JP4765916B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
半導体発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4765916B2 JP4765916B2 JP2006327294A JP2006327294A JP4765916B2 JP 4765916 B2 JP4765916 B2 JP 4765916B2 JP 2006327294 A JP2006327294 A JP 2006327294A JP 2006327294 A JP2006327294 A JP 2006327294A JP 4765916 B2 JP4765916 B2 JP 4765916B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active layer
- light emitting
- layer forming
- semiconductor light
- forming portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/15—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
Description
これら半導体発光素子の中には、基板としてサファイアやシリコンカーバイト(SiC)などからなる透光性(光を透過する性質)の基板を用いることもできるが、コスト削減などの観点から、シリコン(Si)が用いられてる場合がある。
しかし、シリコン基板が非透光性基板であるため、活性層から出射された光は、シリコン基板へと進行するが、このシリコン基板内を透過することなく、熱などとして吸収されてしまう。
したがって、シリコン基板を用いた場合、透光性の基板を使用した場合に比較して、1/4〜1/5程度の光強度の出力しか得られない。
この構成によれば、発光部から出射された光を上記導電層により、反射させることにより、シリコン基板により吸収される光の割合を削減することができ、反射した光を上方に進行させることにより、上方側における光の取り出し効率を向上させることができる。
このため、上記従来の半導体発光素子は、活性層の中央付近から側方へ出射された光が、上方側に反射する凹部の導電層に到達するまでに、この経路中において熱として消費されてしまう欠点がある。
また、従来の半導体発光素子は、凹部にて反射されることにより、その光のエネルギーの一部が導電層とシリコン基板との界面にて吸収されて熱となってしまう欠点を有する。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、上方に出射される光が多い、すなわち光の取り出し効率が従来例に比較して高く、製造コストを低減することができる半導体発光素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
本願発明の半導体発光素子は、前記パッド電極が平面視にて素子中央に形成され、該パッド電極の下部に素子を高圧から保護する保護素子が形成され、該保護素子の周囲に前記活性層形成部が形成されていることを特徴とする。
前記第2の工程で形成した孔により露出した前記基板の前記一方の主面の部分から前記基板をエッチングするエッチング液にて前記活性層形成部と基板との間に空洞部を形成する第3の工程とを備えたことを特徴とする。
また、本発明によれば、活性層形成部及び空洞部の界面にて反射した光が、さらに孔と活性層形成部の側面との界面に達すると反射して効率的に半導体発光素子の上方へ取り出すことができる。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。
まず、本発明の第1の実施形態を説明する。図2〜図4は、本実施形態による半導体発光素子を上方から平面的に見た場合の構造を示している。図1は、図4のA−A線で半導体発光素子を切断した場合の断面構造を示している。
ここで、活性層形成部2の露出した下面と、空洞部との第1の界面においては、活性層形成部2の屈折率と空気の屈折率とが異なるため、活性層7から放射される光のうち、活性層7から下方向に進む光が上記第1の界面により反射され、上方向若しくは上方向と横方向の光となる。これによって、導電性基板1で光が吸収されることなく、半導体発光素子の光取り出し効率を向上することができる。
この活性層形成部2は、少なくとも、第1の導電型を有する第1クラッド層5と、活性層7と、第1の導電型と異なる第2の導電型の第2クラッド層6とが積層されたダブルヘテロ構造を有している。
ここで、第1クラッド層5は、AlaMbGa1−a−bNを満足する窒化物系化合物半導体から構成されたものであり、GaN等のn型窒化物系化合物半導体で形成されていることが望ましい。上記窒化物系化合物半導体の化学式において、MはIn(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種類の元素であり、a,bは0≦a≦1、0≦b≦1、0≦a+b≦1を満足するものである。
また、図1において、活性層5は1層の構成により示されているが、実際には周知の多重量子井戸(MQW)構造で形成することが望ましい。なお、活性層7に対してP型もしくはN型の導電型決定不純物を含有させても良い。
上述した活性層形成部2において、第1クラッド層5及び第2クラッド層6との間に順方向電圧を印加することにより、活性層7においてキャリアが再結合して、この再結合により活性層7から光が放射される。活性層7がInxGa1−xN(ここで、0<x<0.2)にて形成されている場合、この活性層7からは約470nmの波長の光が放射される。
