JP4658625B2 - 角速度センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
なお、金属ベ−ス3自体を台座7と一体化するように金属ベ−ス3を予め成型してあってもよい。なお、不要振動は、一対の音叉腕4(ab)が斜め方向に振動することによって生ずる垂直方向の振動成分(垂直成分)であり、この垂直成分による電荷がコリオリの力による電荷に対して雑音となる。
Claims (6)
- 音叉振動を励起する駆動電極及び角速度に応じて生じた電荷を検出するセンサ電極の設けられた音叉型水晶素子と、
前記音叉型水晶素子における音叉基部の一主面が固着されて予め一体化される独立の台座と、
前記音叉型水晶素子を密閉封入して前記音叉型水晶素子に一体化した前記台座が内底面に固着される凹部を有した表面実装用の容器本体と、
前記音叉型水晶素子を駆動する発振回路及び前記電荷に応じて角速度に対応する信号を生成する信号処理回路を有して前記容器の内部又は外部に配置されたICと
を備えた角速度センサであって、
前記台座は、水平部の両端から一対の垂直部が延出した平面視コ字状とし、前記一対の垂直部は、前記音叉基部の外側に位置し、両間隔が前記音叉基部幅より大きく、前記容器本体に収容する前に、この台座の前記水平部に前記音叉型水晶素子の前記音叉基部を固着することにより、前記台座に一体化された前記音叉型水晶素子の重心を前記音叉基部側に移行させ、前記音叉型水晶素子に一体化された台座を水平面上に置いたとき、前記音叉型水晶素子の先端側が垂れることなく水平方向を維持することができる重量及び又は形状を備えていること
を特徴とする角速度センサ。 - 前記容器本体は単一の空間部とする凹部を有して前記台座に一体化した前記音叉型水晶素子と前記ICとが収容され、前記凹部の内底面には前記ICが固着されて、前記台座は前記ICよりも高さが大きくて前記ICと同一面上の前記内底面に固着された請求項1の角速度センサ。
- 前記容器本体は二つの空間部とする凹部が設けられて断面をH状として、一方の凹部に前記音叉型水晶素子を密閉封入し、他方の凹部に前記ICを配置した請求項1の角速度センサ。
- 音叉振動を励起する駆動電極及び角速度に応じて生じた電荷を検出するセンサ電極の設けられた音叉型水晶素子と、
前記音叉型水晶素子における音叉基部の一主面が固着されて一体化される独立の台座と、
前記音叉型水晶素子を密閉封入して前記音叉型水晶素子に一体化した前記台座7が内底面に固着される凹部を有した表面実装用の容器本体と、
前記音叉型水晶素子を駆動する発振回路及び前記電荷に応じて角速度に対応する信号を生成する信号処理回路を有して前記容器の内部又は外部に配置されたICと
を備えた角速度センサの製造方法であって、
前記音叉基部を前記台座に固着して前記音叉型水晶素子に一体化する第1工程と、
前記第1工程後前記音叉型水晶素子の音叉腕を研削によって調整する第2工程と、
前記第2工程後に前記音叉型水晶素子に一体化した前記台座を前記容器本体の内底面に固着する第3工程と
を有することを特徴とする角速度センサの製造方法。 - 請求項4において、前記第2工程は前記音叉型水晶素子の不要振動を軽減する調整である角速度センサの製造方法。
- 請求項5において、前記台座として、前記容器本体に収容する前に、この台座の水平部に前記音叉型水晶素子の前記音叉基部を固着することにより、前記台座に一体化された前記音叉型水晶素子の重心を前記音叉基部側に移行させ、前記音叉型水晶素子に一体化された台座を水平面上に置いたとき、前記音叉型水晶素子の先端側が垂れることなく水平方向を維持することができる重量及び又は形状を備えた台座を用いることを特徴とする角速度センサの製造方法。
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