게 하여 배열시키는 절결상의 걸림 결합 받침부(32d)를 갖는 전기 접점(32)을 구비한 것을 특징으로 한다

Description

기판 홀더 및 그것을 구비한 기판 도금 장치, 그리고 전기 접점

본 발명은, 기판 도금 장치에 있어서 반도체 웨이퍼 등의 기판을 보유 지지하는 기판 홀더 및 그것을 구비한 기판 도금 장치, 그리고 전기 접점에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼, 프린트 회로 기판 등의 기판은, 표면에 배선이나 범프(돌기상 전극) 등이 형성되는 것이다. 기판 상에 배선이나 범프(돌기상 전극) 등을 형성하기 위해서는, 예를 들어 전해 도금법, 증착법, 인쇄법, 볼 범프법 등에 의해 행하여지고, 그 중에서도, 미세화가 가능하고 성능이 안정된 전해 도금법에 의해 행하여지는 것을 널리 볼 수 있다.

전해 도금법은, 기판을 도금액에 침지시켜서 통전함으로써 기판 표면에 도금을 형성하는 것이고, 전해 도금법을 사용한 기판 도금 장치로서는, 예를 들어 기판 표면(피도금면)만을 노출시켜서 보유 지지한 기판 홀더를, 도금액에 침지시켜서 기판에 통전하고, 기판 표면에 도금을 실시할 수 있도록 한 것이 있다.

이러한 기판 도금 장치나 기판 홀더에 관하여, 하기 특허문헌 1에는, 기판을 지지하는 지지면을 갖는 제1 보유 지지 부재와, 제1 보유 지지 부재와 함께 기판을 끼워 넣어서 보유 지지하는 제2 보유 지지 부재를 갖고, 제1 보유 지지 부재는, 지지면의 주위를 따라서 배치된 평판 형상의 제1 접점을 갖고, 제2 보유 지지 부재는, 지지면에 배치된 기판과 접촉하는 제1 단부와, 제1 접점과 접촉하는 제2 단부를 갖는 제2 접점을 갖고, 제2 단부는, 제1 보유 지지 부재와 제2 보유 지지 부재로 기판을 보유 지지했을 때에 제1 접점에 대하여 탄성 접촉하도록 구성되는, 기판 홀더가 개시되어 있다. 이 기판 홀더는, 제1 접점 및 제2 접점을 고가의 스프링재로 형성하지 않아도, 제2 접점을 제1 접점에 확실하게 접촉시킬 수 있도록 한 것이다.

상기 특허문헌 1에 예시된 기판 홀더는, 원 형상의 기판을 보유 지지할 수 있는 것이지만, 최근에는 기판의 대형화에 수반하여, 직사각 형상의 기판 등도 출현하고 있고, 직사각 형상의 기판을 보유 지지할 수 있는 기판 홀더도 개발되어 있다(하기 특허문헌 2 참조). 나아가, 기판의 양면에 도금을 실시할 수 있는 기판 홀더도 개발되어 있다(하기 특허문헌 3 참조).

일본 특허 공개 제2017-203178호 공보 일본 특허 공개 제2018-40045호 공보 일본 특허 공개 제2019-7075호 공보

기판 홀더는, 예를 들어 특허문헌 1에 개시된 대로, 기판을 2개의 보유 지지 부재에 끼워 넣어서 보유 지지하는 것이고, 보유 지지할 때에, 한쪽의 보유 지지 부재에 마련한 제2 접점이 기판에 접촉함과 함께, 다른 쪽의 보유 지지 부재의 제1 접점에도 접촉한 상태로 되고, 이 상태에서 통전함으로써 기판에 도금이 실시되는 것이다.

이러한 전기 접점은, 기판에 접촉하는 부위의 오염 등에 의해, 접촉 불량을 일으키는 경우가 있다. 또한, 도금 시에는, 2개의 보유 지지 부재에 의해 형성된 공간은 기밀하게 시일되어 있고, 그 공간 내에 있는 전기 접점에 대하여 도금액이 부착되기 어려운 구조로 되어 있지만, 보유 지지 부재의 개방 시에, 도금액이 비산하여 접점에 부착되고, 통전 불량을 일으키는 경우도 있었다.

그래서, 전기 접점은, 정기적으로 혹은 불량 시에 교환이 행하여지고 있다. 전기 접점은, 예를 들어 특허문헌 1의 도 7에 도시되는 대로, 복수의 구멍(도 7에서는 5군데의 구멍)이 마련되고, 여기에 나사를 체결하여 보유 지지 부재에 고정되는 것이다. 그러나, 1개의 전기 접점에 대해서 5군데를 나사 고정하지 않으면 안 되고, 교환 작업에 시간을 요하는 것이었다.

나아가, 특허문헌 1에 개시된 대로 기판이 원 형상인 경우에는, 보유 지지 부재도 원 형상이 되고, 그 내주면에 접점을 고정하는 것이 되기 때문에, 원호 오목형의 면을 따르게 하여 평판상의 접점을 고정하지 않으면 안 되고, 작업의 곤란성을 높이는 것이었다.

그래서, 본 발명의 주목적은, 교환을 용이하게 행할 수 있는 전기 접점을 구비한 기판의 표면에 도금하기 위한 기판 홀더를 제공하는 데 있다.

본 발명의 일 형태의 기판 표면에 도금하기 위한 기판 홀더는, 제1 보유 지지 부재와, 기판의 표면을 노출시키기 위한 개구부를 갖고, 상기 제1 보유 지지 부재와 함께 기판을 끼워 넣어서 보유 지지하는 제2 보유 지지 부재와, 선단부에 팽두상의 헤드부를 갖고, 상기 제2 보유 지지 부재의 둘레 방향에 배치한 복수의 걸림 결합 축부와, 상기 기판의 테두리부에 맞닿는 접점부를 갖고, 인접하는 상기 걸림 결합 축부에 걸림 결합시켜서 상기 제2 보유 지지 부재의 개구부의 주위를 따르게 하여 배열시키는 절결상의 걸림 결합 받침부를 갖는 전기 접점을 구비한 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 기판 홀더의 제2 보유 지지 부재에, 선단부에 팽두상의 헤드부를 갖는 걸림 결합 축부를 소정 간격으로 복수 마련하고, 이 걸림 결합 축부에, 전기 접점에 마련한 절결상의 걸림 결합 받침부를 걸림 결합시킴으로써 전기 접점이 설치되기 때문에, 전기 접점이 제2 보유 지지 부재에 간단하게 설치되고, 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.

