JP4817818B2 - 樹脂封止装置及びチェイスユニットの取り出し方法 - Google Patents
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Description
このボイドの発生を防止するために、樹脂封止金型の所要個所には適切なシール機構が設けられると共に、樹脂封止装置にはシール機構にて形成される外気遮断空間部に残溜する空気等を強制的に吸引排出する減圧機構が設けられている。また、外気遮断空間部と減圧機構とは真空経路によって接続されている。
従って、シール機構によって少なくとも型内空間部をその外部と外気遮断状態にすると共に、少なくとも型内空間部を所定の真空度に設定して上型と下型との型面に嵌装セットしたリードフレーム(基板)上の電子部品を封止成形するように構成されているものである(例えば、特許文献1参照。)。
また、上型側において、上型側外気遮断部材を回動すると共に、回動した上型側外気遮断部材と上型を装着した上型取付板とで形成される上型側の開口部を通して上型チェイスユニットを上型ベースに対して着脱自在に交換することができる。下型側においても、下型側外気遮断部材を回動すると共に、回動した下型側外気遮断部材と下型を装着した下型取付板とで形成される下型側の開口部を通して下型チェイスユニットを下型ベースに対して着脱自在に交換することができる。
また、固定型及び可動型のいずれか一方の型の外側方周囲に軟質外気遮断部材を嵌装すると共に、他方の型の外側方周囲に軟質外気遮断部材に対応したシールブロックを嵌装した構成であるので、両方の型を型締めする際に、軟質外気遮断部材とシールブロックとを接触させると共に、型内空間部を両方の型の外側方周囲側から覆って外気遮断状態にすることができる。
更に、上型と下型との型面をクリーニングする際に、軟質外気遮断部材の先端部側が少なくとも上型と下型との型面の間に進出するクリーニング機構の障害とならない位置にまで移動することができる。
従って、従来のシール機構によれば、特に、樹脂封止装置に搭載した金型(上型及び下型)を頻繁に交換することを主眼におき、上型側外気遮断部材及び下型側外気遮断部材を回動させる構成にすることにより、金型交換作業における作業性が向上する。
ところが、樹脂封止成形時に上型と下型との型締め動作と型開き動作とを繰り返し行うこと、更に、クリーニング機構による上型と下型との型面のクリーニングを繰り返し行うこと等によって、少なからず型内空間部を含む金型において樹脂カスが残存する。この残存する樹脂カスは、上型側には残存せずに、自然落下し下型側の様々な箇所に堆積する。
これに加えて、近年における多品種少量生産の傾向にあることから樹脂封止装置に搭載した金型(上型及び下型)を頻繁に交換しなければならないことは周知のことである。
一方、樹脂封止金型に備えられたシール機構における最も重要な作用として、少なくとも型内空間部を所定の真空度に維持した状態で、常に安定した気密性を維持することが必要不可欠な要素となってくる。
この気密性の低下の要因として、次のことが挙げられる。主に、下型側において説明すれば、上型と下型との型締め動作と型開き動作とを繰り返し行うと、下型側外気遮断部材と下型取付板との接続状態が都度変化して隙間が生じ、Oリング等のシール部材を下型側外気遮断部材と下型取付板との接続部分に介在させてはいるものの安定した接続状態を維持することが困難になる。
また、下型側外気遮断部材と下型取付板との接続部分に隙間が発生してくると、気密性が低下することに加えて、残存する樹脂カスがこの隙間に堆積することが考えられる。この隙間に樹脂カスが堆積すると、Oリング等のシール部材の寿命を縮め、シール部材の劣化、損傷を早めることになる。最終的には、型内空間部を所定の真空度に維持することが非常に困難になる。
更に、型内空間部を所定の真空度に維持することが不可能になれば、前述した隙間に堆積した樹脂カスを人的作業によってクリーニングすることが必要不可欠となる。しかし、下型側外気遮断部材と下型取付板とが下型側の後部における蝶番(回動部材)によって接続されて固定されていることから、十分なクリーニングを行うことが困難になる。
1)シール機構は次の構成要素を有すること。
(1)上型の外側方周囲において上型を囲った状態で設けられた上型側外気遮断部材
(2)下型の外側方周囲において下型を囲った状態で設けられた下型側外気遮断部材
