JP4753536B2 - 不揮発性メモリ集積回路を形成する方法 - Google Patents

不揮発性メモリ集積回路を形成する方法 Download PDF

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Description

本発明は、一般に不揮発性フラッシュメモリシステムに関し、さらに詳細には、２つのフローティングゲートを個々に含むメモリセルのメモリアレイを形成する工程およびその結果生じる構造とに関する。
今日使用されている商業的に成功した多くの不揮発性メモリ製品が存在し、特に、ソース拡散層とドレイン拡散層との間に“分割チャネル”を備えたセルからなるフラッシュＥＥＰＲＯＭ（電気的に消去可能でプログラム可能なリードオンリメモリ）セルアレイを用いる小型形状のファクタカードの形でこれら不揮発性メモリ製品は使用されている。セルのフローティングゲートがチャネルの一方の部分にわたって配置され、ワードライン（コントロールゲートとも呼ばれる）がチャネルの他方の部分並びにフローティングゲートにわたって配置される。この構成により、２つの直列トランジスタを備えたセルが効果的に形成される。このうちの一方の直列トランジスタ（メモリ・トランジスタ）は、チャネルの当該トランジスタ部の中を流れることができる電流量を制御し、フローティングゲートにかかる電荷量とワードラインの電圧とを組み合わせたものであり、他方の直列トランジスタ（選択トランジスタ）は、トランジスタのゲートとして利用するワードラインのみを備えたものである。このワードラインはフローティングゲートの行にわたって延在する。このようなセルの例、メモリシステムにおけるこれらセルの使用例、およびこれらセルの製造方法については、米国特許第５，０７０，０３２号（特許文献１）、第５，０９５，３４４号（特許文献２）、第５，３１５，５４１号（特許文献３）、第５，３４３，０６３号（特許文献４）、および第５，６６１，０５３号（特許文献５）、並びに、同時継続中の１９９９年１月２７日出願の米国特許出願第０９／２３９，０７３号（特許文献６）に記載されている。これら特許および特許出願は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
前述した分割チャネル・フラッシュＥＥＰＲＯＭセルの改変例では、フローティングゲートとワードラインとの間に配置されるステアリングゲートが追加される。アレイの各ステアリングゲートは、フローティングゲートの１つの列にわたってワードラインに対して垂直に延在する。その結果、ワードラインは、選択したセルの読み出し時やプログラミング時に２つの機能を同時に実行しなければならない状態からの負担が軽減される。２つの機能として、（１）選択トランジスタのゲートとしての役割（したがって、選択トランジスタのスイッチをオンとオフにするための適当な電圧が必要となる）と、（２）ワードラインとフローティングゲートとの間の電磁界（容量）結合によって所望のレベルまでフローティングゲートの電圧を駆動する役割とが挙げられる。単一の電圧を用いた場合、前述した機能の双方を最適に実行することが困難であることが多い。ステアリングゲートが追加された場合、機能（１）の実行にはワードラインだけで十分であるが、機能（２）の実行は、追加されたステアリングゲートにより行われる。フラッシュＥＥＰＲＯＭアレイでのステアリングゲートの利用については、例えば、米国特許第５，３１３，４２１号（特許文献７）および第６，２２２，７６２号（特許文献８）に記載されている。これら特許は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
前述した２つのタイプのメモリセルアレイのいずれかにおいて、基板からフローティングゲートへの電子の打ち込みにより１つのセルのフローティングゲートのプログラミングが行われる。チャネル領域での適切なドーピングと、ソース、ドレインと、残りのゲートへの適当な電圧の印加とにより打ち込みは行われる。いわゆる“ソース側”打ち込みが望ましいが、これについても前述した米国特許第５，３１３，４２１号に記載されている。
フローティングゲートから電荷を取り除いてメモリセルの消去を行う２つの技術が、２つのタイプの前述したメモリセルアレイの双方で使用される。一方の技術は、ソース、ドレインおよび別のゲートへ適正な電圧を印加することにより基板に対する消去を行うものである。これらゲートに起因して、フローティングゲートと基板との間の誘電体層の一部を電子が貫通するトンネリングが生じる。もう一方の消去技術として、フローティングゲートと別のゲートとの間に配置したトンネル誘電体層を貫通してフローティングゲートから別のゲートへ電子を転送するものがある。この目的のために、前述した第１のタイプのセルの中に第３の消去ゲートが設けられる。前述した第２のタイプのセルでは、このタイプがステアリングゲートの使用に起因して３つのゲートをすでに備えているため、第４のゲートを追加する必要なく、ワードラインのレベルに合わせてフローティングゲートの消去が行われる。この後者の技術では、ワードラインが実行する第２の機能が再び追加されるが、前述した２つの機能は異なる時点で実行されるため、これら２つの機能のために妥協しなければならない必要は避けられる。いずれかの消去技術を利用して、このメモリセルは一緒のグループに分けられ、多数のメモリセルが“パッ”と同時に消去されることになる。１つのアプローチでは、このグループに十分なメモリセルが含まれ、ディスクセクタに記憶されたユーザデータ量（すなわち、５１２バイトおよび若干のオーバーヘッドデータ）を記憶することができる。別のアプローチでは、多くのディスクデータのセクタ値に等しい数千バイトのユーザデータを保持するのに十分なセルが各グループの中に含まれる。マルチブロック消去、欠陥管理およびその他のフラッシュＥＥＰＲＯＭシステムの特徴については、米国特許第５，２９７，１４８号（特許文献９）に記載されている。この特許は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
ほとんどすべての集積回路アプリケーションの場合と同様、フラッシュＥＥＰＲＯＭシステムにおいても、何らかの集積回路の機能の実行に必要なシリコン基板面積の縮小に対する圧力が存在する。所定サイズのメモリカードや別のタイプのパッケージの記憶容量を増加させるために、あるいは、容量の増加とサイズの縮小の双方を行うために、シリコン基板の所定面積に記憶できるデジタルデータ量の増加が望まれることが多い。データの記憶密度を上げる１つの方法として、メモリセル当たり１ビット以上のデータを記憶する方法がある。この方法は、フローティングゲート電荷レベルの電圧範囲のウィンドウを分画して３以上の状態にすることにより達成される。セル当り２ビットのデータを用いて４つの状態の記憶が可能となり、セル当たり３ビットのデータを用いて８つの状態の記憶が可能となるなどである。複数状態のフラッシュＥＥＰＲＯＭの構造と動作については、米国特許第５，０４３，９４０号（特許文献１０）と第５，１７２，３３８号（特許文献１１）に記載されている。これら特許は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
メモリセルの物理的サイズおよび／またはアレイ全体の物理的サイズの縮小により、データ記録密度の増加を達成することが可能となる。より小さいパターン寸法の実現を可能にする処理工程技術が時と共に向上するにつれて、集積回路のサイズの縮小は一般にすべてのタイプの回路に対して実行される。しかし、この方法でどの程度まで所定の回路レイアウトの縮小が可能であるかについては通常制限がある。なぜなら、回路レイアウトの縮小可能量についての制限が設けられることによって、レイアウト全体の縮小可能量を制限する少なくとも１つのパターン寸法が存在する場合が多いからである。このパターン寸法が存在する場合、このパターン寸法の実現に必要なシリコン面積の削減を行うための新しいレイアウトや異なるレイアウトまたは回路構成アーキテクチャのほうへ回路設計者の注意が向けられる。前述したフラッシュＥＥＰＲＯＭ集積回路システムの縮小も同様の制限に達する可能性がある。
したがって、データ記憶密度をさらに上げるために、デュアルフローティングゲートメモリセルを利用するフラッシュＥＥＰＲＯＭシステムが、各フローティングゲート上の複数の状態の記憶装置と共に利用されている。このタイプのセルでは、２つのフローティングゲートが、ソース拡散層とドレイン拡散層との間の前述したタイプのセルのチャネルの２つのフローティングゲート間に選択トランジスタを備えて設けられる。フローティングゲートの各列に沿ってステアリングゲートが設けられ、さらに、フローティングゲートの各行に沿ってワードラインが設けられる。読み出しやプログラミングを行うために所定のフローティングゲートにアクセスを行う場合、どのような電荷レベルがこのフローティングゲート上に存在しても、関心対象のフローティングゲートを含むセルの一方のフローティングゲート上にあるステアリングゲートを十分に高くして、他方のフローティングゲートの下にあるチャネルのスイッチをオンにできるようにする。この振舞いにより、同じメモリセル内の関心対象のフローティングゲートの読み出し時やプログラミング時に１つのファクタとなる他方のフローティングゲートの除去が実際に可能となる。例えば、セル内を流れる電流量はセル状態の読み出しに利用可能ではあるが、この電流量は、関心対象のフローティングゲートの電荷量の関数であっても、同じセル内の他方のフローティングゲートの電荷量の関数ではない。このセルアレイ・アーキテクチャおよび処理技術の例については、米国特許第５，７１２，１８０号（特許文献１２）に記載されている。
米国特許第５，０７０，０３２号 米国特許第５，０９５，３４４号 米国特許第５，３１５，５４１号 米国特許第５，３４３，０６３号 米国特許第５，６６１，０５３号 米国特許出願第０９／２３９，０７３号 米国特許第５，３１３，４２１号 米国特許第６，２２２，７６２号 米国特許第５，２９７，１４８号 米国特許第５，０４３，９４０号 米国特許第５，１７２，３３８号 米国特許第５，７１２，１８０号 米国特許出願第０９／７９３，３７０号 米国特許第６，１０３，５７３号 米国特許第５，８５１，８８１号 チャンら著，"真の単一トランジスタ酸化膜・窒化膜・酸化膜ＥＥＰＲＯＭデバイス"，ＩＥＥＥ電子デバイスレターズ，ＥＤＬ−８巻，Ｎｏ．３，１９８７年３月，ｐ．９３〜９５ ノザキら著，"半導体ディスクアプリケーション用ＭＯＮＯＳメモリセルを備えた１ＭｂのＥＥＰＲＯＭ"，半導体素子回路のＩＥＥＥジャーナル，２６巻，Ｎｏ．４，１９９１年４月，ｐ．４９７〜５０１ エイタンら著，"ＮＲＯＭ：新規のローカルトラッピング，２ビット不揮発性メモリセル"，ＩＥＥＥ電子デバイスレターズ，２１巻，Ｎｏ．１１，２０００年１１月，ｐ．５４３〜５４５ ディマリアら著，"ＳｉリッチＳｉＯ2 インジェクタとフローティング多結晶シリコン記憶層とを用いる電気的に変更可能なリードオンリメモリ"，Ｊ．応用物理５２（７），１９８１年７月，ｐ. ４８２５〜４８４２ ホリら著，"不揮発性メモリアプリケーション用Ｓｉ打ち込みゲートＳｉＯ2 絶縁体を備えたＭＯＳＦＥＴ"，ＩＥＤＭ９２，１９９２年４月，ｐ. ４６９〜４７２