상기 일 형태의 기판 홀더는, 상기 걸림 결합 받침부를 만곡 오목형의 절결로 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 걸림 결합 받침부가 걸림 결합 축부에 걸림 결합하기 쉬워지기 때문에, 교환 작업을 하기 쉬워진다.

상기 일 형태의 기판 홀더는, 상기 전기 접점에, 상기 제2 보유 지지 부재에 마련한 걸림 결합 홈에 걸림 결합하는 훅상의 훅 편부를 구비하는 것이 바람직하다. 걸림 결합 받침부뿐만 아니라 훅 편부에서도 제2 보유 지지 부재에 걸림 결합시킬 수 있고, 걸림 결합력을 높일 수 있다.

상기 일 형태의 기판 홀더는, 상기 전기 접점의 중앙 부근에 구멍부를 구비하고, 그 구멍부에 체결 부재를 삽입 관통하여 체결하고, 상기 전기 접점을 상기 제2 보유 지지 부재에 고정하는 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 나사 등의 체결 부재가 적어도 하나 있으면, 전기 접점을 제2 보유 지지 부재에 확실하게 고정할 수 있고, 종래에 비하여 교환 작업을 간편하게 할 수 있다.

상기 일 형태의 기판 홀더는, 상기 제2 보유 지지 부재를, 도전성을 갖는 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 제2 보유 지지 부재가 도전성을 가지므로, 제2 보유 지지 부재에 통전시키면 전기 접점에도 통전할 수 있고, 통전 불량 등을 일으키기 어렵게 할 수 있다.

상기 일 형태의 기판 홀더는, 상기 제2 보유 지지 부재의 상기 개구부측에, 상기 제2 보유 지지 부재의 내외 방향으로 만곡한 내주면을 갖고, 상기 전기 접점을 상기 내주면을 따르게 하여 설치할 수 있다. 이와 같이 함으로써, 전기 접점을 휘게 하여 설치하는 것이 되고, 탄성력의 작용에 의해 내주면을 따라 안정적으로 설치할 수 있다.

상기 일 형태의 기판 홀더는, 상기 제2 보유 지지 부재를 다각형 프레임상 또는 원형 프레임상으로 할 수 있다. 원 형상의 기판 외에, 직사각 형상 등의 다각 형상의 기판에도 대응할 수 있고, 전기 접점은 어떤 형태의 기판 홀더에도 설치된다.

본 발명은, 상기 일 형태의 기판 홀더를 구비한 기판 도금 장치, 해당 기판 홀더용의 콘택트, 해당 기판 홀더의 전기 접점의 설치 구조도 대상으로 한다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태 기판 홀더를 도시하고, 기판을 보유 지지한 상태에 있어서 연직 방향에서의 정면측 사시도이다.
도 2는, 도 1의 기판 홀더의 보디부를 투과시켜서 도시한 배면측 사시도이다.
도 3은, 도 1의 기판 홀더를 사용한 기판 도금 장치의 일례를 도시한 개략 평면도이다.
도 4는, 도 1의 기판 홀더에 있어서, 기판을 기판 적재대에 얹어 둔 상태를 도시한 부분 확대 단면도이다.
도 5는, 도 4의 상태에 있어서의 부분 확대 평면도이다.
도 6은, 도 1의 기판 홀더에 있어서, 제2 보유 지지 부재를 구성하는 본체부의 일부분을 도시한 부분 확대도이다.
도 7은, 도 1의 기판 홀더에 있어서, 제2 보유 지지 부재를 구성하는 본체부에 전기 접점을 설치한 상태를 도시하고, (A)는 부분 확대도, (B)는 X-X선 단면도, (C)는 Y-Y선 단면도이다.
도 8은, 도 1의 기판 홀더에 있어서, 기판을 보유 지지한 상태에 있어서의 전기 접점의 체결 부재 부근의 부분 확대 단면도이다.
도 9는, 도 1의 기판 홀더에 사용하는 전기 접점의 일례를 도시하고, (A)는 정면측 사시도, (B)는 배면측 사시도, (C)는 정면도, (D)는 측면도이다.
도 10은, 도 1의 기판 홀더에 사용하는 전기 접점의 다른 예를 도시하고, (A)는 정면측 사시도, (B)는 배면측 사시도, (C)는 정면도, (D)는 측면도이다.
도 11은, 도 1의 기판 홀더에 있어서, 기판을 보유 지지한 상태를 도시한 부분 확대 평면도이다.
도 12는, 도 11의 상태에 있어서의 부분 확대 단면도이다.
도 13은, 본 발명의 제2 실시 형태의 기판 홀더를 도시한 분해 사시도이다.
도 14는, 도 13의 기판 홀더로 기판을 보유 지지한 상태를 도시한 부분 확대 단면도이다.
도 15는, 본 발명의 제3 실시 형태의 기판 홀더를 도시한 분해 사시도이다.
도 16은, 도 15의 기판 홀더로 기판을 보유 지지한 상태를 도시한 부분 확대 단면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시 형태의 기판 홀더를 설명한다. 단, 본 발명은, 이 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 일 실시 형태의 기판 홀더(1)는, 도 1 또는 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판(W)을 보유 지지하고, 기판 도금 장치 등으로 기판(W)의 표면에 도금을 실시하기 위하여 사용하는 것이다. 제1 실시 형태의 기판 홀더(1)는, 기판(W)으로서 원형의 웨이퍼를 보유 지지하기 위하여 사용된다.

