JP4583703B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体記憶装置に関し、より特定的には、低い電源電圧で駆動するシステムLSIに搭載される半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
データ処理分野などにおいて、高速かつ低消費電力でデータを処理するために、A/D変換回路等のアナログ処理回路などのロジックとDRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)などのメモリ装置とを同一の半導体チップに集積化したシステムLSI(大規模集積回路)と呼ばれる回路装置が広く用いられている。
【0003】
このシステムLSIにおいては、近年、低電圧化が進んでおり、これに伴なって上記の混載DRAMにおいても電源電圧の低電圧化が要求されている。
【0004】
しかしながら、混載DRAMにおいて、電源電圧の低電圧化と要求される高速性能との両立を阻むものとして、センスアンプのセンス動作がある。
【0005】
センスアンプとは、同じ数のメモリセルを接続したビット線対に接続された差動アンプであり、選択されたメモリセルからビット線対の一方に現われた微小信号を、参照電圧を用いて対線間の差動電圧だけを増幅して極性弁別を行なうものである。
【0006】
ここで、参照電圧の発生方法には、ビット線のプリチャージ方式によって異なり、ビット線のプリチャージ方式には、Vccプリチャージ方式と1/2Vccプリチャージ方式とがある。
【0007】
Vccプリチャージ方式とは、ビット線のプリチャージ電圧をデータ線の取りうる最大の電圧である電源電圧Vccに設定するものである。なお、この方式では、2値信号電圧の中間値を発生させるために参照電圧発生回路が必要となる。
なぜなら、Vcc電圧が記憶されているメモリセルを読み出した場合、セルの記憶ノードとビット線との間には電位差がないため、ビット線には電圧変化がなく、したがって対線間には電圧差が現われないためである。
【0008】
一方、1/2Vccプリチャージ方式とは、ビット線のプリチャージ電圧をビット線の最大である電源電圧Vccと最小である接地電位Vssの中間に設定するものである。なお、1/2Vccを基準として、2値情報に対応した信号電圧が現われることから、参照電圧発生回路は不用で、参照電圧は1/2Vccに等しい。
【0009】
従来のDRAMにおけるセンスアンプにおいては、Vccプリチャージ方式が主流とされてきたが、雑音耐性、低電力特性および広い電圧マージンなどに優れていることを理由として、1/2Vccプリチャージ方式へと移行してきた。
【0010】
しかしながら、この1/2Vccプリチャージ方式において、電源電圧の低電圧化が進むにつれて、高速動作の点で不具合が発生してきた。
【0011】
すなわち、1/2Vccプリチャージ方式では、センスアンプ内のトランジスタにとって、センス開始時の動作点が、Vsb=1/2Vccのもと、Vgs=1/2Vcc+|ビット対線に現われた微小電位差|となるため、Vccの低電圧化が進むとVgsがトランジスタの閾値電圧に近づくため十分にトランジスタをオンさせることができず、いわゆるセンスアンプにおけるセンスの不感帯領域に入ることとなる。これによって、センスアンプは、高速でセンスすることができず、サイクルタイムの高速化の実現が困難となるという問題があった。
【0012】
そこで、低電圧化が求められる現在の混載DRAMにおいては、センスアンプの高速動作に重点をおき、再びVccプリチャージ方式が採用されている。
【0013】
これは、Vccプリチャージ方式では、センスアンプ内のトランジスタにとって、センス開始時の動作点が、Vgs=Vcc+|ビット対線に現れた微小電位差|に緩和されることから、Vccの低下においても上述のセンスの不感帯領域に入ることなく、高速にセンスすることができるためである。
【0014】
なお、同様の理由から、ビット線対のプリチャージ電圧を接地電圧Vss(=SGND)とするVssプリチャージ方式も採用されている。
【0015】
ここで、Vccプリチャージ方式およびVssプリチャージ方式は、上述のように、ビット対線のプリチャージ電圧を参照電圧とすることができないことから、参照電圧発生回路が必要とされる。
【0016】
そこで、従来から、VccおよびVssプリチャージ方式においては、メモリセルと構造が類似で、メモリセルのキャパシタの半分の容量値を持つキャパシタを含むダミーセルをメモリアレイ内に配置し、ダミーセルがメモリセルと同時に選択されたときにビット対線に出力する、メモリセルの2値情報の中間値となる読出電圧を参照電圧とする方法が採られてきた。
【0017】
また、この参照電圧の発生方法に関しては、メモリアレイ内に新たにダミーワード線を配設し、該ダミーワード線がキャパシタを介してビット線対を構成する相補のビット線に接続される構成とし、外部アドレスに基づいてメモリセルが選択されると、ダミーワード線も選択状態に駆動して、容量結合によって相補のビット線の電位に正確にメモリセルの2値情報の中間値に参照電圧を発生させるという方法なども採られてきた(例えば、特許文献1および非特許文献1参照)。
【0018】
【特許文献1】
特開昭63−282994号公報(第21頁−第26頁、第1図)
【0019】
【非特許文献1】
Shozo Saito, et al. "A 1Mb CMOS DRAM with Fast Page and Static Column Modes", IEEE Int. Solid State Circuits Conf. Digest of Technical Papers, pp.252-253, 1985.
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者に示すダミーセルをメモリアレイ内に配置する方法は、メモリセルがスタックキャパシタ型、トレンチキャパシタ型などの3次元構造キャパシタを採用して微細化されるにつれて、セルキャパシタの半分の容量値を持つダミーセルをメモリセルアレイの一部に形成することがプロセス的に難しくなり、参照電圧を精度良く発生させることが困難となってきている。
【0021】
また、後者に示すダミーワード線とビット線との間に接続されたキャパシタの容量結合によってビット線に参照電圧を発生させる方法は、キャパシタの容量が小さいためにビット線に現われる電位が小さくなり、十分なセンスマージンを確保できないこと、また高集積化されたメモリアレイにおいては、ダミーワード線に並列接続されるキャパシタの容量が増加して、ダミーワード線を活性状態としたときに各ビット線に現われる電位の発生に時間差が生じること、および製造プロセスに起因するキャパシタ間での特性ばらつき等の不具合が発生しうる。
【0022】
したがって、以上に示すように、従来の1/2Vccプリチャージ方式およびVcc(またはVss)プリチャージ方式では、低い電源電圧下においては、センスアンプにおいてセンス動作を高速かつ正常に行なうことができないという問題があり、低電圧化を困難なものとしていた。
【0023】
それゆえに、この発明の目的は、電源電圧の低電圧化が進んでも十分な動作マージンを確保し、高速かつ安定的にセンス動作を実現することが可能な半導体記憶装置を提供することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体記憶装置においては、行列状に配列される複数の正規メモリセルと、正規メモリセルの列に対応して配置され、各々に対応の列の正規メモリセルが接続する複数の第1のビット線と、正規メモリセルの列に対応して配置され、前記複数の第1のビット線のそれぞれと互いに相補の複数の第2のビット線と、各正規メモリセルの行に対応して配置され、各々に対応の行の正規メモリセルが接続する複数の正規ワード線と、複数の正規ワード線のいずれかの正規ワード線が選択される以前において、複数の第1のビット線および複数の第2のビット線のそれぞれとの間で同量の電荷の授受を行なって参照電圧を発生する参照電圧発生回路と、参照電圧に基づいて第1のビット線と第2のビット線との電位差を差動増幅するセンスアンプとを備えたものである。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
【0026】
[実施の形態1]
図1は、この発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置におけるメモリアレイの構成を概略的に示す図である。
【0027】
なお、以下に示す本実施の形態1の半導体記憶装置における構成は、すべてVssプリチャージ方式を採用したときの構成例である。
【0028】
