KR100910437B1 - 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치 및 그것에 마련된형조품의 구성 부품 분리 방법 - Google Patents

실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치 및 그것에 마련된형조품의 구성 부품 분리 방법 Download PDF

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Abstract

수지 밀봉 성형 장치는, 실 기구를 구비하고 있다. 실 기구는, 상형(1)의 측면을 둘러싸도록 상형측 부착 기판(15)에 장착된 상형측 외기 차단 부재(11)와, 하형(2)의 측면을 둘러싸도록 하형측 부착 기판(16)에 장착된 하형측 외기 차단 부재(12)를 포함하고 있다. 상형측 외기 차단 부재(11)는, 상형측 고정구(24)에 의해 상형측 부착 기판(15)에 고정되어 있다. 하형측 외기 차단 부재(12)는, 하형측 고정구(27)에 의해 하형측 부착 기판(16)에 고정되어 있다. 상형측 외기 차단 부재(11)와 상형측 부착판(15)은, 추축(樞軸) 부재(22)에 의해 회동 가능하게 접속되어 있다. 하형측 고정구(27)가 하형측 부착 기판(16) 및 하형측 외기 차단 부재(12)로부터 분리할뿐으로, 하형측 외기 차단 부재(12)는 하형측 부착 기판(16)으로부터 완전히 분리될 수 있는 상태가 된다.

Description

실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치 및 그것에 마련된 형조품의 구성 부품 분리 방법{RESIN-SEALED MOLDING APPARATUS WITH SEALING MEANS, AND METHOD OF DISMOUNTING CONSTITUENT PART OF DIE ASSEMBLY FITTED THEREIN}
본 발명은, 형조품을 이용하여, 1C(Integration Circuit) 등의 전자 부품을 밀봉하고 또한 성형 아래는 장치에 마련된 실 기구의 개량 및 그 장치에 마련된 형조품의 구성 부품 분리 방법에 관한 것이다.
종래로부터, 상형 및 하형을 갖는 형조품을 구비한 수지 밀봉 성형 장치(이하, 단지 「장치」라고도 한다)가 이용되고 있다. 이 장치에서는, 형조품 내의 공간에, 이른바 습기 등의 수분을 포함한 공기가 잔류하고 있다. 그 때문에, 수지 밀봉 성형 때 잔류 공기가 용융한 수지 재료 중에 혼입되어 버린다. 그 결과, 수지 성형체의 내부 및 표면에 보이드(기포)가 형성되어 버린다.
전술한 보이드의 발생을 방지하기 위해, 실 기구 및 감압 기구가 마련되어 있다. 실 기구는, 형조품 내의 공간을 외기로부터 차단된 공간(이하, 「외기 차단 공간」이라고 한다)으로 하기 위한 것이다. 또한, 감압 기구는, 형조품 내의 공간 에 잔류하는 공기 등을 강제적인 흡인에 의해 배출하기 위한 것이다. 또한, 외기 차단 공간과 감압 기구는 진공 통로를 통하여 서로 연통하고 있다.
상기 종래의 수지 밀봉 성형 장치에 의하면, 형조품 내의 공간의 진공도가 소망하는 값으로 설정된 상태에서, 상형 및 하형의 한쪽의 형면에 세트된 리드 프레임(기판)상의 전자 부품이 밀봉된다(예를 들면, 일본 특허 제3566426호(특개평9-123205호 공보 참조)).
또한, 종래의 실 기구는, 형조품 내의 공간을 외기로부터 차단하기 위해, 상형의 4 측면을 둘러싸도록 마련된 상형측 외기 차단 부재와, 상형의 4측면을 둘러싸도록 마련된 하형측 외기 차단 부재를 포함하고 있다. 이것에 의하면, 상형과 하형이 클로징된 때에, 상형측 외기 차단 부재와 하형측 외기 차단 부재가 접촉하고, 전술한 외기 차단 공간이 형성된다.
또한, 상형측 외기 차단 부재는, 상형측 부착 기판과 상형측 외기 차단 부재를 접속한 경첩의 회전축 주위로 회동한다. 이것에 의하면, 회동한 상형측 외기 차단 부재와 상형이 장착된 상형측 부착 기판 사이에 상형측의 개구가 형성된다. 이 상태에서, 상형의 성형면을 구성하는 상형 체이스 유닛(upper die chaser unit)은, 그 상형측의 개구를 통하여, 상형 베이스에 부착되거나, 상형 체이스 유닛으로부터 분리되거나 한다.
한편, 하형측 외기 차단 부재는, 하형측 부착 기판과 하형측 외기 차단 부재를 접속하는 경첩축 주위를 회동한다. 이것에 의하면, 회동한 하형측 외기 차단 부재와 하형이 장착된 하형측 부착 기판 사이에 하형측의 개구가 형성된다. 이 상태 에서, 하형의 성형면을 구성하는 하형 체이스 유닛(lower die chaser unit)은, 하형측의 개구를 통하여, 하형 베이스에 부착되거나, 하형 베이스로부터 분리되거나 한다.
또한, 전술한 종래의 수지 밀봉 성형 장치에 의하면, 상형 및 하형의 각각의 형면이 클리닝될 때에는, 상형측 외기 차단 부재 및 하형측 외기 차단 부재가 상형과 하형 사이의 공간에 삽입되는 클리닝 기구의 장애가 되지 않는 위치로 퇴피할 수 있다.
또한, 전술한 장치에 의하면, 내장된 형조품(상형 및 하형)이 빈번하게 교환되지만, 전술한 바와 같이, 상형측 외기 차단 부재 및 하형측 외기 차단 부재의 각각이, 형조품의 부착 및 분리를 위한 개구를 형성하도록 회동하기 때문에, 형조품의 교환을 위한 작업의 능률은 높다.