(3)上型側外気遮断部材と上型側取付板との少なくとも一方に設けられ上型側外気遮断部材と上型取付板との間をシールする上型側シール部材
(4)下型側外気遮断部材と下型側取付板との少なくとも一方に設けられ下型側外気遮断部材と下型取付板との間をシールする下型側シール部材
(5)上型側外気遮断部材を上型取付板に固定する上型側固定具
(6)下型側外気遮断部材を下型取付板に固定する下型側固定具
(7)上型側外気遮断部材の下面と下型側外気遮断部材の上面とが接する際に形成されるパーティングライン面において上型側外気遮断部材の下面と下型側外気遮断部材の上面との少なくとも一方に設けられた中空シール部材
2)下型側固定具は次の構成要素からなること。
(1)下型取付板と下型側外気遮断部材とを該下型側外気遮断部材を貫通するねじ止めによって固着する下型側固着部材
3)上型と下型とが型締めした状態において、次のことによって型内空間部の気密性が保持されること。
(1)上型側取付板と上型側外気遮断部材とが上型側シール部材を介して接すること
(2)下型側取付板と下型側外気遮断部材とが下型側シール部材を介して接すること
(3)上型側外気遮断部材と下型側外気遮断部材とが中空シール部材を介して接すること
4)搬送レールの凹部とはまり合って搬送レールに沿って移動することによって、下型側外気遮断部材に設けられた凹部にはまり合う交換治具を有すること。
5)下型側固着部材が取り外され、かつ、交換治具を介して下型側外気遮断部材が搬送レールに固定された状態において下型が下降することによって、下型チェイスユニットを交換する際に該下型チェイスユニットを出し入れする側である交換側から正面視して下型チェイスユニットが下型側外気遮断部材に重ならない交換位置まで、下型チェイスユニットが下降すること。
6)交換位置において下型チェイスユニットが交換されること。
1)シール機構は次の構成要素を有すること。
(1)上型取付板に対して上型側外気遮断部材を回動自在にして取り付ける回動部材
(2)上型側外気遮断部材の回動位置を規制して固定する回動位置規制部材
2)上型側固定具は次の構成要素からなること。
(1)上型取付板と上型側外気遮断部材とを該上型側外気遮断部材を貫通するねじ止めによって固着する上型側固着部材
(2)交換側において、上型取付板と上型側外気遮断部材とをロックするロック部
図1(1)、(2)は、本発明に係る樹脂封止装置の概略側面図及び概略正面図である。
図2(1)、(2)は、図1(1)、(2)に対応する樹脂封止装置において上型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略側面図である。
図3(1)、(2)及び図4(1)、(2)は、図1(1)、(2)に対応する樹脂封止装置において下型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略正面図である。
なお、本出願書類において正面とは、金型を交換する側の面、すなわち樹脂封止装置においてチェイスユニットを交換する側(図1(1)等における交換側A)の面であって、樹脂封止装置における前側の面を意味する。
樹脂封止装置100には、基盤上に立設した所要数のタイバー50の上端に固着された固定盤と、各タイバー50に上下摺動自在に嵌装された可動盤と、固定盤に装着された上型1の側の構成要素と、可動盤に装着された下型2の側の構成要素と、上型1と下型2との型面間に被成形品(例えば、樹脂材料や基板)を供給し取り出すこと、及び、型面において樹脂封止成形時に発生する樹脂カスをクリーニングすること等を行う一体型或は分離型の供給取出機構を型面間に進入させ退出させる搬送レール60と、が少なくとも設けられている。
また、金型としては、上型1と下型2とからなる二型構造ではなく、例えば、上型1と下型2との間に中間型を更に設ける三型構造、或は、三型以上の金型構造も実施することができる。
このような金型(上型1及び下型2)としては、トランスファー成形用金型、或は、トランスファーレス成形(圧縮成形)用金型を採用することができる。これら両者の金型においては、更に、離型フィルムを金型の型面間に供給する離型フィルム成形を併用して実施することができるように構成されている。