図1を参照して、メモリアレイにおいては、それぞれが1ビットのデータを記憶する複数の正規メモリセルMCが行列状に配列される。正規メモリセルMCの各行に対応してワード線WL0〜WLn(nは自然数)が配設され、正規メモリセルMCの列のそれぞれに対応して、ビット線対BL0,ZBL0〜BL4,ZBL4...(以下、省略)が配設される。なお、本実施の形態のメモリアレイは、いわゆるハーフピッチセル配置構造で構成されるものとする。
【0029】
同図に示すように、ハーフピッチセル配置構造では、2本のワード線WLと、1本のビット線BLまたはZBLとの交差部に周期的に正規メモリセルMCが配置される。より詳しく説明すると、隣接するビット線BLとビット線ZBLとがビット線対を構成しており、ビット線BLと、ワード線WL4m(mは自然数)およびWL4m+1との交差部に正規メモリセルMCが配置される。ビット線ZBLと、ワード線WL4m+2およびWL4m+3との交差部に正規メモリセルMCが配置される。
【0030】
さらに、メモリアレイにおいては、ビット線対BL0,ZBL0〜BL4,ZBL4...のそれぞれに電荷を注入して参照電圧を発生する参照電圧発生回路としてのダミーセル0a〜4a...およびダミーセル0b〜4b...からなるのダミーセルが配設される。以下においては、ダミーセル0a〜4a...を総称する場合は、単にダミーセルaとも称する。また、ダミーセル0b〜4b...を総称する場合は、単にダミーセルbとも称する。
【0031】
例えば、1組のビット線対BL1,ZBL1において、ビット線BL1には、ダミーワード線a(Dmy_WLa)とダミープリチャージ線a(Prv_WLa)とによって制御されるダミーセル1aが接続される。また、ビット線ZBL1には、ダミーワード線b(Dmy_WLb)とダミープリチャージ線b(Prv_WLb)とによって制御されるダミーセル1bが接続される。
【0032】
このように、各ビット線対には、ダミーセルaおよびダミーセルbが1組となって接続される。
【0033】
なお、ダミーセルaおよびダミーセルbは、製造工程が複雑化することを回避するため、その基本的な構造およびレイアウトは、正規メモリセルMCと同じとし、パターンの規則性を統一した構成を採用している。
【0034】
したがって、図1に示すように、ダミーセルaおよびダミーセルbは、正規メモリセルMCと同様に、情報を記憶するストレージノードと基準電圧を受けるセルプレート電極とを結合するためのストレージノードコンタクト(SC)と、ダミーセル内のアクセストランジスタをビット線に結合するためのビット線コンタクト(BC)とを含む。
【0035】
さらに、ダミーセルaおよびダミーセルbは、これらのコンタクトに加えて、第3コンタクト(Third Contact:3rdCON)を備える点で正規メモリセルMCと異なる。Vssプリチャージ方式採用時においては、この第3コンタクトは、後述するように、ダミーセルa,bにおいて、ともに、半導体基板表面上に形成されたn型拡散層とVccs電源線とを接続する働きをする。
【0036】
また、各ビット線対BL,ZBLに対応して、データ読出およびデータ書込を実行するためのセンスアンプS/A0,S/A1,S/A2...が配置される。以下においては、これらのセンスアンプを総称する場合には、符号S/Aを用いて表記することとする。
【0037】
データ書込時において、選択メモリセルに対応するセンスアンプS/Aは、対応するビット線対を構成する相補のビット線のそれぞれに対して、相補の電圧をそれぞれ供給する。一方、データ読出時において、選択メモリセルに対応するセンスアンプは、対応する相補のビット線のそれぞれに読出される電圧の差を増幅する。
【0038】
このような構成からなる半導体記憶装置において、後述するように、データ書込およびデータ読出サイクルの最初に実行される正規メモリセルのデータ読出のタイミングの直前のタイミングで、ダミーセルaおよびダミーセルbの読出が行なわれる。これにより、ビット線対を構成する相補のビット線は、それぞれプリチャージ電位であるVssレベルからダミーセルa,bの読出し電位の分だけシフトすることとなる。
【0039】
図2は、図1に示すダミーセルaの構成の一例を示す図である。なお、ダミーセルaとダミーセルbとは、同一の構成を有しており、同図に示すダミーワード線Dmy_WLa、ダミープリチャージ線Prv_WLaおよびビット線BLの表示をそれぞれ括弧書きに示すDmy_WLb,Prv_WLb,ZBLに読み替えることにより、同様に説明することができる。
【0040】
図2を参照して、ダミーセルaは、ビット線BLと電荷を蓄積するためのストレージノードとの間に接続され、かつ、そのゲートがダミーワード線Dmy_WLaに接続されるアクセストランジスタ1と、ストレージノードとVccs電源線との間に接続され、かつそのゲートがダミープリチャージ線Prv_WLaに接続されるアクセストランジスタ2と、ストレージノードと基準電圧VCPを受けるセルプレート電極とから構成されるダミーセルキャパシタCdmyとを含む。
【0041】
ここで、ダミーセルキャパシタCdmyは、正規メモリセルMCのセルキャパシタと同一の構造とし、その容量を同一とする。これによって、従来のVss(またはVcc)プリチャージ方式において発生していた、セルキャパシタの1/2の容量からなるダミーセルキャパシタの製造上の問題を回避でき、メモリセルと同等レベルの精度で製造することが可能となる。
【0042】
図3は、図2に示すダミーセルaの断面構造を概略的に示す図である。
なお、図2と同様に、ダミーセルbの断面構造については、同図の各配線の表示を括弧書きに読み替えることで、同様に説明することができる。
【0043】
図3を参照して、半導体基板SUBの主表面上にn型拡散層110,120,130が形成され、n型拡散層110とn型拡散層120との間の領域の上部には、ダミーワード線Dmy_WLaが形成される。n型拡散層120とn型拡散層130との間の領域の上部には、ダミープリチャージ線Prv_WLaが形成される。
【0044】
n型拡散層110,120がソース/ドレインとなり、ダミーワード線Dmy_WLaがゲート電極となってアクセストランジスタ10を構成し、n型拡散層120,130がソース/ドレインとなり、ダミープリチャージ線Prv_WLaがゲート電極となってアクセストランジスタ20を構成する。
【0045】
さらに、n型拡散層120で構成されるストレージノードの上部には、ストレージノードコンタクトSCを介して3次元構造からなるセルプレート電極(CP)を有するダミーセルキャパシタCdmyが形成される。
【0046】
なお、ダミーセルキャパシタの構造は、正規メモリセルMCのセルキャパシタの構造と同様であり、3次元化された構造においても正規メモリセルMCと同等の精度で製造することが可能となる。
【0047】
図4は、以上の構成からなる発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置におけるデータ書込動作を説明するタイミングチャートである。
【0048】
まず、ビット線対BL,ZBLは、スタンバイ時、接地電位Vssレベルに充電されており、動作に先立って図示しない充電回路から切り離される。
【0049】
スタンバイ時においては、図2および図3に示すダミーセルaにおいて、ダミープリチャージ線Prv_WLaが選択(「H」レベルに相当)されると、アクセストランジスタ20がオンしてVccs電源線からダミーセルキャパシタCdmyへと電荷が蓄えられる。なお、スタンバイ時には、ダミーワード線Dmy_WLaは、非選択状態(「L」レベルに相当)であるため、ダミーセルa内のストレージノードは、電荷を放出することなく、「H」レベルに保持されている。
なお、ダミーセルaへの書込と同時に、相補のダミーセルbにおいても同様に「H」レベルのデータが書込まれる。
【0050】
次に、ロウアクティブが開始されると、正規ワード線WLの選択の直前にダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbが選択状態に駆動される。ダミーワード線の活性化前に、ダミープリチャージ線Prv_WLa,Prv_WLbは、非活性化され(「L」レベルに相当)、ダミーセルa,bへの充電は停止される。
【0051】
ダミーセルa、bでは、ダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbの活性化に応じて、それぞれのアクセストランジスタ10がオンされると、ストレージノードがビット線対の相補のビット線BL,ZBLのそれぞれに電気的に結合され、ストレージノードからアクセストランジスタ10を介して対応するビット線へと電荷が注入される。このとき、注入される電荷はビット線BL,ZBL間で同量であることから、ビット線対を構成する相補のビット線BL,ZBLの電位は同じ電位レベルに上昇する。
【0052】
以上のダミーセル読出時において、ビット線対BL,ZBLに現われる電位の変化量ΔVは、ビット線BLと対となるビット線ZBLとの間でともに等しく、