기판 도금 장치는, 종래부터 있는 장치를 사용할 수 있고, 예를 들어 이하의 기판 도금 장치(100)를 사용할 수 있다.

기판 도금 장치(100)는, 개략을 설명하면, 도 3에 도시하는 바와 같이, 후프(101)와, 얼라이너(102)와, 스핀 린스 드라이어(103)와, 기판 홀더(1)를 얹어 두는 픽싱 유닛(104)을 구비하고, 이들의 중앙에, 기판 반송 장치(105)를 구비하고 있고, 기판 반송 장치(105)에 의해 기판 홀더(1)로의 기판(W)의 전달을 행할 수 있다.

기판 도금 장치(100)는, 또한, 스토커(106)와, 프리웨트조(107)와, 프리소크조(108)와, 제1 세정조(109)와, 블로우조(110)와, 제2 세정조(111)와, 도금조(112)를 구비하고, 프리웨트조(107)로부터 제2 세정층(111)까지 순차적으로 기판 홀더(1)를 반송시킴으로써 기판(W)의 세정, 에칭 등을 행할 수 있다. 기판 홀더(1)의 반송은, 기판 홀더 반송 장치(114)에 의해 행할 수 있다.

도금조(112)에는, 복수의 도금 셀(113)을 구비하고, 각 도금 셀(113)은, 내부에 1개의 기판(W)을 수납하고, 내부의 도금액 중에 기판(W)을 침지시켜서 기판(W) 표면에 구리 도금 등의 도금을 실시하도록 구성되어 있다.

또한, 기판 홀더 반송 장치(114)는, 제1 트랜스포터(115) 및 제2 트랜스포터(116)를 구비하고, 기판 홀더(1)를 연직 방향을 향한 상태에서 반송할 수 있도록 하고 있다.

기판 도금 장치(100)에 의한 도금 처리의 일례를 설명한다.

먼저, 기판(W)을 수납하고 있는 후프(101)로부터, 기판 반송 장치(105)로 기판을 1개 취출하고, 얼라이너(102)에 기판을 반송한다. 얼라이너(102)는, 기준면이나 노치 등의 위치를 소정의 방향에 맞춘다. 이 얼라이너(102)로 방향을 맞춘 기판(W)을 기판 반송 장치(105)로 픽싱 유닛(104)까지 반송한다.

스토커(106) 내에 수용되어 있는 기판 홀더(1)를, 픽싱 유닛(104)까지 반송해 두고, 그리고, 기판 홀더(1)에 기판 반송 장치(105)로 기판(W)을 반송하고, 기판(W)을 기판 홀더(1)로 보유 지지시킨다.

이어서, 기판(W)을 보유 지지한 기판 홀더(1)를, 제1 트랜스포터(115) 및 제2 트랜스포터(116)에 의해, 프리웨트조(107), 프리소크조(108), 제1 세정조(109), 도금조(112)에 순차 반송하고, 도금액을 채운 도금 셀(113)에 수납한다. 이와 같이 하여 기판(W)을 보유 지지한 기판 홀더(1)를 도금조(112)의 각각의 도금 셀(113)에 수납한다.

각 도금 셀(113)에서는, 도금 셀(113) 내의 애노드와 기판(W) 사이에 도금 전압을 인가하고, 기판(W)의 표면에 도금을 행할 수 있다.

도금이 종료된 후, 도금 후의 기판을 보유 지지한 기판 홀더(1)를 제2 세정조(111), 블로우조(110)에 순차 반송하고, 그 후, 기판 홀더(1)를, 픽싱 유닛(104)에 반송한다.

픽싱 유닛(104)에서는, 기판 반송 장치(105)에 의해 기판 홀더(1)로부터 처리 후의 기판(W)이 취출되어, 스핀 린스 드라이어(103)에 반송되고, 건조된다. 건조된 기판(W)은, 기판 반송 장치(105)에 의해 후프(101)로 되돌려진다.

이와 같이 하여, 기판 홀더(1)에 보유 지지한 기판(W)에 도금을 실시할 수 있다.

기판 도금 장치(100)의 보다 자세한 구성은, 본 출원인에 의한 일본 특허 출원 제2018-119875호 명세서의 단락 [0011] 내지 [0017] 등의 기재를 참작할 수 있다.

기판 홀더(1)는, 도 1 또는 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 보유 지지 부재(2)와, 제2 보유 지지 부재(3)를 구비한다. 또한, 도 1 또는 도 2는 기판 홀더(1)를 연직 방향을 향한 상태를 나타낸다.

기판 홀더(1)는, 제1 보유 지지 부재(2)와 제2 보유 지지 부재(3)로 기판(W)을 끼워 넣고, 이들을 연결 고정하여 기판(W)을 보유 지지할 수 있도록 하고 있고, 도 3에 예시한 것과 같은 기판 도금 장치(100) 등에 구비할 수 있다.

기판(W)으로서는, 반도체 기판(웨이퍼), 유리 기판, 프린트 회로 기판 등을 들 수 있고, 이 밖에, 자기 기록 매체, 자기 기록 센서, 미러, 광학 소자, 미소 기계 소자, 부분적으로 제작된 집적 회로 등을 포함하는 것이다.

제1 보유 지지 부재(2)는, 고정 보유 지지 부재라고도 하고, 도 1, 도 2 또는 도 4에 도시하는 바와 같이, 외면을 형성하는 보디부(21)과, 기판(W)을 얹어 두어서 지지하는 기판 적재대(22)와, 제2 보유 지지 부재(3)를 고정하기 위한 걸침 링(23)과, 기판 홀더(1)를 도금액 등에 침지시킬 때 현수하기 위한 핸드부(24)와, 외부 전원과 전기적으로 접속되는 외부 접점(25)을 구비한다.

보디부(21)는, PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 등의 수지 등으로 이루어지고, 도 1 또는 도 2에 도시하는 바와 같이, 평판상의 하우징으로 하고, 내부에 기판 적재대(22), 걸침 링(23), 베이스 플레이트(26) 등을 배치하고 있다.

