JP4697699B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 44
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 57
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 52
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 43
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 23
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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Description
そこで、本発明は、管の内径をさらに細くしても内面の施工が可能なレーザー加工装置を提供することを目的とする。
図1は、本発明に係るレーザー加工装置の第1の実施の形態を示す構成図である。
図1において、100はレーザー加工装置であり、1はその照射ヘッドである。この照射ヘッド1はレーザー出射部11と、出射されたレーザー光を反射して集光するミラー部12とから構成される。
このように構成された照射ヘッド1を用いてレーザーピーニング等を行う場合、照射ヘッド1および図示しない管内面施工部を水等の液の中に漬けた状態で、光ファイバ2により図示しないレーザー光源からのレーザー光を導き、光ファイバ2の端部2aからレーザー光Laを出射させる。すると、出射されたレーザー光Laは非球面反射ミラー5の反射面5aにより反射され同時に集光されて施工部に照射される。以降、前述したレーザーピーニングにより管内面の応力を改善する。
図2は、本発明に係るレーザー加工装置の第2の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態は、前記第1の実施の形態の照射ヘッド1を改良したもので、照射ヘッド1の非球面反射ミラー5を軸線に対して回転させるミラー回転駆動装置を付加したものである。
図3は、本発明に係るレーザー加工装置の第3の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態は、第2の実施の形態を改良したもので、照射ヘッド1を光ファイバ収納筒4の軸方向に移動させることおよび非球面反射ミラー5を回転駆動させるということについては第2の実施の形態と共通するが、本実施の形態の場合非球面反射ミラー5を回転駆動させるための具体的構成が第2の実施の形態とは異なる。
図4は、本発明に係るレーザー加工装置の第4の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態は、第3の実施の形態を改良したもので、第3の実施の形態と異なるところはミラー収納筒61の側面に沿って設けていた液体噴射ノズル7を廃止し、替わりに液体注入口71から清浄用液体を注入し、光ファイバ収納筒2とミラー収納筒61との間に形成された環状の隙間を通して清浄用液体の流れを形成するように構成したものであり、その他は第3の実施の形態とほぼ同じである。
図5は、本発明に係るレーザー加工装置の第5の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態は、第4の実施の形態の改良に関するもので、第4の実施の形態のようにミラー収納筒61の上端部に設けた液体注入口71から清浄用液体を注入する替わりに、ミラー収納筒62の内部にプロペラを固定し、ミラー収納筒62の回転により、清浄用液体を非球面反射ミラー5の反射面5aに流すように構成したものである。
図6は、本発明に係るレーザー加工装置の第6の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態は第4の実施の形態の一部の構成を変更したもので、ミラー収納筒61の替わりに上下2分割したミラー収納筒63および64を設け、しかも下部ミラー収納筒64内部に反射ミラー5およびこの反射ミラー5の上部にプロペラ12を設けるようにしたものである。図中13は、前記下部ミラー収納筒64を回転自在に支持する軸受兼連結部である。
図7は、本発明に係るレーザー加工装置の第7の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態はこれまで述べてきた実施の形態とは異なり、図7で示すように、光ファイバ2および固定端子3を収容する光ファイバ収納筒41および非球面反射ミラー5を収容するミラー収納筒65を樹脂あるいは編組等の柔軟性に富む構造の金属で構成したものである。
図8は、本発明に係るレーザー加工装置の第8の実施の形態を示す構成図である。
本実施の形態は第4の実施の形態の改良に関するもので、照射ヘッド1外面のレーザー光出射位置の下部に位置決め機構17を設けるように構成したものである。
Claims (3)
- レーザー光をパルスレーザー光源から導いてレーザー光出射部から出射する光ファイバを収納する光ファイバ収納筒と、この光ファイバ収納筒の先端部に設置され、内部に前記レーザー光出射部から所定距離を隔てて配置した非球面形状の反射面を有する反射ミラーを収納し、かつ周面に反射レーザー光を照射点に照射するためのレーザー照射窓を設けたミラー収納筒とを有する照射ヘッドと、前記照射ヘッドを軸線方向に移動させる移動装置と、を備えたレーザー加工装置において、
前記光ファイバ収納筒よりも前記ミラー収納筒を大径に形成するとともに、前記レーザー光出射部と前記反射ミラーとが所定距離隔てて対峙する位置関係となるように、前記光ファイバ収納筒およびミラー収納筒を同心状に配置することによって2重管構造に構成し、かつ、前記ミラー収納筒を当該ミラー収納筒の上端部外周面に設けられた回転駆動装置により前記光ファイバ収納筒に対して回転可能にし、さらに前記光ファイバ収納筒とミラー収納筒との間の環状の隙間に照射ヘッドの上部に設けられた液体注入口から清浄用液体を注入し、前記反射ミラーの反射面からレーザー光照射点に向かって清浄用液体を流すことを特徴とするレーザー加工装置。 - 前記ミラー収納筒内周部のミラー反射面上にプロペラを固定し、さらにこのプロペラの上部のミラー収納筒に清浄用液体吸込み口を形成し、前記ミラー収納筒を前記回転駆動装置によって回転させることにより前記清浄用液体吸込み口からミラー収納筒内部に清浄用液体を吸い込み、ミラー反射面を経てレーザー光照射窓から吐出するようにしたことを特徴とする請求項1記載のレーザー加工装置。
- レーザー光をパルスレーザー光源から導いてレーザー光出射部から出射する光ファイバを収納する光ファイバ収納筒と、この光ファイバ収納筒の先端部に設置され、内部に前記レーザー光出射部から所定距離を隔てて配置した非球面形状の反射面を有する反射ミラーを収納し、かつ周面に反射レーザー光を照射点に照射するためのレーザー照射窓を設けたミラー収納筒とを有する照射ヘッドと、前記照射ヘッドを軸線方向に移動させる移動装置と、を備えたレーザー加工装置において、
前記光ファイバ収納筒よりも前記ミラー収納筒を大径に形成するとともに、前記レーザー光出射部と前記反射ミラーとが所定距離隔てて対峙する位置関係となるように、前記光ファイバ収納筒およびミラー収納筒を同心状に配置することによって2重管構造に構成し、
前記ミラー収納筒は上下に分割された上部ミラー収納部と下部ミラー収納部とからなり、前記下部ミラー収納部を回転可能に支持するとともに、その内周部に回転駆動装置としてのプロペラを設け、前記照射ヘッドの上部に設けられた液体注入口から前記光ファイバ収納筒およびミラー収納筒間の環状の隙間にミラー反射面に向けて清浄用液体を流すことにより、前記プロペラに回転駆動力を発生させ、当該プロペラの駆動力により前記ミラー収納筒を回転させることを特徴とするレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004132898A JP4697699B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004132898A JP4697699B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005313191A JP2005313191A (ja) | 2005-11-10 |
JP4697699B2 true JP4697699B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=35441164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004132898A Expired - Lifetime JP4697699B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4697699B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20170038676A (ko) | 2015-09-30 | 2017-04-07 | 가부시끼가이샤 도시바 | 레이저 가공 장치, 레이저 가공 방법 및 거리 측정 방법 |
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JP2005313191A (ja) | 2005-11-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061215 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
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