JP4559700B2 - 真空容器 - Google Patents
真空容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4559700B2 JP4559700B2 JP2002364581A JP2002364581A JP4559700B2 JP 4559700 B2 JP4559700 B2 JP 4559700B2 JP 2002364581 A JP2002364581 A JP 2002364581A JP 2002364581 A JP2002364581 A JP 2002364581A JP 4559700 B2 JP4559700 B2 JP 4559700B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- lid
- swing arm
- pivot shaft
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J13/00—Covers or similar closure members for pressure vessels in general
- F16J13/16—Pivoted closures
- F16J13/18—Pivoted closures pivoted directly on the frame
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J13/00—Covers or similar closure members for pressure vessels in general
- F16J13/16—Pivoted closures
- F16J13/20—Pivoted closures mounted by mobile fastening on swinging arms
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに例えば成膜処理やエッチング処理等の各種の処理を施す工程があり、これらの処理を実行する装置の一つとして真空処理装置が用いられている。この真空処理装置は、被処理体を収容して所定の処理を施す処理室、ロードロック室、搬送室などの真空室が形成された真空容器を備えている。そして、真空容器には内部のメンテナンスなどを行うための開口部が設けられており、開口部は開閉自在な蓋体によって密閉されるようになっている。
【０００３】
ここで、蓋体と真空容器との間にはＯリングなどのシール部材が介在されて、その閉塞時の密閉性を確保するようになっているが、蓋体を開閉する際に、シール部材が擦られたり、捩られたりしないようにすることが重要になるが、このようなシール部材の擦過や捩れを防止できるものとして、米国特許第６，０５０，４４６号明細書に記載された蓋体の開閉機構が公知になっている。
【０００４】
この開閉機構は、真空容器の上壁部に形成された開口部を開閉自在に閉塞する蓋体に、その重心部を通る支軸を設け、この支軸の両端を蓋体の周縁に沿って湾曲するＵ字形のフレームの対向する両端によって回動自在に支持するとともに、このＵ字形フレームを容器本体の側壁部に設けたヒンジによって上方に向けて揺動可能に支持して蓋体を開閉するように構成されたものである。
【０００５】
【特許文献１】
米国特許第６，０５０，４４６号明細書
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の開閉機構にあっては、蓋体の重心部を通る支軸をＵ字形フレームによって回動自在に軸支するため、Ｕ字形フレームが大きくなってしまうことを避け難く、もって開閉機構や真空容器が大型化してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、小型化が図れる真空容器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空可能な容器本体と、該容器本体内を排気する真空排気手段と、前記容器本体に形成された開口部と、該開口部周縁の受け面に着座されて開口部を閉塞する蓋体と、該蓋体と容器本体との間に介在されて開口部の周囲をシールするシール部材と、前記蓋体を受け面から揺動離間させて開閉可能に支持する開閉機構とを備え、該開閉機構は、基端部が枢支軸を介して容器本体に枢支されるとともに先端が開口部に着座される蓋体の一側辺に向けて延出されて受け面に対して揺動離間する揺動アームを有し、該揺動アームの先端部に蓋体の重心よりも一側辺側が回動軸を介して回動自在に軸支され、前記枢支軸と前記回動軸との間には前記蓋体が前記回動軸を中心にして自重で回動するのを規制して、前記蓋体の開閉時の前記シール部材に対する着座姿勢を水平にするための回動規制部材があることを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記回動軸は前記蓋体に固定されたブラケットを介して軸支され、前記回動規制部材は前記ブラケットに当接する当接部材を備えていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明において、前記開口部周縁の受け面が容器本体の上壁部に水平に形成されており、前記回動規制部材には、前記着座姿勢の水平度を調整するための水平位置調整ねじを有し、該水平位置調整ねじの先端に前記当接部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２の発明において、前記ブラケットには、前記当接部材の当接時の衝撃を緩和するための保護部材が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記揺動アームには、これを蓋体の開放方向に付勢する開閉操作力軽減手段が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明の実施の形態を示す真空処理装置の平面構成図、図２は同真空処理装置における搬送室の断面図である。
【００１５】
図１には、真空処理装置の一例として、いわゆるマルチチャンバ型の真空処理装置１が示されている。この真空処理装置１は、被処理体例えば半導体ウエハｗを一枚ずつ収容して所定の処理例えば成膜処理、エッチング処理等を施す複数例えば４つの処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと、ウエハｗを各処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄや後述のロードロック室３ａ，３ｂに搬送する搬送アーム機構４を有する搬送室５と、この搬送室５と大気圧の外部との間でウエハｗの出し入れを行うための例えば２つのロードロック室３ａ，３ｂとを備えている。
【００１６】
前記搬送室５はこの図示例では平面略六角形に形成されており、その外周の４つの面に処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれゲートバルブＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４を介して接続されている。搬送室５の外周の他の２つの面には搬入用もしくは搬出用としてのロードロック室３ａ，３ｂがそれぞれゲートバルブＧ５，Ｇ６を介して接続されている。ロードロック室３ａ，３ｂの外部に臨んで形成されたウエハの出し入れ口にはこれを開閉するためのゲートバルブＧ７，Ｇ８が設けられている。
【００１７】
前記処理室２ａ〜２ｄ、搬送室５およびロードロック室３ａ，３ｂは所定の圧力に真空可能な真空室として形成され、いずれも真空容器からなっている。図２は、上記搬送室５をなす真空容器６の断面が示されており、この真空容器６は内部に搬送室としての真空室５がくり抜き形成されたアルミニウム製の容器本体８と、この真空室（搬送室）５内を例えば１０−８Ｐａ程度に真空排気可能な真空排気手段（例えば真空ポンプ）１０と、この真空室５に窒素ガスまたは不活性ガスを供給するためのガス供給手段１１と、容器本体（本体）８の上部壁８ａに形成されたメンテナンス等用の開口部１２を閉塞する開閉対象物たるアルミニウム製の蓋体１４と、この蓋体１４と容器本体８との間に介在されて開口部１２の周囲をシールするＯリング等からなるシール部材１６と、図３の外観全体斜視図に示すように 蓋体１４を開閉自在に支持する開閉機構１８とを備えている。
【００１８】
容器本体８の上壁部８ａに形成される開口部１２は４角形あるいは６角形等の任意の多角形状をなし、この開口部１２を閉塞する蓋体１４も開口部１２に相似する多角形状になっていて、図３〜図９の図示例では平面視で矩形状になっている。また、この蓋体１４が着座される容器本体８の受け面（受部）２０にはシール部材１６の下部を挿入装着するための取付け溝２２が開口部１２の周縁部に沿って設けられている。