ΔV=Vcc/(1+Cb/Cs)
と表わすことができる。ここで、Csは、正規メモリセルおよびダミーセルのキャパシタの容量であり、Cbは、各ビット線の浮遊容量である。
【0053】
さらに、続いて、正規ワード線WLが選択されると、正規メモリセルMCにおいてもセルキャパシタに蓄えられていたデータに従って該正規メモリセルが接続されるビット線に読出電位が現われる。
【0054】
このときの正規メモリセルの読出電位は、ダミーセル読出後のビット線BLの電位をVprとすると、正規メモリセルに書込まれているデータが「H」レベルのときには、
ΔVH=Vcc/(1+Cb/Cs)
となり、「L」レベルのときには、
ΔVL=−Vpr/(1+Cb/Cs)
となる。
【0055】
したがって、例えば、図4に示すように、ビット線BLに正規メモリセルから「H」データが読出される場合において、ビット線BLの電位V(BL)は、ダミーセルの読出電圧ΔVと正規メモリセルの読出電圧ΔVHとの和となり、
となる。一方、対となるビット線ZBLの電位V(ZBL)は、ダミーセルの読出電圧ΔVのみとなり、
となる。
【0056】
これにより、センス開始時におけるビット線間の電位差V(BL−ZBL)は、
V(BL−ZBL)=Vcc/(1+Cb/Cs)
となり、センスアンプは、この電位差を差動増幅して、極性弁別を行なうこととなる。
【0057】
一方、ビット線BLに正規メモリセルから「L」データが読出される場合においても、同様に、ビット線BLの電位V(BL)は、ダミーセルの読出電圧ΔVと正規メモリセルの読出電圧ΔVLとの和となり、
V(BL)=Vcc/(1+Cb/Cs)−Vpr(1+Cb/Cs)
と表される。一方、対となるビット線ZBLの電位V(ZBL)は、
V(ZBL)=Vcc/(1+Cb/Cs)
のままである。
【0058】
したがって、「L」データ読出時において、ビット線間の電位差V(BL−ZBL)は、
V(BL−ZBL)=−Vpr/(1+Cb/Cs)
となり、この電位差が増幅されて、極性弁別される。
【0059】
以上に示す本実施の形態の半導体記憶装置におけるセンス動作を従来のVssプリチャージ方式採用時におけるセンス動作と比較すると、次のようになる。
【0060】
従来のVssプリチャージ方式では、ダミーセルのキャパシタの容量は、正規メモリセルのセルキャパシタの1/2であることから、ダミーワード線を選択してビット線に読出される電圧は、
ΔV=1/2・Vcc/(1+Cb/Cs)
となる。
【0061】
これは、正規メモリセルからの「H」レベルの読出電圧ΔVHと「L」レベルの読出電圧ΔVLとの中間の電位に相当する。したがって、センスされるビット線間の電位差V(BL−ZBL)は、このダミーセルの読出電圧ΔVを参照電圧として、正規メモリセルの読出電圧との差であり、
V(BL−ZBL)=|1/2・Vcc/(1+Cb/Cs)|
となる。
【0062】
すなわち、今回の発明の実施の形態1の半導体記憶装置において、センスアンプがセンスするビット線間の電位差は、従来のVssプリチャージ方式の半導体記憶装置においてセンスされていた電位差の2倍に相当しており、電源電圧の低電圧化においてもセンスマージンを確保でき、高速なセンス動作が可能となる。
【0063】
また、従来のVssまたはVccプリチャージ方式では、参照電圧を「H」読出電圧ΔVHと「L」読出電圧ΔVLとの2値の中間値に設定する必要があったが、本実施の形態では、ビット線対を構成する相補のビット線の電位を等しく持ち上げて参照電圧とするので、必ずしも2値の中間電圧である必要はない。
【0064】
したがって、従来では、セルキャパシタの1/2の容量を有するキャパシタを精度良く製造する必要があったが、本実施の形態では、キャパシタの容量はダミーセルaとダミーセルbとの間で同じであれば絶対値自体は限定されないため、高集積化に伴なう製造上の問題が解消される。
【0065】
なお、以上に示すデータ書込動作は、Vssプリチャージ方式を採用したときの半導体記憶装置において実行されるものである。Vccプリチャージ方式を採用する場合においては、図2のダミーセルa,bの構成において、第3コンタクト3rdCONを接地電位Vssレベルに設定することによって同様の効果を得ることができる。すなわち、ビット線対の相補のビット線BL,ZBLの電位をプリチャージ電圧であるVccレベルよりもVcc/(1+Cb/Cs)だけ低下させた電位を参照電位とすることによって、低電源電圧下においても十分なセンスマージンを確保することができる。
【0066】
なお、ダミーセルa,bに書込まれた「H」データは、スタンバイ期間中、図2のアクセストランジスタ20を介して充電されつづけるため、ダミーセルa,bに対するリフレッシュ動作が不要となる。
【0067】
また、センス直後にダミープリチャージ線Prv_WLa,Prv_WLbが活性化するとともにダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbが非活性化されて、ダミーセルa,bへの充電を開始することから、各ダミーセルの充電に伴なうサイクルタイムの延長は発生しない。
【0068】
以上のように、この発明の実施の形態1の半導体記憶装置によれば、VccまたはVssプリチャージ方式において、ビット線対を構成する相補のビット線に電荷を授受するパスを設け、データ読出以前においてそれぞれのビット線に同量の電荷を授受し、相補のビット線の電位を同電位にシフトさせることにより、電源電圧の低電圧化に伴なうセンスマージンの減少を回避でき、高速なセンスが可能となる。
【0069】
[実施の形態2]
図5は、この発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置のセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【0070】
図5を参照して、センスアンプは、ビット線分離ゲートによってビット線を分割し、隣り合うビット線でセンスアンプを共有するシェアードセンスアンプ構成からなる。分割されたビット線対はそれぞれ、ビット線分離ゲート350,360およびビット線分離ゲート330,340に入力される分離指示信号BLIR,BLILによって、選択的にセンスアンプと接続/分離される。
【0071】
同図に示すように、センスアンプは、ビット線対BL,ZBLのイコライズ・プリチャージ動作を行なうEq.&プリチャージTr310と、ビット線間の電位差を差動増幅するクロスカップル型センストランジスタ対320とを含む。
【0072】
クロスカップル型センストランジスタ対320は、さらに、Pチャネル型MOSトランジスタ370およびNチャネル型MOSトランジスタ380のドレインと接続される。Pチャネル型MOSトランジスタ370のソースはVccs電源線に接続され、ゲート電極はセンスアンプ駆動線ZSOPに接続される。Nチャネル型MOSトランジスタ380のソースは接地電圧レベルSGNDに接続され、ゲート電極はセンスアンプ駆動線ZSOPに接続される。
【0073】
なお、ビット線対BL,ZBLは、活性化されたコラム選択信号CSLに応答してトランスファーゲート390,400がオンすることにより、入出力線対ZGIO,GIOにそれぞれ電気的に結合される。
【0074】
さらに、実施の形態2の半導体記憶装置は、図5に示すように、実施の形態1の半導体記憶装置と比較して、メモリアレイ内に配置していた参照電圧発生回路であるダミーセルa,bをセンスアンプ内に備える点で異なる。
【0075】
したがって、図5のセンスアンプの構成を採用することにより、図示しない実施の形態2の半導体記憶装置におけるメモリアレイは、実施の形態1のメモリアレイからダミーセルa,bが削除された構成となる。
【0076】
図6は、図5に示すダミーセルaの断面構造を概略的に示す図である。
なお、ダミーセルbの断面構造については、同図の各配線の表示を括弧書きに置き換えた構成であり、基本構造は同じである。
【0077】
図6を参照して、半導体基板SUBの主表面上にn型拡散層210,220,230,240が形成され、n型拡散層210とn型拡散層220との間の領域の上部には、ダミーワード線Dmy_WLaが形成される。n型拡散層230とn型拡散層240との間の領域の上部には、ダミープリチャージ線Prv_WLaが形成される。
【0078】
さらに、n型拡散層220とn型拡散層230との間の領域の上部には、図示しないキャパシタ酸化膜を介してダミーセルaのセルプレート電極Dmy_CPが形成される。
【0079】
n型拡散層210,220がソース/ドレインとなり、ダミーワード線Dmy_WLaがゲート電極となってアクセストランジスタ30を構成し、n型拡散層230,240がソース/ドレインとなり、ダミープリチャージ線Prv_WLaがゲート電極となってアクセストランジスタ40を構成する。
【0080】
n型拡散層230とn型拡散層240との間の領域がストレージノード領域となり、ダミーワード線Dmy_WLaと並行に延在する