ここで、図1においては、バッファ層12は一つの層で示されているが、実際には第1の層が一番下に有り、その上面に第2の層と第1の層とが交互に単層、あるいは多数形成されている。この第1の層としてはAlを含む窒化物系化合物半導体であることが望ましい。
第2の層は、上記第1の層と組み合わせることにより、バッファ層12の緩衝機能をより高める層であり、材料の組成としてAlを含まないか、あるいはAlの割合が第1の層に比較して少ないことが望ましく、例えば、GaNにより形成されている。
すなわち、上記第1の電極3は、酸化インジウム(In2O3)に対して少量(数%)の酸化錫(SnO2)を混合物させたITO(Indium Tin Oxide)を、厚さ100nm程度となるように形成することが望ましい。第1の電極3は、第2のクラッド層6がP型半導体の場合、ニッケル(Ni),白金(Pt),パラジウム(Pd),ロジウム(Rh),金(Au),イリジウム(Ir),ルテニウム(Ru),オスミウム(Os)から選択された1種類の金属、若しくはこれらのうちいずれか1つを含む合金で第1の電極3を構成してもよい。一方、第1の電極3は、第2のクラッド層6がN型半導体の場合、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、金(Au)、クロム(Cr)等から選択された1種類の金属、若しくはこれらのうちいずれか1つを含む合金で第1の電極3を構成してもよい。
すでに述べたように、平面視において、活性層形成部2の内側に配置され、活性層形成部2の上面から活性層7を貫通して形成された複数の孔10と、各孔10から連続して導電性基板1へと形成された凹部11aによる空洞部11が形成されている。
空洞部11は、活性層形成部2の下面と、凹部11aの底部とから構成され、活性層形成部2と導電性基板1との間に配置しており、図2から図4各々に示されるように、平面視において、孔10を中心としてその周囲に形成され、活性層形成部2の下面の一部と、凹部11aの外殻領域の一部とが重なっており、空洞部11は孔10より幅が広く、孔10の領域を完全に含んでいる。したがって、凹部11aと平面視にて重なっている、活性層形成部2の下面の領域は空洞部11によって露出された状態となっている。
そして、図2のように、隣り合う空洞部11が互いに接するように形成されていることにより、活性層形成部2の下面における露出部R(活性層形成部2と空洞部11との界面)にて、活性層形成部2と空気との屈折率の違いにより、活性層7から下方向に放射した光を反射しやすくなり、活性層7の放射する光の取り出し効率が向上するため、半導体発光素子の発光効率が向上する。
ここで、パッド電極9の周囲に空洞部11が設けられている場合、パッド電極9を取り囲む方向(円周の方向)に隣り合う空洞部11が接していると、半導体発光素子の上方から見た光はリング状の縞となってしまう。そこで、パッド電極9から離れる方向(半径方向)に隣り合う空洞部11が接していると、リング状の縞が目立たなくなる。
さらに、パッド電極9直下で発した光を活性層形成部2と空洞部11との界面において反射させることで導電性基板1にて吸収される光を少なくすることができる。さらに、パッド電極9で遮断される光をさらに空洞部11で反射させることによって、半導体発光素子の外部へと光を取り出すことができる。したがって、半導体発光素子の発光効率を向上することができる。ここで、平面視にて見た孔10の幅(径)は200nm〜100μmであり、より好ましくは1μm〜3μmである。
活性層形成部2の下部に対して、孔10に対応した位置に空洞部11を配置することにより、活性層7が放射した光のうち、下方向(導電性基板1方向)に進行する光の一部が空洞部11によって露出した活性層形成部2下面の露出部Rと、空洞部11(すなわち空気)との界面に到達する。
このとき、上記界面に活性層7からの光が到達した際、活性層形成部2と空気との屈折率が異なるため、少なくとも界面に到達した一部の光が反射し、半導体発光素子の上方(活性層形成部2の上部方向)あるいは側方(横方向)に進行方向を変化させることができる。
このとき、GaNの屈折率が約2.5であり、空気の屈折率が1.0であり、導電性基板1がシリコン基板である場合に屈折率は約4.5である。
したがって、GaN(活性層形成部2)からGaN/空気(空洞部11)の界面に達した場合と、GaNからGaN/導電性基板1の界面に達した場合とにおいて、GaN/空気の界面の方がGaN/導電性基板1の界面よりも反射が起こり易いことが判る。
したがって、空洞部11を形成することにより、活性層形成部2の下面の一部を露出し、活性層形成部2の下面と空気との界面を形成することにより、この界面にて下方に進行してきた光の一部を、良好に反射させることによって、半導体発光素子の上方あるいは側方に進行方向を変更させることが可能となる。
このため、従来例の場合のように活性層形成部2の外郭側に反射部を設けると、平面的に見て、活性層形成部2中央部にて放射された光を、半導体発光素子の外部に取り出すため、光が長い経路を伝搬することとなる。屈折を繰り返す毎に光は、エネルギーを消費することとなり、活性層7が放射した光を取り出す効率が低下することとなる。
(1)活性層形成部2の下部に空洞部11を設けることにより、活性層7にて放射された光のうち、導電性基板1方向に向かう、すなわち下方向に進行する光の一部が、空洞部11により露出した活性層形成部2の下面と空気との界面Rにて反射され、半導体発光素子の上方または側方に進行方向を変更させ、導電性基板1における吸収を抑制することができる。