【００１９】
蓋体１４はその一辺の両側部が、容器本体８の上面に対称配置された一対の開閉機構１８によって上方に揺動可能に支持され、受け面２０から上方に揺動離間されて開閉されるようになっている。開閉機構１８は、揺動アーム２４と、この揺動アーム２４の基端部を枢支軸２６を介して回動自在に支持する軸受け部材３０と、揺動アーム２４の先端方の揺動端側に上記枢支軸２６と平行に取付けられた回動軸３４と、この回動軸３４に回動自在に垂下された蓋体１４用の取付ホルダー３８と、蓋体１４の開閉操作力を軽減補助するための操作力軽減手段６０とを有している。軸受け部材３０は例えばステンレス製であり、容器本体８の開口部１２の側方に位置されて上壁部８ａの上面に一体的に立設固定され、その軸受け孔３２は軸心が開口部１２の一側縁に沿って平行に指向されて形成されている。
【００２０】
揺動アーム２４は、例えばステンレス製であり、長手方向の横断面が矩形を呈する略直方体状をなしており、その基端部には枢支軸２６を嵌合させる横断面矩形状の軸孔２８が設けられている。枢支軸２６は一端側が揺動アーム２４の軸孔２８に対応されて横断面矩形状に形成されており、この矩形軸部２６ａが軸孔２８に圧入嵌合されて揺動アーム２４に回転を規制されて一体的に取付けられる一方、他端側が丸軸部２６ｂに形成されて、対称配置される一対の揺動アーム２４のそれぞれ外側に向けて突出され、その側方に立設されている上記軸受け部材３０の軸受け孔３２に回動自在に嵌合されて、揺動アーム２４を上方に向けて揺動可能（回動可能）に支持している。
【００２１】
また、揺動アーム２４の先端は開口部１２の受け面２０上に着座された蓋体１４の一側辺に向けて延び、その先端には回動軸３４を挿通嵌合させる軸孔３６が枢支軸２６と平行に貫通形成されている。回動軸３４は軸孔３６に嵌合されて、その両端が揺動アーム２４の側面から突出する。この回動軸３４に垂下された取付ホルダー３８が、開口部１２周縁の受け面２０上に着座される蓋体１４の一側辺近傍の上面にボルト４０で一体的に固定される。
【００２２】
この取付ホルダー３８は、揺動アーム２４の側面から突出する回動軸３４の両軸端に回動自在に嵌合する一対の軸受プレート（サイドプレートともいう）４２と、この軸受プレート４２に結合される断面Ｕ字状のブラケット４４とからなっている。軸受けプレート４２には、回動軸３４の両端部を支持する軸受孔４７と、複数例えば３本のボルト４１を螺合する３つのネジ孔４８とが設けられている。
【００２３】
ブラケット４４の両側壁４４ａ，４４ａ間には、揺動アーム２４が軸受プレート４２を介して支持され、各軸受プレート４２はブラケット４４の両側壁４４ａ，４４ａの内側面に複数例えば３本のボルト４１で固定されている。これらのボルト４１はブラケット４４の側壁部４４ａに設けられたボルト挿通孔４６ａ，４６ｂに外側から挿通されて、その先端が軸受プレート４２に形成されたネジ孔４８に螺合されてブラケット４４と軸受プレート４２とを締結結合している。
【００２４】
３本のボルト４１のうち１本は軸受孔４７の略直下に配され、２本はその揺動アーム２４の基端部側寄りに上下に配されている。前記ボルト挿通孔４６ａ，４６ｂは、上下方向に長い長穴状に形成されていて、例えば蓋体１４がシール部材１６に水平に当接された時に揺動アーム２４も水平となるように、それらの間の相対的な高さ位置の微調整が行えるようになっている。
【００２５】
また、揺動アーム２４には、蓋体１４が回動軸３４を中心にして自重で下方に回動するのを規制して、蓋体１４の開閉時のシール部材１６に対する着座姿勢を水平に保持させるための手段（回動規制部材）及びその着座姿勢の水平度を調整する手段として水平位置調整ねじ５０が設けられている。この水平位置調整ねじ５０は、水平状態にある揺動アーム２４をその上面側から下面側に略垂直に貫通して設けられたネジ孔５１に螺合されて取付けられている。水平位置調整ネジ５０には、固定用のナット（ロックナットともいう）５２が螺着されている。また、水平位置調整ネジ５０の先端部には、当接部材５４が被せられて取付けられている。
【００２６】
水平位置調整ネジ５０は、回動軸３４よりも基端部寄りに配されて、当接部材５４がブラケット４４の底壁部４４ｂ上面に臨まされて設けられていている。さらに、ブラケット４４の底壁部４４ｂには、当接部材５４が実際に当接してその当接時の衝撃を緩和する例えば硬質合成樹脂製の板状の保護部材５６が設けられている。また、同様に蓋体１４を開放したときに揺動アーム２４の先端にブラケット４４の底壁部４４ｂが直接当接するのを防止して、その当接時の衝撃を緩衝するための保護部材５８も設けられている。