電極Dmy_CPと、ダミーセルプレート電極Dmy_CP直下の図示しないキャパシタ酸化膜とで、プレーナ型構造からなるキャパシタ250を構成する。
【0081】
本実施の形態では、実施の形態1のダミーセルの構成に対して、キャパシタ250にプレーナ型キャパシタ構造を採用し、かつ、ダミーセルプレート電極Dmy_CPは、ダミーワード線Dmy_WLaおよびダミープリチャージ線Prv_WLaと同一の配線層に形成される点でのみ異なる。
【0082】
実施の形態1では、メモリアレイ内にダミーセルを配置したことから、正規メモリセルと同様のセル構成とすることでパターンの規則性を踏襲し、製造工程の簡略化を図ったが、本実施の形態においては、ダミーセルの配線層をすべて同一の製造プロセスステップで形成することができ、新たに配線層を追加することなく、製造工程を簡略化することが可能となる。
【0083】
さらに、本実施の形態において、ダミーセルは、分割されたビット線対のうち隣り合うビット線対によって共有されることから、個々のビット線対に配置する実施の形態1の構成に対して、より回路規模を縮小することができる。
【0084】
なお、本実施の形態の半導体記憶装置におけるダミーセルの書込および読出の動作については、実施の形態1のダミーセルと同じであり、データ書込時における動作波形図は、図4に示す動作波形図と同様である。
【0085】
具体的には、スタンバイ時においては、図6に示すダミーセルa,bは、ダミープリチャージ線Prv_WLa,Prv_WLbが選択(「H」レベルに相当)されて、アクセストランジスタ40がオンされることにより、Vccs電源線からキャパシタ250に電荷が蓄えられ、ストレージノードの電位が「H」レベルに保持される。
【0086】
次に、ロウアクティブが開始すると、ワード線WLの選択直前にダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbが選択される。このとき、ダミープリチャージ線Prv_WLa,Prv_WLbは非活性化され(「L」レベルに相当)、ダミーセルa,bへの充電は停止される。
【0087】
ダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbの活性化に応じて、アクセストランジスタ30がオンし、ストレージノードが相補のビット線BL,ZBLのそれぞれに電気的に結合されると、ストレージノードからアクセストランジスタ30を介して各ビット線BL,ZBLへと電荷の移動が起こり、ビット線対を構成する相補のビット線BL,ZBLの電位はそれぞれ上昇する。
【0088】
このときのビット線BL,ZBLの電位の変化量は、ビット線間で等しく、かつ実施の形態1の半導体記憶装置におけるビット線BL,ZBLの電位の変化量と同じである。
【0089】
以上のように、この発明の実施の形態2の半導体記憶装置によれば、ダミーセルをセンスアンプ内に形成することにより、メモリアレイのパターンを変更することなく、ビット線対を構成する相補のビット線の電位を等電位にシフトすることができる。
【0090】
また、センスアンプに設けたダミーセルは、プレーナ型キャパシタ構造を採用し、セルプレート電極の配線を他の配線と同じ工程で行なうことから、新たに配線層を追加することなく、製造工程を簡略化することが可能となる。
【0091】
また、シェアードセンスアンプ構成からなる半導体記憶装置においては、ダミーセルは隣り合うビット線対で共有されることからダミーセルの配設に伴なう回路規模の増加を抑えることが可能となる。
【0092】
[実施の形態3]
図7は、この発明の実施の形態3に従う半導体記憶装置のメモリアレイの構成を概略的に示す図である。なお、本実施の形態の半導体記憶装置は、Vssプリチャージ方式を採用するものとする。
【0093】
図7を参照して、実施の形態3の半導体記憶装置におけるメモリアレイは、実施の形態1の半導体記憶装置のメモリアレイと比較して、ダミーセルa,bを正規メモリセルと同一の構成とし、かつ、新たにビット線対の一端であって、センスアンプS/Aの隣りにVccs−プリチャージトランジスタを備えた点で異なっており、共通する部分については、説明を繰り返さない。
【0094】
図7に示すように、Vccs−プリチャージTr0,1,2,3,4...は、ビット線対BL0,ZBL0−BL4,ZBL4...ごとに配置され、相補のビット線のそれぞれに接続される。以下においては、これらのVccs−プリチャージTr0,1,2,3...を総称する場合には、単にVccs−プリチャージTrとも称する。
【0095】
一方、ダミーセルa,bは、図2のアクセストランジスタ20と同様の機能を有するVccs−プリチャージTrをダミーセルの外部に設けたことにより、正規メモリセルMCと同一の構成となっている。同図を参照して、例えば、ビット線対BL1,ZBL1とダミーワード線Dmy_WLaとの交差領域には、ダミーセル1aが配置され、ビット線対BL1,ZBL1とダミーワード線Dmy_WLbとの交差領域にはダミーセル1bが配置される。
【0096】
以上の構成において、Vccs−プリチャージTrは、後述するように、活性化されたダミープリチャージ信号に応答してVccs電源線とビット線対の相補のビット線BL,ZBLとを電気的に結合して各ビット線をVccレベルにプリチャージする。さらに、これと並行して活性化されたダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbに応答してビット線BL,ZBLとダミーセルa,b内のストレージノードとがそれぞれ電気的に結合されると、メモリアレイ内のダミーセルa,bは各ビット線によってそれぞれVccレベルに充電される。
【0097】
図8は、図7のVccs−プリチャージTrを備えた半導体記憶装置のセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【0098】
図8を参照して、本実施の形態の半導体記憶装置におけるセンスアンプは、図5に示す実施の形態2の半導体記憶装置のセンスアンプと同様に、シェアードセンスアンプ構成を有するが、センスアンプ内に設けられたダミーセルa,bがメモリアレイ内に配置され、さらに、分割されたビット線対の一端であってセンスアンプ側にVccs−プリチャージTrが形成される点で異なる。なお、共通する部分については、説明を繰り返さない。
【0099】
図8に示すように、Vccs−プリチャージTr410,420は、分割されたビット線対のぞれぞれに対応して形成され、相補のビット線BL,ZBLの間に並列に接続されたPチャネル型MOSトランジスタからなる。
【0100】
2つのPチャネル型MOSトランジスタの間の接続ノードは、さらに、Vccs電源線に接続される。また、ゲート電極は、それぞれダミープリチャージ信号線Prv_Hに接続される。
【0101】
以上の構成からなるVccs−プリチャージTr410,420において、ダミープリチャージ信号Prv_Hが「L」レベルに立下がったことに応答して、Pチャネル型MOSトランジスタはともにオンされる。これにより、Vccs電源線とビット線対BL,ZBLとが電気的に結合され、相補のビット線BL,ZBLはそれぞれ、Pチャネル型MOSトランジスタを介してVccレベルに充電される。
【0102】
このとき、後述するように、ダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbは、ともに活性状態にあることから、ビット線BL,ZBLとダミーセルa,b内のストレージノードとはそれぞれ電気的に結合されており、ダミーセルa,bには、Vccレベルのビット線BL,ZBLによって充電され、結果として「H」レベルのデータが書込まれることとなる。
【0103】
さらに、この書込動作終了後にダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbは非活性化されてアクティブサイクルを終了する。これにより、ダミーセルには次のサイクルに備えて「H」レベルのデータが保持される。、
なお、Vccs−プリチャージTr410,420は、Vssプリチャージ方式に対応したものであり、それぞれ2つのPチャネル型MOSトランジスタで構成したが、Vccプリチャージ方式を採用する場合は、Vss−プリチャージTrとして2つのNチャネル型MOSトランジスタで構成し、両者の接続ノードには、接地電位Vss(=SGND)に接続することで対応できる。
【0104】
この場合は、ダミープリチャージ信号Prv_Hが「H」レベルに立上がると、Nチャネル型MOSトランジスタはともにオンされて、接地電位Vssとビット線BL,ZBLとを電気的に結合する。これにより、各ビット線はVssレベルとなり、さらに、活性化されたダミーワード線に応答してストレージノードと電気的に結合されていることから、ダミーセルに「L」レベルのデータを書込んで、サイクルを終了する。
