JP2009129944A - アライナ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アライナ装置10は、エッジセンサ22、変位センサ24、および制御部20を備える。エッジセンサ22は、ウェハ100のエッジ位置を検出する。変位センサ24は、真空チャック12とエッジセンサ22との間に配置され、ウェハ100までの距離を測定するように構成される。制御部20は、変位センサ24の検出結果に基づいて、ウェハ100の断面形状を表す近似式を算出し、算出した近似式の長さに基づいてウェハ100のエッジ位置を算出するように構成される。
【選択図】図1
Description
z=ay^2+by+c
で近似する。
z(0)=0、dz/dy(0)=0
である。
b=c=0となり、
z=ay^2 となる。
z1=ay1^2 から
a=z1/(y1^2)
と求まる。
12−真空チャック
20−制御部
22−エッジセンサ
24−変位センサ
Claims (3)
- 回転可能なチャックによりウェハを回転させつつエッジ位置を測定し、前記ウェハの位置合わせに必要なデータを取得するように構成されたアライナ装置であって、
前記ウェハのエッジ位置を検出するエッジ検出手段と、
回転チャックと前記エッジ検出手段との間に配置され、前記ウェハまでの距離を測定するように構成された変位検出手段と、
前記変位検出手段の検出結果に基づいて、前記ウェハの断面形状を表す近似式を算出し、算出した近似式の長さに基づいて前記ウェハのエッジ位置を算出するように構成されたエッジ位置算出手段と
を備えたアライナ装置。 - 前記近似式が2次式であることを特徴とする請求項1に記載のアライナ装置。
- 変位検出手段が光学変位センサまたは超音波センサである請求項1または2に記載のアライナ装置。
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JP2007300011A JP2009129944A (ja) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | アライナ装置 |
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-
2007
- 2007-11-20 JP JP2007300011A patent/JP2009129944A/ja active Pending
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