【００２７】
また、図３と図６とに示すように、一対をなす開閉機構１８のそれぞれには、蓋体１４の開閉操作力を軽減するための操作力軽減手段６０が設けられている。
この操作力軽減手段６０は揺動アーム２４を枢支する軸受け部材３０の側方に枢支軸２６と同軸上に配されて設けられており、揺動アーム２４側に一端が固定係止されたコイルスプリング６２と、このコイルスプリング６２の他端を容器本体８側に固定係止するスプリング係止部材６４と、コイルスプリング６２の外側を囲繞する円筒状のカバー部材６６とからなる。
【００２８】
コイルスプリング６２は一対の揺動アーム２４の対向面側にそれぞれ設けられて両揺動アーム２４間の中央に向けて枢支軸２６と同軸上に延びており、その中央部において容器本体８に一体的に固定されて立設されているスプリング係止部材６４に他端が係止固定されている。コイルスプリング６２は蓋体１４を開放方向に付勢するように、予め捩られた状態で両端がスプリング固定部材６４と揺動アーム２４とに固定係止され、その捩り弾性力で蓋体１４を開放方向に付勢しており、蓋体１４を閉塞状態から開放状態に開動作させるとその付勢力が弱まるようになっている。
【００２９】
水平状態において蓋体１４と揺動アーム２４との自重によって発生する枢支軸２６周りのモーメントに、コイルスプリング６２の捩りモーメントを近似させて設定することで、蓋体１４の開閉操作力を可及的に軽減させることができるようになっている。また、軸受け部材３０の外側部には、揺動アーム２４の開閉動作を緩慢に抑制するためのダンパー６８が取付けられている（図６参照）。また、蓋体１４にはこれを開閉するための把手６９が設けられている。本実施の形態では、水平位置調整ねじ５０、当接部材５４及び保護部材５６が、枢支軸２６と回動軸３４との間にあって、蓋体１４が回動軸３４を中心にして自重で回動するのを規制して、蓋体１４の開閉時のシール部材１６に対する着座姿勢を水平にする回動規制部材を構成している。水平位置調整ねじ５０は製造誤差を吸収するものであり、製造誤差が極めて小さい場合は不要である。回動規制部材は、揺動アーム側及び蓋体側の何れか一方のみに設けるだけでもよい。
【００３０】
以上のように構成される真空容器６においては、開閉機構１８を介して開閉自在に設けられた蓋体１４を開閉する場合、蓋体１４および揺動アーム２４の荷重は開閉操作力軽減手段６０の付勢力によって相殺されているので、非常に軽い操作力で蓋体１４を開閉することができる。このとき、蓋体１４はその重心から離れた一側辺側に設けられた取付ホルダー３８を介して揺動アーム２４の回動軸３４に回動自在に支持されているから、自重で対向する他辺側が回動軸３４周りに下方に回動しようとするが、水平位置調整ねじ５０が蓋体１４に固定されたブラケット４４の底壁部４４ｂに保護部材５６を介して当接してその回動が規制される。
【００３１】
そして、閉塞時に蓋体１４が容器本体８の受け面２０に着座する際には、図８に示すように、まず蓋体１４の裏面が受け面２０上に設けられているシール部材１６に当接して着座することになる。このとき、蓋体１４の荷重は操作力軽減手段６０の付勢力によって相殺されているから、シール部材１６は殆ど潰れることはなく、蓋体１４は未だ受け面２０から若干離間してシール部材１６上に載置された状態に保持される。そして、蓋体１４のシール部材１６への当接時の姿勢は水平位置調整ねじ５０によって水平になるように調整されているから、蓋体１４は受け面２０に対して平行な状態を保ちつつ、シール部材１６に対しその全周長に亘って均一に当接することになる。
【００３２】
その後、蓋体を平行に下方に引く力（例えば、真空容器６内の真空室５内が真空排気手段１０によって減圧排気される内外の圧力差、または蓋体１４、容器本体８間の四方に設けられた図示しない締め付け具による締め付け力）により、図９に示すように、蓋体１４は平行に移動してシール部材１６を押圧し、容器本体８の受け面２０上に着座することになる。このとき、蓋体１４はシール部材１６潰れ代分だけ下降し、この下降に伴って取付ホルダー３８を介して揺動アーム２４も下方に引き下げられて若干回動することになる。
【００３３】
