JP4656440B2 - 基板位置検出装置及びその撮像手段位置調整方法 - Google Patents
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Description
まず,本発明を実施可能な装置についての実施形態を図面を参照しながら説明する。図1は各装置の設置例を説明するための斜視図であり,図2は図1に示す各装置の側面を示す図である。図1,図2に示すように,基板例えば半導体ウエハ(以下,単に「ウエハ」とも称する)Wを載置する回転可能な載置台112を備える載置台ユニット110の近傍には,図示しない搬送アームと載置台112との間でウエハWを受け渡しする基板受け渡し装置130が配設されるとともに,ウエハWの水平方向(XY方向)の位置を検出するための基板位置検出装置150が配設されている。この基板受け渡し装置130はウエハWを上下に移動可能であるとともに,ウエハWの水平方向(XY方向)にも移動可能に構成されている。このような基板受け渡し装置130の具体的構成の詳細については後述する。
ここで,基板受け渡し装置130の具体的な構成について図1,図3を参照しながら詳細に説明する。図3は,図1から基板受け渡し装置のみを取り出して図示したものである。なお,図3では基板受け渡し装置の構成を分りやすくするため,載置台112を省略して載置台112の支持軸114のみを2点鎖線で示している。
次に,基板位置検出装置150について図1,図4を参照しながら詳細に説明する。図4は基板位置検出装置の構成を説明するための斜視図である。図4では,基板位置検出装置の構成を説明し易くするために,図1に示す取付台156や載置台ユニット110を省略している。
ここで,上記マーク付ウエハWdの具体例について図面を参照しながら説明する。図7は,マーク付ウエハWdの構成例を示す図である。図7に示すようにマーク付ウエハWdは実際のウエハよりも大きな外径であり,実際のウエハの周縁部と同じ径の位置(ウエハWm)に複数のマークmA〜mDが形成されている。
次に,本実施形態にかかる撮像手段の位置調整方法について図面を参照しながら詳細に説明する。この撮像手段位置調整方法では,上述した基板受け渡し装置130,載置台ユニット110を用いて,基準座標(XY座標)上に設定された基板位置検出装置150の各撮像手段152A〜152Cの測定視野153A〜153Cの位置を調整する。図8は,本実施形態にかかる撮像手段の位置調整方法の流れを示す図である。
先ず,基準座標の軸方向校正工程(ステップS100)について図面を参照しながら説明する。軸方向校正工程は例えば図9に示すように行われる。図9に示すように,ステップS110にて基板受け渡し装置130の支持ピン132A〜132C上にセットしたマーク付ウエハWdを水平方向(XY方向)に移動させて,マーク付ウエハWdの各マークmA〜mCをそれぞれ各測定視野153A〜153Cに入れる。
次に,基準座標の原点位置校正工程(ステップS200)について図面を参照しながら説明する。原点位置校正工程は例えば図14に示すように行われる。図14に示すように,ステップS210にて載置台112上にセットしたマーク付ウエハWdを回転させて1つのマークmDを第1測定視野153Aに入れる。具体的には先ず載置台112上にマーク付ウエハWdを載置台112の回転中心とマーク付ウエハWdとの中心とが正確に一致するようにセットする。
112 載置台
113A〜113C 貫通孔
114 支持軸
115H 位置決め孔
130 基板受渡し装置
132A〜132C 支持ピン
134 基台
135 取付板
136 支持板
138 支持ピン駆動機構
138X X方向駆動手段
138Y Y方向駆動手段
138Z Z方向駆動手段
150 基板位置検出装置
152A〜152C 第1〜第3撮像手段
153A〜153C 第1〜第3測定視野(撮像領域)
154A〜154C 照明用光源
156 取付台
157,158 ブラケット
200 制御部
300 高さ調整治具
310H 貫通孔
312H 治具位置決めピン
314H 止めピン
H 位置決め孔
Wd マーク付ウエハ
mA〜mC 軸方向校正用マーク
mD 原点位置校正用マーク
W ウエハ
Claims (8)
- 撮像手段で基板の周縁を撮像した画像データに基づいて前記基板の位置を検出する基板位置検出装置において,前記基板を撮像する面における前記撮像手段の撮像領域の座標位置を調整する撮像手段位置調整方法であって,
前記基板を載置して回転可能な載置台と,前記載置台とは別個に設けられ前記載置台に対して前記基板の受渡しを行う支持ピンを水平方向にも駆動可能に構成した基板受渡し装置とを用い,
前記基板の周縁位置にマークが付けられたマーク付基板が前記基板受渡し装置の支持ピンで支持され,前記載置台よりも上側の所定高さに持上げられた状態で,前記マーク付基板のマークを前記撮像手段の撮像領域内に入れて,前記支持ピンを水平方向に駆動させることによって前記撮像領域内で前記マークを水平方向の一方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらマーク位置の方向に基づいて前記座標の軸方向を校正する工程と,
前記マーク付基板が高さ調整用治具で前記載置台上の前記所定高さに固定された状態で,前記マーク付基板のマークを前記撮像手段の撮像領域内に入れて,前記載置台を回転させることによって前記撮像領域内でマークを所定角度ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらマーク位置に基づいて算出される回転中心に基づいて前記座標の原点位置を校正する工程とにより,前記撮像手段の撮像領域の座標位置を調整することを特徴とする基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。 - 前記基板受渡し装置は,前記支持ピンをX方向とY方向に駆動可能に構成され,