本発明の１つの態様によれば、基板表面上に誘電体からなる薄膜層を形成し、次いで、この薄膜層にわたって材料層を成膜することによりメモリアレイが作成される。その後、薄膜層は分離されて導電性フローティングゲートとなる。この誘電体層は、好ましくは成長した酸化膜であることが望ましいが、メモリセル・フローティングゲート誘電体の状態のままであり、さらに、未使用の基板表面にわたって形成されることに起因して高い品質のものとなる。これによって、フローティングゲートが基板のレベルに合わせて消去されるとき、メモリ消去処理を改善する。フローティングゲート材料は好ましくはドープされたポリシリコンであることが望ましい。基板表面における連続したソース拡散層とドレイン拡散層は、列方向にフローティングゲートの行に延在する。この基板表面の上方の行間に成膜される酸化膜のような誘電体膜により、フローティングゲートの行間に電気絶縁部が設けられる。トレンチを形成することにより別の絶縁部を設けてもよい。誘電体膜はこのトレンチの中へ延在するが、トレンチが浅いことに起因して、トレンチが横切るソース拡散層とドレイン拡散層との導電性を中断することはできない。連続して導電する拡散層の使用により、拡散層と接続する導電性ビットラインの複雑さが減少する。
本発明の別の態様によれば、（１）頂部にわたるとともに厚いフローティングゲートの側部の周りでコントロールゲートを包むこと、または（２）少なくとも１つの方向にフローティングゲートと隣接する誘電体材料にわたって延在する導電性材料の補助成膜からコントロールゲートと交信するフローティングゲートの頂部の幅を増やすことのいずれかの処理により、フローティングゲートとコントロールゲートとの結合面積が増加する。
本発明の別の態様では、隣接するフローティングゲート間に延在するようにコントロールゲートが形成され、これによってフローティングゲート間に電界絶縁部を配設する。これによって、フローティングゲートをさらに近接させて一体にパックすることが可能となる。１つの具体的な実施構成では、フローティングゲートは底部よりも頂部の幅を広くして、コントロールゲートとの結合を行うための追加面積を設けるようにする。したがって、フローティングゲートは、頂部が底部よりもさらに近接して一体となる。隣接するフローティングゲートの少なくともさらに幅の広い部分間でコントロールゲートは下方へ延在し、この場合遮蔽部を設ける必要性が最大となる。
本発明のさらなる別の態様によれば、標準的なシャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）技術に基づいて、デコーダ、レジスタ、センスアンプ、コンパレータ等の周辺回路素子が、誘電体膜で充填されるトレンチによりメモリセルアレイから絶縁される。アレイ自体内でこのような絶縁を用いる必要はない。
本発明のさらに別の態様によれば、フローティングゲート材料の連続ストリップは、導体素子のほぼ同一の構造を形成する前にただ一回のエッチング処理により個々のフローティングゲートに分離される。このフローティングゲートは、エッチングから結果として生じるフローティングゲート間のスペースの各々において、好ましくはドープされたポリシリコンからつくられることが望ましい。この方法によって第１のエッチングと整合するフローティングゲート材料のストリップの第２のエッチングが不要となる。これら素子のうちの１つおきの素子は、追加の導電性材料とその後結合されて、ステアリングゲートを形成する。その後、ワードラインは、選択トランジスタゲートとして動作するアレイの１つの方向にこれら素子のうちの残りの１つおきの素子と接触するように、導電性材料から形成される。
本願明細書に記載した本発明の前述した個々の態様、および、様々な他の工程上の改善は、それ自体で、あるいは、様々な組み合わせにより実現可能である。本発明の別の態様として、デュアルフローティングゲートメモリセルの仮想接地アレイ内におけるこれら態様の１以上の態様からなる実施構成、すなわち以下で説明するこのような実施構成の詳細な例がとる不揮発性メモリの形態がある。本発明の追加の態様、利点並びに特徴はこれら詳細な例についての以下の説明に含まれ、この説明は添付図面と関連して考えることが望ましい。
本発明の様々な態様が組み込まれたメモリシステムの例を図１のブロック図に一般的に例示する。多数の個々にアドレス可能なメモリセル１１が行と列とからなる、ピッチが等しいアレイ内に構成される。但し、別の物理的セル構成も確かに可能である。本願明細書でセルアレイ１１の列に沿って延在するように示されているビットラインは、ライン１５を介してビットラインデコーダ回路とドライバ回路１３と電気的に接続される。ここではセルアレイ１１の行に沿って延在するように示されているワードラインは、ワードラインデコーダ回路とドライバ回路１９とライン１７を介して電気的に接続される。アレイ１１内のメモリセルの列に沿って延在するステアリングゲートは、ライン２３を介してステアリングゲートデコーダ回路とドライバ回路２１と電気的に接続される。デコーダ１３，１９，２１の各々は、メモリコントローラ２７からバス２５にわたってメモリセルアドレスを受け取る。デコーダ回路とドライバ回路とは、それぞれの制御ラインと状態信号ライン２９，３１，３３とを介してコントローラ２７とも接続される。ステアリングゲートとビットラインとに印加される電圧は、デコーダ回路とドライバ回路１３，２１とを相互に接続するバス２２を介して調整される。
コントローラ２７は、ライン３５を介してホスト装置（図示せず）と接続可能である。ホストは、パーソナルコンピュータ、ノートブック形コンピュータ、デジタルカメラ、オーディオ再生装置、その他種々のハンドヘルド形電子デバイス等であってもよい。図１のメモリシステムは、一般に、ＰＣＭＣＩＡ、コンパクトフラッシュTM協会、ＭＭＣTM協会、その他の規格などのいくつかの既存の物理的規格と電気的規格のうちの１つの規格に基づいてカードに実装されている。カードフォーマットでの実装時に、ライン３５はホスト装置の相補形コネクタとインタフェースするカードのコネクタで終端する。多くのカードの電気的インタフェースはＡＴＡ規格に従い、その場合、メモリシステムはあたかも磁気ディスク装置であるかのようにホストには見える。その他のメモリカードインタフェース規格も存在する。このようなカードフォーマットの代替として、図１に示すタイプのメモリシステムがホスト装置に永久に組み込まれる。
デコーダ回路とドライバ回路１３，１９，２１とは、バス２５を介してアドレス指定されるとき、それぞれの制御ラインと状態ライン２９，３１，３３の信号に従って、アレイ１１の回路のそれぞれのラインに適正な電圧を生成し、プログラミング機能、読み出し機能および消去機能を実行する。電圧レベルと他のアレイパラメータを含むいずれの状態信号も同じ制御ラインと状態ライン２９，３１，３３を介してアレイ１１によりコントローラ２７へ出力される。回路１３内の複数のセンスアンプは、アレイ１１内のアドレス指定されたメモリセルの状態を示す電流レベルまたは電圧レベルを受け取り、読み出し動作中にライン４１を介して、当該状態に関する情報をコントローラ２７に出力する。多数のメモリセルの状態の同時読み出しが可能となるように、通常多数のセンスアンプが用いられる。読み出し処理とプログラム処理中、セルからなる１行が、一般に、回路１９を介して同時にアドレス指定されて、回路１３，２１により選択されたアドレス指定済みの行の複数のセルへアクセスされる。消去処理中、多くの行の個々の行内のすべてのセルが、同時消去用ブロックとしてまとめてアドレス指定される。
図１に例示するようなメモリシステムのオペレーションについては、背景技術の欄に、また、本願の譲受人であるサンディスク コーポレイションに譲渡された他の特許にさらに記載されている。さらに、２００１年２月２６日出願の米国特許出願第０９／７９３，３７０号（特許文献１３）にはデータプログラミング方法について記載されている。この特許出願は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
図２には、メモリセルアレイ１１の一例を示す平面図が示されている。この図には、メモリセルアレイの反復構造間に存在する誘電体層の細部についての情報はほとんど含まれていないが、導体素子からなるメモリセルアレイの反復構造の小部分が示されている。通常のシリコン基板４５には、均一な、好ましくはほぼ平らな頂面４７が設けられる。細長く形成された拡散層４９，５１，５３は、最初のイオン打ち込みとその後の拡散により表面４７を貫通して基板４５内に形成され、それら拡散層間に形成されるメモリセルのソースおよびドレインとしての役割を果たす。ここでは、説明の便宜上、拡散層は、第１のｘ方向に隔置され、第２のｙ方向に延在する長さを備えて示され、これら第１と第２の方向は相互にほぼ直交している。行と列からなるアレイにおいて、フローティングゲート間に適切なゲート誘電体を備えた多数のフローティングゲートが基板表面４７に設けられる。例えば、フローティングゲート５５〜６０の１行は、フローティングゲート６２〜６７の別の行に隣接するとともに平行である。さらに、フローティングゲート６９，５５，６２，７１，７３の１列は、フローティングゲート７５，５６，６３，７７，７９の列に隣接するとともに平行である。これらフローティングゲートは、１以上のマスクを貫通するエッチングを行うことにより、表面全体にわたって導電性のドープされた多結晶シリコン（“ポリシリコン”）の第１の層から形成され、次いで、個々のフローティングゲートに分離される。ソースとドレイン拡散層４９，５１，５３は、フローティングゲートの多数の行にｙ方向で連続して延在する。
ビットラインデコーダとドライバ回路１３（図１）は、図２〜図４の拡散層４９，５１，５３を含むライン１５を介してアレイのビットラインソース／ドレイン拡散層のすべてと接続される。個々のメモリセルの列のソースとドレインは、ライン１９を介してバス２５と制御信号とを介して供給されるアドレスに応じて読み出しまたはプログラミングのいずれかを行うための適切なプログラミング電圧と接続される。