また、被成形品(例えば、電子部品が装着された基板)としては、ワイヤボンディング用の基板、フリップチップ用の基板、或は、ウェーハ基板等のウェーハレベルパッケージ用の基板、等を採用することができる。そして、基板の形状については、円形状或は多角形状等の任意の形状のものを採用することができる。基板の材質については、任意の金属製リードフレームやPCボードと呼ばれる任意のプラスチック、セラミック、ガラス、その他の材質等を基材とするプリント回路板、等を採用することができる。一方、基板を封止成形するために用いる樹脂材料としては、任意のタブレット状樹脂、液状樹脂、顆粒状樹脂、粉末状樹脂、等を採用することができる。
従って、型開閉機構を使用して下型2の側の構成要素を上昇させることにより、上型1と下型2とを型締めして、その両者のP.L面(パーティングライン面、接触面)において後述する上型側外気遮断部材11と下型側外気遮断部材12とを接触させることができる。
そして、図1(2)に示すように、上型チェイスユニット3と下型チェイスユニット7とには、アリ部9が夫々設けられる。上型ベース4と下型ベース8とには、アリ部9に対応したアリ溝5が夫々設けられている。
上型1において、交換側Aの固定ブロック6を取り外し、上型ベース4から上型チェイスユニット3を取り出す。別の上型チェイスユニット3を上型ベース4に装着する。固定ブロック6を上型ベース4に固定する。これにより、上型チェイスユニット3を交換することができる(図2(2)参照。)。下型2において、交換側Aの固定ブロック6を取り外し、下型ベース8から下型チェイスユニット7を取り出す。別の下型チェイスユニット7を下型ベース8に装着する。固定ブロック6を下型ベース8に固定する。これにより、下型チェイスユニット7を交換することができる(図4(2)参照。)。
上型1の外側方周囲には、円筒形、角筒形等の環状形にて構成された上型側外気遮断部材11(シール機構の一部)が、上型1を囲った状態で設けられる。下型2の外側方周囲には、円筒形、角筒形等の環状形にて構成された下型側外気遮断部材12(シール機構の一部)が、下型2を囲った状態で設けられる。上型1と上型側外気遮断部材11とは、上型取付板15に装着されている。下型2と下型側外気遮断部材12とは、下型取付板16に装着されている。
また、上型取付板15と上型側外気遮断部材11との少なくとも一方において、上型取付板15と上型側外気遮断部材11との間をシールするOリング等の適切なシール部材13が、設けられる。下型取付板16と下型側外気遮断部材12との少なくとも一方において、下型取付板16と下型側外気遮断部材12との間をシールするOリング等の適切なシール部材14が、設けられる。
また、上型1と下型2とが型締めした状態で、上型1と下型2との型面が接するP.L面(接触面)において、上型側外気遮断部材11と下型側外気遮断部材12との端面が接する。上型側外気遮断部材11の P.L面(接触面)には、上述したOリング等のシール部材13、14に代えて、伸縮自在の耐熱性ゴム等から成るチューブ状の中空シール部材17が設けられている。中空シール部材17の内部を加圧して中空シール部材17を膨張させる加圧機構18が、設けられている。中空シール部材17と加圧機構18とは、加圧経路19を介して接続されている。
つまり、図1(1)及び図1(2)に示すように、中空シール部材17を加圧機構18を使用して膨張させることにより、膨張した中空シール部材17である膨張中空シール部材17aは上型側外気遮断部材11のP.L面から突出した状態となる。膨張中空シール部材17aを下型側外気遮断部材12のP.L面に当接させることによって、上型1と下型2との間の空間である型内空間部を外気から遮断して、型内空間部を含む外気遮断空間部10を形成する。後述する減圧機構20によって、外気遮断空間部10の内部の空気等を吸引することによって強制的に排出する。そして、上型1と下型2とを型締めして樹脂封止成形することができる。
以上をまとめると、次のようになる。上型1と下型2とが型締めする際に、上型側外気遮断部材11と下型側外気遮断部材12とがP.L面において接する。このことにより、上型側外気遮断部材11と下型側外気遮断部材12と上型取付板15と下型取付板16とによって、外気遮断空間部10が形成される。そして、少なくとも金型の型内空間部を上型1と下型2との外側から遮断された状態、即ち外気遮断状態にすることができる。
下型2が上昇することにより、上型側外気遮断部材11のP.L面に設けられた中空シール部材17と下型側外気遮断部材12のP.L面とが接する。そして、少なくとも型内空間部に残溜する空気等が、減圧機構20によって吸引されることによって強制的に排出される。