(3)(2)において反射した光はさらに進行方向を変更して上方の光となる。よって容易に上方に向かう光とすることができ、活性層7から放射された光のエネルギーが反射を繰り返すことで消費されることを抑制し、光の取り出し効率を向上させる。
このように、界面Rに第1の凹凸20が形成されている効果を、図5を用いて以下に示す。図5は、図1のSの領域を拡大したものであり、第1の凹凸20の形状(この場合の溝は逆円錐形状)を示す概念図である。
図5に示すように、活性層7から放射された下方に進行した光のうち、(i)の領域に到達した光は、界面Rではなく活性形成層2と導電性基板1との界面であるため、一部が反射し、残りが導電性基板1内に進行し、熱に変換されて消費されてしまう。
また、透明電極である第1の電極3と活性層形成部2との界面に、反射の臨界角以上の角度を有して射する光は、この界面にて反射して半導体発光素子から放射光として、外部に射出されない。
例えば、第2クラッド層6がGaNにて形成されている場合、第1の電極3とGaNとの屈折率の違いにより、臨界角以上の角度にて入射すると、この入射した光は空気とGaNとの界面にて反射してしまう。
すなわち、透明電極である第1の電極3の下面には凹凸が形成されている。第1の電極3と活性層形成部2との界面に、上記第2の凹凸21を形成することで、第2の凹凸21の側辺の角度により、光の入射角が臨界角以下となる。この結果、この第1の電極3と活性層形成部2との界面にて、光が反射することを抑制し、半導体発光素子の外部に活性層7が放射した光を効率的に取り出すことができる。
ここで、第2の凹凸21は、第1の凹凸20のように、より多くの光を反射させることが目的ではなく、より多くの光に対して、第1の電極3と活性層形成部2との界面に達する光の入射角が臨界角以内となるように配置されことが重要である。このため、第2の凹凸21の半球状の凹凸、例えば第2の溝21の凹部と隣接する凹部との幅は第1の凹凸20に比較して小さく、すなわち凹凸の繰り返しは細かい間隔にて形成され、細かく高い密度にて形成されることが必要である。
また、逆に第1の電極3の上面だけに第2の凹凸21を形成しても良いし、さらに、第1の電極3の上面及び下面の双方に第2の凹凸21を形成しても良い。
上述した構成とすることにより、図5の(iii)で示すように、空洞部11と活性層形成部2との界面Rにて、下方に進行する光を反射させ、進行する方向が変えた光のうち、一部は孔10の側壁にて反射し、さらに進行方向を変え、第1の電極3と活性層形成部2との界面に達する。
第2の凹凸21は図3で示す空洞部11のように、パッド電極9近傍を、半導体発光素子の側方(外郭側)に比較して密に配置することにより、孔10の側壁にて反射する光が増加し、パッド電極9直下で遮られる光を抑制する事ができる。
さらに、空洞部11も図3と同様の位置に配置されていると、パッド電極10直下から下方に進行する光が、空洞部10と活性層形成部2との界面Rにて反射し、そして光が第2の凹凸21にて反射せず入射するので、従来例に比較して、より光を取り出す効率を向上させることができる,
そして、パッド電極9上部の酸化膜42を除去することにより、本実施形態の半導体発光素子が形成されることとなる。
そして、 酸素プラズマにて上記ポリメタクリル酸メチルをエッチングすると、自己組織化したポリスチレン固化領域が斑点状に残る。
上記ポリスチレン固化領域をマスクとして、露出された第2のクラッド層6を所定の深さにエッチングすることにより、細かな凹凸が上面に形成された第2のクラッド層6を形成する。そして、この第2の凹凸を有する第2のクラッド層6上面に、第1の電極3の膜を形成する。
すなわち、第1の実施形態によれば、発光効率を、従来例に比較して向上させることができる。
第2の実施形態による半導体発光素子の構造を図9を用いて説明する。図9は第2の実施形態による半導体発光素子の断面構造を示す概念図である。第1の実施形態と同様な構成については、同一の符号を付して説明を省略する。パッド電極9直下の導電性基板1の領域と保護素子を形成している領域以外は、第1の実施形態における構造と同様である。平面構造としては、パッド電極9により保護素子形成領域100が覆われているため、図2〜図4と同様となる。
本実施形態は、半導体発光素子と、これを保護するための保護素子とを組み合わせた複合半導体装置に関する。化合物系半導体を活性層形成部2に使用した発光素子は、静電破壊耐量が比較的小さいため、例えば100Vよりも高いサージ電圧が印加されると、破壊に至ることがある。そこで、半導体発光素子の静電保護のため、発光素子と共にダイオードやコンデンサ等の保護素子を同一パッケージ内に搭載することが考えられる。
活性層形成部2から、導電性基板1が露出するように、凹部30が形成されている。凹部30によって露出した導電性基板1の上面に、導電性基板1と異なる第2の導電型の不純物(n型半導体とする不純物)を注入(ドープ)し、導電性基板1と異なる導電型の不純物の領域として半導体領域(不純物拡散層)40が形成されている。
この複合半導体装置は、発光素子としての発光ダイオードと、保護素子としてのショットキーバリアダイオードで構成される。図9において、導電性基板1の発光素子形成領域200における活性層形成部2と第1の電極3と第2の電極4とからなる部分を発光素子部又は発光素子と呼び、一方、保護素子形成領域100における導電性基板1の半導体領域40と導電性基板1との接合にて形成されるpnダイオードを保護素子と呼ぶことができる。