베이스 플레이트(26)는, 도전성을 갖는 스테인리스강 등의 금속으로 이루어지고, 부채 형상의 개구부를 복수 갖는 원형 평판상으로 하고, 보디부(21)의 일단 근처(도 1의 하단 근처)에 배치하고 있다.

기판 적재대(22)는, 도 2 또는 도 4에 도시하는 바와 같이, 원형 평판상으로 하고, 도 4에 도시하는 바와 같이, 베이스 플레이트(26) 상에, 압축 스프링(22a) 등을 개재하여 설치하고, 기판(W)측(도 4의 상측)을 향하여 가압하고 있다.

걸침 링(23)은, 도전성을 갖는 스테인리스강 등의 금속으로 이루어지고, 평판으로 이루어지는 링 형상으로 하고, 도 4에 도시하는 바와 같이, 보디부(21)의 기판 적재대(22)의 외연을 따라서 마련한 주위 홈부(21a) 내에 배치하고, 주위 홈부(21a) 내를 회전 이동할 수 있도록 하고 있다. 또한, 보디부(21)와 베이스 플레이트(26)에 의해 끼워 넣어져, 베이스 플레이트(26)와는 접하도록 하고 있다.

걸침 링(23)에는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 복수의 관통 구멍(23a)이 마련되어 있고, 후술하는 제2 보유 지지 부재(3)의 걸침 핀(35)을 걸림 결합시켜서 제2 보유 지지 부재(3)를 고정할 수 있도록 하고 있다. 관통 구멍(23a)은, 열쇠 구멍상으로 하고, 대경의 대경 구멍부(23b)와 그것보다도 소경의 소경 구멍부(23c)가 이어지는 형상으로 하고 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 걸침 링(23)은, 도 2에 도시하는, 로드 부재(4)를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 회전 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 예를 들어 로드 부재(4)를 하측으로 이동시킴으로써, 도 11에 도시하는 바와 같이, 걸침 핀(35)이 소경 구멍부(23c)에 걸림 결합하고, 로드 부재(4)를 상측으로 이동시킴으로써, 도 5에 도시하는 바와 같이, 걸침 핀(35)이 소경 구멍부(23c)로부터 걸림 결합 해제하도록 하고 있다.

핸드부(24)는, 도 1 또는 도 2에 도시하는 바와 같이, 보디부(21)의 일단부측(도 1의 상단측)에 마련되어 있고, 보디부(21)로부터 좌우 양측에 돌출하도록 형성하고, 기판 홀더(1)를 도금액 등에 침지시킬 때 현수할 수 있도록 하고 있다. 편측의 핸드부(24)에는, 돌출된 부분의 일면(기판 홀더(1)의 현수 시의 하면)에 외부 접점(25)이 마련되어 있다.

외부 접점(25)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 베이스 플레이트(26)에 연결된 도선(25a)과 접속되어 있고, 기판 홀더(1)를 도금액에 침지시켰을 때에 외부 전원과 전기적으로 접속되고, 베이스 플레이트(26)에 통전시킬 수 있도록 하고 있다.

제2 보유 지지 부재(3)는, 가동 보유 지지 부재라고도 하고, 도 1 또는 도 4에 도시하는 바와 같이, 개구부(3a)를 갖는 원형 링상으로 하고 있고, 기판(W)을 보유 지지한 기판 적재대(22)의 주위에 씌워, 기판(W)을 끼워 넣고, 기판(W)의 표면을 개구부(3a)에 노출시키면서 보유 지지할 수 있는 것이다.

제2 보유 지지 부재(3)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 본체부(31)와, 기판(W)의 테두리부에 접촉하는 전기 접점(32)과, 기판을 보유 지지했을 때에 제1 보유 지지 부재(2) 및 제2 보유 지지 부재(3)로 형성되는 공간을 밀폐하는 상측 시일부(33) 및 하측 시일부(34)와, 걸침 핀(35)을 구비한다.

본체부(31)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 단면 횡장형 직사각 형상으로 한 원형 링상으로, 내주면(31a)을 따르게 하여 후술하는 전기 접점(32)을 구비할 수 있다. 또한, 본체부(31)의 상면에는, 링 내측에 처마상으로 돌출되는 돌기부(31e)를 전체 둘레에 걸쳐 마련하고, 기판(W)을 보유 지지할 때에 제1 보유 지지 부재(2) 및 제2 보유 지지 부재(3) 사이에 생기는 간극 공간을 덮어 전기 접점(32)을 둘러쌀 수 있도록 하고 있다.

본체부(31)는, 도전성을 갖는 금속, 예를 들어 스테인리스강, 알루미늄 등으로 형성하고, 기판(W)을 보유 지지할 때에, 도 12에 도시하는 바와 같이, 본체부(31)의 하면에 마련한 걸침 핀(35)이 걸침 링(23)에 접촉하고, 베이스 플레이트(26), 걸침 링(23) 및 본체부(31)와 전기적으로 접속하고, 전기 접점(32)에 통전할 수 있도록 하고 있다.

본체부(31)의 내주면(31a)은, 제2 보유 지지 부재(3)의 상면에 대하여 대략 수직이 되도록 형성하고, 면 상을 평활면으로 하여 전기 접점(32)을 이 면을 따르게 하여 배열할 수 있도록 하고 있다. 내주면(31a)은, 평면으로 보아 원 형상으로 하고 있고, 이렇게 내주면(31a)을 제2 보유 지지 부재(3)의 내외 방향으로 만곡시킨 만곡면 형상으로 함으로써, 전기 접점(32)을 배열했을 때에 탄성력이 작용하고, 전기 접점(32)의 위치 어긋남을 방지할 수 있다.

또한, 내주면(31a)에는, 도 6 또는 도 7에 도시하는 바와 같이, 걸림 결합 축부(36)가 대략 등간격으로 복수 마련되어 있다. 걸림 결합 축부(36)는, 축부(36a)의 선단부에 팽두상의 헤드부(36b)를 갖는 형상으로 하고 있다.