従って、上型側外気遮断部材11と下型側外気遮断部材12とがそのP.L面において接した状態で、少なくとも型内空間部がその外部に対して外気遮断状態になる。そして、減圧機構20によって少なくとも型内空間部を含む外気遮断空間部10を所定の真空度まで減圧して、上型1と下型2との型面において嵌装してセットしたリードフレームを含む様々な基板における電子部品を樹脂封止成形することができる。
そして、上型側固定具24として、上型取付板15と上型側外気遮断部材11とを固着するボルト式の所要数の上型側固着部材24aと、交換側Aにおいて上型取付板15と上型側外気遮断部材11とをロックするロック錠からなるロック部24bとが、設けられている。
つまり、樹脂封止装置100は、従来のシール機構における金型交換時の作業性を重要視する構成を採用する。例えば、交換側Aを装置の前側とすれば、前側にはロック錠からなるロック部24bが設けられ、交換側Aと相対向する側である後ろ側Bには蝶番型の回動部材22が設けられている。このことから、交換側Aおける上型側ロック部24bと後ろ側Bにおける蝶番型の回動部材22による接続構造によって、上型側外気遮断部材11を樹脂封止装置100の外に取り外すことなく、上型チェイスユニット3を交換することができる(図2(2)参照。)。従って、金型交換作業時における利便性をより一層向上させることができる。
これに加えて、上型側固着部材24aによって、上型取付板15と上型側外気遮断部材11とを隙間無く接触させて固定する。このことにより、型内空間部を含む外気遮断空間部10の気密性を維持することができる。また、上型側固着部材24aによる固着を解除する(ボルトを緩める)際に、解除された上型側固着部材24aが下型2の型面に落下しないように、上型側固着材部24aの落下を防止する防止部25を更に設けている。
その後、図2(2)に示すように、下型2が下方位置に待機した状態で、上型側外気遮断部材11と上型取付板15とを交換側Aにおいてロックしているロック部24bによって、ロックが解除される。上型側外気遮断部材11が下型2の方向へ回動し、上型側外気遮断部材11が回動位置規制部材23によって固定される。このことにより、回動した状態の上型側外気遮断部材11である回動外気遮断部材11aと上型取付板15との間に上型側の開口部26が形成される。
従って、開口部26を通して上型ベース4から上型チェイスユニット3が取り出され、その後に、開口部26を通して上型ベース4に他の新しい上型チェイスユニット3が装着される。
従って、上型1において、開口部26を通して上型ベース4に対して上型チェイスユニット3を容易に且つ迅速に交換することができる。
下型2にそれらの構成要素が設けられていないことは、次の問題に起因している。従来の下型によれば、第一に、上型と下型との型締め動作と型開き動作とを繰り返し行うと、下型側外気遮断部材と下型取付板との接続状態が都度変化して隙間が生じ、Oリング等のシール部材を該接続部分に介在させてはいるものの安定した接続状態を維持することが困難になるという問題がある。第二に、下型側外気遮断部材と下型取付板との隙間が発生してくると、気密性が低下することに加えて、残存する樹脂カスがこの隙間に堆積することが考えられ、Oリング等のシール部材の寿命を縮め、シール部材の劣化、損傷を早めることという問題がある。第一及び第二の問題の結果、型内空間部を所定の真空度を維持することが非常に困難となる。更に、その結果、型内空間部を所定の真空度を維持することが不可能になれば、前述した隙間に堆積した樹脂カスを、人的作業によるクリーニングすることが必要不可欠となってくる。しかし、従来の樹脂封止装置によれば、下型側外気遮断部材と下型取付板とが下型側の後ろ側における蝶番型の回動部材によって接続固定されていることから、十分なクリーニングを施すことが困難となってくる。下型2に上述の構成要素が設けられていない理由は、これらの様々な諸問題を克服するためである。
下型2の側において、下型側固定具27は、下型取付板16と下型側外気遮断部材12とを固着させるボルト式の下型側固着部材27aのみによって構成されている。
つまり、この下型側固着部材27aによって、下型取付板16と下型側外気遮断部材12とを隙間無く接触させて固定する。このことにより、型内空間部を含む外気遮断空間部10の気密性を維持することができる。また、下型側固着部材27aによる固着を解除する際に、解除された下型側固着部材27aを上型1と下型2との型外に取り出す(図3(1)参照。)。