この場合、水平位置調整ねじ５０は回動軸３４と枢支軸２６の間に配置されていることから、水平位置調整ねじ５０の先端の下降量は回動軸３４の下降量よりも小さくなる。つまり、水平位置調整ねじ５０の下降量は蓋体１４の下降量よりも小さくなる。これため、蓋体１４がシール部材１６上に載った水平状態から下降するときには、水平位置調整ねじ５０の先端（当接部材５４）がブラケット４４に設けられた保護部材５６から離れ、蓋体１４の平行移動による受け面２０上への着座を阻害することはなく、蓋体１４は真空容器６の開口部１２を密閉して塞ぐことができる。従って、蓋体１４が傾いた状態で下降して閉じられることがないので、シール部材１６が擦れたり、蓋体１４が容器本体８の受け面２０にメタルタッチで擦れたりすることがなく、パーティクルの発生を抑制ないし防止することができる。
【００３４】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明に係る開閉機構および真空容器は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、上記実施の形態では真空容器におけるメンテナンス等用の開口部１２を開閉する蓋体１４を開閉対象物とした開閉機構の例を示したが、開閉対象物としてはこのような真空容器の開閉蓋に限らず、本体に形成された開口部をその周縁部の受け面に着座して閉塞するものであって、受け面に対して揺動離間して開閉するものであれば、本発明の開閉機構を適用し得る。この場合、開閉対象物と本体に形成された開口部とが僅かに離間した位置、つまり上記実施の形態において蓋体とシール部材とが当接する位置に相当する位置において、開閉対象物は回動規制部材により水平となる。
【００３５】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００３７】
（１）請求項１の発明によれば、真空可能な容器本体と、該容器本体内を排気する真空排気手段と、前記容器本体に形成された開口部と、該開口部周縁の受け面に着座されて開口部を閉塞する蓋体と、該蓋体と容器本体との間に介在されて開口部の周囲をシールするシール部材と、前記蓋体を受け面から揺動離間させて開閉可能に支持する開閉機構とを備え、該開閉機構は、基端部が枢支軸を介して容器本体に枢支されるとともに先端が開口部に着座される蓋体の一側辺に向けて延出されて受け面に対して揺動離間する揺動アームを有し、該揺動アームの先端部に蓋体の重心よりも一側辺側が回動軸を介して回動自在に軸支され、前記枢支軸と前記回動軸との間には前記蓋体が前記回動軸を中心にして自重で回動するのを規制して、前記蓋体の開閉時の前記シール部材に対する着座姿勢を水平にするための回動規制部材があるため、揺動アームの長さを短くすることができ、もってコンパクトな開閉機構を備えてスペース効率に優れた真空容器を提供することができる。また、蓋体を水平に支持しつつ開口部周縁の受け面に着座させることができる。
【００３８】
（２）請求項２の発明によれば、前記回動軸は前記蓋体に固定されたブラケットを介して軸支され、前記回動規制部材は前記ブラケットに当接する当接部材を備えているため、蓋体が自重で回動するのを規制して蓋体のシール部材に対する着座姿勢を水平にすることができる。
【００３９】
（３）請求項３の発明によれば、前記開口部周縁の受け面が容器本体の上壁部に水平に形成されており、前記回動規制部材には、前記着座姿勢の水平度を調整するための水平位置調整ねじを有し、該水平位置調整ねじの先端に前記当接部材が設けられているため、シール部材に対する蓋体の着座姿勢の水平度を容易に調整することができる。
【００４０】
（４）請求項４の発明によれば、前記ブラケットには、前記当接部材の当接時の衝撃を緩和するための保護部材が設けられているため、耐久性の向上が図れるとともに、当接時に発生する恐れがある金属粉等のパーティクルの発生を抑制できる。
【００４１】
（５）請求項５の発明によれば、前記揺動アームには、これを蓋体の開放方向に付勢する開閉操作力軽減手段が設けられているため、蓋体の開閉操作力が軽減され、操作性の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す真空処理装置の平面構成図である。
【図２】同真空処理装置における搬送室の断面図である。
【図３】同搬送室を形成する真空容器の全体斜視図である。
【図４】図３に示す真空容器に用いられている開閉機構の拡大斜視図である。