또한, 전술한 장치에서는, 하형측 외기 차단 부재와 하형측 부착 기판을 고정하기 위해, 형조품의 배면에는 경첩이 마련되고, 정면에 파팅 자물쇠가 마련되어 있다. 또한, 파팅 자물쇠는, 상형측 외기 차단 부재와 상형측 부착 기판을 고정하기 위해서도 이용되고 있다. 전술한 파팅 자물쇠 및 경첩을 사용하는 고정 방법은, 형조품의 교환 작업의 능률을 향상시키기 위해 기여하고 있다.
특허 문헌 1 : 일본 특허 제3566426호(특개평9-123205호 공보)
상기 종래의 실 기구는 전술한 바와 같이 형조품의 교환을 위한 작업의 효율을 중요시하여 설계되어 있기 때문에, 다음과 같은 문제가 생긴다.
종래의 실 기구에 의하면, 수지 밀봉 성형이 시작된 때에는 안정된 기밀성을 유지할 수 있다. 그러나, 수지 밀봉 성형이 반복되면, 형조품 내에서 잔존하는 수지 찌꺼기가 잔존하여 버린다. 이 수지 찌꺼기는, 상형(upper die) 내에는 잔존하지 않고, 하형(lower die) 위에 자연 낙하한다. 따라서, 하형측 외기 차단 부재와 하형측 부착 기판 사이의 간극에는, 형조품 내에서 잔존하는 수지 찌꺼기가 퇴적하여 버린다. 이 간극에 수지 찌꺼기가 퇴적하면, O링 등의 실 부재의 수명을 줄이고, 실 부재의 열화 및 손상을 빠르게 하게 된다. 그 결과, 형조품 내의 공간의 진공도를 소망하는 값으로 유지할 수 없게 된다.
또한, 형조품 내의 공간의 진공도를 소정치로 유지할 수 없게 되면, 전술한 간극에 퇴적한 수지 찌꺼기를 제거하기 위해, 사람의 작업에 의한 클리닝을 행할 것이 필요해진다. 그러나, 하형측 외기 차단 부재와 하형측 부착 기판은, 경첩에 의해 접속되어 있기 때문에, 하형측 외기 차단 부재와 하형측 부착 기판 사이에 간극으로부터 완전히 수지 찌꺼기를 제거하는 것은 곤란하다.
요컨대, 종래의 수지 밀봉 성형 장치에 의하면, 형조품의 교환을 위한 작업의 효율을 높일 수는 있지만, 형조품 내의 공간의 기밀성의 저하를 방지할 수 없다.
본 발명은, 상술한 문제를 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적은, 형조품의 교환을 위한 작업의 효율을 저하시키는 일 없이, 형조품 내의 공간의 기밀성의 저하를 방지할 수 있는 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치 및 그것에 마련된 형조품의 구성 부품의 분리 방법을 제공하는 것이다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
본 발명의 수지 밀봉 성형 장치는, 상형과 그 상형에 대향하는 하형을 갖는 형조품과, 상형이 장착된 상형측 부착 기판과, 하형이 장착된 하형측 부착 기판과, 형조품 내의 공간을 외기로부터 차단된 상태로 하기 위한 실 기구를 구비하고 있다.
실 기구는, 상형의 측면을 둘러싸도록 상형측 부착 기판에 장착된 상형측 외기 차단 부재와, 하형의 측면을 둘러싸도록 하형측 부착 기판에 장착된 하형측 외기 차단 부재를 포함하고 있다. 또한, 실 기구는, 상형측 외기 차단 부재를 상형측 부착 기판에 고정하는 상형측 고정구와, 하형측 외기 차단 부재를 하형측 부착 기판에 고정하는 하형측 고정구와, 상형측 외기 차단 부재와 상형측 부착판을 회동 가능하게 접속하는 추축(樞軸) 부재를 포함하고 있다.
또한, 하형측 고정구가 하형측 부착 기판 및 하형측 외기 차단 부재로부터 분리되는 것만으로, 하형측 외기 차단 부재는 하형측 부착 기판으로수터 완전히 분리될 수 있는 상태가 된다.
또한, 실 기구는, 상형측 외기 차단 부재의 회동의 범위를 제한하는 회동 제한 부재를 또한 포함하고 있어도 좋다.
또한, 실 기구는, 상형측 외기 차단 부재와 상형측 부착 기판 사이의 간극을 막는 상형측 실 부재와, 하형측 외기 차단 부재와 하형측 부착 기판 사이의 간극을 막는 하형측 실 부재와, 상형측 외기 차단 부재와 하형측 외기 차단 부재 사이의 간극을 막는 중간 실 부재를 또한 포함하고 있다.
또한, 실 기구는, 상형측 부착 기판과 상형측 외기 차단 부재를 고정하기 위한 로크부를 또한 포함하고 있어도 좋다.
본 발명의 형조품의 구성 부품의 분리 방법은, 수지 밀봉 성형 장치에 적용된다.
전술한 수지 밀봉 성형 장치는, 상형과 그 상형에 대향하는 하형을 갖는 형조품과, 상형이 장착된 상형측 부착 기판과, 하형이 장착된 하형측 부착 기판과, 형조품 내의 공간을 외기로부터 차단된 상태로 하기 위한 실 기구를 구비하고 있다.
전술한 실 기구는, 상형의 측면을 둘러싸도록 상형측 부착 기판에 장착된 상형측 외기 차단 부재와, 하형의 측면을 둘러싸도록 하형측 부착 기판에 장착된 하형측 외기 차단 부재와, 상형측 외기 차단 부재를 상형측 부착 기판에 고정하는 상형측 고정구와, 하형측 외기 차단 부재를 하형측 부착 기판에 고정하는 하형측 고정구와, 상형측 외기 차단 부재와 상형측 부착판을 회동 가능하게 접속하는 추축 부재를 포함하고 있다.
