JP2011199577A - パッケージ、電子デバイス、および電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動片110を実装する領域とICチップ114を実装する領域とが水平方向に並べて配置されているベース基板12を備えるパッケージ11であって、ベース基板12の一方の面に、振動片110を実装するための振動片実装用パッド24と、振動片実装用パッド24と電気的に接続されている振動片接続用第1パッド36(振動片接続用第2パッド38)と、ベース基板12の他方の面に形成された実装用端子と電気的に接続されたVcパッド40(Vddパッド42)と、振動片接続用第1パッド36とVcパッド40とを電気的に接続する切断用パターン66(68)を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
これらの構成を有する電子デバイスでは、実装面積の小型化や、低背化といった目的に応じて、構成要素の配置形態を異ならせたものが種々開発されている。例えば、実装面積の小型化を主目的とした電子デバイスでは、圧電素子と半導体素子を垂直方向に配置する形態が採られることが多い。一方、低背化を主目的とした電子デバイスでは、圧電素子と半導体素子を水平方向に配置する形態が採られることが多い。このような電子デバイスでは、いずれの配置形態を採る場合であっても、振動片の実装、封止をして振動子を構成した後、この振動子の共振周波数やCI値などの電気的特性を検査し、必要に応じて調整が行われる。このような要求を満たすため、電子デバイスには、振動子固有の振動特性を検出するためのモニター用電極端子が設けられることとなる。こうしたモニター用電極端子は従来、電子デバイスを構成するパッケージの側面に配置されていたが、パッケージの側面に端子を配置することは、電子デバイスの小型化や低背化を妨げる要素となるとして、種々技術開発が進められている。
[適用例1]振動片が実装される領域と半導体素子が実装される領域とが水平方向に並べて配置されているベース基板を備えるパッケージであって、前記ベース基板の一方の面に、前記振動片を実装するための振動片実装用パッドと、前記振動片実装用パッドと電気的に接続されている第1半導体素子接続用パッドと、前記ベース基板の他方の面に形成された実装用端子と電気的に接続された第2半導体素子接続用パッドと、前記第1半導体素子接続用パッドと前記第2半導体素子接続用パッドとを電気的に接続する切断用パターンを有することを特徴とするパッケージ。
振動片110は、ATカット水晶振動片などの水晶振動片を用いることができる。なお振動片110は、この他にも、水晶素板のカット角や主振動の形態に違いを有する音叉型水晶振動片や、弾性表面波水晶振動片などでもよい。また振動片の材料としては水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどを用いてもよい。さらに水晶振動片の代わりに圧電振動片以外の各種振動片を用いることも可能であり、例えばシリコン基板を加工して形成されたMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動片等を用いた場合であっても、本実施形態に係る電子デバイス10を構成することができる。
まず、ベース基板12は、各基板形状に形成された第1の基板14、第2の基板16、および第3の基板18のうち、第2の基板16と第3の基板18に対して、金属パターンの形成を行う。金属パターンの形成は、スクリーン印刷などの手法により行われ、第2、第3の基板16,18は、第1の基板14と共に焼成されることにより一体化される(ベース基板製造工程:S100)。そして焼成後に、金属パターンに対してメッキ処理を施し、ニッケル層、および金層を形成する。
Claims (5)
- 振動片が実装される領域と半導体素子が実装される領域とが水平方向に並べて配置されているベース基板を備えるパッケージであって、
前記ベース基板の一方の面に、
前記振動片を実装するための振動片実装用パッドと、
前記振動片実装用パッドと電気的に接続されている第1半導体素子接続用パッドと、
前記ベース基板の他方の面に形成された実装用端子と電気的に接続された第2半導体素子接続用パッドと、
前記第1半導体素子接続用パッドと前記第2半導体素子接続用パッドとを電気的に接続する切断用パターンを有することを特徴とするパッケージ。 - 請求項1に記載のパッケージに、振動片と半導体素子を実装した電子デバイスであって、
前記切断用パターンが切断されていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項2に記載の電子デバイスであって、
ベース基板における前記切断用パターンの切断位置に凹陥部を有することを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1に記載のパッケージの振動片実装用パッドに対して振動片を実装する振動片実装工程と、
前記実装用端子を介して前記振動片の発振と共振周波数の調整を行う周波数調整工程と、
前記周波数調整工程後、前記切断用パターンを切断するパターン切断工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 請求項4に記載の電子デバイスの製造方法であって、
前記パターン切断工程では、前記パッケージにおけるベース基板の表面を凹陥させる切断痕を残すことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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