ここで、半導体領域40の露出部と、第1の電極3の第2の部分3aとは低抵抗(オーミック)接続されている。
そして、第1の電極3の第2の部分3aと、第1の電極3の第1の部分3b(第1の実施形態の第1の電極3に対応)とを電気的に接続させるため、絶縁膜50よりも平面視において、外側に大きく第1の電極の第2の部分3aを形成している。
また、第3の凹部30の内側にパッド電極9を形成する。この第2の実施形態における半導体発光素子の構造は、導電性基板1と半導体領域40とにおけるpn接合により、発光素子の静電耐量を向上させる保護素子形成領域100を、パッド電極9直下に形成することである。さらに、パッド電極9から周囲に外側に向かって、光の進行方向を変える孔10及び空洞部11とを、発光素子形成領域200における活性層形成部2に対して蜂の巣状に形成し、素子の中央に保護素子形成領域100を有する複合半導体装置の構造である。
ここで、第2の実施形態における半導体発光素子を形成する際、孔10と第3の凹部30とを同時に形成しても良い。
上記導電性基板1とショットキー接合を形成する上記ショットキー電極、すなわちショットキー接触金属層は、例えばチタン(Ti),白金(Pt),クロム(Cr),アルミニウム(Al),サマリウム(Sm),白金シリサイド(PtSi)、パラジウムシリサイド(Pd2Si)等からなり、絶縁膜50に形成されたコンタクト孔を介して導電性基板1の表面にショットキー接触している。上述したように、保護素子としてのショットキーバリアダイオードは、導電性基板1とショットキー電極とによって形成される。
パッド電極9は、平面視にて、すなわち導電性基板1の主面1aに対して垂直な方向から見て、活性層形成部2の少なくとも内側一部と保護素子形成領域100の少なくとも一部を覆い、かつ活性層形成部2の少なくとも外側一部を覆わないように配置され、かつ第3の電極の第1の部分3aとショットキー電極とを電気的に接続するように形成されている。
また、第2の電極4は金属層からなり、第1の実施形態と同様に、導電性基板1の主面1bの全面に形成されている。すなわち、第2の電極4は導電性基板1の保護素子形成領域100及び発光素子形成領域200の両方の下面にオーミック接触している。
ショットキーバリアダイオード62は、発光ダイオード61に所定値以上の逆方向の過電圧(例えばサージ電圧)が印加されたときに導通する。これにより、発光ダイオード61の電圧はショットキーバリアダイオード62の順方向電圧に制限され、発光ダイオード61が、静電気等に基づく逆方向の過電圧から保護される。
上述した構成により、第2の実施形態による半導体発光素子は、第1の実施形態の効果に加えて光取り出し面積の低減を抑制し、素子の静電耐性を向上させる保護素子を形成することができ、保護素子内蔵の発光素子(複合半導体装置)の小型化を図ることができる。
1a,1b…主面
2…活性層形成部
3…第1の電極
3a…第1の電極の第2の部分
3b…第1の電極の第1の部分
4…第2の電極
5…第1クラッド層
6…第2クラッド層
7…活性層
9…パッド電極
10…孔
11…空洞部
11a…凹部
20…第1の凹凸
21…第2の凹凸
30…凹部
40…半導体領域
42…酸化膜
100…保護素子形成領域
200…発光素子形成領域
Claims (8)
- 基板と、
該基板と異なる材料の化合物半導体の材料にて、基板の一方の主面に形成された活性層を含む活性層形成部と、
該活性層形成部の上面から活性層を貫通する複数の孔と、
該孔の位置に対応して前記活性層と基板との間に設けられ、平面視において前記孔に比較して面積が大きい空洞部と
を有し、
前記活性層形成部の下部に前記空洞部が延伸して形成され、平面視において、空洞部の領域と重なる、延伸した活性層形成部の下部が露出されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記空洞部が前記孔から連続して形成されたものであり、平面視において活性層形成部の上面に設けられたパッド電極から離れる方向の隣り合う空洞部同士が互いに接して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記基板が前記活性層から出射される光に対して非透過性であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記活性層形成部の上面に設けられたパッド電極をさらに有し、
平面視において、素子の外周領域に比較し、前記パッド領域近傍にて空洞部がより密に形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体発光素子。 - 前記基板がシリコン系基板であり、前記活性層形成部が窒化物系化合物半導体から形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記活性層形成部の露出された下部に多数の第1の凹凸が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記活性層形成部の上面に形成された透明電極をさらに有し、
該透明電極の上部に前記第1の凹凸に比較して、平面視において凹部と凸部との幅の小さな多数の第2の凹凸が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光素子。 - 前記パッド電極が平面視にて素子中央に形成され、該パッド電極の下部に素子を高圧から保護する保護素子が形成され、該保護素子の周囲に前記活性層形成部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の半導体発光素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006327294A JP4765916B2 (ja) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 半導体発光素子 |