これに加えて、この下型側固着部材27aのみの接続構造によって、下型側外気遮断部材12については、上型1の側における回動構造に相当する構造を用いる必要がない。また、後述するように、上型1と下型2との外に下型側外気遮断部材12を取り外す必要がない。これらのことによって、金型クリーニングにおける作業性、及び、金型交換作業時における利便性をより一層向上させるように考慮した構成になっている。
また、この第一の金型交換治具30において、図3(1)に示すように、下型2の側の構成要素を下方位置に待機させ、且つ、各下型側固着部材27aを解除して型外に取り出した状態で、各下型側突起部32が下型側外気遮断部材12における下型側挿入口29にはめ込まれる。各下型側挿入口29に対して各下型側突起部32がはめ込まれることによって、各下型側固着部材27aが確実に取り外されていない場合には、第一の金型交換治具30は、略水平状態とならず、各下型側突起部32が確実に各下型側挿入口29にはめ込まれない。このことから、下型側突起部32は、下型側挿入口29から下型側固着部材27aを取り外すことを忘れることを防止する役目を担う。
その後、図3(2)に示すように、各下型側突起部32を各下型側挿入口29にはめ込んだ状態で、下型2の側の構成要素を上昇させる型締め動作を行うと、第一の金型交換治具30における各上型側突起部31が各上型側挿入口28にはめ込まれる。図3(2)に示す状態において、上型1と下型2との型面を損傷しないように型締め動作を停止し待機させる。
上型1と下型2との型面間に第一の金型交換治具30を介在させた状態で、図3(2)に示すように、第二の金型交換治具34を用いる。第二の金型交換治具34は、搬送レール60の内側に設けられたコの字型の凹部61と、下型側外気遮断部材12の側面に設けられた凹部35とに対して夫々はめ合わされ一体型構造である嵌装部36を有する。第二の金型交換治具34は、図3(2)における型締位置において、図2に示された交換側Aから(図3(2)の紙面の手前側から)搬送レール60と下型側外気遮断部材12とに対して自在にはめ込まれる。
なお、図3(2)における第一の金型交換治具30の上型側突起部31と下型側突起部32とは、上型側挿入口28と下型側挿入口29とに夫々はめ込まれる。上型1と下型2との位置決め精度を向上させるために、上型側挿入口28と下型側挿入口29とに代えてそれらの挿入口よりも精度良く形成された位置決め孔(図示なし)を設けて、この位置決め孔に上型側突起部31と下型側突起部32とを夫々はめ込むように構成することもできる。或は、上型側挿入口28と下型側挿入口29とに付加して、精度良く形成された位置決め孔(図示なし)を設けることもできる。
その後、図4(1)、(2)に示すように、下型取付板16及び下型2(下型チェイスユニット7、下型ベース8)のみが下降して型開きする。このことによって、下型側シール部材14の内側において、下型チェイスユニット7と下型ベース8との全体が下型側外気遮断部材12の下面から完全に引き離された状態、言い換えれば、下型側シール部材14の全周にわたって下型側シール部材14の上方に開口が設けられた状態になる。この状態は、従来の樹脂封止装置において下型側外気遮断部材と下型取付板とが後ろ側における蝶番型の回動部材によって接続されて固定された状態とは、全く異なっている。
最終的に、この図4(1)に示す状態を維持して、図4(2)に示すように、図4(2)の紙面の手前方向に向かって、下型ベース8から下型チェイスユニット7を取り出す。その後に、図4(2)の紙面の奥方向に向かって、下型側シール部材14の上方に設けられた開口を通して、他の新しい下型チェイスユニット7を下型ベース8に装着することができる。
次に、第一の金型交換治具30の下型側突起部32を下型側挿入口29にはめ込んだ状態で、下型2の側の構成要素を上昇させて型締め動作を行う。これにより、固着されたままの上型側外気遮断部材11の上型側固着部材24aに対応する上型側挿入口28に対して、第一の金型交換治具30における上型側突起部31をはめ込む。その結果、図3(2)に示された型締位置において、上型1と下型2との型面間に第一の金型交換治具30を介在させた状態で、図2に示された交換側Aから(図3(2)の紙面の手前側から)、第二の金型交換治具34を下型側外気遮断部材12と搬送レール60とにはめ込む。具体的には、搬送レール60の内側に設けられたコの字型の凹部61と、下型側外気遮断部材12の側面に設けられた凹部35とに、第二の金型交換治具34における嵌装部36をはめ込む。