본 발명의 형조품의 구성 부품의 분리 방법에서는, 우선, 상형측 고정구가 상형측 부착 기판 및 상형측 외기 차단 부재로부터 분리된다. 다음에, 추축 부재를 회전축으로 하여 상형측 외기 차단 부재를 회동시켜서, 상형측 외기 차단 부재와 상형 부착 기판 사이에 개구가 형성된다. 그 후, 그 개구를 통하여, 상형의 적어도 일부가 상형 부착 기판으로부터 분리된다. 다음에, 하형측 고정구가 하형측 부착 기판 및 하형측 외기 차단 부재로부터 분리된다. 그 후, 하형측 외기 차단 부재가 하형측 부착 기판으로부터 분리된다. 다음에, 하형의 적어도 일부가 하형측 부착 기판으로부터 분리된다.
또한, 전술한 하형 외기 차단 부재를 분리하는 스텝에서는, 하형 외기 차단 부재가 치구를 이용하여 분리되어도 좋다.
도 1은 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 실 기구를 개략적으로 도시하는 측면도.
도 2는 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 실 기구를 개략적으로 도시하는 정면도
도 3은 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 상형 체이스 유닛을 교환하는 방법을 설명하기 위한 측면도.
도 4는 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 상형 체이스 유닛을 교환하는 방법을 설명하기 위한 측면도.
도 5는 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 하형 체이스 유닛을 교환하는 방법을 설명하기 위한 정면도.
도 6은 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 하형 체이스 유닛을 교환하는 방법을 설명하기 위한 정면도.
도 7은 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 하형 체이스 유닛을 교환하는 방 법을 설명하기 위한 정면도.
도 8은 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 하형 체이스 유닛을 교환하는 방법을 설명하기 위한 정면도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1 : 상형 2 : 하형
3 : 상형 체이스 유닛 4 : 상형 베이스
5 : 도브테일 홈 6 : 고정 블록
7 : 하형 체이스 유닛 8 : 하형 베이스
9 : 도브테일부 10 : 외기 차단 공간
11 : 상형측 외기 차단 부재
11a : 회동한 하형측 외기 차단 부재
12 : 하형측 외기 차단 부재
13 : 상형측 실 부재
14 : 하형측 실 부재
15 : 상형측 부착 기판
16 : 하형측 부착 기판
17 : 중공 실 부재
17a : 팽창한 중공 실 부재
18 : 가압 기구 19 : 가압 경로
20 : 감압 기구 21 : 진공 경로
22 : 추축 부재 23 : 회동 제한 부재
24 : 상형측 고정구 24a : 볼트
24b : 로크부 25 : 방지부
26 : 개구 27 : 하형측 고정구
27a : 볼트 28 : 상형측 삽입구멍
29 : 하형측 삽입구멍 30 : 제 1 형조품 교환 치구
31 : 상형측 돌출부 32 : 하형측 돌출부
33 : 관통구멍 34 : 제 2 형조품 교환 치구
35 : 오목부 36 : 감입용 부품
50 : 타이 바 60 : 반송 레일
61 : 오목부 100 : 수지 밀봉 성형 장치
A : 교환면의 위치를 가리키는 화살표
이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여, 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치가 설명된다. 또한, 도 1 내지 도 8중의 정면도는, 형조품의 교환을 위한 경로의 방향에 따라 장치를 본 때의 도면이다. 따라서, 도면중의 화살표(A)의 선단은, 형조품의 취출 및 분리의 경로에서의 특정한 면을 가리키고, 그 면은 교환면(A)이라고 칭하여진다.
도 1 내지 도 8에 도시되는 바와 같이, 본 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장 치(100)(이하, 단지, 「장치(100)」라고 한다)는, 형조품(型組品)을 구비하고 있다. 형조품은, 위치가 고정된 상형(1)과, 상형(1)에 대향하도록 마련된 이동 가능한 하형(2)을 갖고 있다.
장치(100)는, 도 2 및 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 기반(도시 생략)과, 기반으로부터 연직 방향으로 늘어나는 소요 수의 타이 바(50)를 구비하고 있다. 또한, 각 타이 바(50)의 상단에는 고정 부재(도시 생략)가 고정되어 있다. 또한, 각 타이 바(50)에 대해 활주 가능하게 가동 부재(도시 생략)가 부착되어 있다.
또한, 고정 부재에는 상형측 부착 기판(15)이 장착되고, 가동 부재에는 하형측 부착 기판(16)이 장착되어 있다. 또한, 장치(100)는, 반송 레일(60)을 구비하고 있다. 반송 레일(60)은, 공급 취출 기구(도시 생략)를 안내하기 위한 것이다. 공급 취출 기구는, 형조품에 수지 재료 또는 기판을 공급하거나, 형조품으로부터 그들을 취출하거나 한다. 또한, 공급 취출 기구는, 형면으로부터 수지 찌꺼기를 제거하는 기능도 갖고 있고, 상형(1)과 하형(2) 사이의 공간에 진입하거나 그 공간으로부터 퇴출되거나 할 수 있다. 또한, 공급 취출 기구는, 장치(100)에 일체적으로 마련되어 있는 것이라도, 장치(100)로부터 분리될 수 있는 것이라도 좋다.
또한, 장치(100)는, 도시되지 않은 하나의 형조품을 갖는 것으로 한정되지 않고, 각각이 착탈 자유로운 복수의 형조품을 갖고 있어도 좋다.