걸림 결합 축부(36)는, 본 실시 형태에서는, 축부(36a)를 원형 축상으로 하고, 헤드부(36b)를 축부(36a)보다도 대경의 원형 평판상으로 하고 있고, 보다 구체적으로는, 걸림 결합 축부(36)을, 접시 나사를 사용하여 형성하고, 내주면(31a)에 마련된 제1 체결 구멍(31b)에 체결하여 형성하고 있다.

내주면(31a)과 헤드부(36b) 사이에는, 도 7의 (C)에 도시하는 바와 같이, 전기 접점(32)을 끼워 넣을 수 있는 간극이 마련되어 있다.

내주면(31a)에는, 도 6 또는 도 7에 도시하는 바와 같이, 각 걸림 결합 축부(36) 사이에 제2 체결 구멍(31c)이 마련되어 있고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 나사 등의 체결 부재(S)를 체결하고, 전기 접점(32)을 고정할 수 있도록 하고 있다. 또한, 제1 체결 구멍(31b) 및 제2 체결 구멍(31c)은, 동일한 직경의 구멍으로 해도 되고, 다른 직경의 구멍으로 해도 된다. 또한, 제2 체결 구멍(31c)을 마련하지 않아도 된다.

본체부(31)의 하면에는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 하방에 축상으로 돌출하는 걸침 핀(35)이 복수 마련되어 있고, 제1 보유 지지 부재(2)의 관통 구멍(23)에 걸림 결합할 수 있도록 하고 있다. 또한, 긴 구멍상으로 개구한 소정 깊이의 걸림 결합 홈(31d)이 복수 마련되어 있고, 후술하는 전기 접점(32)의 훅 편부(32c)를 걸림 결합할 수 있도록 하고 있다.

전기 접점(32)은, 기판(W)에 접촉시켜서 통전시키는 것이다. 이하, 전기 접점(32)을 설명하는데 있어서, 도 7의 (A)에 표시된 방향을 정면측으로 하여 설명한다.

전기 접점(32)은, 도 9에 도시하는 바와 같이, 직사각형 판상, 보다 구체적으로는 횡장형 직사각형 판상으로 하고 있다. 전기 접점(32)의 두께는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 휘게 할 수 있는 정도의 두께로 하고, 내주면(31a)에 설치 또는 분리하기 쉽게 하는 것이 바람직하다.

전기 접점(32)은, 한쪽의 긴 변 단부측(도 9의 (C)의 상측)에, 복수의 절입을 넣어서 빗살 모양으로 한 기판(W)의 테두리부에 접촉하는 접점부(32a)를 마련하고, 양측의 짧은 변 단부측(도 9의 (C)의 좌우측)에, 절결상의 걸림 결합 받침부(32b)를 마련하고, 다른 쪽의 긴 변 단부측(도 9의 (C)의 하측)에, 훅상의 훅 편부(32c)를 마련하고 있다.

접점부(32a)는, 제1 보유 지지 부재(2) 및 제2 보유 지지 부재(3)로 기판(W)을 보유 지지한 상태에 있어서, 도 8에 도시하는 바와 같이, 기판(W)의 테두리부에 접촉하여 기판에 통전할 수 있도록 한 개소이고, 전기 접점(32)의 상측을 만곡상으로 절곡하고, 그 선단부가 수평면 형상이 되도록 하여 형성하고 있다. 접점부(32a)는, 선단부측으로부터 복수의 절입을 넣어서 빗살 모양으로 하고, 기판(W)의 테두리부에 탄성 접촉하도록 하고 있다. 본 실시 형태에서는, 22개의 절입을 등간격으로 넣고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 도 10의 (A) 내지 (D)에 도시되는 바와 같은 45개의 절입을 넣은 전기 접점(32X)으로 해도 된다.

걸림 결합 받침부(32b)는, 도 9의 (A) 내지 (C)에 도시하는 바와 같이, 전기 접점(32)의 좌우측 단부의 높이 중간 부근에 마련하고, 걸림 결합 축부(36)의 축부(36a)에 걸림 결합할 수 있도록 절결상으로 형성하고 있다.

걸림 결합 받침부(32b)의 형상은, 절결상으로 하고 있으면 되고, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 옆으로 된 V자상 등의 안측이 오므라드는 형상으로 하는 것이 바람직하고, 특히 옆으로 된 U자상 또는 반원상 등의 만곡 오목형의 절결로 하는 것이 걸림 결합 축부(36)에의 걸림 결합하기 쉬운 관점에서 바람직하다.

또한, 인접하는 걸림 결합 축부(36)의 거리는, 전기 접점(32)의 걸림 결합 받침부(32b)의 최단 거리보다도 약간 길게 하는 것이 바람직하고, 걸림 결합 축부(36)에 전기 접점(32)을 설치하기 쉬워진다. 또한, 걸림 결합 받침부(32b)의 폭은, 걸림 결합 축부(36)의 폭과 거의 동일하게 하는 것이 바람직하고, 전기 접점(32)을 설치했을 때에 상하로 움직이기 어렵게 할 수 있다.

훅 편부(32c)는, 도 9의 (B) 또는 (D)에 도시하는 바와 같이, 전기 접점(32)의 하측 단부로부터 배면측을 향하여 연장하고, 선단부를 상측으로 절곡한 훅상으로 하고, 선단부가 걸림 결합 홈(31e)에 걸림 결합할 수 있도록 하고 있다. 본 실시 형태에서는, 2군데에 훅 편부(32c)를 마련하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니다.

전기 접점(32)에는, 도 9의 (C)에 도시하는 바와 같이, 중앙 부근에 구멍부(32d)를 구비하고, 나사 등의 체결 부재(S)를 삽입 관통하고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 제2 체결 구멍(31c)에 체결 고정할 수 있도록 하고 있다. 본 실시 형태에서는 구멍부(32d)를 원 형상으로서 있지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 구멍부(32d)는 반드시 마련하지는 않아도 된다.