【0105】
図9は、この発明の実施の形態3に従う半導体記憶装置におけるデータ書込動作を説明するタイミングチャートである。
【0106】
図9を参照して、まず、動作に先行して、相補のビット線BL,ZBLは、先行されたアクティブサイクルの終了後に活性化されたビット線イコライズ&プリチャージ信号BLEQに応答して、「L」レベルにプリチャージされている。
【0107】
このとき、ダミーセルa,bのストレージノードは、後述するように、アクティブサイクル終了直前において、活性化されたダミープリチャージ信号Prv_Hによって書込まれた「H」レベルのデータを保持している。
【0108】
ここで、ロウアクティブが始まり、正規ワード線WLが選択される直前にダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbが選択されると、実施の形態1で示したように、ビット線対の相補のビット線BL,ZBLには、一方に正規メモリセルからの読出電圧とダミーセルからの読出電圧との和に相当する電位が現われ、他方にダミーセルからの読出電圧のみに相当する電位が現われる。なお、このときの読出電圧はそれぞれ、実施の形態1の半導体記憶装置にて示した読出電圧と同じである。
【0109】
したがって、センスアンプは、この相補のビット線間の電位差を差動増幅して読出動作を行ない、それぞれのビット線にセル増幅電圧を一旦保持する。その後に選択したビット線上の増幅電圧を外部からの書込情報電圧で強制的に置き換えて、選択セルのキャパシタに入力する。
【0110】
以上の書込動作は、図4に示す実施の形態1の半導体記憶装置における動作と同様であるが、ダミーセル内のストレージノードへの充電をサイクルの終わりに行なう点で、実施の形態1の半導体記憶装置と相違する。
【0111】
以下に、本実施の形態の半導体記憶装置における充電動作の詳細を説明する。
図8に示すように、書込動作が終了して、ワード線WLを非活性化した後のサイクルの終わりにおいて、ダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbは、活性状態を維持する。これと並行して、ダミープリチャージ信号Prv_Hを活性化(「L」レベルに相当)する。
【0112】
図7のVccs−プリチャージTrは、この活性化されたダミープリチャージ信号Prv_Hをゲートに受けてオンされると、Vccs電源線とビット線とを電気的に結合して、相補のビット線BL,ZBLの電位を「H」レベルに充電する。さらに、このとき、ダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbは活性状態に維持されていることから、ビット線BL,ZBLとダミーセルa,bのストレージノードとはそれぞれ電気的に結合され、ビット線BL,ZBLからダミーセルa,bのそれぞれに「H」レベルのデータが書込まれる。
【0113】
次に、このダミーセルa,bへのデータ書込が終了すると、半導体記憶装置は、ダミーワード線Dmy_WLa,Dmy_WLbを非活性化させるとともに、ダミープリチャージ信号Prv_Hを非活性化(「H」レベルに相当)させることによってVccs−プリチャージTrをオフする。これにより、ダミーセルa,b内のストレージノードの電位は、「H」レベルに保持される。
【0114】
上記の一連の動作終了後にサイクルを終了してスタンバイ状態となると、半導体記憶装置は、ビット線イコライズ信号を活性化してセンスアンプ内のEq.&プリチャージTrをオンし、ビット線BL,ZBLを接地電位Vssレベルにイコライズおよびプリチャージし、次にアクティブサイクルに備える。
【0115】
以上に示すように、この発明の実施の形態3の半導体記憶装置に従えば、アクティブサイクルの終わりにおいて、相補のビット線BL,ZBLを充電し、この電荷を利用して、ダミーセルへの書込動作を行なうことから、実施の形態1の半導体記憶装置と比較して、サイクルタイムはこの書込動作分だけ長くなる。しかしながら、一方で、この書込動作をセンスアンプに設けたVccs−プリチャージTrによって行なうことによって、メモリアレイ内のダミーセルa,bは正規メモリセルと同一パターンで形成すればよく、製造工程の複雑化を回避することができる。
【0116】
[実施の形態4]
図10は、この発明の実施の形態4の半導体記憶装置に従うセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【0117】
図10を参照して、実施の形態4の半導体記憶装置におけるセンスアンプは、図5に示す実施の形態2の半導体記憶装置のセンスアンプと比較して、1対のダミーセルa,bを1つのダミーセルcに置き換えた点で異なっており、共通する部分については、説明を繰り返さない。なお、以下においては、ダミーセル0c,1c,2c...を総称する場合は、単にダミーセルcとも称する。
【0118】
図10に示すように2つのダミーセルa,bを1つに結合したことにより、ダミーセルcに配設される配線層は、ダーワード線Dmy_WLcと、ダミープリチャージ線Prv_WLcとに簡素化され、かつ必要なキャパシタをより小型化できるため、ダミーセル自体を小面積に抑えることができる。
【0119】
図11は、図10のダミーセルcの構成を概略的に示す図である。
ダミーセルcは、図5に示すダミーセルa,bと基本的に同じ構造であり、図11に示すように、Vccs電源線と半導体基板領域の表面に形成されたn型拡散層とを接続する第3コンタクト3rdCONと、相補のビット線BL,ZBLとn型拡散層とを接続するビットコンタクトBCとを含み、Vcc電源線とキャパシタとを電気的に結合するダミープリチャージ線Prv_WLcと、キャパシタとビット線対とを電気的に結合するダミーワード線Dmy_WLcとが配線される。
【0120】
ダミーセルcのキャパシタは、ストレージ電極が、半導体基板領域の表面のn型拡散層で構成されるストレージノード領域(図示せず)により形成され、かつダミーセルプレート電極Dmy_CPが相補のビット線BL,ZBLにまたがり、ダミーワード線Dmy_WLcおよびダミープリチャージ線Prv_WLcと並行に延在する、プレーナ型キャパシタ構造を有している。
【0121】
このような構成とすることにより、セルプレート電極Dmy_CPと、ダミーワード線Dmy_WLcおよびダミープリチャージ線Prv_WLcとは、同一配線層となって同一の製造プロセスステップで形成されるため、セルプレート電極およびストレージ電極のための配線層を新たに追加する必要がなく、製造工程を簡略化することができる。
【0122】
なお、ダミーセルcのキャパシタは、正規メモリセルMCのセルキャパシタの2倍の容量となるように形成される。これにより、ダミーワード線Dmy_WLc活性時において、ダミーセルcからビット線BL,ZBLへと均等に電荷が注入され、かつその注入量は、実施の形態1および2で説明した各ビット線への電荷の注入量と同一に保たれる。
【0123】
また、ダミーワード線Dmy_WLcは、ビット線対に垂直で、キャパシタとビット線とを電気的に結合するための部分と、相補のビット線BL,ZBLの中間にあって、ビット線同士を電気的に結合するための部分とからなるT字型の配線構造からなる。
【0124】
このT字型の配線構造とすることにより、ダミーワード線Dmy_WLcが活性化されると、ビット線BL,ZBLはそれぞれセルキャパシタと導通するとともに、ビット線間が導通されるため、ダミーセルcのセルキャパシタに蓄えられた電荷はビット線対BL,ZBLのそれぞれに等しく注入されることとなる。
【0125】
つまり、ダミーワード線Dmy_WLcは、ビット線BL,ZBLへの電荷の注入パスの制御とともにビット線対BL,ZBLをイコライズする働きをする。
【0126】
以上の構成において、ダミープリチャージ線Prv_WLcが活性化されると、Vccs電源線によってダミーセルcのセルキャパシタに「H」レベルのデータが書込まれる。続いて、ダミーワード線Dmy_WLcが活性化されると、ダミーセルcからビット線BL,ZBLのそれぞれに等しく電荷が移動することによって、ビット線BL,ZBLの電位は、それぞれVssレベルから同電位にまでシフトする。
【0127】
ここで、先の実施の形態2で説明したダミーセルa,bを有する半導体記憶装置においては、しばしば、ダミーセル間でキャパシタの製造上のばらつきによってビット線に現われる電位が不平衡となり、雑音源となってセンス感度が劣化してしまうという不具合が懸念される。
【0128】
そこで、ダミーセルを本実施の形態に示す相補のビット線BL,ZBLで共有する構成とすることにより、かかる電位の不平衡を解消でき、センス感度の劣化を防止することが可能となる。
【0129】
なお、本実施の形態においては、ダミーワード線Dmy_WLcは、センス動作直前には非活性化される点で、実施の形態1および2に示す動作と異なる。
【0130】
これは、ダミーセルの読出時において結合されていたビット線間を、センス動作を行なうにあたって電気的に分離するためである。
【0131】
以上のように、この発明の実施の形態4に従えば、相補のビット線のそれぞれに配置されていたダミーセルを1つのダミーセルとして、ビット線間で共有する構成とすることにより、ダミーセルの回路規模を縮小できるとともに、ビット線間での電位の不平衡を解消して、センス感度の劣化を抑えることが可能となる。
【0132】
[実施の形態5]
図12は、この発明の実施の形態5の半導体記憶装置に従うセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【0133】
図12を参照して、実施の形態5の半導体記憶装置におけるダミーセルd500は、実施の形態2および4の半導体記憶装置におけるダミーセルa,b,cと比較して、センスアンプ内に形成される点で共通するが、複数のセンスアンプごとに1つのダミーセルが配置される点で異なっており、重複する部分については説明を繰り返さない。
【0134】
同図に示すように、ダミーセルd500は、複数のビット線対BL,ZBLにまたがって形成されたダミーセルプレート電極Dmy_CP430と、ビット線対BL0,ZBL0−BLm、ZBLm(mは自然数)とダミーワード線Dmy_WLdとをそれぞれ電気的に結合するアクセストランジスタ440,450−44m、45mとを含む。
【0135】
動作に先立って、ダミープリチャージ線Prv_WLdが活性化されると、Vccs電源線からダミーセルd500のキャパシタに対して充電が行なわれる。
さらに、ロウアクティブが始まり、ダミーワード線Dmy_WLdが活性化されると、アクセストランジスタ440,450−44m、45mが同時にオンされ、キャパシタの蓄えていた電荷は、それぞれが接続されるビット線BL0,ZBL0−BLm、ZBLmに等しく分配されて、各ビット線の電位を一様にシフトする。
【0136】
図13は、図12のダミーセルd500の構成例を示す図である。
ダミーセルd500のキャパシタは、図6,11に示す実施の形態2および5のダミーセルのキャパシタと同様に、プレーナ型キャパシタ構造を有する。ただし、本実施の形態では、ダミーセルプレート電極Dmy_CP430は、複数のビット線対BL,ZBLにわたって連続したフィールド上に形成される。これにより、個々のダミーセルにキャパシタを形成する構成に対して、必要とされるキャパシタをよりコンパクトに形成することが可能となる。
【0137】
この構成において、ダミーセルのキャパシタの容量は、(正規メモリセルのセルキャパシタの容量)×2×(ダミーセルd500に接続されるセンスアンプの個数)に設定される。
【0138】
また、ダミーワード線Dmy_WLdは、各ビット線対に対しては、実施の形態4の半導体記憶装置におけるダミーワード線Dmy_WLcと同様に、ビット線に垂直で、キャパシタとビット線とを電気的に結合するための部分と、相補のビット線の中間にあって、ビット線同士を電気的に結合するための部分とからなるT字型の配線構造を有する。
【0139】
以上の構成とすることにより、各ビット線対BL,ZBLに現われる電位のシフト量は、実施の形態1〜4におけるシフト量と等しくなるとともに、相補のビット線間においても同じとなる。
【0140】
さらに、ダミーセルd500の一箇所には、キャパシタをVccsプリチャージするためのダミープリチャージTr460が形成される。セルプレート電極Dmy_CP430を複数のセンスアンプで共有する構成としたことから、キャパシタを充電するためのプリチャージTrは、図13で示すように、単一のトランジスタで賄うことができることから、ダミーセルの回路規模の増加を抑制することができる。
【0141】
図13のダミーセルd500は、スタンバイ時において、ダミープリチャージ線Prv_WLdが活性化されたことに応答してVccs電源線とダミーセルd500のストレージノードとが電気的に結合されると、キャパシタをVccレベルにプリチャージする。続いて、ダミーワード線Dmy_WLdが選択状態に駆動されると、キャパシタを共有する各ビット線対に対して電荷が均等に注入される。これにより、相補のビット線間の電位が同一レベルにシフトすると同時に、ビット線対-ビット線対間においても同一の電位レベルにシフトする。
【0142】
ここで、微小電位差を差動増幅するセンス時において、ビット線対−ビット線対間での電気的不平衡は、増幅過程において差動雑音となって作用する。また、ビット線対ごとのセンス動作の速度にも差を生じることとなる。
【0143】
したがって、本実施の形態のように各ビット線対の電位を均一にシフトさせることにより、上記のような差動雑音を抑えることができ、安定動作を確保できる。
【0144】
なお、ダミーワード線Dmy_WLdは、実施の形態4と同様に、センス動作直前には非活性化され、各ビット線対のビット線間は電気的に分離される。
【0145】
以上のように、この発明の実施の形態5の半導体記憶装置によれば、ダミーセルのセルキャパシタを複数のセンスアンプで共有する構成とすることにより、セルキャパシタ面積およびこれに付随する回路規模を縮小できるとともに、ビット線対−ビット線対間での電位の不平衡に起因する雑音を抑制することができ、安定的かつ高速にセンス動作を行なうことが可能となる。
【0146】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0147】
【発明の効果】
この発明は以上に説明したように、VccまたはVssプリチャージ方式における半導体記憶装置において、ビット線へのデータ読出しと同じタイミングまたはその直前に、ビット線対を構成する相補のビット線に対して同量の電荷を授受することにより、参照電位をプリチャージ電圧であるVccまたはVssレベルから同電位にシフトさせてからセンス動作を行なうことにより、電源電圧の低電圧化においても、センスアアンプの動作マージンを確保し、高速かつ安定的なセンスの実現が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置におけるメモリアレイの構成を概略的に示す図である。
【図2】図1に示すダミーセルaの構成の一例を示す図である。
【図3】図2に示すダミーセルaの断面構造を概略的に示す図である。
【図4】この発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置におけるデータ書込動作を説明するタイミングチャートである。
【図5】この発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置におけるセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【図6】図5に示すダミーセルaの断面構造を概略的に示す図である。
【図7】この発明の実施の形態3に従う半導体記憶装置のメモリアレイの構成を概略的に示す図である。
【図8】図7のVccs−プリチャージTrを備えた半導体記憶装置のセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【図9】この発明の実施の形態3に従う半導体記憶装置におけるデータ書込動作を説明するタイミングチャートである。
【図10】この発明の実施の形態4に従う半導体記憶装置のセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【図11】図10のダミーセルcの構成を概略的に示す図である。
【図12】この発明の実施の形態5に従う半導体記憶装置のセンスアンプの構成を概略的に示す図である。
【図13】図12のダミーセルdの構成例を示す図である。
【符号の説明】
0a〜4a... ダミーセルa、0b〜4b... ダミーセルb、0c,1c... ダミーセルc、500 ダミーセルd、BL0,ZBL0〜BL4,ZBL4 ビット線、WL0〜WLn ワード線、Dmy_WLa,Dmy_WLb,Dmy_WLc、Dmy_WLd ダミーワード線、Prv_WLa、Prv_WLb,Prv_WLc,Prv_WLd ダミープリチャージ線、Vccs Vccs電源線、S/A0〜S/A4 センスアンプ、Vccs−プリチャージTr0,1... Vccs−プリチャージTr、BLIR,BLIL分離指示信号、ZSOP センスアンプ駆動線、Prv_H ダミープリチャージ信号線、CSL コラム選択信号線、GIO,ZGIO 入出力線対、10,20,30,40 アクセストランジスタ、110,120,130,210,220,230,240 n型拡散層、310 Eq.&プリチャージTr、320 クロスカップル型センストランジスタ対、330,340,350,360 ビット線分離ゲート、370 Pチャネル型MOSトランジスタ、380Nチャネル型MOSトランジスタ、390,400 トランスファーゲート、410,420 Vccs−プリチャージTr、430 ダミーセルプレート電極、440,450−44m、45m アクセストランジスタ、460 ダミープリチャージTr。