또한, 형조품의 구조는, 상형(1) 및 하형(2)를 갖는 2형 구조뿐만 아니라, 상형(1)과 하형(2) 사이에 중간형을 갖는 3형 구조, 또는, 3 이상의 형으로 이루어지는 구조를 갖고 있어도 좋다.
이와 같은 형조품은, 트랜스퍼 성형용의 형조품, 또는, 트랜스퍼레스 성형(압축 성형)용의 형조품이라도 좋다. 또한, 형조품의 형면은, 이형 필름에 의해 피복되어도 좋다.
또한, 장치(100)에 의해 형성되는 성형품(예를 들면, 전자 부품이 장착된 기판)으로서는, 와이어 본딩 기판, 플립 칩 기판, 또는, 웨이퍼 기판 등의 웨이퍼 레벨 패키지 등이 고려된다. 또한, 기판의 형상은, 원형형상 또는 다각형형상 등의 어떠한 형상이라도 좋다. 또한, 기판은, 금속제 리드 프레임 또는 PC(Printed Circuit) 보드라고 불리는, 플라스틱, 세라믹, 유리 및 그 밖의 재질로 이루어지는 프린트 회로판 등의 어떠한 기판이라도 좋다. 한편, 밀봉 성형을 위해 사용되는 수지 재료는, 태블릿형상 수지, 액상 수지, 과립상 수지, 또는 분말상 수지 등의 어떠한 것이라도 좋다.
상형(1)은, 후술되는 상형측 부착 기판(15)에 고정되어 있다. 상형측 부착 기판(15)은 고정 부재에 장착되어 있다. 즉, 상형(1)은, 고정 부재에 간접적으로 고정되어 있다. 또한, 하형(2)은, 후술되는 하형측 부착 기판(16)에 고정되어 있다. 하형측 부착 기판(16)은, 가동 부재에 장착되어 있다. 즉, 하형(2)은, 가동 부재에 간접적으로 고정되어 있다.
가동 부재는, 기반상에 마련된 유압 기구, 공압 기구, 또는 전동 모터 등을 이용하는 형(型) 개폐 기구(도시 생략)에 의해 상하 방향으로 이동할 수 있다. 이 형 개폐 기구는, 하형(2), 후술되는 하형측 외기 차단 부재(12) 및 하형측 부착 기판(16)을 일체로 하여 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
따라서 형 개폐 기구가, 하형(2), 후술되는 하형측 외기 차단 부재(12) 및 하형측 부착 기판(16)을 상방으로 이동시키면, 상형(1)과 하형(2)이 클로징된다. 그 결과, 상형측 외기 차단 부재(11)와 하형측 외기 차단 부재(12)가, P.L(파팅 라인)면에서 접합된다.
또한, 상형(1)은, 상형 체이스 유닛(3)을 상형 베이스(4)를 갖고 있다. 상형 체이스 유닛(3)의 양측면의 각각에는, 상형 베이스(4)가 부착되어 있다. 상형 체이스 유닛(3)과 2개의 상형 베이스(4)의 각각은, 일종의 도브테일 홈 감합에 의해, 서로 부착 및 분리될 수 있도록 구성되어 있다. 상형 체이스 유닛(3)은, 상형 베이스(4)에 2개의 고정 블록(6)에 의해 고정되어 있다. 2개의 고정 블록(6)은, 각각, 상형 체이스 유닛(3) 및 상형 베이스(4)의 앞면 및 후면에 고정되어 있다.
한편, 하형(2)도 상형(1)과 같은 구성을 갖고 있다. 즉, 하형(2)은, 하형 체이스 유닛(7)을 하형 베이스(8)를 갖고 있다. 하형 체이스 유닛(7)의 양측면의 각각에는, 하형 베이스(8)가 부착되어 있다. 하형 체이스 유닛(7)과 2개의 하형 베이스(8)의 각각은, 일종의 도브테일 홈 감합에 의해, 서로 부착 및 분리될 수 있도록 구성되어 있다. 하형 체이스 유닛(7)은, 하형 베이스(8)에 2개의 고정 블록(6)에 의해 고정되어 있다. 2개의 고정 블록(6)은, 각각, 하형 체이스 유닛(7) 및 하형 베이스(8)의 앞면 및 후면에 고정되어 있다.
또한, 도 2에 도시되는 바와 같이, 상형 체이스 유닛(3) 및 하형 체이스 유닛(7)의 각각에는, 도브테일부(9)가 마련되어 있다. 또한, 상형 베이스(4) 및 하형 베이스(8)의 각각에는, 도브테일부(9)에 대응하는 도브테일 홈(5)이 마련되어 있 다.
상기한 구성에 의하면, 화살표(A)로 도시되는 형조품의 교환면(A)을 통하여, 상형측의 고정 블록(6) 및 하형측의 고정 블록(6)의 각각을 분리하면, 상형 베이스(4) 및 하형 베이스(8)로부터 각각 상형 체이스 유닛(3) 및 하형 체이스 유닛(7)을 분리할 수 있다. 또한, 다른 상형 체이스 유닛 및 다른 하형 체이스 유닛을 각각 상형 베이스(4) 및 하형 베이스(8)에 장착할 수 있다. 즉, 상형 체이스 유닛(3) 및 하형 체이스 유닛(7)은, 각각, 장치(100)가 사용된 때에는, 고정 블록(6)에 의해 상형 베이스(4) 및 하형 베이스(8)에 고정되어 있지만, 그것들이 소모된 때에는, 다른 상형 체이스 유닛 및 다른 하형 체이스 유닛으로 치환될 수 있다(도 4 및 도 8 참조).