또한, 전기 접점(32)에는, 도 9의 (B)에 도시하는 바와 같이, 하측 단부의 중간 부근으로부터 배면측으로 연장하는 위치 결정편(32e)이 마련되어 있고, 제2 보유 지지 부재(3)의 본체부(31)에 고정할 때에 본체부(31)의 하면에 맞닿아서 상하 방향의 위치 결정을 할 수 있다.

전기 접점(32)의 본체부(31)로의 설치 방법의 상세는 후술한다.

상측 시일부(33) 및 하측 시일부(34)는, 고무, 실리콘 등의 탄성을 갖는 재질로 형성된 링 형상으로 하고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 제1 보유 지지 부재(2) 및 제2 보유 지지 부재(3)로 형성되는 공간을 밀폐하고, 도금 시에 도금액이 침입하여 전기 접점(32) 등에 도금액이 부착되는 것을 방지하는 것이다.

상측 시일부(33)는, 본체부(31)의 내주측에 배치하고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 기판(W)을 보유 지지한 상태에서 선단부가 제1 보유 지지 부재(2)의 기판 적재대(22)에 얹어 둔 기판(W)의 표면에 맞닿아서 도금액의 침입을 방지할 수 있다.

하측 시일부(34)는, 본체부(31)의 외주측에 배치하고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 기판(W)을 보유 지지한 상태에서 선단부가 제1 보유 지지 부재(2)의 보디부(21)의 상면에 맞닿아서 도금액의 침입을 방지할 수 있다.

상측 시일부(33) 및 하측 시일부(34)는, 도 4 또는 도 8에 도시하는 바와 같이, 본체부(31)와 시일 링 홀더(37)에 의해 끼워 넣어져서 고정되어 있다.

걸침 핀(35)은, 도전성을 갖는 스테인리스강 등의 금속으로 이루어지고, 도 4에 도시하는 바와 같이, 본체부(31)의 하면으로부터 하방으로 돌출하는 원주축상으로 하고, 축의 도중에 외측으로 돌출되는 로크용 대경부(35a)를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 걸침 핀(35)은 선단부를 나사부로 하여, 본체부(31)의 하면에 마련된 나사 구멍(도시하지 않음)에 체결 고정하고 있다.

로크용 대경부(35a)는, 걸침 링(23)의 관통 구멍(23a)의 대경 구멍부(23b)보다도 소경으로 하고, 또한 소경 구멍부(23c)보다도 대경으로 하고 있고, 도 5에 도시하는 바와 같이, 로크용 대경부(35a)를 대경 구멍부(23b)에 삽입 통과시킨 상태에서 걸침 링(23)을 이동시켜, 도 11에 도시하는 바와 같이, 소경 구멍부(23c)에 걸리도록 하여 제2 보유 지지 부재(3)를 제1 보유 지지 부재(2)에 고정시킬 수 있다.

기판 홀더(1)의 보다 자세한 구성은, 본 출원인에 의한 일본 특허 출원 제2018-119875호 명세서의 단락 [0018] 내지 [0114] 등의 기재를 참작할 수 있다.

전기 접점(32)을 제2 보유 지지 부재(3)에 설치하기 위해서는, 예를 들어 이하와 같이 행할 수 있다.

먼저, 전기 접점(32)의 좌우 단부 테두리부의 일방측을, 걸림 결합 축부(36)의 헤드부(36b)와 내주면(31a) 사이에 미끄러져 들어가게 하면서, 걸림 결합 받침부(32b) 내에 축부(36a)를 넣고, 걸림 결합 받침부(32b)의 안측까지 축부(36a)를 들어가게 한다.

이어서, 전기 접점(32)을 약간 만곡하게 휘게 하여, 전기 접점(32)의 좌우 단부 테두리부의 타방측을, 인접하는 걸림 결합 축부(36)의 헤드부(36b)와 내주면(31a) 사이에 미끄러져 들어가게 하면서, 걸림 결합 받침부(32b) 내에 축부(36a)를 넣고, 양측의 걸림 결합 받침부(32b)를 걸림 결합 축부(36)에 걸림 결합시킨다.

전기 접점(32)의 중앙 부근을, 제2 보유 지지 부재(3)의 내주면(31a)을 따르게 하도록 압입하고, 도 7의 (C)에 도시하는 바와 같이, 훅 편부(32c)를 걸림 결합 홈(31d)에 걸림 결합시킨다.

그리고, 나사 등의 체결 부재(S)를 구멍부(32d)에 삽입 통과시키고, 제2 체결 구멍(31c)에 체결 고정하여, 도 8에 도시하는 바와 같이, 전기 접점(32)을 제2 보유 지지 부재(3)에 고정할 수 있다. 이와 같이, 다른 전기 접점(32)을 제2 보유 지지 부재(3)의 내주면(31a)에 순차 배열시켜서, 전기 접점(32)을 설치할 수 있다. 전기 접점(32)은, 내주면(31a)에 설치한 상태에서는, 휘게 한 상태에서 되돌아가는 탄성력의 작용에 의해 내주면(31a)을 따라 안정적으로 설치할 수 있다. 이에 의해, 전기 접점(32)의 접점부(32a)가 기판(W)에 접촉하는 위치가 기판(W)의 반경 방향으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다.

기판 홀더(1)에 기판(W)을 보유 지지시키기 위해서는, 제1 보유 지지 부재(2)의 기판 적재대(22)에 기판(W)을 얹고, 그 주위에 씌우도록 제2 보유 지지 부재(3)를 겹친다. 이때, 도 4 또는 도 5에 도시하는 바와 같이, 관통 구멍(23a)의 대경 구멍부(23b)의 상방에 걸침 핀(35)이 위치하도록 한다. 그리고, 제2 보유 지지 부재(3)를 약간 밀어 넣으면서, 로크용 대경부(35a)를 대경 구멍부(23b)에 삽입시켜, 로크용 대경부(35a)가 걸침 링(23)보다도 하방이 되도록 위치시킨다. 이 상태에서, 로드 부재(4)를 누름(하방으로 이동함)으로써, 걸침 링(23)이 회전하고, 도 11 또는 도 12에 도시하는 바와 같이, 걸침 핀(35)의 상대 위치가 대경 구멍부(23b)로부터 소경 구멍부(23c)로 이동하고, 로크용 대경부(35a)가 걸침 링(23)에 걸림 결합되어, 제2 보유 지지 부재(3)가 제1 보유 지지 부재(2)에 고정된다. 상측 시일부(33)는, 기판(W)의 테두리부를 탄성적으로 압박하여 기판(W)을 기판 홀더(1)에 보유 지지시킬 수 있다. 이때에 노출한 표면이 피도금면이 된다.

이 상태에서, 도 3에 도시한, 기판 도금 장치(100)의 도금조(112)에 침지시켜서 기판(W)에 통전함으로써, 피도금면에 도금을 실시할 수 있다. 이때, 외부 접점(25)이 외부 전원에 접속되고, 외부 접점(25), 도선(25a), 베이스 플레이트(26), 걸침 링(23), 걸침 핀(35), 본체부(31), 전기 접점(32)의 순으로 통전되고, 기판(W)에 통전할 수 있다.

전기 접점(32)을 교환하기 위하여 분리할 때에는, 설치와는 역의 수순으로 행하면 되고, 예를 들어 구멍부(32d)에 체결해 있는 나사 등의 체결 부재(S)를 풀어서 분리하고, 전기 접점(32)을 내주면(32a)으로부터 이반하는 방향으로 당겨서, 훅 편부(32c)를 걸림 결합 홈(31d)으로부터 떼어낸다.

이어서, 전기 접점(32)을 약간 휘게 하면서, 좌우 단부 테두리부의 일방측을 당기도록 하여, 걸림 결합 받침부(32d)를 걸림 결합 축부(36)로부터 떼어낸다. 그리고, 타방측의 걸림 결합 받침부(32d)를 걸림 결합 축부(36)로부터 인발하여 떼어냄으로써, 전기 접점(32)을 분리할 수 있다.

이와 같이, 본 발명은, 걸림 결합 축부(36)에 절결상의 걸림 결합 받침부(32b)를 걸림 결합시키면 전기 접점(32)을 제2 보유 지지 부재(3)에 설치할 수 있고, 또한, 이 걸림 결합을 해제시키면 전기 접점(32)을 분리할 수 있기 때문에, 전기 접점(32)의 교환을 용이하게 행할 수 있고, 교환 작업의 효율화가 도모된다.

또한, 훅 편부(32c)를 걸림 결합 홈(31d)에 걸림 결합할 수 있는 구조로 해 두면, 걸림 결합 받침부(32b) 및 훅 편부(32c)의 양쪽에서 제2 보유 지지 부재(3)에 걸림 결합할 수 있어, 떼어내기 어려워지고, 특히 제2 보유 지지 부재(3)를 링상으로 한 경우에는, 내주면(31a)의 원호 오목형 부분을 따르게 하기 쉬워진다.

나아가, 전기 접점(32)의 중앙 부근에 구멍부(32d)를 마련하고, 나사 등의 체결 부재(S)로 제2 보유 지지 부재(3)에 체결 고정할 수 있도록 해 두면, 적어도 1개의 체결 부재로 확실하게 고정할 수 있고, 종래에 비하여 체결 부재의 수를 감소시키면서도 종래와 마찬가지의 고정력을 갖는다.

상기 형태에 있어서, 제2 보유 지지 부재(3)의 본체부(31)를, 도전성을 갖는 재료로 형성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 염화비닐 수지 등 도전성을 갖지 않는 재료로 형성해도 되고, 이때는, 전기 접점(32)의 하측 단부 테두리부가 임의의 탄성 부재를 개재하여 베이스 플레이트(25)에 접촉하고, 통전할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서, 기판 홀더(1)는, 원 형상의 기판(W)을 보유 지지할 수 있는 것으로 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 직사각 형상 등의 다각 형상의 기판을 보유 지지할 수 있도록 해도 된다.

예를 들어, 도 13에는, 제2 실시 형태의 기판 홀더(10)가 도시되어 있고, 기판 홀더(10)는, 직사각 형상의 개구부(12)를 갖는 직사각형 평판 프레임상의 프런트 플레이트(제2 보유 지지 부재)(11)와, 평판상의 백 플레이트(제1 보유 지지 부재)(13)를 구비하고, 프런트 플레이트(11) 및 백 플레이트(13)로 기판(W)을 끼워 넣어서 보유 지지하고, 개구부(12)에 노출한 기판(W)에 도금을 실시할 수 있는 것이다.

프런트 플레이트(11)에는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 내주측에 전기 접점(14)을 마련하고, 프런트 플레이트(11)의 기판(W)의 표면과 평행해지는 면에 전기 접점(14)을 설치하고 있고, 기판(W)을 유지했을 때에 전기 접점(14)의 선단부가 기판(W)의 테두리부에 접촉하여 통전할 수 있도록 하고 있다.

이와 같은 형태의 기판 홀더(10)에 있어서도, 전기 접점(14)의 설치 구조로서, 상기에 도시한 축상의 걸림 결합 축부(36)와 절결상의 걸림 결합 받침부(32b)에 의한 설치 구조를 채용할 수 있다.

기판 홀더(10)의 상세에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2018-40045호 공보의 단락 [0034] 내지 [0073]의 기재를 참작할 수 있다.

또한, 기판의 양면측에 도금을 설비할 수 있게 해도 된다.

예를 들어, 도 15에는, 제3 실시 형태의 기판 홀더(15)가 도시되어 있고, 기판 홀더(15)는, 제1 보유 지지 부재(16)와 제2 보유 지지 부재(17)를 구비하고, 제1 보유 지지 부재(16) 및 제2 보유 지지 부재(17)는, 각각 직사각 형상의 개구부(18a, 18b)를 갖는 직사각형 평판 프레임상으로 하고 있다. 제1 보유 지지 부재(16)와 제2 보유 지지 부재(17)로 기판(W)을 끼워 넣어서 보유 지지하고, 개구부(18a, 18b)에 노출한 기판(W)에 도금을 실시할 수 있는 것이다.

제1 보유 지지 부재(16) 및 제2 보유 지지 부재(17)에는, 도 16에 도시하는 바와 같이, 각각 내주측에 전기 접점(19a, 19b)이 마련되어 있고, 기판(W)을 유지했을 때에 각 전기 접점(19a, 19b)의 선단부가 기판(W)의 테두리부에 접촉하여 통전할 수 있도록 하고 있다.

이와 같은 형태의 기판 홀더(15)에 있어서도, 전기 접점(19a, 19b)의 설치 구조로서, 상기에 도시한 축상의 걸림 결합 축부(36)와 절결상의 걸림 결합 받침부(32b)에 의한 설치 구조를 채용할 수 있다.

기판 홀더(15)의 상세에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2019-7075호 공보의 단락 [0025] 내지 [0158]의 기재를 참작할 수 있다.

도 15에 도시하는 바와 같은 기판 홀더에서는, 기판 적재대는 없어도 된다. 또한 실시 형태에 따라서는, 기판 홀더로 기판을 끼워 넣을 때에, 전기 접점 콘택트가 설치되는 제2 보유 지지 부재측에 기판을 적재하게 해도 된다.

1: 기판 홀더
2: 제1 보유 지지 부재
21: 보디부
21a: 주위 홈부
22: 기판 적재대
23: 걸침 링
23a: 관통 구멍
23b: 대경 구멍부
23c: 소경 구멍부
24: 핸드부
25: 외부 접점
25a: 도선
26: 베이스 플레이트
3: 제2 보유 지지 부재
3a: 개구부
31: 본체부
31a: 내주면
31b: 제1 체결 구멍
31c: 제2 체결 구멍
31d: 걸림 결합 홈
31e: 돌기부
32, 32X: 전기 접점
32a: 접점부
32b: 걸림 결합 받침부
32c: 훅 편부
32d: 구멍부
32e: 위치 결정편
33: 상측 시일부
34: 하측 시일부
35: 걸침 핀
35a: 로크용 대경부
36: 걸림 결합 축부
36a: 축부
36b: 헤드부
37: 시일 링 홀더
4: 로드 부재
100: 기판 도금 장치
W: 기판
S: 체결 부재

Claims (13)

1. 제1 보유 지지 부재와,
   기판의 표면을 노출시키기 위한 개구부를 갖고, 상기 제1 보유 지지 부재와 함께 기판을 끼워 넣어서 보유 지지하는 제2 보유 지지 부재와,
   선단부에 팽두상의 헤드부를 갖고, 상기 제2 보유 지지 부재의 둘레 방향에 배치한 복수의 걸림 결합 축부와,
   기판의 테두리부에 맞닿는 접점부를 갖고, 인접하는 상기 걸림 결합 축부에 걸림 결합시켜서 상기 제2 보유 지지 부재의 개구부의 주위를 따르게 하여 배열시키는 절결상의 걸림 결합 받침부를 갖는 전기 접점을
   구비한, 기판의 표면에 도금하기 위한 기판 홀더.
2. 제1항에 있어서, 상기 걸림 결합 받침부를 만곡 오목형의 절결로 한 기판 홀더.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전기 접점에, 상기 제2 보유 지지 부재에 마련한 걸림 결합 홈에 걸림 결합하는 훅상의 훅 편부를 구비한 기판 홀더.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상기의 중앙 부근에 구멍부를 구비하고, 해당 구멍부에 체결 부재를 삽입 관통하여 체결하고, 상기 전기 접점을 상기 제2 보유 지지 부재에 고정한 기판 홀더.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 보유 지지 부재를, 도전성을 갖는 금속으로 형성한 기판 홀더.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 보유 지지 부재는, 상기 개구부측에 상기 제2 보유 지지 부재의 내외 방향으로 만곡한 내주면을 갖고, 상기 전기 접점을 상기 내주면을 따르게 하여 설치한 기판 홀더.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 보유 지지 부재를, 다각형 프레임상으로 한 기판 홀더.
8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 보유 지지 부재를, 원형 프레임상으로 한 기판 홀더.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 기판 홀더를 구비한 기판 도금 장치.
10. 기판 홀더에 보유 지지된 기판에 통전하기 위한 전기 접점이며,
    상기 기판의 테두리부에 맞닿는 접점부와,
    상기 전기 접점의 대향하는 단부 테두리부측에 절결상의 걸림 결합 받침부를 구비하고,
    상기 걸림 결합 받침부를, 상기 기판 홀더측에 마련한, 선단부를 팽두상의 헤드부로 한 걸림 결합 축부에 걸림 결합 가능하게 한, 전기 접점.
11. 제10항에 있어서, 상기 걸림 결합 받침부를 만곡 오목형의 절결로 한 전기 접점.
12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 전기 접점에, 선단부가 상측을 향한 훅상의 훅 편부를 구비한 전기 접점.
13. 기판 홀더에 보유 지지된 기판에 통전하는 전기 접점을 설치하기 위한 구조이며,
    상기 기판 홀더는, 제1 보유 지지 부재와, 기판의 표면을 노출시키기 위한 개구부를 갖고, 상기 제1 보유 지지 부재와 함께 기판을 끼워 넣어서 보유 지지하는 제2 보유 지지 부재를 구비하고,
    상기 제2 보유 지지 부재에는, 선단부에 팽두상의 헤드부를 갖는 걸림 결합 축부를 둘레 방향에 배치하고 있고,
    상기 전기 접점은, 대향하는 단부 테두리부측에 마련한 절결상의 걸림 결합 받침부와, 상기 기판의 테두리부에 접하는 접점부를 구비하고,
    상기 걸림 결합 받침부를 인접하는 걸림 결합 축부에 걸림 결합시켜, 상기 전기 접점을 상기 제2 보유 지지 부재의 개구부의 주위를 따르게 하여 배치한, 전기 접점의 설치 구조.

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