図3(2)に示されているように、下型側外気遮断部材12が下型取付板16及び下型2(下型チェイスユニット7、下型ベース8)から完全に分離された状態になっている。次に、図4(1)に示すように、第二の金型交換治具34における嵌装部36を介して下型側外気遮断部材12を搬送レール60に載置させた状態で、下型2の側の構成要素を下降させる。下型取付板16及び下型2(下型チェイスユニット7、下型ベース8)のみを下降させて停止させる。その位置において、下型側シール部材14の全周にわたって下型側シール部材14の上方に開口が設けられた状態を作り出す。
次に、図4(1)に示す状態を維持して、図4(2)に示すように、図2に示された交換側Aの側(図4(2)の紙面の手前側)の下型側固定ブロック6を取り外した後に、下型ベース8から下型チェイスユニット7を取り出す。次に、下型側シール部材14の上方に設けられた開口を通して、他の新しい下型チェイスユニット7を下型ベース8に装着することができる。
従って、この第一の金型交換治具30と第二の金型交換治具34とを用いることによって、上型1の側の回動構造に相当する構造を用いる必要がなく、かつ、上型1と下型2との外に下型側外気遮断部材12を取り外す必要がない。これらのことにより、金型クリーニングにおける作業性、及び、金型交換作業時における利便性をより一層向上させることができる。
2 下型
3 上型チェイスユニット
4 上型ベース
5 アリ溝
6 固定ブロック
7 下型チェイスユニット
8 下型ベース
9 アリ部
10 外気遮断空間部
11 上型側外気遮断部材
11a 回動外気遮断部材
12 下型側外気遮断部材
13、14 シール部材
15 上型取付板
16 下型取付板
17 中空シール部材
17a 膨張中空シール部材
18 加圧機構
19 加圧経路
20 減圧機構
21 真空経路
22 回動部材
23 回動位置規制部材
24 上型側固定具
24a 上型側固着部材
24b ロック部
25 防止部
26 開口部
27 下型側固定具
27a 下型側固着部材
28 上型側挿入口
29 下型側挿入口
30 第一の金型交換治具
34 第二の金型交換治具(交換治具)
31 上型側突起部
32 下型側突起部
33 貫通穴
35 凹部
36 嵌装部
50 タイバー
60 搬送レール
61 凹部
100 樹脂封止装置
A 交換側
B 後ろ側
Claims (4)
- 上型と該上型に対向して配置された下型とを少なくとも備え、前記上型に含まれる上型ベースと、前記上型に含まれ前記上型ベースに対して交換自在である上型チェイスユニットと、前記下型に含まれる下型ベースと、前記下型に含まれ前記下型ベースに対して交換自在である下型チェイスユニットと、前記上型が装着される上型取付板と、前記下型が装着される下型取付板と、前記上型と前記下型との間の空間を含む型内空間部を外気遮断状態にするシール機構と、前記上型と前記下型との間に材料を供給する供給機構が移動するために設けられ凹部を有する搬送レールと、を備えた樹脂封止装置であって、
次の特徴を有する樹脂封止装置。
1)前記シール機構は次の構成要素を有すること。
(1)前記上型の外側方周囲において前記上型を囲った状態で設けられた上型側外気遮断部材
(2)前記下型の外側方周囲において前記下型を囲った状態で設けられた下型側外気遮断部材
(3)前記上型側外気遮断部材と前記上型側取付板との少なくとも一方に設けられ前記上型側外気遮断部材と前記上型取付板との間をシールする上型側シール部材
(4)前記下型側外気遮断部材と前記下型側取付板との少なくとも一方に設けられ前記下型側外気遮断部材と前記下型取付板との間をシールする下型側シール部材
(5)前記上型側外気遮断部材を前記上型取付板に固定する上型側固定具
(6)前記下型側外気遮断部材を前記下型取付板に固定する下型側固定具
(7)前記上型側外気遮断部材の下面と前記下型側外気遮断部材の上面とが接する際に形成されるパーティングライン面において前記上型側外気遮断部材の下面と前記下型側外気遮断部材の上面との少なくとも一方に設けられた中空シール部材
2)前記下型側固定具は次の構成要素からなること。
(1)前記下型取付板と前記下型側外気遮断部材とを該下型側外気遮断部材を貫通するねじ止めによって固着する下型側固着部材
3)前記上型と前記下型とが型締めした状態において、次のことによって前記型内空間部の気密性が保持されること。
(1)前記上型側取付板と前記上型側外気遮断部材とが前記上型側シール部材を介して接すること
(2)前記下型側取付板と前記下型側外気遮断部材とが前記下型側シール部材を介して接すること
(3)前記上型側外気遮断部材と前記下型側外気遮断部材とが前記中空シール部材を介して接すること
4)前記搬送レールの前記凹部とはまり合って前記搬送レールに沿って移動することによって、前記下型側外気遮断部材に設けられた凹部にはまり合う交換治具を有すること。
5)前記下型側固着部材が取り外され、かつ、前記交換治具を介して前記下型側外気遮断部材が前記搬送レールに固定された状態において前記下型が下降することによって、前記下型チェイスユニットを交換する際に該下型チェイスユニットを出し入れする側である交換側から正面視して前記下型チェイスユニットが前記下型側外気遮断部材に重ならない交換位置まで、前記下型チェイスユニットが下降すること。
6)前記交換位置において前記下型チェイスユニットが交換されること。 - 請求項1に記載された樹脂封止装置において、
次の特徴を有する樹脂封止装置。
1)前記シール機構は次の構成要素を有すること。
(1)前記上型取付板に対して前記上型側外気遮断部材を回動自在にして取り付ける回動部材
(2)前記上型側外気遮断部材の回動位置を規制して固定する回動位置規制部材
2)前記上型側固定具は次の構成要素からなること。
(1)前記上型取付板と前記上型側外気遮断部材とを該上型側外気遮断部材を貫通するねじ止めによって固着する上型側固着部材
(2)前記交換側において、前記上型取付板と前記上型側外気遮断部材とをロックするロック部 - 上型と該上型に対向して配置された下型とを少なくとも備え、前記上型に含まれる上型ベースと、前記上型に含まれ前記上型ベースに対して交換自在である上型チェイスユニットと、前記下型に含まれる下型ベースと、前記下型に含まれ前記下型ベースに対して交換自在である下型チェイスユニットと、前記上型が装着される上型取付板と、前記下型が装着される下型取付板と、前記上型と前記下型との間の空間を含む型内空間部を外気遮断状態にするシール機構とを備えた樹脂封止装置において、前記下型チェイスユニットと前記上型チェイスユニットとを含むチェイスユニットの取り出し方法であって、
前記上型と前記下型とを型開きする工程と、
前記下型側外気遮断部材を貫通して該下型側外気遮断部材を前記下型取付板にねじ止めによって固着している下型側固着部材を取り外す工程と、
前記上型と前記下型との間に材料を供給する供給機構が移動するために設けられた搬送レールが有する凹部に交換治具が有する凸部をはめ込む工程と、
前記下型側外気遮断部材が有する凹部に前記交換治具が有する凸部をはめ込む工程と、
前記搬送レールに沿って前記交換治具を前進させる工程と、
前記交換治具を停止させることによって前記交換治具を介して前記下型側外気遮断部材を前記搬送レールに固定した状態にする工程と、
前記下型を下降させることによって前記下型チェイスユニットを所定の交換位置まで下降させる工程と、
前記交換側に向かって前記下型チェイスユニットを引き出すことによって前記下型チェイスユニットを取り出す工程とを備えるとともに、
前記交換位置は前記下型チェイスユニットを出し入れする側である交換側から正面視して前記下型チェイスユニットが前記下型側外気遮断部材に重ならない位置であることを特徴とするチェイスユニットの取り出し方法。 - 請求項3に記載されたチェイスユニットの取り出し方法において、
前記上型側外気遮断部材を貫通して該上型側外気遮断部材と前記上型取付板とのねじ止めによる固着を行う上型側固着部材を緩めることによって前記固着を解除する工程と、
前記交換側において前記上型取付板と前記上型側外気遮断部材とのロックを行うロック部を操作して前記ロックを解除する工程と、
平面視して前記交換側の反対側に設けられ前記上型取付板に対して前記上型側外気遮断部材を回動自在にして取り付けている回動部材を利用して前記上型側外気遮断部材を回動させる工程と、
前記上型側外気遮断部材の回動位置を規制して固定する回動位置規制部材を利用して前記上型側外気遮断部材の回動を停止させて固定する工程と、
前記上型側外気遮断部材を回動させることによって前記交換側において形成された開口部を通して前記交換側に向かって前記上型チェイスユニットを引き出すことによって前記上型チェイスユニットを取り出す工程とを備えることを特徴とするチェイスユニットの取り出し方法。
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