또한, 장치(100)에는, 형조품 내의 공간을 외부의 공간으로부터 차단하는 실 기구가 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 실 기구는, 상형측 외기 차단 부재(11) 및 하형측 외기 차단 부재(12)를 포함하고 있다. 단, 본 발명의 실 기구는, 상형측 외기 차단 부재(11) 및 하형측 외기 차단 부재(12) 이외의 요소를 포함하고 있어도 좋다.
상형측 외기 차단 부재(11) 및 하형측 외기 차단 부재(12)의 어느것이나, 원통형 또는 각통형이다. 상형측 외기 차단 부재(11)는 상형(1)의 4측면을 둘러싸고 있다. 하형측 외기 차단 부재(12)는, 하형(2)의 4측면을 둘러싸고 있다. 상형측 외기 차단 부재(11)는 상형측 부착 기판(15)에 장착되고, 또한, 하형측 외기 차단 부재(12)는 하형측 부착 기판(16)에 장착되어 있다.
또한, 상형측 부착 기판(15) 및 상형측 외기 차단 부재(11)의 적어도 한쪽에 상형측 부착 기판(15)과 상형측 외기 차단 부재(11) 사이의 간극을 막는 O링 등의 상형측 실 부재(13)가 마련되어 있다. 또한, 하형측 부착 기판(16) 및 하형측 외기 차단 부재(12)의 적어도 한쪽에 하형측 부착 기판(16)과 하형측 외기 차단 부재(12) 사이의 간극을 막는 O링 등의 하형측 실 부재(14)가 마련되어 있다.
또한, 상형(1) 및 하형(2)이 닫힌 때에, 상형측 외기 차단 부재(11)의 하면 및 하형측 외기 차단 부재(12)의 윗면은 서로 접촉한다. 이때, 2개의 접촉면의 각각이 PL 면에 위치 결정되어 있다. 상형측 외기 차단 부재(11)의 PL 면(접촉면)에, 상형측 실 부재(13) 및 하형측 실 부재(14)와 같은 O링이 아니라, 신축 자유로운 내열성 고무 등으로 이루어지는 튜브형상의 중간 실 부재(17)가 마련되어 있다. 중간 실 부재(17)는, 중공 구조를 갖고 있다. 또한, 장치(100)는, 중간 실 부재(17)의 내부 공간에 압력을 가함에 의해 중간 실 부재(17)를 팽창시키는 가압 기구(18)를 구비하고 있다. 중간 실 부재(17)와 가압 기구(18)는 가압 경로(19)를 통하여 연통하고 있다.
상기한 구성에 의하면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 가압 기구(18)가 중간 실 부재(17)를 팽창시키면, 중간 실 부재(17)는 팽창한 중간 실 부재(17a)로 변화한다. 그로 인해, 팽창한 중간 실 부재(17a)는 상형측 외기 차단 부재(11)의 PL면으로부터 돌출한다. 또한, 팽창한 중간 실 부재(17a)가 하형측 외기 차단 부재(12)의 PL면에서 하형(2)의 형면에 맞닿는다.
또한, 후술하는 감압 기구(20)가, 형조품 내의 공간으로부터 외부의 공간으 로 흡인 작용에 의해 공기 등을 강제적으로 배출한다. 그로 인해, 상형측 외기 차단 부재(11) 및 하형측 외기 차단 부재(12)와 상형측 부착 기판(15) 및 하형측 부착 기판(16)에 의해 내포된 공간은 외기로부터 차단된다. 그 결과, 상형(1)과 하형(2)에 의해 형성된 공간이 외기 차단 공간(10)이 된다.
또한, 장치(100)에는, 외기 차단 공간(10)에 잔류하는 공기 등을 강제적으로 흡인 작용에 의해 배출하는 진공 펌프 등의 감압 기구(20)가 마련되어 있다. 감압 기구(20)와 외기 차단 공간(10)은 진공 호스 등의 진공 경로(21)를 통하여 연통하고 있다. 또한, 도시되어 있지 않지만, 복수의 배출구가 상형(1)의 형면에 마련되어 있고, 각각이 진공 경로(21)의 한쪽 단을 구성하고 있다.
따라서, 형조품 내의 외기 차단 공간(10)의 진공도를 감압 기구(20)를 이용하여 소망하는 값으로 설정함에 의해, 상형(1)의 형면 및 하형(2)의 형면의 어느 하나에 세트된 리드 프레임을 포함하는 다양한 기판상의 전자 부품의 수지 밀봉 성형을 양호하게 행할 수 있다.
또한, 상형측 부착 기판(15)의 배면상에는, 경첩(힌지)을 구성하는 추축 부재(22)가 마련되어 있다. 상형측 외기 차단 부재(11)는, 추축 부재(22)를 중심축으로 하여 회동한다. 또한, 상형측 부착 기판(15)에는, 상형측 외기 차단 부재(11)의 회동을 제한하는 회동 제한 부재(23)가 마련되어 있다. 상형측 외기 차단 부재(11)와 상형측 부착 기판(15)은 상형측 고정구(24)에 의해 고정되어 있다.
상형측 고정구(24)는, 상형측 부착 기판(15)과 상형측 외기 차단 부재(11)를 고정하기 위한 것이고, 볼트(24a)를 갖고 있다. 또한, 장치(100)의 앞면에는, 상형 측 외기 차단 부재(11)의 앞면과 상형측 부착 기판(15)의 앞면을 고정하는 로크부(24)(24b)가 마련되어 있다.
상기한 로크부(24)(24b) 및 추축 부재(22)를 이용하면, 상형측 외기 차단 부재(11)를 장치(100)로부터 분리하는 일 없이, 상형(1)의 교환 작업을 행할 수 있기 때문에, 상형(1)의 교환 작업의 효율이 향상한다.