Claims (13)
- 行列状に配列される複数の正規メモリセルと、
前記正規メモリセルの列に対応して配置され、各々に対応の列の正規メモリセルが接続する複数の第1のビット線と、
前記正規メモリセルの列に対応して配置され、前記複数の第1のビット線のそれぞれと互いに相補の複数の第2のビット線と、
各前記正規メモリセルの行に対応して配置され、各々に対応の行の正規メモリセルが接続する複数の正規ワード線と、
前記正規メモリセルのデータ書込および読出を行なわない待機状態において、前記第1のビット線および前記第2のビット線を接地電位にプリチャージする充電回路と、
ロウアクティブ後、前記複数の正規ワード線のいずれかの正規ワード線の選択前において、前記複数の第1のビット線および前記複数の第2のビット線のそれぞれに同量の電荷の注入を行なって参照電圧を発生する参照電圧発生回路と、
前記正規ワード線の選択後、前記参照電圧に基づいて前記第1のビット線と前記第2のビット線との間の電位差を差動増幅するセンスアンプとを備える、半導体記憶装置。 - 前記参照電圧発生回路は、
各前記複数の第1のビット線に対応しかつ前記正規メモリセルと整列して配置される複数の第1のダミーセルと、
各前記複数の第2のビット線に対応しかつ前記正規メモリセルと整列して配置され、前記複数の第1のダミーセルとは同一構成からなる複数の第2のダミーセルと、
前記複数の第1のダミーセルに共通に結合される第1のダミーワード線と、
前記複数の第2のダミーセルに共通に結合される第2のダミーワード線とを備え、
前記複数の正規ワード線のいずれかの正規ワード線の選択前に、前記第1のダミーワード線および前記第2のダミーワード線を選択状態に駆動し、前記複数の第1のダミーセルおよび前記複数の第2のダミーセルの読出電圧を前記参照電圧とする、請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 各前記第1および第2のダミーセルは、
前記第1および第2のダミーワード線の活性化に応答して、対応する前記第1および第2のビット線と電荷を蓄積するためのストレージ電極と電気的に結合する第1のアクセストランジスタと、
前記ストレージ電極と基準電圧を受けるセルプレート電極とからなるキャパシタと、
前記ストレージ電極と電圧供給線とを電気的に結合する第2のアクセストランジスタとを有する、請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1および第2のダミーワード線と平行に設けられ、それぞれの前記第2のアクセストランジスタのゲートに共通に結合されるダミープリチャージ線をさらに備え、
前記正規メモリセルのデータ書込および読出を行なわない待機状態において、前記第1および第2のダミーワード線を非活性化させて前記複数の第1のダミーセルおよび前記複数の第2のダミーセルを前記複数の第1のビット線および前記複数の第2のビット線とそれぞれ切り離した後、前記ダミープリチャージ線の活性化に応答して前記電圧供給線によって前記キャパシタをプリチャージする、請求項3に記載の半導体記憶装置。 - 前記キャパシタは、前記正規メモリセルのキャパシタと同じ容量とする、請求項4に記載の半導体記憶装置。
- 各前記複数の第1および第2のダミーセルは、前記正規メモリセルからなるメモリアレイ内に搭載される、請求項4に記載の半導体記憶装置。
- 行列状に配置される複数の第1のメモリセル群、第1のビット線対、および前記第1のビット線対に交差して設けられる第1のワード線群を含む第1のメモリアレイと、
行列状に配置される複数の第2のメモリセル群、第2のビット線対、および前記第2のビット線対に交差して設けられる第2のワード線群を含む第2のメモリアレイと、
前記第1および第2のビット線対に共有されるシェアードセンスアンプとを備え、
各前記複数の第1および第2のダミーセルは、前記シェアードセンスアンプ内に搭載される、請求項4に記載の半導体記憶装置。 - 行列状に配置される複数の第1のメモリセル群、第1のビット線対、および前記第1のビット線対に交差して設けられる第1のワード線群を含む第1のメモリアレイと、
行列状に配置される複数の第2のメモリセル群、第2のビット線対、および前記第2のビット線対に交差して設けられる第2のワード線群を含む第2のメモリアレイと、
前記第1および第2のビット線対に共有されるシェアードセンスアンプとを備え、
前記参照電圧発生回路は、
前記複数の第1および第2のダミーセルと、前記第1および第2のダミーワード線とを含み、
前記第1および第2のワード線群のいずれかの正規ワード線の選択前に、前記第1のダミーワード線および前記第2のダミーワード線を選択状態に駆動し、前記複数の第1のダミーセルおよび前記複数の第2のダミーセルの読出電圧を前記参照電圧とする、請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 各前記複数の第1および第2のダミーセルは、前記メモリアレイ内に搭載され、
前記第1および第2のダミーワード線の活性化に応答して、対応する前記第1および第2のビット線と電荷を蓄積するためのストレージ電極と電気的に結合する第1のアクセストランジスタと、
前記ストレージ電極と基準電圧を受けるセルプレート電極とからなるキャパシタとを含み、
前記メモリアレイは、
各前記第1および第2のビット線対に対応して配置され、各前記第1および第2のビット線と電圧供給線との間に接続される第2のアクセストランジスタと、
前記第2のアクセストランジスタのゲートに結合されるダミープリチャージ線とを含み、
前記参照電圧発生回路は、
前記正規メモリセルのデータ書込および読出サイクル終了時において、前記ダミープリチャージ線の活性化に応答して前記電圧供給線から各前記複数の第1および第2のビット線をプリチャージする手段と、
前記第1および第2のワード線群のいずれかの正規ワード線の選択前において選択状態に駆動された前記ダミーワード線をサイクル終了時まで活性状態に維持する手段と、
前記ダミーワード線の活性化に応答して、各前記複数の第1および第2のビット線から各前記複数の第1および第2のダミーセル内の前記キャパシタをプリチャージする手段とを備える、請求項8に記載の半導体記憶装置。 - 行列状に配列される複数の正規メモリセルと、
前記正規メモリセルの列に対応して配置され、各々に対応の列の正規メモリセルが接続する複数の第1のビット線と、
前記正規メモリセルの列に対応して配置され、前記複数の第1のビット線のそれぞれと互いに相補の複数の第2のビット線と、
各前記正規メモリセルの行に対応して配置され、各々に対応の行の正規メモリセルが接続する複数の正規ワード線と、
前記正規メモリセルのデータ書込および読出を行なわない待機状態において、前記第1のビット線および前記第2のビット線を接地電位にプリチャージする充電回路と、
ロウアクティブ後、前記複数の正規ワード線のいずれかの正規ワード線の選択前において、前記複数の第1のビット線および前記複数の第2のビット線のそれぞれに同量の電荷の注入を行なって参照電圧を発生する参照電圧発生回路と、
前記正規ワード線の選択後、前記参照電圧に基づいて前記第1のビット線と前記第2のビット線との間の電位差を差動増幅するセンスアンプとを備え、
前記複数の正規メモリセル、前記複数の第1のビット線、前記複数の第2のビット線および前記複数の正規ワード線は、行列状に配置される複数の第1のメモリセル群、第1のビット線対、および前記第1のビット線対に交差して設けられる第1のワード線群を含む第1のメモリアレイと、行列状に配置される複数の第2のメモリセル群、第2のビット線対、および前記第2のビット線対に交差して設けられる第2のワード線群を含む第2のメモリアレイとに編成され、
前記センスアンプは、前記第1および第2のビット線対に共有されるシェアードセンスアンプを含み、
前記参照電圧発生回路は、前記シェアードセンスアンプ内に搭載され、各前記第1および第2のビット線対に対応しかつ前記正規メモリセルと整列して配置される複数のダミーセルと、
前記複数のダミーセルに共通に結合されるダミーワード線とを備え、
前記第1および第2のワード線群のいずれかの正規ワード線の選択前に、前記ダミーワード線を選択状態に駆動し、前記第1のビット線および前記第2のビット線との間で電荷を等分して授受を行なう前記ダミーセルの読出電圧を前記参照電圧とする、半導体記憶装置。 - 各前記複数のダミーセルは、
前記ダミーワード線の活性化に応答して、各前記第1および第2のビット線対を構成する第1および第2のビット線のそれぞれとストレージ電極とを電気的に結合する第1のアクセストランジスタと、
前記ストレージ電極とセルプレート電極とからなるキャパシタと、
前記ストレージ電極と電圧供給線との間に接続される第2のアクセストランジスタと、
