JP6255235B2 - 発光チップ - Google Patents

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Description

本発明は、発光層が形成されたチップを備える発光チップに関する。
LED(Light Emitting Diode)、LD(Laser Diode)等を含む発光デバイスが実用化されている。これらの発光デバイスは、通常、電圧の印加によって光を放出する発光層が形成されたチップを有する発光チップを備える。かかるチップの製造は、先ず、結晶成長用基板上における格子状の分割予定ラインで区画された各領域に、発光層としてエピタキシャル層(結晶層)を成長させる。その後、結晶成長用基板を分割予定ラインに沿って分割して個片化することで、個々の発光チップ用のチップが形成される。
発光チップにおいて、緑や青色の光を出射する発光層がInGaN系のチップでは、サファイアが結晶成長用基板に一般的に用いられ、このサファイア基板上に順次n型GaN半導体層、InGaN発光層、p型GaN半導体層をエピタキシャル成長させる。そして、n型GaN半導体層とp型GaN半導体層とのそれぞれに外部取り出し用電極が形成される。
かかるチップの裏面側(サファイア基板側)をリードフレームに固定し、チップの表面側(発光層側)をレンズ部材で覆うことにより、発光ダイオードは形成される。このような発光ダイオードでは、輝度の向上が重要な課題とされており、これまでにも光の取り出し効率を高めるための様々な方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平4−10670号公報
ところで、電圧の印加によって発光層で生じる光は、主に、発光層を含む積層体の2つの主面(表面及び裏面)から放出される。例えば、積層体の表面(レンズ部材側の主面)から放出された光は、レンズ部材等を通じて発光ダイオードの外部に取り出される。一方で、積層体の裏面(サファイア基板側の主面)から放出された光は、サファイア基板を伝播し、その一部は、サファイア基板とリードフレームとの界面等で反射して積層体に戻る。
例えば、切削時の加工性向上等を目的としてチップに薄いサファイア基板を用いると、積層体の裏面と、サファイア基板及びリードフレームの界面との距離は短くなる。この場合、サファイア基板とリードフレームとの界面で反射して積層体に戻る光の割合は、サファイア基板が厚い場合と比較して高くなる。積層体は光を吸収するので、このように積層体に戻る光の割合が高くなると、発光ダイオードの光の取り出し効率は低下してしまう。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、光の取り出し効率を高めることができる新たな構成の発光チップを提供することを目的とする。
本発明の発光チップは、発光層を表面に備えたチップと、チップの裏面に透光性を有する樹脂で接着され且つ発光層から出射された光を透過する透光性部材とを備え、透光性部材のチップとの当接面には、透光性部材の側面及び当接面に露出する溝が形成されており、溝の溝幅はチップ長辺側の1辺の長さよりも小さく、溝は、透光性部材の当接面の全面積に対して溝が形成される領域の割合となる除去面積比率が2〜5割に形成されていること、を特徴とする。
この構成によれば、チップの裏面に接着された透光性部材におけるチップとの当接面に溝を形成したので、溝の内部空間の屈折率を透光性部材の屈折率より小さくすることができ、透光性部材に入射する光に比べ、溝に入射する光の全反射する角度を広くすることができる。これにより、透光性部材を透過してから反射して発光層に戻る光の割合を低く抑え、チップから出る光の割合を多くすることができ、光の取り出し効率を高めることができる。更に、溝への入射時及び出射時に光の散乱を発生させることができ、透光性部材の側面から出る光の割合を多くすることができる。また、上記除去面積比率によれば、発光チップの輝度を向上させることができ、チップと透光性部材との装着安定性を良好に維持することができる。
また、本発明の発光チップでは、溝は、透光性部材の当接面にクロス形状に形成されているとよい。この構成によれば、光の取り出し効率をより良く高めることができる。
また、本発明の発光チップでは、チップは、サファイア基板の上にGaN半導体層から成る発光層が積層されても良い。この構成によれば、青色や緑色の光を放つ発光チップにおいて、光の取り出し効率を高めることができる。また、サファイア基板を薄くしても、透光性部材の厚さに応じて、反射光を発光層から外れた位置へ入射できるので、光の取り出し効率を低下させることなく薄いサファイア基板を利用でき、薄い結晶成長用基板による加工性を維持することができる。
本発明によれば、光の取り出し効率を高めることができる新たな構成の発光チップを提供できる。
実施の形態に係る発光ダイオードの構成例を模式的に示す斜視図である。 上記発光ダイオードにおける光が放出される様子を示す断面模式図である。 上記発光ダイオードが有する透光性部材の概略斜視図である。 比較構造に係る発光ダイオードにおける光が放出される様子を示す断面模式図である。 実施例1〜7及び比較例に係る透光性部材の平面図である。 比較例、実施例1〜7の輝度向上率の測定結果を示すグラフである。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図1は、実施の形態に係る発光ダイオードの構成例を模式的に示す斜視図であり、図2は、実施の形態に係る発光ダイオードの発光チップから光が放出される様子を示す断面模式図である。図1に示すように、発光ダイオード1は、ベースとなるリードフレーム11と、リードフレーム11に支持固定される発光チップ12とを備えている。