フローティングゲートの個々の列用の別個のステアリングゲートを使用する代わりに、図２の構造では、フローティングゲートの２つおきの列用としてさらに広い１つのステアリングゲートが用いられる。ステアリングゲート８１，８３，８５は、ｙ方向に細長く形成され、さらに、フローティングゲートの２つの隣接する列とフローティングゲート間に配置されているソース／ドレイン拡散層とに延在するｘ方向の幅を有する。ステアリングゲート中の任意の２つのステアリングゲート間のスペースは、これら２つのステアリングゲートによりオーバーレイされるフローティングゲートの隣接する列間でｘ方向のスペースと少なくとも同じ大きさであるので、このスペース中の基板に後でゲートを形成することが可能となる。これらステアリングゲートは、第１のポリシリコン層と適切なポリシリコン層間誘電体とにわたって、表面全体に成膜される導電性のドープされたポリシリコンの第２の層のエッチングを行うように形成される。ステアリングゲートデコーダとドライバ回路２１（図１）は、ライン２３を介してすべてのステアリングゲートと接続し、バス２５で出力されるアドレスと、ライン３３の制御信号と、ドライバおよびセンスアンプ１３から出力されるデータとに応じて、ステアリングゲートの電圧を個々に制御することができる。
図２のワードライン９１〜９５はｘ方向に細長く形成され、次いで、ステアリングゲートにわたって延在し、フローティングゲートの行と各ワードラインとが整合されてｙ方向にステアリングゲート間のスペースが設けられる。ワードラインは、誘電体頂部の表面全体にわたって成膜される導電性のドープされたポリシリコンからなる第３の層のエッチングを行うことにより形成される。第２のポリシリコン層とステアリングゲート間で露光された領域にわたって誘電体がまず形成される。これらワードラインにより、読み出しや書き込みに用いられるワードラインの行のすべてのメモリセルの選択が可能となる。選択ゲートデコーダとドライバ回路１９（図１）は、セルアレイの１行を個々に選択するために各ワードラインと接続される。次いで、選択された行内の個々のセルの作動が可能となり、ビットライン、並びに、ステアリングゲートデコーダ回路とドライバ回路１３，２１による読み出しや書き込みが行われる。
前述した構造におけるゲートは、ドープされたポリシリコン材料からつくられることが望ましいが、前述した３つのポリシリコン層のうちの１つ以上のポリシリコン層の代わりに別の好適な導電性材料を用いてもよい。例えば、ワードラインと選択ゲートとを形成する源となる第３の層はポリサイド材料であってもよい。このポリサイド材料は、ポリシリコンの頂部にタングステンのような導電性屈折金属シリサイドを設けたポリシリコンであり、第３の層の導電率を上昇させるものである。一般に、第１または第２のポリシリコン層のいずれかの代わりにポリサイドが用いられることはない。なぜなら、ポリサイドから成長した酸化物の品質が通常良好ではないからである。
金属導体層は図２に示されていない。拡散層とポリシリコン素子とは、通常、金属の導電率よりも著しく低い導電率を有するため、金属導体部は別個の層に含まれ、任意のポリシリコン素子と拡散層の長さに沿った周期的間隔でいずれの中間層をも貫通してそれぞれの金属配線との接続部が設けられる。図２に示す拡散層とポリシリコン素子のすべては別々に駆動させる必要があるため、これら金属配線番号と、拡散層およびポリシリコン素子番号との間には１対１の対応関係がある。
第１の処理例
図３〜図９には、断面Ｉ−Ｉ（各図の部分Ａ）と断面ＩＩ−ＩＩ（各図の部分Ｂ）にわたって図２の断面図を示すことにより、本発明の１つの態様に準拠して利用される、図２のアレイを形成する一連の工程が示されている。最初に図３Ａと３Ｂを参照すると、半導体製造工程時のいくつかの初期工程の結果が示されている。酸化膜誘電体の薄い（８０〜１００オングストロームの膜厚のような）層１０３がシリコン基板４５の表面全体１０１にわたって成長する。次に、ポリシリコンの厚い（５００〜３０００オングストロームのような）層１０５が誘電体層１０３にわたって成膜される。層１０５の膜厚を、後で形成されるステアリングゲートとの所望の結合量を層１０５の側壁に沿って設けるのに十分な厚さとなるようにする。このポリシリコンはドープされた形で成膜してもよいし、あるいは、ドープせずに成膜してから、後の工程でイオン打ち込みによりドープしてもよい。次いで、誘電体層がポリシリコン上にわたって形成され、２つの層となった状態が示されている。窒化シリコン層１０７がポリシリコン層１０５にわたってまず成膜され、これに続いて窒化膜層１０７上にわたってシリコン酸化膜層１０９の成膜が行われる。
次の一連の工程が、図４Ａと４Ｂにより示されている。適正なフォトレジストマスク（図示せず）を使用することにより酸化膜層１０９（図３Ａと３Ｂ）がまず形成されて、ストリップにされ、これらストリップを貫通して、層１０３，１０５，１０７からなるスタックのエッチングが行われる。このエッチングによって、メモリセルアレイが形成される集積回路の領域内にポリシリコンストリップ１１１，１１３，１１５が残される。これらストリップはｘ方向に細長く形成され、ｙ方向に隔置される。エッチマスクとして酸化膜層１０９を利用する代わりに、窒化シリコン層１０７上に直接フォトレジストエッチマスクを形成してもよい。
メモリセルアレイを形成する処理工程と同時に、少なくとも部分的に周辺トランジスタと他のデバイスとを形成してもよい。図４Ｂは、このような周辺装置が形成される集積回路の領域に残されたポリシリコンの別のストリップ１１７を示す。これら周辺装置とメモリアレイとは、２つの領域間に配置される基板４５内でトレンチ１１９により絶縁されることが望ましい。フォトレジストマスクを貫通する別々のエッチング工程により、このトレンチ１１９を形成することが可能である。このマスクは必ずしもポリシリコンストリップと自己整合されるとはかぎらない。トレンチ１１９はメモリセルアレイが形成される領域を囲繞するか、あるいはこれら領域のほとんどを囲繞することができる。トレンチ１１９は、基板表面１０１の下方に１０００〜４０００オングストロームの深さを有することが望ましい。
打ち込みストリップ１２３，１２５等のメモリセル領域内のポリシリコンストリップ間の基板において、ストリップとこのストリップの頂部の誘電体とをマスクとして用いて、この段階でイオン打ち込み１２１を行ってもよい。これは、メモリセル行間に絶縁を施す工程の一部として行われる。ボロンイオンが打ち込まれる。
図５Ａと５Ｂに示されているように、次の工程は、回路構成全体にわたってシリコン酸化膜のような誘電体膜１２７の非常に厚い層を成膜することである。次いで、この工程により、ポリシリコンストリップ１１１，１１３，１１５並びに絶縁トレンチ１１９間のスペースが充填される。この工程により、これらポリシリコンストリップから形成されるフローティングゲートの最後の行間に電気絶縁部が形成される。トレンチ１１９とその誘電体フィラとがシャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）技術に基づいて形成される。
図６Ａと６Ｂに示されているように、一例では、次の工程として、誘電体層１０７と１０９の頂部と、ポリシリコンストリップ上の誘電体膜１２７とを除去して、好ましくは平面１２９を形成する工程がある。誘電体膜１２７と酸化物ストリップ１０９とをストップとして下方の窒化物ストリップ１０７まで除去を行う化学的機械的平坦化（ＣＭＰ）の組み合わせにより、このような工程、並びに、窒化物ストリップ１０７とこの窒化物ストリップとの間の酸化膜１２７との除去を行う別のエッチング工程とを実行することが望ましい。
図７〜図９に示すその後の工程では、ポリシリコンストリップ１１１，１１３，１１５のエッチングが２回行われて、個々のフローティングゲートを形成する。さらに、（ｙ方向に細長く形成された）ステアリングゲートと、（ｘ方向に細長く形成されたワードラインの一部である）選択ゲートとがそれぞれの第２と第３のポリシリコン層から形成される。図６Ａと６Ｂの表面１２９上にフォトレジストマスクを形成し、次いで、フォトレジストマスクを貫通してエッチングを行うことによりこの工程を行ってもよい。しかし、このような工程には、全体的な相互の自己整合を必ずしも行うわけではない素子が形成されるという欠点を有する可能性がある。したがって、参照により援用されている前述した米国特許第６，１０３，５７３号（特許文献１４）の図１１〜図１６と関連して記載されている自己整合技術が望ましい。この技術について、図７〜図９と関連して本願明細書で簡単に要約するが、追加の詳細情報はこの援用されている特許により得られる。
図７Ａと７Ｂを参照すると、ｙ方向に細長く形成された１組の並列基準素子１３１，１３３，１３５が、フォトレジストマスクを貫通して窒化シリコン層のエッチングを行うことなどにより表面１２９に形成される。次いで、この構造一面にシリコン酸化膜の厚膜層を成膜し、次いで、この厚膜層の異方性エッチングを行ってスペーサを残すようにすることによりスペーサ１３７，１３９，１４１，１４３が形成される。次いで、マスクが形成され、このマスクを貫通して、基底を成すポリシリコンストリップ１１１，１１３，１１５が分離され、マスクを貫通してエッチングを行うことによりポリシリコンストリップは、ストリップ１１５から形成されるセグメント１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ等のセグメントを形成する。次いで、マスクとしてポリシリコンストリップセグメントと被覆用誘電体とを用いてソース打ち込み部とドレイン打ち込み部１４５，１４７がつくられる。砒素イオンが打ち込まれる。
図８Ａと８Ｂを参照すると、酸化膜スペーサ１３７，１３９，１４１，１４３は選択的エッチングにより除去される。ポリ間誘電体層１５１，１５３は、ポリシリコンストリップセグメントの露光された表面に、したがって、基板の露光された部分にも形成される。好ましいポリ間誘電体は、酸化膜・窒化膜・酸化膜（ＯＮＯ）の３層サンドイッチである。具体例として、約１５０オングストローム厚のシリコン酸化膜層がポリシリコンストリップセグメントの露光された表面上にまず成長し、約７５オングストローム厚の窒化シリコンの成膜が続き、次いで、高温化学蒸着（ＣＶＤ）処理により約５０オングストローム厚のシリコン酸化膜が形成される。次いで、第２のポリシリコン層が、ＯＮＯ誘電体層上に、メモリセルアレイ上にわたるとともに第１のポリシリコンストリップセグメント間のスペースの中に成膜される。次いで、第２のポリシリコン層の頂面部分がＣＭＰや何らかの別の適切な材料除去処理により、下方にある窒化物基準素子１３１，１３３，１３５の頂部まで除去され、それによって、図８Ａに示すように、第２のポリシリコン層から絶縁ステアリングゲート８１，８３が形成される。
次の工程として、図８Ａと８Ｂの構造から窒化物基準素子１３１，１３３，１３５を除去する工程がある。次いで、マスクとしてステアリングゲートを用いて、ステアリングゲート８１，８３の間のスペースのような、ステアリングゲート間で結果として生じるスペースを貫通して第１のポリシリコン層ストリップ１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃのエッチングが行われる。このようなエッチングを行う前に、ステアリングゲート８１，８３の頂部に酸化膜層を成長させてもよい。このような酸化膜層が窒化物基準素子１３１，１３３，１３５にわたって成長することはなく、したがって、窒化物基準素子のエッチングによる選択的な除去が行われる。
