JP2009088401A - ウェハ位置検出装置と、これを有する半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハを載置して回転する回転テーブル12と、前記回転テーブルに設けられた角度検出手段18と、前記回転テーブルの側面近傍と、前記回転テーブルの上方近傍に配置された測長ユニット23,24と、前記測長ユニットの計測データから前記ウェハの偏心量を、前記測長ユニットと前記角度検出手段との計測データから前記ウェハに形成されたノッチ角度を、算出する制御装置50とを有するウェハ位置検出装置1。
【選択図】図1
Description
H測長ユニット23の計測結果でウェハ11の中心が回転中心に対して(ΔX、ΔY)ずれている場合、制御装置50がウェハ移動機構40で回転テーブル12からウェハ11を取り外し、ウェハ11を保持して水平方向に補正量(ΔX、ΔY)分移動した後、回転テーブル12に再度載置することで偏心補正を行う。なお、ウェハ移動機構50が一軸方向にしか移動できないときには、X方向、Y方向にそれぞれ90度毎に移動することで補正を行うことができる。
V測長ユニット24の計測結果に基づき、制御装置50はウェハ11のノッチ角度を所定の角度(例えば、回転テーブルの基準角度の0度)にセットする。これは、計測結果から得られたノッチ角度と回転テーブル12の0度との角度差分(Δθ)を制御装置50が算出したのち、ウェハ移動機構40でウェハ11を回転テーブル12から取り外し、回転テーブル12を角度差分回転して所定角度位置にノッチをセットするように回転テーブル12上にウェハ11を載置することで達成できる。
10 ウェハ回転ステージ
11 ウェハ
12 回転テーブル
13 サーボモータ
14 カップリング
15 エアーベアリング
16 筐体
17 ピン
18 ロータリエンコーダ
20 センサステージ
21 直動ユニット
22 支持部材
23、24 測長ユニット
25 固定テーブル
30 除振テーブル
40 ウェハ移動機構
50 制御装置
90 張り合わせ部
100 半導体製造装置
150 位置決め装置
Claims (6)
- ウェハを載置して回転する回転テーブルと、
前記回転テーブルに設けられた角度検出手段と、
前記回転テーブルの側面近傍と、前記回転テーブルの上方近傍に配置された測長ユニットと、
前記測長ユニットの計測データから前記ウェハの偏心量を、前記測長ユニットと前記角度検出手段との計測データから前記ウェハに形成されたノッチ角度を、算出する制御装置と、
を有することを特徴とするウェハ位置検出装置。 - 前記制御装置は、前記回転テーブルの面近傍に配置された測長ユニットと、前記角度検出手段の計測データから、前記偏心量と前記ノッチ角度とを算出することを特徴とする請求項1に記載のウェハ位置検出装置。
- 前記制御装置は、前記回転テーブルの上方近傍に配置された測長ユニットと、前記角度検出手段の計測データから、前記ノッチ角度を算出することを特徴とする請求項1に記載のウェハ位置検出装置。
- 前記測長ユニットを前記回転テーブルの径方向に移動する直動ユニットを有し、
前記制御装置は、前記回転テーブルの上方近傍に配置された測長ユニットの径方向移動量データから前記偏心量を算出することを特徴とする請求項1に記載のウェハ位置検出装置。 - 前記ウェハを支持し、当該ウェハを上下方向、及び水平方向に移動可能なウェハ移動機構を更に有し、
前記制御装置は、前記偏心量と前記ノッチ角度の算出結果に基づき、前記ウェハ移動機構を介して、前記ウェハの前記偏心量を補正し、前記ウェハの前記ノッチ角度を所定の角度に位置決めすることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のウェハ位置検出装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のウェハ位置検出装置を有することを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007258962A JP2009088401A (ja) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | ウェハ位置検出装置と、これを有する半導体製造装置 |
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Family Applications (1)
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-
2007
- 2007-10-02 JP JP2007258962A patent/JP2009088401A/ja active Pending
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