US11/936,267 US7723732B2 (en) | 2006-12-04 | 2007-11-07 | Semiconductor light-emitting device and manufacturing method thereof |
TW096142637A TW200832760A (en) | 2006-12-04 | 2007-11-12 | Semiconductor light-emitting device and manufacturing method thereof |
CN200710168199.9A CN100557836C (zh) | 2006-12-04 | 2007-11-28 | 半导体发光器件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006327294A JP4765916B2 (ja) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008141057A JP2008141057A (ja) | 2008-06-19 |
JP4765916B2 true JP4765916B2 (ja) | 2011-09-07 |
Family
ID=39474676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006327294A Expired - Fee Related JP4765916B2 (ja) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 半導体発光素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7723732B2 (ja) |
JP (1) | JP4765916B2 (ja) |
CN (1) | CN100557836C (ja) |
TW (1) | TW200832760A (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100102338A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Epivalley Co., Ltd. | III-Nitride Semiconductor Light Emitting Device |
KR101055090B1 (ko) * | 2009-03-02 | 2011-08-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
TWI408832B (zh) * | 2009-03-30 | 2013-09-11 | Huga Optotech Inc | 具有中空結構之柱狀結構之發光元件及其形成方法 |
KR101154596B1 (ko) * | 2009-05-21 | 2012-06-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR101640830B1 (ko) * | 2009-08-17 | 2016-07-22 | 삼성전자주식회사 | 기판 구조체 및 그 제조 방법 |
KR101125395B1 (ko) * | 2009-10-28 | 2012-03-27 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 그 제조방법 |
KR100974787B1 (ko) * | 2010-02-04 | 2010-08-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 |
KR101648809B1 (ko) * | 2010-03-08 | 2016-08-17 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
TWI393270B (zh) * | 2010-05-14 | 2013-04-11 | Ind Tech Res Inst | 發光二極體晶片及其製造方法 |
KR20120004159A (ko) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 삼성전자주식회사 | 기판구조체 및 그 제조방법 |
TWI446578B (zh) * | 2010-09-23 | 2014-07-21 | Epistar Corp | 發光元件及其製法 |
CN102130271A (zh) * | 2010-09-28 | 2011-07-20 | 映瑞光电科技(上海)有限公司 | Led芯片封装结构与白光led发光装置 |
CN102130249B (zh) * | 2010-09-28 | 2013-05-01 | 映瑞光电科技(上海)有限公司 | 超亮度发光二极管及其制作方法 |
CN102655195B (zh) * | 2011-03-03 | 2015-03-18 | 赛恩倍吉科技顾问(深圳)有限公司 | 发光二极管及其制造方法 |
TW201238079A (en) * | 2011-03-04 | 2012-09-16 | Genesis Photonics Inc | LED structure |