フローティングゲート５６と５７との間における場合のような、その時分離されたフローティングゲート間の結果として生じた開口部が図９Ａに示されている。次いで、ＯＮＯであることが好ましいポリ間誘電体層１６１がフローティングゲートとステアリングゲートの露光された側部と頂部上に、並びに、露光された基板領域にわたって形成される。次に、第３のポリシリコン層が構造一面に成膜され、フォトレジストマスク（図示せず）を貫通してエッチングが行われて、ｘ方向に細長く形成され、ｙ方向に隔置されたストリップが形成される。これらストリップはアレイのワードラインであり、ワードライン９２が図９Ａに示されている。ゲート１６３のような選択トランジスタゲートが、フローティングゲート間に形成される開口部の中にワードラインの一部として形成される。
前述した処理工程にはいくつかの好都合な特徴がある。１つの好都合な特徴として、第１のポリシリコンから形成されるフローティングゲートが、ソースとドレイン拡散層およびステアリングゲートとの全体的な自己整合を行うという点が挙げられる。別の好都合な特徴として、フローティングゲート酸化膜層１０３が、未使用の基板上で成長され、次いで、その後分離され、フローティングゲートにされる第１のポリシリコン層により被覆されるため、高品質の層になるという点が挙げられる。これによって、ゲート酸化膜を貫通するトンネル電子のメカニズムにより、高い信頼性でフローティングゲートを基板まで消去すること、並びに、ゲート酸化膜を貫通する基板からフローティングゲート上への熱い電子の打ち込みによるプログラミングを実行することが可能となる。さらに別の利点として、フローティングゲートの行間の基板の頂部に成膜された酸化膜によって、ＳＴＩに基づいて形成された酸化物で充填されたトレンチを行間に配置する代わりに、これら行間で絶縁が行われるという点が挙げられる。あまり深いトレンチが存在しないために、個々のセル用の絶縁拡散層と、拡散層を１列に一体に接続するための追加のポリシリコンビットラインとを使用せずに、複数のセル行にソース拡散層とドレイン拡散層との形成を連続して行うことが可能となる。絶縁トレンチが省かれることにより、尖った角部の周りを包み込む傾向があり得る隣接するフローティングゲートに関する電界集中の結果、フローティングゲート誘電体の故障を生じる可能性がある基板内の角部を除去することがさらに不要となる。
第１の処理例の変形例
図３〜図９と関連して前述した処理工程に対する多くの変形例および追加例が存在し、これら例は或る状況で有用なものとなり得る。例えば、図１０を参照すると、図７Ａに対する改変例が示されている。ソースとドレインの打ち込みを行う前に、隣接する第１のポリシリコンストリップセグメント１１５ｂ，１１５ｃの側壁に沿って誘電体スペーサ１７１が形成される。スペーサ１７１の存在により制限を受ける開口部を貫通して、結果として生じる打ち込み１４７’が行われる。この結果、打ち込み１４７’は図７Ａの打ち込み１４７よりも狭くなる。構造の温度を上げるその後の処理工程中に打ち込み済みイオンが移動することになるため、この狭い打ち込みによってこのような移動はある程度まで補償されて、最終的なソース領域とドレイン領域の所望の幅を維持する。打ち込み後、スペーサ１７１が除去され、ポリ間誘電体層１５１，１５３が形成され、前述したような処理工程が継続される。
図１１は、前述したような処理工程の別の改変例を示し、図８Ａと関連している。ステアリングゲートと基板間の結合を減らすために、第１のポリシリコン層ストリップセグメント間の図７Ａに示すスペースの中に誘電体の厚膜層１７３がさらに形成される。ソースとドレインを打ち込んだ後で、しかも、ポリ間誘電体層１５１，１５３を形成する前に、このような形成が行われる。酸化物は、露光されたポリシリコンとシリコン基板表面上で成長させることが望ましい。この酸化物は、ポリシリコン層ストリップ１１５ｂ，１１５ｃの側部で成長する場合に比べて、シリコン基板表面１０１のドープ済み領域１４７にわたる領域１７３で成長する場合のほうが厚く成長する。誘電体１７３の存在に起因して、ステアリングゲートとフローティングゲートとの間の結合面積が減少することになるため、ステアリングゲートと基板との間で所望のレベルの電界絶縁部を設けるのに必要以上の深さとならないように、誘電体１７３の深さの制御が行われる。
しかし、図１２Ａと１２Ｂに例示する基本処理工程の別の改変例では、結合面積を増加することが可能である。図６Ｂに例示する段階に達した後、第１のポリシリコン層ストリップ１１１，１１３，１１５間の残りの誘電体膜の一部が除去され、図１２Ｂに示す減少した量１２７’が残される。次いで、その後形成されたステアリングゲートは、ｙ方向にフローティングゲートの周りの包み込みを行う。これは、フローティングゲート１１１，１１３，１１５の側部に沿った距離だけ下方へ延在する図１２Ｂのステアリングゲート８１’により示される。図１１の特徴なしでもこのような特徴を実現することは可能であるが、この特徴を一体に用いれば、ｙ方向に増加した結合（図１２Ｂ）によって、ｘ方向に減少した結合（図１１）が補償される。
ステアリングゲートとフローティングゲートとの間の結合面積を広くするための代替技術が図１３Ａと１３Ｂに示されている。図６Ａと６Ｂに示す段階に達した後、追加のポリシリコン層が表面１２９にわたって成膜され、次いで、パターンが形成されて、前に形成されたフローティングゲート１１１，１１３，１１５の頂部に、かつ、前に形成されたフローティングゲート１１１，１１３，１１５と接触して、追加のフローティングゲート部分１１１’，１１３’，１１５’が残される。追加のフローティングゲート部分は、基底を成すｘ方向のフローティングゲート（図１３Ａ）と同じ寸法を持つが、ｙ方向にいくぶん長くなる（図１３Ｂ）ことが望ましい。ステアリングゲート８１”と結合されたフローティングゲートの頂部面積を広くするのは、まさにこのより長い寸法である。さらに、これらステアリングゲートは、図１３Ｂに示すように、フローティングゲート間で下方へ延在することが可能であり、このような構成によって、追加のフローティングゲート部分の端面を貫通して追加結合部が得られる。図に示された構成では、ステアリングゲートも用いて、この追加結合部のないフローティングゲートよりもｙ方向に一体に近接して動く追加の隣接するフローティングゲート部分間に遮蔽部が設けられる。このようなＴ字形フローティングゲートを形成する一つの例示的な技術について以下説明する。
図３〜図９の処理工程と構造の別の改変例が、図１４と図１５に示されている。この図では、フローティングゲートの行間で基板表面において非常に浅いトレンチのエッチングが行われ、行間に成膜される酸化膜で充填されて、隣接する行間の電気的絶縁レベルが上昇する。図１４Ａと１４Ｂは、それぞれ、図４Ａと４Ｂに対応しているが、基板４５’の非常に浅いトレンチ１８１を追加した点で異なっている。これらは、図４Ａと４Ｂと関連して説明した第１のポリシリコン層のエッチングの延長部として最も簡単に形成される。基板４５’の表面１０１’の下方に５００〜１０００オングストロームの深さでトレンチ１８１をつくることが望ましい。図１５Ａと１５Ｂは、それぞれ、図９Ａと９Ｂに対応し、処理工程の後半段階におけるデバイス構造を示している。（ｙ方向にトレンチ１８１を横切る）ソース拡散層とドレイン拡散層に沿う導通に著しい影響を与えないように、（ｘ方向に細長く形成された）トレンチ１８１の深さを十分に浅く保つ。
図１０〜図１５と関連して説明した１以上の追加の特徴に基づいて、図３〜図９の基本処理工程と構造とを単独でまたは様々に組み合わせて改変してもよい。
第２の処理例
図１６〜図２２は、集積回路構成を例示する断面図を順次示す。これら断面図は図３〜図９と関連して前述した処理工程に対応する処理工程であるが、或るいくつかの点で、図３〜図９と関連して前述した処理工程とは異なる処理工程により回路構成を形成する多くの工程がこれら断面図に示されている。図１６〜図２２に例示する処理工程には、（図１０のものとは別様に形成される）狭いソースとドレイン打ち込みの利用と、基板間の厚い誘電体層と、（図１１と関連して説明した）選択ゲートと、（図１３Ｂにより全体として示されるような）“Ｔ字形”フローティングゲートと、選択ゲートとワードラインとの間で簡略な結合を行うための選択ゲートとワードラインとの間の２つの誘電体層とが含まれる。図３〜図９の対応する素子を表す図１６〜図２２で使用する参照番号は、図３〜図９の参照番号に２００を加えたものである。例えば、図３〜図９の基板には“４５”とラベルがつけられているのに対して、図１６〜図２２の半導体基板には“２４５”とラベルがつけられている。
図１６〜図１９には、図２のアレイの断面ＩＩ−ＩＩ（ｙ方向）を横断して見た図として、第２の例の予備的な処理工程のいくつかが示されている。例えば、約９０オングストロームの膜厚のトンネル酸化膜からなる薄膜層３０３が、基板表面３０１で成長する。具体例として、約１０００オングストロームの膜厚のポリシリコンからなる第１の層（Ｐ１）が層３０３にわたって成膜され、約１０００オングストロームの膜厚の窒化シリコンの層がその後ポリシリコン上にわたって成膜され、約１５００オングストロームの膜厚のシリコン酸化膜層が窒化膜層にわたって最後に成膜される。次いで、３層からなるこのスタックのエッチングが、酸化膜層（図示せず）の頂部に形成されるフォトレジストマスクを貫通して行われ、ｘ方向に延在した長さを有し、ｙ方向に隔置されるストリップを形成する。図１６は、メモリ領域内のこのような３つのストリップを横断して見た図であり、ポリシリコンストリップ３１１，３１３，３１５が、薄い酸化膜層３０１にわたって形成され、窒化膜層３０７と酸化膜層３０９とからなる同じような形状のストリップがポリシリコンの頂部に設けられる。ポリシリコンストリップ３１７がデバイスの周辺領域に示され、頂部の窒化膜層３０７と酸化膜層３０９の一部を有する細長く形成されたスタックにもポリシリコンストリップ３１７が示されている。
エッチングが完了し、このエッチングの実施に使用したフォトレジストマスクが除去された後、約１０００オングストロームの膜厚の酸化膜層３１０が、スタックされたストリップおよびこのストリップ間のスペースにわたって成膜される。次いで、別のフォトレジストエッチマスクが層３１０にわたって形成されて、アレイを完全に保護するが、周辺素子は露光されたまま放置される。次いで、マスクを貫通して露光される酸化膜層３１０の異方性エッチングが行われ、ポリシリコン層３１７を含むスタックの側部に沿ってスペーサ３２０を残すようにして、周辺領域からの酸化膜層３１０を除去する。次いで、周辺スタックの頂部の酸化膜と、スペーサ３２０と、マスクにより保護された酸化膜層３１０の残り部分とが、基板２４５のトレンチ３１９のエッチング用マスクとして一体に利用される。トレンチ３１９を、例えば、約３０００オングストロームの深さにつくることが可能であり、メモリセルアレイから周辺回路デバイスを隔離するために利用される。