이에 더하여, 상형측 고정구(24)에 의하면, 상형측 부착 기판(15)과 상형측 외기 차단 부재(11) 사이에 간극이 형성되지 않도록, 상형측 부착 기판(15)과 상형측 외기 차단 부재(11)를 접촉시킬 수 있다. 그 때문에, 형조품 내의 외기 차단 공간(10)의 기밀성을 유지할 수 있다. 또한, 상형측 고정구(24)로서의 볼트(24a)가, 상형측 부착 기판(15)으로부터 분리된 때에, 하형(2)을 향하고 낙하하여 상형(1)의 형면에 충돌하여 버리는 것이 고려된다. 그 때문에, 볼트(24a)의 탈락을 방지할 필요가 있다. 따라서, 본 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치의 상형(1)에는 방지부(25)가 마련되어 있다. 방지부(25)의 목적은, 볼트(24a)의 부착 및 분리를 위한 관통구멍이 볼트(24a)를 통과시키지 않는 정도의 크기임에 의해 달성되고 있다.
다음에, 도 3 및 도 4를 이용하여, 교환면(A)에 대해 수직한 방향을 따라, 상형(1)의 구성 부품인 상형 체이스 유닛(3)을 마련 및 분리하는 방법이 설명된다.
상형 체이스 유닛(3)을 교환하는 방법은, 다음과 같은 것이다.
도 3에 도시되는 바와 같이, 우선, 복수의 볼트(24a)의 각각의 체결이 해제되고, 복수의 볼트(24a)의 각각이 복수의 방지부(25)에 의해 지지된다. 이때, 하형(2)은, 상형(1)의 형면과 하형(2)의 형면과의 접촉을 방지하기 위해, PL면보다도 하측의 위치로 퇴피하고 있다.
그 후, 도 4에 도시되는 바와 같이, 로크부(24)에 의한 로크가 해제되는 것과 거의 동시에, 상형측 외기 차단 부재(11)가 추축 부재(22) 주위로 회동한다. 이때, 상형측 외기 차단 부재(11)의 회동의 범위는, 회동 제한 부재(23)에 의해 제한된다. 그로 인해, 회동한 상형측 외기 차단 부재(11a)와 상형측 부착 기판(15) 사이에 개구(26)가 형성된다.
전술한 상태에서, 상형 체이스 유닛(3)이 개구(26)를 통하여 상형 베이스(4)로부터 분리된다. 그 후, 다른 새로운 상형 체이스 유닛(3)이 개구(26)를 통하여 상형 베이스(4)에 장착된다.
상기한 방법에 의하면, 상형 체이스 유닛(3)을 용이하고 신속하게 교환할 수 있다.
한편, 하형(2)측의 구조는, 전술한 경첩형의 추축 부재(22), 회동 제한 부재(23) 및 로크부(24)에 대응하는 구조를 구비하지 않는다. 그 이유는, 다음과 같은 것이다.
하형측 외기 차단 부재(8)와 하형측 부착 기판(16) 사이에 간극이 형성되면, 형조품의 내부에 잔존하는 수지 찌꺼기가 전술한 간극에 퇴적하여 버린다. 그로 인해, O링 등의 실 부재의 열화 또는 손상이 촉진되고, 그 수명이 단축되어 버린다. 그 때문에, 형조품 내의 공간의 진공도를 소망하는 값으로 유지하는 것이 매우 곤란하다. 따라서, 전술한 간극에 퇴적한 수지 찌꺼기를 인적 작업에 의해 클리닝함이 필요하다. 그러나, 하형측 외기 차단 부재(8)와 하형측 부착 기판(16)이 경첩형 의 추축 부재에 의해 접속되어 있는 경우에는, 하형측 외기 차단 부재(8)와 하형측 부착 기판(16)의 접촉면을 완전히 클리닝하는 것은 곤란하다.
그래서, 본 실시 형태에 수지 밀봉 성형 장치의 하형(2)측의 구조에는, 전술한 경첩형의 추축 부재(22), 회동 제한 부재(23) 및 로크부(24)(24b)에 대응하는 구조가 마련되어 있지 않다. 이 하형(2)측의 구조에 의하면, 하형측 고정구(27)가 하형측 부착 기판(16) 및 하형측 외기 차단 부재(12)로부터 분리되는 것만으로, 하형측 외기 차단 부재(12)가 하형측 부착 기판(16)으로부터 완전히 분리될 수 있는 상태가 된다. 또한, 하형측 부착 기판(16)과 하형측 외기 차단 부재(12)는, 볼트(27a)를 갖는 하형측 고정구(27)만에 의해 고정되어 있다.
도 5 내지 도 6을 이용하여, 교환면(A)에 대해 수직한 방향에 따라, 하형(2)의 구성 부품인 하형 체이스 유닛(7)을 부착 및 분리하는 방법이 설명된다.
하형 체이스 유닛(7)을 교환하기 위한 도구로서, 도 5 및 도 6에 도시되는 제 1 형조품 교환 치구(30)가 이용된다. 제 1 형조품 교환 치구(30)는, 도 5에 도시되는 바와 같이, 상형측 삽입구멍(28)에 삽입되는 상형측 돌출부(31)와, 하형측 삽입구멍(29)에 삽입되는 하형측 돌출부(32)를 갖고 있다. 하형 체이스 유닛(7)이 새로운 하형 체이스 유닛으로 교환될 때에는, 상형측 고정구(24)는, 상형측 부착 기판(15)과 상형측 외기 차단 부재(11)를 고정하고 있지만, 하형측 고정구(27)(27a)는, 하형측 삽입구멍(29)으로부터 취출되어 있다. 또한, 제 1 형조품 교환 치구(30)는, 상형(1) 및 하형(2)의 형면에 접촉한 때에, 그것들을 손상시키지 않기 위해, 그 중앙부에 관통부(33)를 갖고 있다.