前記ダミーワード線の活性化に応答して、前記第1のビット線と第2のビット線とを電気的に結合する第3のアクセストランジスタとを有する、請求項10に記載の半導体記憶装置。 - 前記ダミーワード線と平行に設けられ、前記第2のアクセストランジスタのゲートに共通に結合されるダミープリチャージ線をさらに備え、
前記正規メモリセルのデータ書込および読出を行なわない待機状態において、前記ダミープリチャージ線の活性化に応答して、前記電圧供給線から前記キャパシタをプリチャージし、
前記ダミーワード線が選択状態に駆動されたことに応答して、各前記複数のダミーセルから前記第1および第2のビット線への読出電圧を前記参照電圧とする、請求項11に記載の半導体記憶装置。 - 各前記複数のダミーセルは、
各前記第1および第2のビット線対に対応して配置され、前記ダミーワード線の活性化に応答して、前記第1および第2のビット線対のそれぞれとストレージ電極とを電気的に結合する第1のアクセストランジスタと、
それぞれが複数の各前記第1および第2のビット線対に共通に形成されたストレージ電極およびセルプレート電極を有するキャパシタと、
各前記複数の第1および第2のビット線対に共有され、前記ダミープリチャージ線の活性化に応答して、前記ストレージ電極と電圧供給線とを電気的に結合する単一の第2のアクセストランジスタとを備える、請求項10に記載の半導体記憶装置。
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ITRM20040199A1 (it) * | 2004-04-21 | 2004-07-21 | Micron Technology Inc | Amplificatore di rilevazione per un dispositivo di memoria non volatile. |
WO2005106892A1 (en) * | 2004-04-21 | 2005-11-10 | Micron Technology, Inc. | Sense amplifier for a non-volatile memory device |
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US7236415B2 (en) * | 2004-09-01 | 2007-06-26 | Micron Technology, Inc. | Sample and hold memory sense amplifier |
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KR100562646B1 (ko) * | 2004-12-22 | 2006-03-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 저전압용 반도체 메모리 장치 |
KR100585169B1 (ko) * | 2004-12-23 | 2006-06-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자의 레이아웃 및 더미셀의 커패시턴스조절방법 |
JP2006228261A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Micron Technology Inc | デジット線絶縁ゲートの負電圧駆動 |
KR101338384B1 (ko) * | 2007-12-10 | 2013-12-06 | 삼성전자주식회사 | 메모리 셀 어레이 및 이를 포함하는 반도체 메모리 장치 |
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CN103985407A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 辉达公司 | 采用分段式页面配置的dram |
US20140219007A1 (en) * | 2013-02-07 | 2014-08-07 | Nvidia Corporation | Dram with segmented page configuration |
CN111727501A (zh) * | 2018-02-23 | 2020-09-29 | 株式会社半导体能源研究所 | 存储装置及其工作方法 |
CN114187956B (zh) * | 2022-01-14 | 2023-09-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 存储器预充电时长边界的测试方法、装置、设备及存储介质 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003100080A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
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---|---|---|---|---|
JPS5363824A (en) * | 1976-11-18 | 1978-06-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor random access memory |
JPS5782288A (en) * | 1980-11-10 | 1982-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | Dynamic memory |
JPS6363824A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-22 | Ohbayashigumi Ltd | 廃棄物処分場の造成方法 |
JPS63282994A (ja) | 1987-05-15 | 1988-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ |
JPH01183000A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-20 | Mitsubishi Electric Corp | 誤り訂正回路を有する半導体メモリ装置 |
JPH01208793A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH0715952B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1995-02-22 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JPH02146179A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Nec Corp | 半導体メモリ |
JP3570038B2 (ja) * | 1994-11-21 | 2004-09-29 | ソニー株式会社 | 半導体不揮発性記憶装置 |
JP4353546B2 (ja) * | 1997-06-30 | 2009-10-28 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | ダイナミック型半導体記憶装置 |
JPH1186557A (ja) * | 1997-09-11 | 1999-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | 同期型記憶装置および同期型記憶装置におけるデータ読み出し方法 |
JP3920565B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2007-05-30 | 株式会社東芝 | 磁気ランダムアクセスメモリ |
US6418044B1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-09 | Stmicroelectronics, Inc. | Method and circuit for determining sense amplifier sensitivity |
JP4262911B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2009-05-13 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体記憶装置 |
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Patent Citations (1)
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