図１７は、次の一連の処理工程を示す。構造は、例えば、この構造のトレンチ３１９と別の空洞とを充填する酸化膜からなる約７０００オングストロームの層で被覆され、他のすべての素子にわたって或る深さまで被覆される。次いで、この厚い酸化膜層は、好ましくはＣＭＰ処理により、下方にある窒化物ストリップ３０７の頂部まで除去されることによって、平面３２９が残される。これによって、あるボリュームの酸化膜３２７で充填されたトレンチ３１９が残され、次いで、このトレンチ３１９は、メモリ領域内のポリシリコンストリップと窒化物ストリップのスタックとの間も酸化膜で充填されて隔置される。
次の工程は、形成済みのデバイスの少なくともメモリセルアレイ領域から窒化物３０７を除去する工程である。次いで、図１８に示すように、第２のポリシリコン層３３０が、窒化物の除去により残された空隙の中へ成膜され、さらに、ポリシリコンストリップ３１１，３１３，３１５間に残っている厚い酸化膜にわたって成膜される。この第２のポリシリコン層（Ｐ１’で示す）は、第１のポリシリコン層（Ｐ１で示す）から形成されるストリップの頂部にある。これら２つのポリシリコン層は相互に接触して、単一のポリシリコン構造が効果的に形成される。この例の場合のように、このポリシリコンがドープされなかった形で成膜された場合、その構造は砒素イオン打ち込みに曝される。
図１９を参照しながら、次の一連の工程について説明する。約５５０オングストロームの厚さまで窒化シリコン層が、例えば、ポリシリコン層３３０にわたって成膜される。次いで、マスク（図示せず）が窒化膜層にわたって形成され、ｙ方向に配置されて、ポリシリコンストリップ３１１，３１３，３１５にわたって可能な限り近接して整合される窒化物からなるストリップを被覆する。次いで、このマスクを貫通する窒化膜層のエッチングにより、ストリップ３３２はｘ方向に細長く形成され、しかもｙ方向に隔置される。この窒化物エッチマスクは、すでに形成済みの構造との自己整合を行わないにもかかわらず、わずかな位置ずれにより問題が生じることはない。
使用される処理工程の分解能素子よりも狭いライン幅を用いてポリシリコン層３３０のエッチングを行うためのマスクとして利用するために、窒化物ストリップ３３２に沿ってスペーサ３３４が形成される。この例では、スペーサの形成は、約９００オングストロームの膜厚の窒化膜層の成膜により行われ、窒化膜層の異方性エッチングを行ってこの最後の層のほとんどを除去するが、スペーサ３３４は残される。次いで、スペーサ３３４間の細長く形成された開口部を貫通してポリシリコン層３３０のエッチングが行われる。図１９に示すように、ポリシリコンストリップ間の少量の厚い酸化物の除去も望ましい。
このエッチング処理後、細長く形成されたＰ１ポリシリコンストリップは、その縦方向でセグメントに分けられて、ステアリングゲートを形成する。この一連の処理工程が図２０と２１に示され、これら図は、いま説明した図１６〜図１９の断面図に対して垂直に、断面Ｉ−Ｉにおいて図２のアレイのｘ方向に切り取った断面図である。窒化物ストリップ３３２とスペーサ３３４（図１９）とがウェットエッチなどによりまず除去される。誘電体層３４８（図２０）が形成されるが、この誘電体層は、好ましくは、ポリシリコンストリップ（ＨＴＯ、高温酸化膜）上の５０オングストロームの成長した酸化膜と、１５０オングストロームの成膜された窒化膜と、２００オングストロームの成膜された酸化膜（ＴＥＯＳ）とからなるようなＯＮＯであることが望ましい。
次いで、基準素子３３１，３３３，３３５がこの誘電体層３４８にわたって形成され、図２０に示すように、これら基準素子は、ｙ方向に細長く形成され、ｘ方向に隔置される。これら基準素子は、それぞれ図７Ａの素子１３１，１３３，１３５に対応する。基準素子を形成するために、窒化膜層が誘電体層３４８にわたって、例えば、２５００オングストロームの深さまで成膜される。次いで、フォトレジストマスク（図示せず）が窒化膜層の頂部に形成され、フォトレジストマスクを貫通してこの窒化膜層のエッチングが行われ、基準素子ストリップ３３１，３３３，３３５が残される。この構造の他のいずかの素子と共にｘ方向にこれらストリップを整合する必要はない。
これらストリップの頂部からフォトレジスト材料を除去した後、スペーサ３３７，３３９，３４１，３４３がストリップに沿って形成される。この例では、このスペーサの形成は、ＢＰＳＧ酸化膜のＴＥＯＳ成膜により約１８００オングストロームの深さまで行われる。次いで、所望のスペーサを除く全てのスペーサが除去されるまでこの層の異方性エッチングが行われる。
次いで、基準素子３３１，３３３，３３５および隣接するスペーサ３３７，３３９，３４１，３４３は、隣接するスペーサ間の細長く形成されたスロット（細長い溝状の構造）を貫通するポリシリコンストリップと中間の厚い絶縁酸化膜のエッチング用マスクとして使用される。実行されたエッチング工程が図２０に示されている。ポリシリコンと厚い酸化膜とは、通常、異なるエッチング液を用いる異なるエッチング工程や、採用した処理工程で除去される。このエッチングの結果、ポリシリコンストリップと、これらストリップ間の厚い絶縁酸化膜とを貫通して延在するｙ方向に細長く形成されたスロットを備えた、等しい長さを有する個々のポリシリコンストリップセグメント３１５ａ，３１５ｂ，３１５ｃが得られる。
次の工程として、採用した処理工程の最小分解能素子よりも幾分狭い幅にｘ方向の基板ソースとドレイン打ち込み３４５，３４７の幅を制限するマスクとして誘電体層３５０（図２０）を形成する工程がある。好ましくは、約５００オングストロームの膜厚を有する層３５０をＴＥＯＳ誘電体から形成することが望ましい。この層はポリシリコンストリップセグメントの側壁に粘着し、側壁部分により、イオンの基板表面３０１への到達がブロックされるが、基板に達するためにこれらイオンが貫通して進む側壁部の間に１つのスペースが残される。これら打ち込みは、多数のポリシリコンストリップセグメントにｙ方向で連続している。
次に、層３５０は適切な処理工程により除去される。次いで、スペーサ３３７，３３９，３４１，３４３およびこれらスペーサの基底を成す誘電体３４８の部分が除去され、図２１に示すように、基準素子３３３が適切な位置に残される。次いで、誘電体層が構造一面に形成され、窒化物基準素子３３１，３３３，３３５のスロットと垂直方向の端面内で、露光されたポリシリコン表面に沿って延在するポリ間誘電体層３５１，３５３を配設する。この誘電体は、好ましくはＯＮＯであって、約１５０オングストロームの膜厚まで露光されたポリシリコンと窒化物表面上に成長し、成膜され、それに続いて、約７５オングストロームの窒化膜を成膜し、次いで、ＨＴＯにより約５０オングストロームの酸化膜を成膜する酸化膜層から形成されることが望ましい。初期の酸化膜の成長が、基板の打ち込み済みの領域３４５，３４７のすぐ上方の膜よりも厚くなり、それによって、その後の形成されるステアリングゲートと基板との間に所望の追加レベルの絶縁が施される。この例では、打ち込み領域の上方の層３５１，３５３の膜厚の合計は、一般に約３００オングストロームである。
次いで、この例では、ドープされたポリシリコン（Ｐ２）層が、約３０００オングストロームの深さまで構造一面に成膜され、次いで、このポリシリコン層も誘電体層３５１と３５３によりラインでつながれたスロットの中へ延在する。次いで、窒化物基準素子３３１，３３３，３３５の頂部のレベルまでエッチングやＣＭＰを行うことにより、ポリシリコンのこの頂面部が除去される。これによって、Ｐ２層は、図２１に示すように、ｙ方向に細長く形成され、ｘ方向に隔置された個々のステアリングゲート３８１，３８３に分離される。
第１のポリシリコン層ストリップセグメントの追加エッチ用マスクを設け、その後形成されるワードラインからステアリングゲートの追加の絶縁という結果を得ることを意図してそれぞれのドープされたポリシリコンステアリングゲート３８１，３８３にわたって酸化膜層３５２，３５４を成長させるように構造の酸化が行われる。次の工程は、露光された窒化物基準素子３３１，３３３，３３５を除去する工程である。次いで、ポリシリコンストリップセグメント３１５ａ，３１５ｂ，３１５ｃのエッチングが、ステアリングゲート間の結果として得られる開口部を貫通して行われ、図２２Ａに示すスロットが形成される。これらスロットの側壁と底部に沿って誘電体層３６１が形成される。次いで、典型的には、イオンが、これらスロットを貫通して基板２４５の中へ打ち込まれ、その結果生じる選択トランジスタのしきい値を調整する。その際、図２１に示す誘電体層３６１の一部として、スロットの底部で選択ゲート酸化膜の追加量を増やすことが可能である。
次の一連の工程は、ワードライン２９２，２９３，２９４（図２２Ａと２２Ｂ）を形成するものである。この具体例では、ドープされたポリシリコン層が約３０００オングストロームの膜厚まで成膜される。ポリシリコン層は形成したばかりのスロットの中へポリシリコンを下方へ延在させる。次いで、このポリシリコン層は、適正なフォトレジストマスクと個々のワードラインを形成するエッチング工程とを用いることにより分離される。ワードラインの各々のポリシリコンにより、図２２Ａのゲート３６３のような選択トランジスタゲートが設けられる。
選択ゲート３８１，３８３が、異なる時点に形成された２層の誘電体によりワードライン２９２から分離される、すなわち層３５１，３５３が後で形成される層３６１と組み合わされることを図２２Ａから注目すべきである。この増加した厚さの誘電体により、選択ゲートとワードラインとの間の結合量が都合よく減らされ、望ましい結果が得られる。
図２２Ｂは、直断面における図２２Ａと同じその処理ポイントにおける構造を示す。ポリシリコン層Ｐ２から形成されるステアリングゲートラインが、Ｐ１ポリシリコン層からつくられるＴ字形フローティングゲート間で下方へ延在することによって、非常に近接してｙ方向に分離される隣接するフローティングゲート間での過度の結合に対する遮蔽部が設けられることに留意すべきである。
第３の処理例
前述したアレイと同じタイプのアレイを形成するさらに別の方法が図２３〜図２６に例示され、各図の“Ａ”の部分は、図２のＩ−Ｉの断面で（Ｘ軸に沿って）切り取って形成されたメモリセルアレイの小部分を示す断面であり、各図の“Ｂ”の部分は、図２のＩＩ−ＩＩ断面で（Ｙ軸に沿って）切り取った断面である。この実施形態と前述した例の実施形態との間の主要な相違点として、窒化物基準素子（図７と８の１３１，１３３，１３５等、並びに図２０と２１の３３１，３３３，３３５）を用いて、第１と第２のエッチング工程中に整合されるマスクを形成する代わりに、個々のフローティングゲート内へのｘ方向の第１のポリシリコンストリップの分離が単一のマスキング工程中に行われるという点が挙げられる。この単一エッチングが行われた後、ｘ方向のフローティングゲート間で各スペース中に中間ポリシリコンが形成され、この中間ポリシリコンは、或る追加の処理工程が行われた後、１つおきのスペース中のステアリングゲートの一部となり、次いで、その後完成されるワードラインの一部として選択トランジスタ用のゲートとなる。図３〜図９の対応する素子を表わす図２３〜図２６で使用する参照番号は、図３〜図９の参照番号に４００を加えたものである。例えば、図３〜図９の基板には、“４５”とラベルをつけられているのに対して、図２３〜図２６の半導体基板には、“４４５”とラベルがつけられている。図２３〜図２６は、メモリアレイの一部だけを示すものではあるが、周辺回路素子を含むものであってもよく、また、第１の２つの具体例の各々に関連して記載したように、基板内の酸化物で充填されたトレンチによりアレイから分離されたものであってもよい。