リードフレーム11は、金属等の材料で円柱状に形成されており、一方の底面に相当する裏面側には、導電性を有する2本のリード部材111a,111bが設けられている。リード部材111a,111bは互いに絶縁されており、それぞれ発光ダイオード1の正極、負極として機能する。このリード部材111a,111bは、配線(不図示)等を通じて外部の電源(不図示)に接続される。
リードフレーム11の他方の底面に相当する表面11aには、互いに絶縁された2個の接続端子112a,112bが所定の間隔をあけて配置されている。接続端子112aとリード部材111aとは、リードフレーム11の内部において接続されている。また、接続端子112bとリード部材111bとは、リードフレーム11の内部において接続されている。このため、接続端子112a,112bの電位は、それぞれ、リード部材111a,111bの電位と同程度になる。
発光チップ12は、リードフレーム11の表面11aであって、接続端子112aと接続端子112bとの間に配置されている。図2に示すように、発光チップ12は、チップ14と、このチップ14の裏面14bに接着された透光性部材15とを有する。チップ14は、平面形状が矩形状のサファイア基板141と、サファイア基板141の表面141aに設けられた積層体142とを備えている。積層体142は、GaN系の半導体材料を用いて形成される複数の半導体層(GaN半導体層)を含む。
積層体142は、電子が多数キャリアとなるn型半導体層(例えば、n型GaN層)、発光層となる半導体層(例えば、InGaN層)、正孔が多数キャリアとなるp型半導体層(例えば、p型GaN層)を順にエピタキシャル成長させることで形成される。また、サファイア基板141には、n型半導体層及びp型半導体層のそれぞれと接続され、積層体142に電圧を印加する2個の電極(不図示)が形成される。なお、これらの電極は、積層体142に含まれても良い。
透光性部材15は、サファイア基板からなり、発光層から出射された光を透過可能に構成されている。透光性部材15は、サファイア基板141と同等以上の厚みを有することが望ましい。透光性部材15の表面は、チップ14の裏面14bに当接する当接面15aとなり、当接面15aとチップ14の裏面14bとが樹脂(不図示)によって接着される。この樹脂は、発光層から出射された光を透過するダイボンディング剤等の樹脂材料からなる。透光性部材15の裏面15bは、リードフレーム11の表面11aに上記樹脂と同じ樹脂(不図示)によって接着される。
透光性部材15の当接面15a及び裏面15bの外形形状は、平面視で、チップ14と略同一の矩形状にそれぞれ形成され、相互に平行となるように配設されている。透光性部材15は、当接面15a及び裏面15bの各四辺を連結する4つの側面15cを備えている。各側面15cは、当接面15a及び裏面15bに垂直に形成されている。
図3は、透光性部材を上から見た概略斜視図である。図3に示すように、透光性部材15の当接面15aには溝16が形成され、本実施の形態では、溝16がクロス状に2本形成されている。具体的には、各溝16は、当接面15aを形成する四辺に平行に延在し、相互に直交するように形成されている。各溝16の延在方向両端は、当接面15aを形成する四辺の中央にそれぞれ位置して開放し、これにより、各溝16の延在方向両端は透光性部材15の側面15cに露出している。なお、各溝16は、当接面15aを上方から除去するように形成され、透光性部材15の当接面15aにも露出している。
溝16の溝幅wは、チップ14の四辺を形成する長辺側の1辺14cの長さよりも小さく形成されている。また、透光性部材15の当接面15aの全面積に対し、溝16が形成される領域の割合(以下、「除去面積比率」と称する)は、約2割〜5割に設定することが好ましい。なお、溝16は、クロス状に2本に限られず、2本の溝16のうち、1本を省略して当接面15aに1本だけ形成するようにしたり、所定間隔を開けて平行に2本形成したりしてもよい。また、溝幅wがチップ14の1辺14cの長さよりも小さく、透光性部材15の当接面15a及び側面15cに露出する限りにおいて、溝16を3本以上形成したり、交差する2本の溝16の角度を直角以外の角度としてもよい。
図1に戻り、リードフレーム11に設けられた2個の接続端子112a,112bは、それぞれ、導電性を有するリード線17a,17bを介して、発光チップ12の2個の電極に接続されている。これにより、リード部材111a,111bに接続される電源の電圧が積層体142(図2参照)に印加される。積層体142に電圧が印加されると、発光層となる半導体層には、n型半導体層から電子が流れ込むと共に、p型半導体層から正孔が流れ込む。その結果、発光層となる半導体層において電子と正孔との再結合が生じ、所定の波長の光が放出される。本実施の形態では、GaN系の半導体材料を用いて発光層となる半導体層を形成しているので、GaN系の半導体材料のバンドギャップに相当する青色や緑色の光が放出される。
リードフレーム11の表面11a側の外周縁には、チップ14の表面14a側を覆うドーム状のレンズ部材18が取り付けられている。レンズ部材18は、所定の屈折率を有する樹脂等の材料で形成されており、チップ14の積層体142から出射される光を屈折させ、発光ダイオード1の外部の所定方向へと導く。このように、チップ14から出射された光は、レンズ部材18を通じて発光ダイオード1の外部に取り出される。
次に、実施の形態に係る発光ダイオード1による輝度改善効果について、図4の比較構造に係る発光ダイオードを参照しながら説明する。図4は、実施の形態と比較するための比較構造に係る発光ダイオードの発光チップから光が放出される様子を示す断面模式図である。比較構造に係る発光ダイオードは、透光性部材15の形状が変わる点を除き、実施の形態に係る発光ダイオード1と共通の構成を備える。すなわち、比較構造に係る発光チップ22では、平面形状が矩形状のサファイア基板241と、サファイア基板241の表面241aに設けられた積層体242とを備えるチップ24が透光性部材25の当接面25aに接着される。そして、透光性部材25の当接面25aには、実施の形態のような溝16が形成されず、裏面25bと平行になる平面状に形成されている。