제 1 형조품 교환 치구(30)는, 복수의 하형측 고정구(27)의 각각이 취출된 상태에서, 복수의 하형측 돌출부(32)의 각각이, 대응하는 하형측 삽입구멍(29)에 삽입된다.
이때, 복수의 하형측 고정구(27)의 어느 하나가 하형측 삽입구멍(29)으로부터 분리되지 않으면, 복수의 하형측 돌출부(32)의 어느 하나가 대응하는 하형측 삽입구멍(29)에 삽입되지 않는다. 즉, 하형측 돌출부(32)는, 복수의 하형측 삽입구멍(29)으로부터 그들에 대응하는 모든 하형측 고정구(27)가 취출되지 않음에도 불구하고, 제 1 형조품 교환 치구(30)가 하형(2) 위에 설치되어 버리는 것을 방지하는 역할을 다하고 있다.
다음에, 복수의 하형측 돌출부(32)가 대응하는 하형측 삽입구멍(29)에 삽입된 상태에서, 하형(2)이 상방으로 이동한다. 이로써, 형조품이 클로징된다. 이때, 도 6에 도시되는 바와 같이, 상형측 돌출부(31)가 상형측 삽입구멍(28)에 삽입된다. 그 후, 상형(1) 및 하형(2)의 형면이 손상하지 않도록, 형조품을 클로징하기 위한 동작이 정지된다.
다음에, 도 6에 도시되는 바와 같이, 제 2 형조품 교환 치구(34)가 준비된다. 제 2 형조품 교환 치구(34)는, 감입용 부품(36)을 갖고 있다. 감입용 부품(36)은, 반송 레일(60)의 C자형의 오목부(61) 및 하형측 외기 차단 부재(12)의 오목부(35)의 각각에, 교환면(A)에 수직한 방향에 따라 삽입된다.
또한, 제 1 형조품 교환 치구(30)의 상형측 돌출부(31) 및 하형측 돌출부(32)는, 각각, 상형측 삽입구멍(28) 및 하형측 삽입구멍(29)에 삽입되어 있다. 상형(1)과 하형(2) 사이의 상대적인 위치 결정의 정밀도를 향상시키기 위해, 상형측 삽입구멍(28) 및 하형측 삽입구멍(29)에 대신하여 또는 부가하여, 상형측 삽입구멍(28) 및 하형측 삽입구멍(29)보다도 정밀도가 높은 위치결정 구멍(도시 생략)이, 각각, 상형측 외기 차단 부재(11) 및 하형측 외기 차단 부재(12)에 마련되어 있어도 좋다.
다음에, 하형측 외기 차단 부재(12)는, 하형측 부착 기판(16) 및 하형(2), 즉, 하형 체이스 유닛(7) 및 하형 베이스(8)로부터 완전히 분리되면, 도 6에 도시되는 바와 같이, 제 2 형조품 교환 치구(34)에서의 감입용 부품(36) 위에 재치된다. 이 상태에서, 도 7에 도시되는 바와 같이, 하형측 부착 기판(16) 및 하형(2)(하형 체이스 유닛(7) 및 하형 베이스(8))만이 하방으로 이동한다. 즉, 하형측 외기 차단 부재(12)는, 제 2 형조품 교환 치구(34)에서의 감입용 부품(36)에 의해 계지되고, 하방으로 이동하지 않는다. 그 때문에, 하형측 실 부재(14)가 노출한 상태가 된다. 이 상태는, 종래의 경첩형의 추축 부재가 회동한 상태와는 전혀 다르다.
다음에, 하형 체이스 유닛(7)이 하형 베이스(8)로부터 취출된다. 그 후, 도 8에 도시되는 바와 같이, 다른 새로운 하형 체이스 유닛(7)이 하형측 부착 기판(16) 위에 설치된다.
전술한 바와 같이, 본 실시 형태의 장치(100)에 의하면, 하형(2)이 장치로부터 취출될 때에는, 제 1 형조품 교환 치구(30) 및 제 2 형조품 교환 치구(34)가 이용된다. 그 때문에, 장치(100)에는 하형(2)의 교환을 위해 추축 부재(22)와 같은 구조가 이용될 필요는 없다.
또한, 종래와 마찬가지로, 형조품 전체를 장치(100)의 외부로 취출할 필요는 없다. 따라서, 형조품의 클리닝에서의 작업의 능률 및 형조품의 교환을 위한 작업의 능률은 종래에 비교하여 저하되지 않는다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 수지 밀봉 성형 장치에 의하면, 수지 밀봉 성형을 반복하여 행하여도, 형조품 내의 공간의 기밀성의 저하를 방지할 수 있고, 또한, 형조품의 교환을 위한 작업 효율을 종래의 실 기구를 이용하는 경우에 있어서의 형조품의 교환을 위한 작업 효율과 같은 정도로 높게 할 수 있다.
본 발명을 상세히 설명하여 나타내 왔지만, 이것은 예시를 위한 것 일뿐, 한정으로 취하면 않되고, 발명의 범위는 첨부한 청구의 범위에 의해서만 한정되는 것이 분명히 이해될 것이다.
본 발명에 의하면, 형조품의 구성 부품의 교환을 위한 작업의 효율을 저하시키는 일 없이, 형조품 내의 공간의 기밀성의 저하를 방지할 수 있는 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치 및 그것에 마련된 형조품의 구성 부품의 분리 방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 국면 및 이점은, 첨부한 도면과 관련하여 이해되는 본 발명에 관한 다음의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.