図２３Ａと２３Ｂとを参照すると、いくつかの処理工程の結果が示されている。好ましくは、約９０オングストロームの膜厚まで酸化膜を成長させることにより、ゲート誘電体の薄膜層５０３が、基板４４５の表面５０１上に形成される。イオン打ち込み工程に続いてドープされた形か、ドープされない形かのいずれかの形で、約１０００オングストロームの厚さまで誘電体５０３上に第１のポリシリコン層５１５（Ｐ１）が成膜される。次いで、適正なフォトレジストマスク（図示せず）を貫通してこのポリシリコンのエッチングを行って、ｘ方向に細長く形成され、基板にわたってｙ方向に等しい間隔で隔置されたストリップ５１１，５１３，５１５に変えられる。次いで、厚い酸化膜層がアレイ全体にわたって成膜され、ポリシリコンストリップ間のスペースの充填と被覆とが行われる。次いで、これらポリシリコンストリップの頂部の酸化物は、エッチングやＣＭＰにより除去され、図６Ｂの表面１２９に非常に似たほぼ平滑な表面が得られる。
このような表面の取得後、ＯＮＯなどの誘電体のポリ間層４０１が表面にわたって形成される。次いで、第２のポリシリコン層４０２が誘電体層４０１にわたって成膜され、これに続いてポリシリコン４０２にわたる酸化膜層４０３の成膜と、酸化膜４０３にわたる窒化シリコン層４０４の成膜とが行われる。
次いで、別のフォトレジストマスク（図示せず）を貫通して、図２３Ａと２３Ｂに示す結果として得られるスタック層のエッチングが行われ、第１のポリシリコン（Ｐ１）ストリップが個々のフローティングゲートに分離され、次いで、層４０１〜４０４のスタックが分離され、ｙ方向に細長く形成され、しかもｘ方向に隔置されたストリップａ，ｂ，ｃ，ｄに変えられる。ストリップの幅と、ストリップ間のスペースとは、一般に、回路構成をつくるのに用いられる処理工程を用いて可能な最小図形寸法を有するように選択される。Ｐ１ストリップ間の誘電体のエッチングも同様に行われる。
次に、分離されたストリップの側壁と露光された基板表面上に薄い誘電体層４０６が形成されるが、この誘電体層４０６は、好ましくは前述した例の層３５１と、３５１の場合と同様に形成されるＯＮＯであることが望ましい。次いで、構造一面に厚い酸化膜層を成膜し、次いで、スペーサを残すように酸化膜の異方性エッチングを行うことによりスペーサ４０７が垂直面に形成される。スタック間の１つおきのスペースを通して基板の中へイオンを打ち込みむことによりソース領域とドレイン領域４４９，４５１がつくられ、残りのスペースは適切なマスク（図示せず）により被覆される。スペーサ４０７が形成された後打ち込みを行って、ｘ方向の非常に狭い打ち込みを得るようにすることが望ましいが、早めにこの狭い打ち込みを行うことも可能である。広範囲のアレイにスタック間のスペースが連続しているため、多数のメモリセル行にｙ方向で延在する連続したソースとドレインの打ち込みが形成される。
次の工程として、スペーサ４０７間の各スペースにポリシリコンを設けるために、領域全体にわたって第３のポリシリコン層を成膜する工程がある。このポリシリコンは、ｙ方向に細長く形成され、Ｐ２ポリシリコン層４０２の上方で、かつ窒化膜層４０４の下方に頂面を有するストリップ４１０，４１１，４１２（ＩＰ）が残るように、エッチングにより除去される。素子４１１を含むｘ方向に構造を横断する１つおきの中間ポリシリコンストリップから、その後形成されるワードラインの一部として選択トランジスタゲートが形成される。素子４１０と４１２のような他方の中間ポリシリコン素子は、その後ステアリングゲートの一部になる。
いくつかのさらに多くの処理工程の結果が、図２５Ａと２５Ｂに示されている。Ｐ２ポリシリコン層４０２までの下方への深さを有する酸化膜層と窒化膜層４０３，４０４の中にチャネルが形成される。これらチャネルはｙ方向に連続し、１つおきの中間ポリシリコン（ＩＰ）ストリップにわたってｘ方向に隔置されている。中間ポリシリコンストリップ４１１の周りの領域を避けながら、中間ポリシリコンストリップ４１０，４１２にわたってつくられたこのようなチャネルが図２５Ａに示されている。好ましくは、窒化膜層４０４の頂部のフォトレジストマスク（図示せず）を貫通するエッチングによりこれらチャネルを形成することが望ましい。これらチャネルは、Ｐ２’ポリシリコンストリップ４１５と４１６により占められた領域として、また、それぞれの被覆用酸化膜層４１７，４１８として図２５Ａに示されている。
チャネルが形成された後、別のポリシリコン層が表面にわたって成膜されて、これらチャネルを充填する。この成膜中、中間ポリシリコンストリップ４１１により占められるような中間スペースは適切なマスク（図示せず）により被覆される。このポリシリコン層の頂部は、エッチングやＣＭＰによって、下方にある窒化膜層４０４の頂部まで除去される。この除去によって、ポリシリコンストリップで充填されて形成されたチャネルが残る。次いで、このポリシリコンは酸化され、ポリシリコンストリップの頂部に保護誘電体層４１７，４１８を形成する。ポリシリコンストリップ４１１の表面のような露光された中間ポリシリコン表面は、好ましくは、この酸化工程中に別の一時マスクにより被覆されて、中間ポリシリコン表面の酸化が防止されることが望ましい。
Ｐ２’ストリップ４１５が、Ｐ２ポリシリコンストリップ４０２ａ，４０２ｂ並びに中間ポリシリコンストリップ４１０と接触することが図２５Ａから注目すべきである。これら素子は各々導電性を有し、物理的にも電気的にも一体に接続される。この組み合わせによって、図２６Ａで参照番号４２１により特定される、ｙ方向に細長く形成され、フローティングゲートの２つの隣接する列との容量結合を行うステアリングゲートが設けられ、この組み合わせにはフローティングゲート４５５，４５６が含まれる。類似の合成ステアリングゲート４２２が示されている。
次いで、アレイにわたって別のポリシリコン層を成膜し、このポリシリコン層のエッチングを行うことによりワードライン４９２〜４９５を形成するので、適切な位置にワードラインが残る。このエッチング工程の一部として、ストリップ４１１のようなフローティングゲート間の１つおきのスペース中の中間ポリシリコンストリップも分離されて、個々の選択トランジスタゲートがそのそれぞれのワードラインの下に配置されるので、機械的および電気的に接触した状態となる。したがって、分離された中間ポリシリコンゲート素子とワードラインとは、図２６Ａに示すストリップ４９２のようなストリップを一体に形成する。
１つおきの記憶素子
電荷記憶素子として導電性フローティングゲートを利用するタイプのセルと関連して、前述した発明の要約の欄で説明し、かつフラッシュＥＥＰＲＯＭメモリセルの具体例についても説明した。しかし、前述したセル構造と処理工程の多くは、フローティングゲートの代わりに記憶素子として電荷トラッピング誘電体を使用するメモリセルにも適用される。このような誘電体によってフローティングゲートを交換するとき、誘電体はコントロールゲートまたはステアリングゲートと基板との間に挟まれる。誘電体を分離して、フローティングゲートと同じ大きさと位置とを有する個々の素子にすることは可能ではあるが、このような誘電体により電荷が局所的にトラップされるので、そのような分離を行う必要は通常ない。この電荷トラッピング誘電体は、選択トランジスタにより占められる領域を除くアレイ全体にわたって延在することができる。１つの具体的な構成として、多数のセル行にｙ方向で連続して延在するストリップの形で誘電体を形成するが、ｘ方向に隣接する選択トランジスタ間に含まれる幅を個々に有している。誘電体の上方にあるポリシリコン層を分離して誘電体の細長く形成されたストリップに変える過程で、逆効果を生じることなく誘電体の別の領域を除去することもできるが、そのようなことをする必要はない。個々のセル内の誘電体の一部は、１つの導電性ゲートとセルのチャネル内の基板との間に挟まれているが、この誘電体は当該セル用の電荷記憶素子となる。
誘電体記憶素子メモリセルについては、チャンら著，“真の単一トランジスタ酸化膜・窒化膜・酸化膜ＥＥＰＲＯＭデバイス”，ＩＥＥＥ電子デバイスレターズ，ＥＤＬ−８巻，Ｎｏ．３，１９８７年３月，ｐ．９３〜９５ (Chan et al., "A True Single-Transistor Oxide-Nitride-Oxcide EEPROM Device," IEEE Electron Device Letters, Vol. EDL-8, No. 3, March 1987, pp. 93-95) （非特許文献１）、ノザキら著，“半導体ディスクアプリケーション用ＭＯＮＯＳメモリセルを備えた１ＭｂのＥＥＰＲＯＭ”，半導体素子回路のＩＥＥＥジャーナル，２６巻，Ｎｏ．４，１９９１年４月，ｐ．４９７〜５０１ (Nozaki et al., "A 1-Mb EEPROM with MONOS Memory Cell for Semiconductor Disk Application," IEEE Journal of Solid State Circuits, Vol. 26, No. 4, April 1991, pp. 497-501)（非特許文献２）、およびエイタンら著，“ＮＲＯＭ：新規のローカルトラッピング，２ビット不揮発性メモリセル”，ＩＥＥＥ電子デバイスレターズ，２１巻，Ｎｏ．１１，２０００年１１月，ｐ．５４３〜５４５ (Eitan et al., "NROM: A Novel Localized Trapping, 2-Bit Nonvolatile Memory Cell," IEEE Electron Device Letters, Vol. 21, No. 11, November 2000, pp. 543-545) （非特許文献３）、並びに、米国特許第５，８５１，８８１号（特許文献１５）に一般的に記載されている。これら論文と特許は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