前記座標の軸方向を校正する工程は,前記支持ピンをX方向に駆動させることによって前記撮像領域内で前記マークをX方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらのX方向に並ぶマーク位置の方向に前記座標のX軸方向を校正する工程と,
前記支持ピンをY方向に駆動させることによって前記撮像領域内で前記マークをY方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらのY方向に並ぶマーク位置の方向に前記座標のY軸方向を校正する工程とを有することを特徴とする請求項1に記載の基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。 - 前記撮像手段は,前記基板の周縁上の位置に離間して複数設けられ,
前記マーク付基板は,前記撮像手段の数と少なくとも同数のマークを有し,これらのマークはそれぞれ前記各撮像手段の撮像領域に同時に入る位置に形成されることを特徴とする請求項1に記載の基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。 - 前記撮像手段は,前記基板の周縁上の位置に離間して複数設けられ,
前記マーク付基板の1つのマークを前記座標の原点位置校正用マークとし,
前記座標の原点位置を校正する工程は,前記撮像手段ごとに順番に前記各撮像手段の撮像領域内でそれぞれ同じ原点位置校正用マークを所定角度回転させながら複数のマーク位置を検出し,そのマーク位置に基づいて前記各撮像手段の座標の原点を校正することを特徴とする請求項1に記載の基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。 - 前記マーク付基板は,少なくとも前記座標の軸方向校正用の複数のマークを有し,これらのマークのうちの1つをさらに前記座標の原点位置校正用のマークとして使用することを特徴とする請求項3に記載の基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。
- 前記高さ調整用治具は,複数の貫通孔を設け,その各貫通孔の下方にそれぞれ前記載置台に配置した複数のピンが挿入されて前記載置台に固定されるとともに,その各貫通孔の上方にそれぞれ前記マーク付基板を貫通する複数のピンが挿入されて前記マーク付基板を固定することを特徴とする請求項1に記載の基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。
- 撮像手段で基板の周縁を撮像した画像データに基づいて前記基板の位置を検出する基板位置検出装置であって,
前記基板を載置して回転可能な載置台と,前記載置台とは別個に設けられ前記載置台に対して前記基板の受渡しを行う支持ピンをXY方向にも駆動可能に構成した基板受渡し装置とを用い,
前記基板の周縁位置にマークが付けられたマーク付基板が前記基板受渡し装置の支持ピンで支持された状態で,前記支持ピンをX方向に駆動させることによって前記撮像手段の撮像領域内で前記マーク付基板のマークをX方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,前記支持ピンをY方向に駆動させることによって前記撮像手段の撮像領域内で前記マーク付基板のマークをY方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらマーク位置に基づいて前記座標のX軸方向及びY軸方向を校正する工程と,前記マーク付基板が前記載置台上に固定された状態で,前記載置台を回転させることによって前記撮像領域内でマークを所定角度ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらマーク位置に基づいて前記座標の原点を校正する工程とにより,前記基板を撮像する面における前記撮像手段の撮像領域の座標位置を調整したことを特徴とする基板位置検出装置。 - 撮像手段で基板の周縁を撮像した画像データに基づいて前記基板の位置を検出する基板位置検出装置において,前記基板を撮像する面における前記撮像手段の撮像領域の座標位置を調整する撮像手段位置調整方法であって,
前記基板を載置して回転可能な載置台と,前記載置台とは別個に設けられ前記載置台に対して前記基板の受渡しを行う支持ピンをXY方向にも駆動可能に構成した基板受渡し装置とを用い,
前記基板の周縁位置にマークが付けられたマーク付基板を前記基板受渡し装置の支持ピンで支持した状態で,前記支持ピンをX方向に駆動させることによって前記撮像手段の撮像領域内で前記マーク付基板のマークをX方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出するとともに,前記支持ピンをY方向に駆動させることによって前記撮像手段の撮像領域内で前記マーク付基板のマークをY方向に所定距離ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらマーク位置に基づいて前記座標のX軸方向及びY軸方向を校正する工程と,
前記マーク付基板を前記載置台上に固定した状態で,前記載置台を回転させることによって前記撮像領域内でマークを所定角度ずつ移動させながら複数のマーク位置を検出し,これらマーク位置に基づいて前記座標の原点を校正する工程とにより,前記撮像手段の撮像領域の座標位置を調整することを特徴とする基板位置検出装置の撮像手段位置調整方法。
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