CN102683533B (zh) * | 2011-03-14 | 2014-12-10 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管及其制造方法 |
CN102683528B (zh) * | 2011-03-14 | 2015-03-18 | 新世纪光电股份有限公司 | 发光二极管结构 |
CN102760813B (zh) * | 2011-04-26 | 2015-02-04 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管及其制造方法 |
US8344392B2 (en) * | 2011-05-12 | 2013-01-01 | Epistar Corporation | Light-emitting element and the manufacturing method thereof |
US9502603B2 (en) * | 2011-05-12 | 2016-11-22 | Wavesquare Inc. | Vertically structured group III nitride semiconductor LED chip and method for manufacturing the same |
KR20130128745A (ko) * | 2012-05-17 | 2013-11-27 | 서울바이오시스 주식회사 | 기판 내에 보이드를 갖는 발광다이오드 및 그의 제조방법 |
US9000415B2 (en) * | 2012-09-12 | 2015-04-07 | Lg Innotek Co., Ltd. | Light emitting device |
TWI563686B (en) * | 2012-12-21 | 2016-12-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Led chip and method manufacturing the same |
CN103208568A (zh) * | 2013-04-01 | 2013-07-17 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 氮化物发光二极管及制作方法 |
TWI509842B (zh) * | 2013-09-02 | 2015-11-21 | Lextar Electronics Corp | 發光二極體的封裝結構及其製造方法 |
TWI493617B (zh) * | 2013-10-07 | 2015-07-21 | Nat Univ Tsing Hua | 部分隔離矽基板之三族氮化物半導體裝置之製作方法 |
DE102013111503B4 (de) * | 2013-10-18 | 2021-08-05 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronischer Halbleiterchip, optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Vereinzelung von Halbleiterchips |
TWI597863B (zh) * | 2013-10-22 | 2017-09-01 | 晶元光電股份有限公司 | 發光元件及其製造方法 |
JP6255235B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2017-12-27 | 株式会社ディスコ | 発光チップ |
KR102539444B1 (ko) * | 2018-05-16 | 2023-06-02 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광 소자를 이용한 램프 및 그 제조 방법 |
JP7424038B2 (ja) * | 2019-12-23 | 2024-01-30 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置、および、プロジェクター |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173773A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-30 | Sharp Corp | 発光ダイオ−ド |
JPH04223380A (ja) * | 1990-12-25 | 1992-08-13 | Stanley Electric Co Ltd | 基板付ledチップ及びその製造方法 |
DE69204828T2 (de) * | 1992-06-09 | 1996-05-02 | Ibm | Herstellung von Laserdioden mit durch Spaltung erzeugten Stirnflächen auf einem vollständigen Wafer. |
JP3158869B2 (ja) * | 1993-06-30 | 2001-04-23 | 日立電線株式会社 | 発光ダイオード及びその製造方法 |
JP3257286B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2002-02-18 | 日立電線株式会社 | 発光ダイオードの製造方法 |
