JP4897030B2 - 搬送アームの洗浄方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態について説明する。本実施の形態は、搬送アームを用いて半導体ウエハを搬送するいわゆる枚葉式の基板処理装置において、搬送アームに付着しているコンタミ等を除去する搬送アームの洗浄方法及び基板処理装置の洗浄方法に関するものである。
本実施の形態において用いられる基板処理装置は、複数の処理室と複数の処理室と接続されている搬送室とを有する半導体ウエハ等の基板の処理を行う基板処理装置であって、搬送室には、静電チャック(ESC:Electrostatic Chuck)により半導体ウエハを吸着させる搬送アームが設けられており、搬送アームにより各々の処理室間または、処理室とロードロック室との間において、基板である半導体ウエハの移動をすることができるものである。
次に、本実施の形態における基板処理装置の制御方法について説明する。図4は、本実施の形態における基板処理装置の制御方法のフローチャートである。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、搬送アームを用いて半導体ウエハを搬送するいわゆる枚葉式の基板処理装置において、基板処理装置を構成するチャンバー(処理室、共通搬送室、ロードロック室、搬入搬送室)内のコンタミ等を除去することのできる搬送アームの洗浄方法及び基板処理装置の洗浄方法に関するものである。尚、本実施の形態における搬送アームの洗浄方法及び基板処理装置の洗浄方法は、第1の実施の形態において用いた基板処理装置を用いるものである。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、特に、第2の実施の形態において、搬送アームを有しないチャンバー(処理室、ロードロック室)におけるコンタミを除去する方法に関するものである。尚、本実施の形態における基板処理装置の洗浄方法は、第1の実施の形態において用いた基板処理装置を用いるものである。
12A、12B、12C 導入ポート
16 搬入側搬送機構
16A、16B 搬送アーム
17 窒素供給ノズル
20 共通搬送室
27 窒素供給ノズル
31、32 ロードロック室
41、42、43、44 処理室
50 制御部
61、62、63、64、65、66、67、68 ゲートバルブ
80 搬送機構
80A、80B 搬送アーム
81 本体部
82、83 電極
84、85 絶縁体層
86 Oリング
87 静電チャック部
W 半導体ウエハ
Claims (14)
- 基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームの洗浄方法であって、
前記搬送アームに帯電している異物が付着している場合において、
前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の各々に帯電している異物の電荷の極性と同じ極性の電圧を印加する電圧印加工程を有し、
前記電圧印加工程の前に、前記搬送アームの静電チャックに向けてガスを供給するガス供給工程を有し、
前記ガスを供給している状態において、前記電圧印加工程を行うことにより、前記搬送アームに付着している異物を除去することを特徴とする搬送アームの洗浄方法。 - 前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の一方に正の電圧を印加し、他方に負の電圧を印加する第1の電圧印加工程と、
前記第1の電圧印加工程の後、前記静電チャックの電極の一方に負の電圧を印加し、他方に正の電圧を印加する第2の電圧印加工程と、
を有し、前記第2の電圧印加工程は、前記電圧印加工程であって、前記搬送アーム近傍の異物を除去することを特徴とする請求項1に記載の搬送アームの洗浄方法。 - 前記第1の電圧印加工程の後、前記搬送アームの静電チャックに向けてガスを供給する前記ガス供給工程を有し、
前記ガスを供給している状態で、前記第2の電圧印加工程を行うことを特徴とする請求項2に記載の搬送アームの洗浄方法。 - 前記ガス供給工程において供給されるガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の搬送アームの洗浄方法。
- 前記ガス供給工程は、ガス供給ノズルにより供給されるものであって、
前記ガス供給ノズルは、前記搬送アームの静電チャックが設けられている面に対向している面、又は、前記搬送アームの前記静電チャックが設けられている面の側面に設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の搬送アームの洗浄方法。 - 基板の処理を行う複数の処理室と、前記複数の処理室が接続された搬送室と、前記搬送室内に設けられ、前記処理室間において基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームと、を有する基板処理装置における搬送アームの洗浄方法であって、
前記搬送アームは、請求項1から5のいずれかに記載の搬送アームの洗浄方法により洗浄されるものであることを特徴とする搬送アームの洗浄方法。 - 基板の処理を行う複数の処理室と、前記複数の処理室が接続された搬送室と、前記搬送室内に設けられた前記処理室間において基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームと、を有する基板処理装置における搬送アームの洗浄方法において、
前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記搬送室より前記処理室に前記搬送アームの静電チャックを有する部分を挿入する搬送アーム挿入工程と、
前記静電チャックの電極に電圧を印加する前記第1の電圧印加工程と、
前記搬送アーム挿入工程及び前記第1の電圧印加工程の後、前記搬送アームの静電チャックを有する部分を前記搬送室内に戻す搬送アーム戻し工程と、
搬送アーム戻し工程の後、前記第2の電圧印加工程と、
を有し、前記処理室において帯電している異物を除去することを特徴とする請求項2または3に記載の搬送アームの洗浄方法。 - 基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームを有する基板処理装置において、
前記搬送アームに帯電している異物が付着している場合に、前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の各々に帯電している異物の電荷の極性と同じ極性の電圧を印加することにより、前記搬送アームに付着している異物を除去する制御を行う制御部と、
前記搬送アームの静電チャックに向けてガスを供給するガス供給ノズルと、
を有し、前記制御部において、前記ガスを供給している状態において、前記電圧印加を行なう制御がなされることを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部により、
前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の一方に正の電圧を印加し、他方に負の電圧を印加する第1の電圧印加工程と、
前記第1の電圧印加工程の後、前記静電チャックの電極の一方に負の電圧を印加し、他方に正の電圧を印加する第2の電圧印加工程と、を行なう制御がなされ、
第2の電圧印加工程において、前記静電チャックの電極の各々に帯電している異物の電荷の極性と同じ極性の電圧を印加することにより、前記搬送アーム近傍の異物を除去することを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。 - 前記制御部により、
前記第1の電圧印加工程の後、前記搬送アームの静電チャックに向けてガスを供給するガス供給工程を行なう制御がなされ、
前記ガスを供給している状態で、前記第2の電圧印加工程を行う制御がなされることを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給ノズルより供給されるガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給ノズルは、前記搬送アームの静電チャックが設けられている面に対向している面、又は、前記搬送アームの前記静電チャックが設けられている面の側面に設けられていることを特徴とする請求項8から11のいずれかに記載の基板処理装置。
- 基板の処理を行う複数の処理室と、
前記複数の処理室が接続された搬送室と、
を有し、
前記搬送アームは、前記搬送室内に設けられ、前記処理室間において前記基板の搬送を行うものであることを特徴とする請求項8から12のいずれかに記載の基板処理装置。 - 基板の処理を行う複数の処理室と、
前記複数の処理室が接続された搬送室と、
を有し、
前記搬送アームは、前記搬送室内に設けられた前記処理室間において基板の搬送を行うためのものであって、
前記制御部により、
前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記搬送室より前記処理室に前記搬送アームの静電チャックを有する部分を挿入する搬送アーム挿入工程と、
前記静電チャックの電極に電圧を印加する前記第1の電圧印加工程と、
前記搬送アーム挿入工程及び前記第1の電圧印加工程の後、前記搬送アームの静電チャックを有する部分を前記搬送室内に戻す搬送アーム戻し工程と、
搬送アーム戻し工程の後、前記第2の電圧印加工程と、
を行なう制御がなされることを特徴とする請求項9または10に記載の基板処理装置。
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