利用可能な３つの固有の電荷トラッピング誘電体材料と構成とが存在する。第１は、基板上に成長した酸化物と、基板一面に成膜された窒化シリコン層とを有する２層の誘電体である（“ＯＮ”）。第２は、窒化シリコン層にわたって成長したシリコン酸化膜および／または成膜されたシリコン酸化膜からなる別の層を付加する３層構造（“ＯＮＯ”）である。第３の代替の選択肢は、ゲートと半導体基板表面との間に挟まれたシリコン・リッチ・シリコン二酸化物からなる単一層である。この後者の材料については、ディマリアら著，“ＳｉリッチＳｉＯ2 インジェクタとフローティング多結晶シリコン記憶層とを用いる電気的に変更可能なリードオンリメモリ”，Ｊ．応用物理５２（７），１９８１年７月，ｐ. ４８２５〜４８４２ (DiMaria et al., "Electrically-alterable read-only-memory using Si-rich SIO2 injectors and a floating polycrystalline silicon storage layer," J.Appl. Phys. 52(7), July 1981, pp. 4825-4842) （非特許文献４）、およびホリら著，“不揮発性メモリアプリケーション用Ｓｉ打ち込みゲートＳｉＯ2 絶縁体を備えたＭＯＳＦＥＴ”，ＩＥＤＭ９２，１９９２年４月，ｐ. ４６９〜４７２ (Hori et al., "MOSFET with Si-implanted Gate-SiO2 Insulator for Nonvolatile Memory Applications," IEDM 92, April 1992, pp.469-472) （非特許文献５）に記載されている。これら論文は、その全体が本願明細書で参照により援用されている。
以上、本発明の具体例と関連して本発明の様々な態様について説明してきたが、本発明が、添付の特許請求の範囲の最大の範囲内において権利が保護されるべきであることが理解できよう。
本発明の様々な態様を実現できるフラッシュＥＥＰＲＯＭシステムをブロック図の形で示す。 本発明を組み込んだデュアルフローティングゲートメモリセルアレイを示す例示の平面図である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する初期ステージにおいて、図２のメモリセルアレイにわたってＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する初期ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第１の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第１の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第２の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第２の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第３の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第３の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第４の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第４の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第５の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第５の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第６の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第１の実施形態に基づいて、アレイを形成する第６の後続ステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 図７Ａに示す工程と構造とに対する改変例を示す。 図８Ａに示す工程と構造とに対する改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面であり、図９Ａに示す工程と構造とに対する改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面であり、図９Ｂに示す工程と構造とに対する改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面であり、図９Ａに示す工程と構造とに対する別の改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面であり、図９Ｂに示す工程と構造とに対する別の改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面であり、図４Ａに示す工程と構造とに対する改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面であり、図４Ｂに示す工程と構造とに対する改変例を示す。 図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面であり、図９Ａに対応するその後のステージにおける図１４Ａの改変例をさらに示す。 図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面であり、図９Ｂに対応するその後のステージにおける図１４Ｂの改変例をさらに示す。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第１のステージにおける図２のメモリセルアレイの断面ＩＩ−ＩＩで切り取った断面図である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第２のステージにおける図２のメモリセルアレイの断面ＩＩ−ＩＩで切り取った断面図である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第３のステージにおける図２のメモリセルアレイの断面ＩＩ−ＩＩで切り取った断面図である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第４のステージにおける図２のメモリセルアレイの断面ＩＩ−ＩＩで切り取った断面図である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第５のステージにおける図２のメモリセルアレイの断面Ｉ−Ｉで切り取った断面図である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第６のステージにおける図２のメモリセルアレイの断面Ｉ−Ｉで切り取った断面図である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第７のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第２の実施形態に基づいて、アレイを形成する第７のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第１のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第１のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第２のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第２のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第３のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第３のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第４のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩ−Ｉの方向に切り取った断面である。 第３の実施形態に基づいて、アレイを形成する第４のステージにおいて、図２のメモリセルアレイをＩＩ−ＩＩの方向に切り取った断面である。

Claims (20)

  1. 不揮発性メモリ集積回路を形成する方法であって、
    基板表面に誘電体層を成長させる工程と、
    前記誘電体層上に導電性材料層を成膜する工程と、
    第１の方向に細長く形成され、第２の方向に隔置された導電性材料層ストリップを残す複数のスロットを形成するために前記導電性材料層の一部を除去する工程であって、前記第１の方向と第２の方向とが互いに直交するものである、除去する工程と、
    その後、前記導電性材料層ストリップ間の前記複数のスロットにわたって誘電体領域を成膜し、前記誘電体領域が前記導電性材料層ストリップ間の前記複数のスロット内へ延在する工程と、
    前記第１の導電性材料層ストリップを個々のフローティングゲートに分離し、それによって、フローティングゲートの行と列と基板間に挟まれた前記成長した誘電体層により前記基板表面から個々に分離される前記フローティングゲートの行と列とからなるアレイを形成する工程と、
    複数行のフローティングゲートに連続して前記第２の方向に細長く形成され、フローティングゲートの列間で前記第１の方向に規則的に隔置される導電性イオンストリップを前記基板表面内に形成する工程と、
    複数のイオン打ち込み領域に前記第１の方向に細長く形成され、前記フローティングゲートの行間で離間して前記第２の方向に隔置されるトレンチを形成する工程と、
    前記基板イオンストリップの長さに沿って前記基板イオンストリップの導電性を中断することのないように十分に浅いものである前記トレンチを誘電体材料で充填する工程と、
    前記第２の方向に細長く形成され、前記第１の方向に隔置されたステアリングゲートを前記フローティングゲートに近接して形成するステップであって、前記ステアリングゲートが少なくとも１つの誘電体層によって前記フローティングゲートから分離されて、形成する工程と、
    前記第１の方向に細長く形成され、前記第２の方向に隔置されたワードラインを前記フローティングゲートと前記ステアリングゲートに近接して形成するステップであって、前記ワードラインが少なくとも１つの誘電体層によって前記フローティングゲートと前記ステアリングゲートのそれぞれから分離されて、形成する工程と、
    を有する方法。
  2. 請求項１記載の方法において、
    前記フローティングゲートアレイに隣接して周辺回路を設け、前記アレイ回路と前記周辺回路との間に少なくとも１つのトレンチを形成し、前記少なくとも１つのトレンチを誘電体材料で充填し、それによって、前記アレイ回路と周辺回路との電気的絶縁を図る工程をさらに有し、前記少なくとも１つのトレンチを前記フローティングゲートの行間のトレンチよりも著しく深いものとする方法。
  3. 請求項１記載の方法において、