JP2907170B2 (ja) * | 1996-12-28 | 1999-06-21 | サンケン電気株式会社 | 半導体発光素子 |
JPH10341034A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード |
JP2003347578A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-05 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP4697397B2 (ja) * | 2005-02-16 | 2011-06-08 | サンケン電気株式会社 | 複合半導体装置 |
JP2006237467A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006253298A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Toshiba Corp | 半導体発光素子及び半導体発光装置 |
-
2006
- 2006-12-04 JP JP2006327294A patent/JP4765916B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-11-07 US US11/936,267 patent/US7723732B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-11-12 TW TW096142637A patent/TW200832760A/zh unknown
- 2007-11-28 CN CN200710168199.9A patent/CN100557836C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008141057A (ja) | 2008-06-19 |
CN101197410A (zh) | 2008-06-11 |
CN100557836C (zh) | 2009-11-04 |
TW200832760A (en) | 2008-08-01 |
US7723732B2 (en) | 2010-05-25 |
US20080128716A1 (en) | 2008-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4765916B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4929924B2 (ja) | 半導体発光素子、その製造方法、及び複合半導体装置 | |
JP5777879B2 (ja) | 発光素子、発光素子ユニットおよび発光素子パッケージ | |
US8716732B2 (en) | Light emitting element | |
KR100887139B1 (ko) | 질화물 반도체 발광소자 및 제조방법 | |
JP5246199B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
KR101259969B1 (ko) | 발광 장치 | |
JP2011029612A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
JP2006294907A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP2009032882A (ja) | 半導体発光素子及び半導体発光素子製造方法 | |
JP2011198997A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
JPWO2013051326A1 (ja) | 窒化物半導体発光素子、及び窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2011066048A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
JP2014150245A (ja) | 発光素子および発光素子パッケージ | |
JP6159130B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
TW201637240A (zh) | 半導體發光元件及其製造方法 | |
JP2013168547A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
WO2014192226A1 (ja) | 発光素子 | |
JP5989318B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
CN111106212A (zh) | 垂直结构深紫外发光二极管及其制备方法 | |
JP2012064759A (ja) | 半導体発光装置、半導体発光装置の製造方法 | |
JP5543164B2 (ja) | 発光素子 | |
US9299901B2 (en) | Semiconductor light emitting device | |
JP5123221B2 (ja) | 発光装置 | |
KR20150136264A (ko) | 발광 소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110127 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |