CN1811460B - 角速度传感器及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种易于固定音叉型石英元件及调整并且防止因废弃不合格品造成浪费，又易于小型化的角速度传感器及其制造方法。本发明特别涉及一种包括如下结构的角速度传感器，包括：音叉型石英元件，其上配置驱动电极及传感电极；独立台座，其上固定音叉基部的一个主面且预先一体化；容器主体，其密封上述音叉型石英元件，并且有供与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到其底面用的凹部；振荡电路，驱动上述音叉型石英元件；信号处理电路；上述容器主体内、外部配置IC，与上述台座一体化的上述音叉型石英元件的重心移向上述音叉基部，上述台座具有可以保持上述音叉型石英元件的水平方向的重量或/及形状。

Description

角速度传感器及其制造方法

技术领域

本发明涉及角速度传感器及其制造方法，特别涉及一种易于将角速度传感器的音叉型石英元件在台座上进行固定及微调整(修边)并且易于小型化的角速度传感器。

背景技术

角速度传感器(速率陀螺仪)，应用于诸如汽车的导航装置(通常所说的汽车导航)及照相机的防止振动装置，这种需求逐年扩大。近年来，角速度传感器逐渐应用于其他电子设备，因此要求其小型化。

图6A及图6B是这种角速度传感器的已知例说明图，其中图6A是除去角速度传感器盖体之后的角速度传感器的侧视图，图6B是音叉型石英元件的侧视图。

角速度传感器如图6A所示，音叉型石英元件固定在导出若干根引出线2的金属基板3上，被未图示的金属盖体覆盖密闭封。音叉型石英元件1，一对音叉腕4a、4b由音叉基部5处延伸出来，由主面和图6B所示晶体轴的Z轴直交的切削板构成。在此，以石英晶体的X轴为宽，以石英晶体的长为Y轴，以石英晶体的厚为Z轴。于是，将与X轴正负方向反向的两片石英板la、1b直接结合粘贴，构成音叉型石英元件1。

并且，音叉型石英元件1，一端音叉腕4a的一个主面上配置驱动(激励)电极D-(未图示)，另一个主面上配置监视电极M，在侧面配置传感电极S+、S-(未图示)。另一端音叉腕4b的一个主面上配置驱动(激励)电极D-，另一个主面上配置驱动电极D+(未图示)，在侧面配置传感电极S+(未图示)、S-。驱动电极D、传感电极S及监视电极M，通过未图示的引出电线，延伸到设置在音叉基部5的一个主面上的石英端子6处。于是，音叉基部5的底部(以下，称为音叉基部底部5a)的另一个主面，通过粘合剂固定在金属基板3的表面上的 台座7上。台座7维持一对音叉腕4a、4b离开金属基板3的表面，防止与金属基板3接触，维持正常的音叉振动。

如图6A所示，金属基板3的引出线2，起外部端子的作用，绝缘贯通基板3并在基板主体表面突出。于是，音叉型石英元件1的各个石英端子6，例如通过由金线8的引线结合法，实现与引出线2的电子连接。因此，驱动电极D和未图示的激励音叉振动的振荡电路连接，传感电极S和基于利用随被检测体的角速度的科里奥利力(CoriolisForce)检测出的电荷进行处理的信号处理电路连接。振荡电路及信号处理电路由集成IC构成，另行配置在密封封入音叉型石英元件1的金属容器外的未图示的一组基板上。

该已知例，首先，通过粘合剂将台座7固定在金属基板上，预先将两者一体化。其次，音叉型石英元件1的音叉基部底部5a固定在台座7上。再次，通过导线结合法，通过金线8，音叉基部5的石英端子6和金属基板3的引出线2连接。再次，一对音叉腕4a、4b中的任何一个，通过例如在一端的音叉腕4a的根部附近，如符号P所示，在音叉腕4a的外侧磨削棱线部R进行切削(微调整)。因此，减轻(除去)了后述的对音叉振动来说的无用振动。这种情况，例如利用未图示的棒状锉刀将音叉腕4a的棱线部R斜向磨削，进行微调整。最后，将金属基板3的未图示的盖体电阻焊接，密封封入音叉型石英元件1。

为将金属基板3自身和台座7一体化，可以将金属基板3预先成型。在此，无用振动是指因一对音叉腕4a、4b在斜向上振动而产生的垂直方向振动分量(垂直分量)，该垂直分量所生的电荷对科里奥利力电荷构成杂音。(参考日本特开2001-330440号公告)

然而，上述构成的已知的角速度传感器，因为基本上都是使用导出引出线2的金属基板3，所以存在不适用于如表面安装用小型化的角速度传感器的问题。此外，因为基板3是金属制，所以存在不能和将音叉型石英元件1以外的振荡回路及信号处理回路集成化的IC等一体容纳的问题。

已知，如图7A(平面图)及图7B(纵断面图)所示，研究了作为表面安装用的凹状断面的容器主体9，其由安装了作为台座7的第1段部7a的积层陶瓷板9a、9b及9c构成，容纳音叉型石英元件1或裸电极 的IC10，覆盖盖体11而密闭封入的情况。图7中的符号12表示第2段部，该第2段部内设有石英端子6a，通过金线8和音叉型石英元件1实现电子连接。此外，IC10，其电路功能面通过未图示的楔形超声波压焊等方法，固定在容器主体9的内底面9f上。

但是，该已知例中的延伸出一对音叉腕4a、4b的音叉型石英元件1的中心，至少比固定在台座7上的音叉基部底部5a，更靠近音叉型石英元件1的延伸出一对音叉腕4a、4b的头部(顶端)。因此，将音叉基部底部5a固定在容器主体9内的第1段部7a时，存在音叉型石英元件1的一对音叉腕4a、4b的头部倒下，在容器主体9的内底面9f或在内底面9f和IC10一体成型的情况下与IC10接触，难于进行固定操作的问题。

该已知例，例如音叉型石英元件1的音叉腕4a、4b与容器主体9的内底面9f或IC10接触的状态下，因音叉振动导致的振荡引发自身损伤成为不合格品。因此，包括音叉型角速度传感器，容器主体9或IC10容纳在容器主体9内的情况下，这些构件全部废弃，从生产效率来看产生浪费。

此外，该已知例，在有凹状断面的容器主体9的断部7a处固定音叉型石英元件1的音叉基部底部5a之后，必须用如棒状锉刀对一端的音叉腕4a的棱线部磨削，除去无用振荡进行微调整。因此，如图7B所示，在凹状断面的容器主体9和音叉腕4a、4b之间，必需设置供棒状锉刀进入的间隙d。因此，不得不使容器主体9的平面外形增大。此外，即便可以插入棒状锉刀，因为要对音叉腕的棱线部斜向磨削，存在难于调整的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种易于将音叉型石英元件在台座上进行固定、微调整及防止浪费提高生产效率，同时易于小型化的角速度传感器及其制造方法。

本发明涉及的角速度传感器，其包括：音叉型石英元件，其设有激励音叉振动的驱动电极，其设有检测出因被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极；台座，其上固定有上述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面并且预先一体化；用于表面安装的容器主体，其密闭封入上述音叉型石英元件，其有与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到内底面用的凹部；配置在上述容器的内部及外部的IC，具有驱动上述音叉型石英元件的振荡电路，以及对应上述电荷生成对应角速度的信号的信号处理电路；同时，与上述台座一体化的上述音叉型石英元件的重心向上述音叉基部偏移，上述台座具有维持上述音叉型石英元件的水平方向，避免其倒下的重量及形状；上述台座有厚的部分也有薄的部分呈台阶状，上述薄的部分位于上述音叉型石英元件的头部侧，在上述厚的部分固定上述音叉基部。此外，上述台座还可以具有从厚的部分开始厚度逐渐减小的倾斜部，上述倾斜部的厚度薄的部分位于上述音叉型石英元件的头部侧，在上述厚的部分固定上述音叉基部。因此，台座的重心靠近厚的部分，音叉基部底部固定在厚的部分上的情况下，音叉型石英元件的重心移向音叉基部。由此，作为音叉型石英元件的顶端不会倒下，可以保持石英元件水平。

此外，本发明涉及的角速度传感器制造方法，其包括：音叉型石英元件，其设有激励音叉振动的驱动电极，其设有检测出因被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极；台座，其上固定有上述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面并且预先一体化；用于表面安装的容器主体，其密闭封入上述音叉型石英元件，其有将与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到内底面用的凹部；配置在上述容器的内部及外部的IC，具有驱动上述音叉型石英元件的振荡电路，以及对应上述电荷，生成对应角速度的信号的信号处理电路；该角速度传感器制造方法包括：第1工序，即将上述音叉基部固定到上述台座上并将上述音叉型石英元件一体化；第2工序，即在第1工序之后磨削上述音叉型石英元件的音叉腕进行微调整；第3工序，即在第2工序之后将与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到上述容器主体的内底面。

本发明涉及的角速度传感器，因为包括台座的音叉型石英元件的重心向音叉基部偏移可以维持水平方向，在将与音叉基部一体化的台座固定到容器主体的内底面的情况下，可以防止音叉型石英元件的顶端接触容器主体的内底面。由此，易于将石英元件安装到台座上。于 是，音叉型石英元件因预先与台座一体化，音叉型石英元件容纳到容器主体内之前，可以进行磨削石英元件、除去无用振动的调整操作。由此，在保持石英元件及调整不良的情况下，因为只废弃包括台座的音叉型石英元件即可，当容器主体及IC配置在其内部时，防止了浪费这些元件。

此外，因为在将音叉型石英元件容纳到容器主体内之前，进行与台座一体化的音叉型石英元件的除去无用振动等的调整操作，所以可以不受操作空间的限制使用棒状锉刀进行石英元件的调整。由此，因为没有必要为石英元件的调整加大容器主体的平面外形，所以有利于角速度传感器的小型化。当然，因为使用用于表面安装的容器主体，可以按需要将IC容纳在容器主体内，基本上实现了小型化。

台座的形状，优选的是，其宽度略大于石英元件的音叉基部的宽度。这样的话，在容纳到容器主体内之前除去无用振动的工序中，将音叉型石英元件固定到调整电路内时，因为由台座间接的固定音叉型石英元件，所以可以防止音叉型石英元件的破损。

本发明涉及的角速度传感器制造方法，在第1工序及第2工序中调整固定在台座上一体化的音叉型石英元件之后，由第3工序完成将石英元件固定在容器主体的内底面。由此，如上所述，在该时刻可以排除音叉型石英元件的保持及调整时的不良品，减少了容器主体的废弃浪费。此外，可以不受操作空间的限制使用棒状锉刀进行石英元件的调整。由此，可以不增大容器主体的平面外形而促进角速度的小型化。

此外，本发明涉及的角速度传感器，具有作为上述容器主体的单一空间的凹部，该凹部容纳与上述台座一体化的上述音叉型石英元件及上述IC，上述凹部内底面固定有上述IC。在此，上述台座高于上述IC，并且和上述IC固定在同一个平面的上述内底面。因此，音叉型石英元件的一对音叉腕横置在IC上方，所以可以减小角速度传感器的平面外形。

并且，本发明涉及的角速度传感器，上述容器主体内配置具有两个空间的凹部，它的断面呈“H”形，一端的凹部内密闭封入上述的音叉型石英元件，另一端的凹部内配置上述IC。因此，音叉型石英元件 及IC单独容纳在不同的凹部内，可以防止受IC电极等其他元件释放出的气体的不良影响。例如，音叉型石英元件采用真空密封为宜，防止因为这些原因降低真空度。

并且，本发明涉及的角速度传感器，上述台座平视呈“コ”字状，其从水平部的两端各自延伸出一对垂直部的其中一个，上述一对垂直部间的间距大于上述音叉基部的宽度，位于上述音叉基部的外侧，上述水平部固定有上述音叉基部。因此，台座的重心靠近呈“コ”字状的水平部，音叉基部底部固定在水平部上的情况下，音叉型石英元件的重心移向音叉基部。由此，作为音叉型石英元件的头部的顶端不会倒下，可以保持石英元件水平。

本发明涉及的角速度传感器制造方法，上述第2工序进行减少上述音叉型石英元件的无用振动的调整。因此，可以得到除去了无用振动减少杂音成分的高灵敏度的角速度传感器。

此外，本发明涉及的角速度传感器制造方法，可以制造出一种其重量和形状，可以使一体化的上述音叉型石英元件的重心移向上述音叉基部并且能保持上述音叉型石英元件的水平方向的角速度传感器。

附图说明

图1是本发明实施例1及2涉及的角速度传感器的说明图。图1A是纵断面图，图1B是其除去盖体的平面图。

图2是与石英元件一体化的独立台座的侧视图，用来说明本发明涉及的角速度传感器的音叉型石英元件。

图3是说明本发明涉及的角速度传感器元件的其他实施例的纵断面图。

图4A及图4B是本发明涉及的与音叉型石英元件一体化的独立台座的其他实施例的纵断面图。

图5是本发明涉及的其他实施例，与独立台座一体化的音叉型石英元件的平面图。

图6A及图6B是用来说明角速度传感器的已知例，图6A是除角速度传感器盖体之外的角速度传感器的侧视图，图6B是音叉型石英元件的侧视图。

图7A及图7B是用来说明角速度传感器的已知例的侧视图，图7A是其纵断面图，图7B是其除去盖体的平面图。

具体实施方式

实施例1

图1是本发明实施例1及2涉及的角速度传感器的说明图。图1A是纵断面图，图1B是其除去盖体的平面图。

本发明涉及的角速度传感器，如图1A及图1B所示，包括：音叉型石英元件1；IC10；独立的台座(以下称“独立台座”)7；容器主体9；盖体11。音叉型石英元件1，如图6B所示，将其X轴正负方向反向的两片石英板1a、1b直接结合，一端音叉腕4a的一个主面上配置驱动电极D-(未图示)，另一个主面上配置监视电极M，在侧面配置传感电极S+、S-(未图示)。另一端音叉腕4b的一个主面上配置驱动电极D-，另一个主面上配置驱动电极D+(未图示)，在侧面配置传感电极S+(未图示)、S-。在音叉基部5的一个主面上有从激励(驱动)电极D及传感电极S延伸出的石英端子6。此外，IC10是将处理来自驱动音叉型石英元件1的振荡电路及传感电极的电荷的信号处理电路集成化而得到的。

并且，独立台座7，例如是由陶瓷板制成，平视呈“コ”字状，从水平部7a延伸出一对垂直部7b，本例中长方向上的重心范围(位置)在水平部7a。独立台座7的厚度超过IC10的高度，并且厚度均匀。此外，一对垂直部7b之间的间隙大于音叉基部5的宽度。并且，独立台座7，其一对垂直部7b位于音叉基部5的两外侧，其水平部7a固定在音叉基部5的另一个主面上，预先与音叉基部5一体化。

容器主体9，适用由积层陶瓷板9a、9b及9c构成的表面安装用品，其外表面有供安装端子用的单一空间的凹部9d。凹部9d的底面中央位置配置未图示的用于和IC10连接的IC连接端子，凹部9d内壁的一端两侧有供安装石英连接端子6的阶梯部12。IC连接端子(未图示)通过石英端子6及容器主体9的外表面上的安装端子和感应结构实现电子连接。并且，IC连接端子与设置在IC10电路功能面的IC端子，通过楔形超声波压焊，实现电和机械连接，在凹部9d的中央位置固定IC 10。

在凹部9d内壁的一对阶梯部12之间形成底面，在底面上固定与音叉型石英元件1一体化的独立台座7，从独立台座7的音叉基部5a延伸出的音叉腕4a、4b的顶端横置在IC10上方。设置在凹部内壁的阶梯部12处的石英连接端子6a和独立台座7的音叉基部5a的石英端子6，通过引线结合，通过金线8实现电子连接。盖体11，例如通过缝焊结合在容器主体9的上面，封闭容器主体的开口面。

这样的结构，通过将音叉基部5a固定到独立台座7上，包括独立台座7在内的音叉型石英元件1的重心移向音叉基部5a。在此，独立台座平视呈“コ”字状，其水平部7a处固定音叉基部5a底部，使包括独立台座7在内的音叉型石英元件1的重心位于音叉基部5a底部一侧。

由此，本发明涉及的角速度传感器，将与音叉型石英元件1一体化的独立台座7放置在水平面上的情况下，音叉型石英元件1保持水平方向头部(顶部侧)不会倒下，石英元件1可以保持在水平状态。因此，将与音叉型石英元件1一体化的独立台座7固定在容器主体9的底面9f的情况下，音叉型石英元件1的顶端不与IC10的表面接触，且保持水平，该固定操作极易进行。

此外，本发明涉及的角速度传感器，独立台座7预先保持音叉基部5a(一体化)，所以可以在音叉型石英元件1容纳到容器主体9内之前，进行频率调整及除去无用振动的调整。由此，在石英元件的保持及调整时发生不良情况的状态下，废弃音叉型石英元件1及独立台座7即可。基于这些原因，防止了废弃容器主体9及IC10的浪费。

此外，因为在容纳到容器主体9内之前，进行除去与独立台座7一体化的音叉型石英元件1的无用振动等调整，可以使用，在自由空间环境的调整用具，棒状锉刀等。由此，因为使用棒状锉刀对音叉型石英元件1进行调整，没有必要加大容器主体的平面外形，易于角速度传感器的小型化。

此外，本发明涉及的角速度传感器，独立台座7，因为平视呈“コ”字状的一对垂直部7b之间的间隙大于音叉基部5的宽度，即便音叉基部底面5a固定在独立台座7的水平部7a处，特别是作为振动部的一对音叉腕4a、4b不与独立台座7接触并保持分离状态。由此，可以维 持角速度传感器的音叉振动良好。

实施例2

以下，参照附图1、2，说明本发明涉及的角速度传感器元件的制造方法。

本发明涉及的角速度传感器元件的制造方法，包括：第1工序，第2工序，第3工序。首先，第1工序，作为未图示的Z切削板的石英薄板通过利用照相制版技术的蚀刻技术，得到若干个音叉型石英元件1。于是，个别化的各个音叉型石英元件1的音叉基部5a的底部固定在各个独立台座7上，实现一体化。

其次，第2工序，如图2所示，磨削音叉腕4a、4b的根部外侧的棱线部R的一部分P，除去无用振动，上述两音叉腕从与独立台座7一体化的音叉型石英元件1的音叉基部5a延伸出。于是，设置在音叉基部5a的另一主面(表面)上并且与振荡电路及传感电极连接的石英端子6，顶接着检测器的探头。

于是，在无用振动变成最小之前，一边监视检测器，一边用棒状锉刀磨削一端的音叉腕4a的棱线部R的一部分P。此时，即便利用该磨削也未能使无用振动达到规定的标准时，废弃不良的音叉型石英元件1和台座7。

最后，第3工序，如图1B所示，在形成于容器主体9一端两侧的阶梯部12之间的内底面上，利用粘合剂固定与音叉型石英元件1一体化的台座7。这种情况下，容器主体9的中央部分，例如通过冲击超声波热挤压，固定IC10。于是，设置在两个阶梯部12、12之间的石英连接端子6a，和设置在音叉基部5a处的石英端子6，通过引线结合，利用金线8实现电子连接。于是，容器主体9的上端开口面利用缝焊，覆盖盖体11进行密封。

本发明涉及的角速度传感器元件的制造方法，在进行将音叉型石英元件1容纳至容器主体9内的第3工序之前，将音叉型石英元件1固定在独立台座7上，进行除去无用振动等的微调整操作。由此，该时刻，可以排除因保持及调整不良而产生的不良品，避免了废弃容器主体9等的浪费。此外，可以在容器主体9外的自由空间内进行去除石英元件的无用振动的微调整，不受操作空间的限制，可以利用棒状 锉刀磨削进行调整。由此，没有必要加大容器主体的平面外形，可以促进角速度传感器的小型化。可以得到除去无用振动减少杂音成分的高灵敏度的角速度传感器。

上述本发明的第1实施例中，虽然容器主体9有具有形成单一空间的凹部，但是如图3(纵断面图)所示，纵断面呈“H”状的形成上下空间的两个凹部9d、9e的结构也可以。于是，一端凹部9d，如上所述，在容纳了与台座7一体化的音叉型石英元件1之后结合盖体11，密封封入。另一端的凹部9e容纳IC10并填充例如未图示的保护树脂。

如此一来，即使音叉型石英元件1的长度较短，因为可以上下重叠配置石英元件和IC10，平面外形较小也可以。这种情况下，容纳IC10的凹部9e内壁不是四个边，而是例如相对的一组边(两个边)也可以，容器主体9的凹部仅密闭封入音叉型石英元件1也可以。

此外，虽然独立台座7是厚度均匀平视呈“コ”字状因而重心移向水平部7a，但是如图4A及图4B所示的结构也可以。即，图4A，独立台座7是由厚的部分7c和薄的部分7d构成的，呈阶梯状。如图4B所示，有由厚的部分7c开始逐渐变薄的倾斜部7e。于是，将音叉型石英元件1的音叉基部5a的底部固定在厚的部分7c上，薄的部分7d或者倾斜部7e成为音叉型石英元件1的头部。

这样的独立台座7，其独立台座7的重心本身靠近厚的部分7c，同时，不和作为振动部的一对音叉腕4a、4b接触而是分离。由此，音叉基部5a的底部固定在厚的部分7c上的情况下，音叉型石英元件1的重心移向音叉基部5a，音叉型石英元件1的顶部不会倒下，可以保持水平状态，同时，没有阻碍音叉振动的因素。而且，独立台座7如上述的平视呈“コ”字状的情况下，因为可以不要厚的部分7c，所以可以减小厚度。

此外，这些情况下，以独立台座7全体采用同一材料为前体，例如如果厚的部分7c的质量(重量)大于薄的部分7d及倾斜部7e，可以减小薄的部分7d及倾斜部7e的长度。当然，如果采用相比音叉型石英元件1质量特别大的材料，仅厚的部分7c采用该材料即可，重要的是具有，在音叉型石英元件1与台座7一体化的情况下，重心移向音叉基部底面5a，能保持石英元件1的水平方向的形状和重量。

此外，在音叉基部5a的宽度等于一对音叉腕4a、4b的两外侧间的间距时，例如如图5所示的结构也可以。即，石英元件1由，第1宽部4d、第2宽部4c和4d、4c之间的窄部4e构成，上述第1宽部4d及第2宽部4c始自音叉腕4a、4b外侧，并且宽度大于一对音叉腕4a、4b的两外侧间间距的，可以将第2宽部4c作为音叉基部5a并固定在独立台座7上。这种情况下，源自一对音叉腕4a、4b的振动泄漏，由第1宽部4d及第2宽部4c和窄部4e衰减，使得振动特性良好。

于是，本发明的实施例1中虽然将音叉型石英元件1和IC10容纳在呈凹部的容器主体的单一空间内，但是仅将音叉型石英元件1容纳在单一空间内也可以。并且，虽然音叉型石英元件1是由两片石英片1a、1b构成，但是单板也可以，可以随时选择振荡(驱动)电极D、传感电极S及监视电极M的配置，重要的是，该装置音叉振动，能配置检测出角速度的电极。

Claims (12)

1.一种角速度传感器，其包括：

a)音叉型石英元件，其上配置激励音叉振动的驱动电极及检测出随被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极；

b)台座，其上固定所述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面且预先一体化；用于表面安装的容器主体，其密封所述音叉型石英元件，并且有供与所述音叉型石英元件一体化的所述台座固定到其内底面用的凹部；

c)一个IC，具有：

i)振荡电路，用于驱动所述音叉型石英元件；

ii)信号处理电路，其根据所述电荷，生成对应角速度的信号，

该IC配置在所述容器主体的内部或外部，其特征在于：所述的台座具有确保与所述台座一体化的所述音叉型石英元件的重心移向所述音叉基部侧、保持所述音叉型石英元件的水平方向的重量和/或形状；所述的台座被形成为台阶状，具有厚的部分和薄的部分，所述薄的部分位于所述音叉型石英元件的头部侧，并且所述音叉基部固定到所述厚的部分。

2.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述容器主体具有设有单一空间的凹部，所述凹部容纳与所述台座一体化的所述音叉型石英元件及所述IC，在所述凹部的内底面固定所述IC，所述台座高于所述IC并且和所述IC固定在同一个面的所述凹部的内底面。

3.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述容器主体具有设有两个空间的凹部，断面呈H状，一个凹部中密闭封入所述音叉型石英元件，另一个凹部配置所述IC。

4.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述台座平视呈“コ”字状，其从水平部的两端各自延伸出一对垂直部的其中一个，所述一对垂直部位于所述音叉基部的外侧，一对垂直部之间的间距大于所述音叉基部的宽度，并且在所述水平部固定所述音叉基部。

5.一种角速度传感器，其包括：

a)音叉型石英元件，其上配置激励音叉振动的驱动电极及检测出随被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极；

b)台座，其上固定所述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面且预先一体化；用于表面安装的容器主体，其密封所述音叉型石英元件，并且有供与所述音叉型石英元件一体化的所述台座固定到其内底面用的凹部；

c)一个IC，具有：

i)振荡电路，用于驱动所述音叉型石英元件；

ii)信号处理电路，其根据所述电荷，生成对应角速度的信号，

该IC配置在所述容器主体的内部或外部，其特征在于：所述的台座具有确保与所述台座一体化的所述音叉型石英元件的重心移向所述音叉基部侧、保持所述音叉型石英元件的水平方向的重量和/或形状；所述台座具有从厚的部分开始厚度逐渐减小的倾斜部，所述倾斜部的厚度薄的部分位于所述音叉型石英元件的头部侧，所述倾斜部的厚的部分固定所述音叉基部。

6.如权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，所述容器主体具有设有单一空间的凹部，所述凹部容纳与所述台座一体化的所述音叉型石英元件及所述IC，在所述凹部的内底面固定所述IC，所述台座高于所述IC并且和所述IC固定在同一个面的所述凹部的内底面。

7.如权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，所述容器主体具有设有两个空间的凹部，断面呈H状，一个凹部中密闭封入所述音叉型石英元件，另一个凹部配置所述IC。

8.如权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，所述台座平视呈“コ”字状，其从水平部的两端各自延伸出一对垂直部的其中一个，所述一对垂直部位于所述音叉基部的外侧，一对垂直部之间的间距大于所述音叉基部的宽度，并且在所述水平部固定所述音叉基部。

9.一种角速度传感器，其包括：

a)音叉型石英元件，其上配置激励音叉振动的驱动电极及检测出随被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极；

b)台座，其上固定所述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面且预先一体化；用于表面安装的容器主体，其密封所述音叉型石英元件，并且有供与所述音叉型石英元件一体化的所述台座固定到其内底面用的凹部；

c)一个IC，具有：

i)振荡电路，用于驱动所述音叉型石英元件；

ii)信号处理电路，其根据所述电荷，生成对应角速度的信号，

该IC配置在所述容器主体的内部或外部，其特征在于：所述的台座具有确保与所述台座一体化的所述音叉型石英元件的重心移向所述音叉基部侧、保持所述音叉型石英元件的水平方向的重量和/或形状；所述音叉基部由第1宽部及第2宽部形成，窄部介于第1宽部及第2宽部之间，第1宽部及第2宽部的宽度都超过一对音叉腕的外侧面间的距离。

10.如权利要求9所述的角速度传感器，其特征在于，所述容器主体具有设有单一空间的凹部，所述凹部容纳与所述台座一体化的所述音叉型石英元件及所述IC，在所述凹部的内底面固定所述IC，所述台座高于所述IC并且和所述IC固定在同一个面的所述凹部的内底面。

11.如权利要求9所述的角速度传感器，其特征在于，所述容器主体具有设有两个空间的凹部，断面呈H状，一个凹部中密闭封入所述音叉型石英元件，另一个凹部配置所述IC。

12.如权利要求9所述的角速度传感器，其特征在于，所述台座平视呈“コ”字状，其从水平部的两端各自延伸出一对垂直部的其中一个，所述一对垂直部位于所述音叉基部的外侧，一对垂直部之间的间距大于所述音叉基部的宽度，并且在所述水平部固定所述音叉基部。

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