Claims (6)

  1. 상형(1)과 해당 상형(1)에 대향하는 하형(2)을 갖는 형조품(1, 2)과,
    상기 상형(1)이 장착된 상형측 부착 기판(15)과,
    상기 하형(2)이 장착된 하형측 부착 기판(16)과,
    상기 형조품(1, 2) 내의 공간을 외기로부터 차단된 상태로 하기 위한 실 기구를 구비한 수지 밀봉 성형 장치에 있어서,
    상기 실 기구는,
    상기 상형(1)의 측면을 둘러싸도록 상기 상형측 부착 기판(15)에 장착된 상형측 외기 차단 부재(11)와,
    상기 하형(2)의 측면을 둘러싸도록 상기 하형측 부착 기판(16)에 장착된 하형측 외기 차단 부재(12)와,
    상기 상형측 외기 차단 부재(11)를 상기 상형측 부착 기판(15)에 고정하는 상형측 고정구(24)와,
    상기 하형측 외기 차단 부재(12)를 상기 하형측 부착 기판(16)에 고정하는 하형측 고정구(27)와,
    상기 상형측 외기 차단 부재(11)와 상기 상형측 부착 기판(15)을 회동 가능하게 접속하는 추축 부재(22)와,
    상기 하형측 외기 차단 부재(12)와 상기 하형측 부착 기판(16) 사이의 간극을 막는 하형측 실 부재(14)를 포함하고,
    상기 하형측 고정구(27)가 상기 하형측 부착 기판(16) 및 상기 하형측 외기 차단 부재(12)로부터 분리되면, 상기 하형측 외기 차단 부재(12)가, 상기 형조품(1, 2) 내에서 계지되고, 상기 하형측 부착 기판(16)으로부터 완전히 분리됨에 의해, 상기 하형측 실 부재(14)가 노출한 상태로 되는 것을 특징으로 하는 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 실 기구는, 상기 상형측 외기 차단 부재(11)의 회동의 범위를 제한하는 회동 제한 부재(23)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 실 기구는,
    상기 상형측 외기 차단 부재(11)와 상기 상형측 부착 기판(15) 사이의 간극을 막는 상형측 실 부재(13)와,
    상기 상형측 외기 차단 부재(11)와 상기 하형측 외기 차단 부재(12) 사이의 간극을 막는 중간 실 부재(17)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 실 기구는, 상기 상형측 부착 기판(15)과 상기 상형측 외기 차단 부재(11)를 고정하기 위한 로크부(24)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실 기구를 갖는 수지 밀봉 성형 장치.
  5. 상형(1)과 해당 상형(1)에 대향하는 하형(2)을 갖는 형조품(1, 2)과,
    상기 상형(1)이 장착된 상형측 부착 기판(15)과,
    상기 하형(2)이 장착된 하형측 부착 기판(16)과,
    상기 형조품(1, 2) 내의 공간을 외기로부터 차단된 상태로 하기 위한 실 기구를 구비한 수지 밀봉 성형 장치로서,
    상기 실 기구는,
    상기 상형(1)의 측면을 둘러싸도록 상기 상형측 부착 기판(15)에 장착된 상형측 외기 차단 부재(11)와,
    상기 하형(2)의 측면을 둘러싸도록 상기 하형측 부착 기판(16)에 장착된 하형측 외기 차단 부재(12)와,
    상기 상형측 외기 차단 부재(11)를 상기 상형측 부착 기판(15)에 고정하는 상형측 고정구(24)와,
    상기 하형측 외기 차단 부재(12)를 상기 하형측 부착 기판(16)에 고정하는 하형측 고정구(27)와,
    상기 상형측 외기 차단 부재(11)와 상기 상형측 부착 기판(15)을 회동 가능하게 접속하는 추축 부재(22)와,
    상기 하형측 외기 차단 부재(12)와 상기 하형측 부착 기판(16) 사이의 간극을 막는 하형측 실 부재(14)를 포함하는 수지 밀봉 성형 장치에 마련된 형조품의 구성 부품의 분리 방법에 있어서,
    상기 상형측 고정구(24)를 상기 상형측 부착 기판(16) 및 상기 상형측 외기 차단 부재(11)로부터 분리하는 스텝과,
    상기 추축 부재(22)를 회전축으로 하여 상기 상형측 외기 차단 부재(11)를 회동시켜서, 상기 상형측 외기 차단 부재(11)와 상기 상형 부착 기판(15) 사이에 개구(26)를 형성하는 스텝과,
    상기 개구(26)를 통하여, 상기 상형(1)의 적어도 일부(3)를 상기 상형 부착 기판(15)으로부터 분리하는 스텝과,
    상기 하형측 고정구(27)를 상기 하형측 부착 기판(16) 및 상기 하형측 외기 차단 부재(12)로부터 분리하는 스텝과,
    상기 하형측 외기 차단 부재(12)를 상기 형조품(1, 2) 내에서 계지하고, 상기 하형측 부착 기판(16)으로부터 완전히 분리함에 의해, 상기 하형측 실 부재(14)를 노출시키는 스텝과,
    상기 하형측 외기 차단 부재(12)를 상기 하형측 부착 기판(16)으로부터 분리하는 스텝과,
    상기 하형(2)의 적어도 일부(7)를 상기 하형측 부착 기판(16)으로부터 분리하는 스텝을 구비한 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치에 마련된 형조품의 구성 부품의 분리 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 하형 실 부재를 노출시키는 스텝에서는, 상기 하형 외기 차단 부재(12)가 치구(34)를 이용하여 계지되는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치에 마련된 형조품의 구성 부품의 분리 방법.
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