    前記フローティングゲートアレイに隣接して周辺回路を設け、前記アレイ回路と前記周辺回路との間に少なくとも１つのトレンチを形成し、前記少なくとも１つのトレンチを誘電体材料で充填し、それによって、前記アレイ回路と周辺回路との電気的絶縁を図る工程をさらに有する方法。
  4. 請求項１記載の方法において、
    前記導電性材料層を成膜する工程が、ポリシリコン材料を成膜する工程を含む方法。
  5. 基板上に不揮発性メモリアレイを形成する方法であって、
    基板表面に誘電体層を成長させる工程と、
    前記誘電体層上に第１のポリシリコン層を成膜する工程と、
    第１の方向に細長く形成され、第２の方向に隔置された第１のポリシリコン層ストリップを残す第１の複数のスロットを形成するために前記第１のポリシリコン層の一部を除去する工程であって、前記第１の方向と第２の方向とが互いに直交するものである、除去する工程と、
    その後、前記第１のポリシリコン層ストリップ間の前記第１の複数のスロットにわたって誘電体領域を成膜し、前記誘電体領域が前記第１のポリシリコン層ストリップ間の前記第１の複数のスロット内へ延在する工程と、
    前記第１のポリシリコン層ストリップに均一な表面を形成するために前記誘電体領域の頂部部分を除去し、それによって、前記第１のポリシリコン層ストリップ間で前記第１の方向に誘電体領域を残す工程と、
    その後、複数の前記第１のポリシリコン層ストリップに前記第２の方向に連続して細長く形成され、前記第１の方向に規則的に隔置された第２の複数のスロットを形成するパターンで前記第１のポリシリコン層ストリップの一部と誘電体領域とを除去し、それによって、前記第１のポリシリコン層ストリップを前記第１の方向に等しい長さを有する前記第２の複数のスロット間のセグメントに分離する工程と、
    残りの第１のポリシリコン層ストリップセグメントと酸化膜領域とが、前記第２の複数のスロットの外側の基板へのイオンの到達をブロックするマスクとしての働きをしながら、前記第２の複数のスロットを貫通して前記基板の中へイオンを打ち込み、それによって、前記基板の中へ打ち込まれ、複数の前記第１のポリシリコン層ストリップに前記第２の方向に細長く形成された連続するイオンストリップを形成する工程と、
    その後、前記均一な表面にわたって成膜された第２のポリシリコン層から、次いで、前記第２の複数のスロットの中へ、前記第２の方向に細長く形成され、前記第１の方向に隔置されるステアリングゲートを形成する工程と、
    隣接するステアリングゲート間の露光された前記第１のポリシリコン層ストリップセグメントの一部を除去することにより、個々の前記第１のポリシリコン層ストリップセグメントを２つのフローティングゲートに分離し、それによって、隣接するフローティングゲート間にスペースを形成する工程と、
    その後、前記ステアリングゲートにわたって成膜された第３のポリシリコン層から、次いで、隣接するフローティングゲート間のスペースの中へ、前記第２の方向に隔置され、前記第１の方向にフローティングゲートの個々の行に細長く形成されるワードラインを形成する工程と、
    を有する方法。
  6. 請求項５記載の方法において、
    前記ステアリングゲートを形成する工程が、前記第１のポリシリコン層の前記第２の複数のスロットと自己整合を行うことなく、前記成膜された第２のポリシリコン層にわたってエッチマスクを使用する工程を含む方法。
  7. 請求項５記載の方法において、
    前記ステアリングゲートを形成する工程が、前記第１のポリシリコン層内の前記第２の複数のスロットのうちの隣接するスロットの中間に位置する前記第１の方向に自己整合されたステアリングゲート間にスペースを備えた前記ステアリングゲートを配向する工程を含む方法。
  8. 請求項５記載の方法において、
    前記分離する工程が、
    前記第１のポリシリコン層ストリップと酸化膜領域の前記第２の方向に配向された長さを有するとともに前記第１の方向に規則的に隔置された長さを有する誘電マスクの第１の要素を形成する工程と、
    前記誘電マスクの第１の要素の両側に沿って前記誘電マスクの第２の要素として誘電体スペーサを形成し、前記イオンを打ち込むために貫通する前記第２の複数のスロットの幅を狭くする工程と、
    を含む方法。
  9. 請求項８記載の方法において、
    前記ステアリングゲートを形成する工程が、
    前記連続するイオンストリップを形成する工程の後で、前記誘電マスクの第１の要素を適切な位置に残しながら前記誘電体スペーサを除去する工程と、
    前記誘電マスクの第１の要素にわたるとともに前記誘電マスクの第１の要素間に前記第２のポリシリコン層を成膜する工程と、
    前記誘電マスクの第１の要素の上方に在る前記第２のポリシリコン層のいかなる部分をも除去する工程と、
    その後、前記誘電マスクの第１の要素を除去することにより、前記第１の方向に前記ステアリングゲート間のスペースを形成する工程と、
    を含む方法。
  10. 請求項９記載の方法において、
    前記スペースを形成する工程が、前記ステアリングゲート間のスペースを貫通して前記第１のポリシリコン層ストリップセグメントのエッチングを行う工程を含む方法。
  11. 請求項１０記載の方法において、
    前記ワードラインを形成する工程が、前記ステアリングゲート間のスペースを貫通して隣接するフローティングゲート間のスペースの中へ前記第３のポリシリコン層を成膜する工程を含む方法。
  12. 請求項５記載の方法において、
    前記誘電体領域を残す工程が、化学的機械的平坦化（ＣＭＰ）を利用する工程を含む方法。
  13. 請求項５記載の方法において、
    前記スペースを形成する工程の後で、スペースの一部を充填するように、隣接するフローティングゲート間に形成される前記スペースの中へ誘電体材料を成膜する工程をさらに有し、その後の前記ワードラインを形成する工程が、前記成膜された誘電体材料にわたる前記スペースの中へ前記第３のポリシリコン層を成膜する工程を含む方法。
  14. 請求項５記載の方法において、
    前記スペースを形成する工程の後で、隣接するフローティングゲート間のスペースと整合される凹部を前記基板内に形成する工程をさらに有し、その後の前記ワードラインを形成する工程が、隣接するフローティングゲート間で、かつ前記基板の凹部の中へ前記スペースを貫通して前記第３のポリシリコン層を成膜する工程を含む方法。
  15. 請求項１４記載の方法において、
    前記スペースを形成する工程が、隣接するステアリングゲート間の露光された前記第１のポリシリコン層ストリップセグメントの範囲を狭くするために、前記隣接するステアリングゲートの側壁にスペーサを形成する工程をさらに含む方法。
  16. 請求項５記載の方法において、
    前記ステアリングゲートを形成する工程の前に、前記第１のポリシリコン層ストリップの側部の頂部表面と頂部部分より下のレベルまで、前記第１のポリシリコン層ストリップ間の前記誘電体領域の厚さを減らす工程をさらに有し、前記ステアリングゲートを形成する工程のその後の工程が、前記第１のポリシリコン層ストリップの側部の頂部表面と側部部分との周りの前記ステアリングゲートを包み込む工程を含む方法。
  17. 請求項５記載の方法において、
    前記連続するイオンストリップを形成する工程の前に、前記第２の複数のスロットの側部に沿ってスペーサを形成することにより、前記第１の方向に前記第２の複数のスロットの幅を狭め、それによって、その後前記狭められた第２の複数のスロットを貫通して前記基板の中へイオンを打ち込む工程をさらに有する方法。
  18. 請求項１７記載の方法において、
    前記狭められた第２の複数のスロットを貫通して前記基板の中へイオンを打ち込む工程の後で、前記スペーサを除去する工程をさらに有する方法。
  19. 請求項５記載の方法において、
    前記第２の複数のスロットを形成する前に、前記均一な表面上に別のポリシリコン層を成膜し、前記別の層を前記第１のポリシリコン層ストリップの頂部に配置される別のストリップに分離する工程をさらに有し、前記別のストリップが、前記第１の方向に細長く形成され、前記第２の方向の前記第１のポリシリコン層ストリップ間の距離よりも短い距離だけ前記第２の方向に隔置され、かつ、前記第２の複数スロットを形成し、前記第１のポリシリコン層ストリップセグメントを分離するその後の処理工程中に、前記第１のポリシリコン層ストリップの一部となる方法。
  20. 基板上に不揮発性メモリアレイを形成する方法であって、
    基板表面に誘電体層を成長させる工程と、
    前記誘電体層上に第１のポリシリコン層を成膜する工程と、
    第１の方向に細長く形成され、第２の方向に隔置された第１のポリシリコン層ストリップを残す第１の複数のスロットを形成するために前記第１のポリシリコン層の一部を除去する工程であって、前記第１の方向と第２の方向とが互いに直交するものである、除去する工程と、
    その後、前記第１のポリシリコン層ストリップ間の前記第１の複数のスロットにわたって誘電体領域を成膜し、前記誘電体領域が前記第１のポリシリコン層ストリップ間の前記第１の複数のスロットの中へ延在する工程と、
    前記第１のポリシリコン層ストリップに均一な表面を形成するために前記誘電体領域の頂部部分を除去し、それによって、前記第１のポリシリコン層ストリップ間で前記第１の方向に誘電体領域を残す工程と、
    その後、複数の前記第１のポリシリコン層ストリップに前記第２の方向に連続して細長く形成され、前記第１の方向に規則的に隔置された第２の複数のスロットを形成するパターンで前記第１のポリシリコン層ストリップの一部と誘電体領域とを除去し、それによって、前記第１のポリシリコン層ストリップを個々のフローティングゲートに分離する工程と、
    前記第２の複数のスロットのうちの１つおきのスロットを貫通して前記基板の中へイオンを打ち込み、それによって、前記基板の中へ打ち込まれ、複数行のフローティングゲートに前記第２の方向に細長く形成された連続するイオンストリップを形成する工程と、
    その後、少なくとも隣接するフローティングゲート間の個々の前記第２の複数スロット内でポリシリコン要素を形成する工程と、
    前記均一な表面にわたって成膜され、前記第２の複数のスロットのうちの１つおきのスロット内で前記ポリシリコン要素と接触する別のポリシリコン層から、前記第２の方向に細長く形成され、前記第１の方向に隔置されたステアリングゲートを形成する工程と、
    前記ステアリングゲートにわたって成膜され、前記第２の複数のスロットのうちの１つおきのスロット以外の別のスロット内で前記ポリシリコン要素と接触する別のポリシリコン層から、前記第２の方向に隔置され、前記第１の方向にフローティングゲートの個々の行に細長く形成されるワードラインを形成する工程と、
    を有する方法。
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