図2に示すように、実施の形態に係る発光チップ12において、発光層となる半導体層で生じた光は、主に、積層体142の表面142a(すなわち、発光チップ14の表面14a)、及び裏面142bから放出される。積層体142の表面142aから放出された光(例えば、光路A1)は、上述のように、レンズ部材18(図1参照)等を通じて発光ダイオード1の外部に取り出される。一方で、例えば、積層体142の裏面142bから出射されて光路A2を伝播する光は、サファイア基板141と溝16内に形成された空気層との界面であるチップ14の裏面14bに入射し、全反射される(光路A3)。光路A3を伝播する光は、サファイア基板141の側面に入射し、外部へ放出される。
これに対し、図4に示すように、比較構造に係る発光チップ22の光路B1,B2は、実施の形態に係る発光チップ12の光路A1,A2と同様となる。しかし、実施の形態における光路A3は、溝16によってチップ14の裏面14bで全反射されるのに対し、比較構造における光路B3は、透光性部材25側へ透過される。光路B3を伝播する光は、リードフレーム11の表面11aで反射される(光路B4)。光路B4を伝播する光は、透光性部材25の側面25cと空気層との界面で全反射される(光路B5)。全反射されて光路B5を伝播する光は、透光性部材25を透過してからサファイア基板241を透過し、積層体242に入射して吸収されるため、外部に取り出すことができなくなる。
以上のように、実施の形態に係る発光ダイオード1によれば、溝16の内部空間の屈折率を透光性部材15の屈折率より小さくし、透光性部材15に入射する光に比べ、溝16に入射する光の全反射する角度を広くすることができる。従って、積層体142から溝16に向かって出射して光路A2と同様に伝播する光を、光路A3と同様にして外部に取り出すことができる。これにより、光路A2と同様に伝播する光は、比較構造の光路B2と同様に伝播する光に比べ、チップ14の裏面14bで全反射する光の割合を増やすことができる。この結果、透光性部材15等の内部で反射を繰り返して積層体142に戻る光の割合を少なくし、サファイア基板141から出る光の割合を多くでき、光の取り出し効率を高めて、輝度の向上を図ることができる。また、本実施の形態では、積層体142から出射して光路A2と同様に伝播する光を溝16において散乱させ、その光の一部をサファイア基板141や透光性部材15を伝播させて外部に取り出すことができ、これによっても、積層体142に戻る光の割合を低く抑えることができる。
なお、サファイア基板は硬くて加工が容易でないので、薄いサファイア基板を用いて加工性を高めておくことが望ましい。上記の発光ダイオード1では、サファイア基板141を薄くしても透光性部材15によって光の取り出し効率を高く維持できる。つまり、光の取り出し効率を維持するためにサファイア基板141を厚くして加工性を犠牲にする必要はない。
次に、上記の実施の形態に係る発光ダイオードの輝度改善効果を確認するために行った実験について説明する。本実験では、実施例1〜7及び比較例として、図5に示す構成の透光性部材15,35を有する発光ダイオードを作成した。実施例1における発光ダイオードは、溝16の形態を変更した点を除き、上記実施の形態の発光ダイオード1(図1参照)と同様の構成とし、透光性部材15とチップ14とを接着する透光性樹脂(不図示)は、光を透過するダイボンディング剤(信越化学製、KER−M2)を用いた。チップ14の大きさ(縦×横×厚み)は、270μm×595μm×150μmとした。透光性部材15は、チップ14と同じ大きさに合わせ、当接面15aの面積(縦×横)を270μm×595μm、厚みを150μmとしたサファイア基板を用いた。
実施例1の溝16は、横方向(長辺方向)中央部で縦方向(短辺方向)に1本延在しており、溝幅wを80μmとした。実施例2及び3は、実施例1の溝16の溝幅wを変更したものであり、実施例2の溝幅wを160μm、実施例2の溝幅wを300μmとした。実施例4は、実施例1の溝16を2本形成したものであり、各溝16における溝幅中間点の横方向の離間距離dを200μmとした。実施例5及び6の溝16は、縦方向中央部で横方向に1本延在しており、実施例5の溝幅wを80μm、実施例6の溝幅wを110μmとした。実施例7の溝16は、実施例1及び5の各溝16を両方形成してクロス状とした。実施例1〜7の溝16の深さは、全て40μmとした。比較例は、実施例1の溝16の形成を省略したものであり、透光性部材35の当接面35aを平面状に形成した。
本実験では、各実施例及び比較例の発光ダイオードの輝度を測定した。具体的には、各発光ダイオードから放射される全ての光の強度(パワー)の合計値を測定し(全放射束測定)、溝16を形成しない比較例を基準(100%)とする輝度向上率に換算した。図6は、測定結果を示すグラフである。図6において、縦軸は、各発光ダイオードの輝度向上率(%)を示している。また、図6では、各実施例の除去面積比率を百分率[%]で示している。
図6に示すように、基準(100%)となる比較例に比べ、透光性部材15に溝16を形成した実施例1〜7の全てにおいて、輝度が向上しており、光の取り出し効率を高めることができた。特に、溝16の除去面積比率が約2〜5割となる実施例5(29.6%)、実施例6(40.7%)、実施例3(50.4%)では、輝度向上率が約110%となって輝度が高まるという傾向を確認できた。また、除去面積比率が、実施例6(40.7%)と、実施例7(39.1%)とで近似した値となるが、実施例6より実施例7の方が、輝度向上率が4.5%高まっており、溝16をクロス形状とすることで輝度が向上することを確認できた。なお、溝16の除去面積比率を5割より大きくすると、チップ14の裏面14bに対する当接面15aの面積が狭くなり、それらの接着安定性が不十分になり易くなった。従って、かかる装着安定性と、輝度向上との両方を総合的に考慮すると、溝16の除去面積比率は4割程度が最適となる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
例えば、上記実施の形態では、サファイア基板とGaN系の半導体材料とを用いるチップ14を例示したが、結晶成長用基板としてGaN基板を用いる等、結晶成長用基板及び半導体材料は実施の形態に限定されない。なお、加工性を高めるためには、サファイア基板等の結晶成長用基板を薄くすると良いが、結晶成長用基板は必ずしも薄くなくて良い。
また、上記実施の形態では、n型半導体層、発光する半導体層、及びp型半導体層を順に設けた積層体142を例示したが、積層体142の構成はこれに限定されない。積層体142は、少なくとも、電子と正孔との再結合により光を放出できるように構成されていれば良い。
また、チップ14は、赤外光を発するチップ(AlGaAs,GaAsPなど)としてもよく、この場合、透光性部材15が赤外光を透過する材質で形成することで、上述の実施の形態と同様の効果が得られる。更に、チップ14が紫外光を発し、透光性部材15が紫外光を透過する材質で形成した場合も、上述の実施の形態と同様の効果が得られる。
本発明は、発光層が形成されたチップを備える発光チップの光取り出し効率を高めるために有用である。
1 発光ダイオード
12 発光チップ
14 チップ
141 サファイア基板
15 透光性部材
15a 当接面
15c 側面
16 溝

Claims (3)

  1. 発光層を表面に備えたチップと、該チップの裏面に透光性を有する樹脂で接着され且つ該発光層から出射された光を透過する透光性部材とを備え、
    該透光性部材の該チップとの当接面には、該透光性部材の側面及び該当接面に露出する溝が形成されており、該溝の溝幅は該チップ長辺側の1辺の長さよりも小さく、該溝は、該透光性部材の該当接面の全面積に対して該溝が形成される領域の割合となる除去面積比率が2〜5割に形成されていること、を特徴とする発光チップ。
  2. 該溝は、該透光性部材の該当接面にクロス形状に形成されていること、を特徴とする請求項記載の発光チップ。
  3. 該チップは、サファイア基板の上にGaN半導体層から成る発光層が積層されて成ること、を特徴とする請求項1または2に記載の発光チップ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017220478A (ja) * 2016-06-03 2017-12-14 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2017220479A (ja) * 2016-06-03 2017-12-14 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2017224727A (ja) * 2016-06-15 2017-12-21 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2017224728A (ja) * 2016-06-15 2017-12-21 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018014425A (ja) * 2016-07-21 2018-01-25 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018014421A (ja) * 2016-07-21 2018-01-25 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018026383A (ja) * 2016-08-08 2018-02-15 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018029113A (ja) * 2016-08-17 2018-02-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018029114A (ja) * 2016-08-17 2018-02-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018029112A (ja) * 2016-08-17 2018-02-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018041782A (ja) * 2016-09-06 2018-03-15 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018041780A (ja) * 2016-09-06 2018-03-15 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018041781A (ja) * 2016-09-06 2018-03-15 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018041783A (ja) * 2016-09-06 2018-03-15 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018046067A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018046068A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018046066A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018046064A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018046065A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018060950A (ja) * 2016-10-06 2018-04-12 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018060951A (ja) * 2016-10-06 2018-04-12 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法
JP2018074109A (ja) * 2016-11-04 2018-05-10 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018078140A (ja) * 2016-11-07 2018-05-17 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP6786166B2 (ja) * 2017-01-16 2020-11-18 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018116964A (ja) * 2017-01-16 2018-07-26 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018129341A (ja) * 2017-02-06 2018-08-16 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018129343A (ja) * 2017-02-06 2018-08-16 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018129370A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018148014A (ja) * 2017-03-06 2018-09-20 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018148017A (ja) * 2017-03-06 2018-09-20 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018148016A (ja) * 2017-03-06 2018-09-20 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018148015A (ja) * 2017-03-06 2018-09-20 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018148013A (ja) * 2017-03-06 2018-09-20 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018186168A (ja) * 2017-04-25 2018-11-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ
JP2018186169A (ja) * 2017-04-25 2018-11-22 株式会社ディスコ 発光ダイオードチップの製造方法及び発光ダイオードチップ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2922977B2 (ja) 1990-04-27 1999-07-26 豊田合成株式会社 発光ダイオード
JP4254266B2 (ja) * 2003-02-20 2009-04-15 豊田合成株式会社 発光装置及び発光装置の製造方法
US7997771B2 (en) * 2004-06-01 2011-08-16 3M Innovative Properties Company LED array systems
US20080197764A1 (en) * 2005-05-12 2008-08-21 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Electroluminescence Light Source
CN200986927Y (zh) * 2006-09-15 2007-12-05 林三宝 具有微光学结构的发光二极管
JP4765916B2 (ja) * 2006-12-04 2011-09-07 サンケン電気株式会社 半導体発光素子
CN101499505B (zh) * 2008-01-28 2011-04-20 晶元光电股份有限公司 具有薄化结构的半导体发光元件及其制造方法
JP4640498B2 (ja) * 2008-12-11 2011-03-02 ソニー株式会社 素子の転写方法、素子配置基板、並びにデバイス及びその製造方法
JP5287665B2 (ja) * 2009-10-30 2013-09-11 豊田合成株式会社 半導体発光素子の製造方法
RU2573477C2 (ru) * 2010-04-06 2016-01-20 КреаОпто ОЮ Слоистая конструкция с внутренними полостями и способ ее изготовления

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