【図５】図４に示す開閉機構の分解斜視図である。
【図６】図３に示す真空容器の平面図である。
【図７】図６中のＡ−Ａ線部の断面図である
【図８】図７に相当し、蓋体が受け面のシール部材に当接した状態を示す図である。
【図９】図７に相当し、蓋体が真空室内の減圧により受け面に着座した状態を示す図である。
【符号の説明】
６ 真空容器
８ 容器本体（本体）
８ａ 上壁部
１０ 真空排気手段
１２ 開口部
１４ 蓋体（開閉対象物）
１６ シール部材
１８ 開閉機構
２０ 受け面
２４ 揺動アーム
２６ 枢支軸
３０ 軸受け部材
３４ 回動軸
４２ 軸受プレート
４４ ブラケット
５０ 水平位置調整ねじ
５６ 保護部材
６０ 操作力軽減手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに例えば成膜処理やエッチング処理等の各種の処理を施す工程があり、これらの処理を実行する装置の一つとして真空処理装置が用いられている。この真空処理装置は、被処理体を収容して所定の処理を施す処理室、ロードロック室、搬送室などの真空室が形成された真空容器を備えている。そして、真空容器には内部のメンテナンスなどを行うための開口部が設けられており、開口部は開閉自在な蓋体によって密閉されるようになっている。
【０００３】
ここで、蓋体と真空容器との間にはＯリングなどのシール部材が介在されて、その閉塞時の密閉性を確保するようになっているが、蓋体を開閉する際に、シール部材が擦られたり、捩られたりしないようにすることが重要になるが、このようなシール部材の擦過や捩れを防止できるものとして、米国特許第６，０５０，４４６号明細書に記載された蓋体の開閉機構が公知になっている。
【０００４】
この開閉機構は、真空容器の上壁部に形成された開口部を開閉自在に閉塞する蓋体に、その重心部を通る支軸を設け、この支軸の両端を蓋体の周縁に沿って湾曲するＵ字形のフレームの対向する両端によって回動自在に支持するとともに、このＵ字形フレームを容器本体の側壁部に設けたヒンジによって上方に向けて揺動可能に支持して蓋体を開閉するように構成されたものである。
【０００５】
【特許文献１】
米国特許第６，０５０，４４６号明細書
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の開閉機構にあっては、蓋体の重心部を通る支軸をＵ字形フレームによって回動自在に軸支するため、Ｕ字形フレームが大きくなってしまうことを避け難く、もって開閉機構や真空容器が大型化してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、小型化が図れる真空容器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空可能な容器本体と、該容器本体内を排気する真空排気手段と、前記容器本体に形成された開口部と、該開口部周縁の受け面に着座されて開口部を閉塞する蓋体と、該蓋体と容器本体との間に介在されて開口部の周囲をシールするシール部材と、前記蓋体を受け面から揺動離間させて開閉可能に支持する開閉機構とを備え、該開閉機構は、基端部が枢支軸を介して容器本体に枢支されるとともに先端が開口部に着座される蓋体の一側辺に向けて延出されて受け面に対して揺動離間する揺動アームを有し、該揺動アームの先端部に蓋体の重心よりも一側辺側が回動軸を介して回動自在に軸支され、前記枢支軸と前記回動軸との間には前記蓋体が前記回動軸を中心にして自重で回動するのを規制して、前記蓋体の開閉時の前記シール部材に対する着座姿勢を水平にするための回動規制部材があることを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記回動軸は前記蓋体に固定されたブラケットを介して軸支され、前記回動規制部材は前記ブラケットに当接する当接部材を備えていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明において、前記開口部周縁の受け面が容器本体の上壁部に水平に形成されており、前記回動規制部材には、前記着座姿勢の水平度を調整するための水平位置調整ねじを有し、該水平位置調整ねじの先端に前記当接部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２の発明において、前記ブラケットには、前記当接部材の当接時の衝撃を緩和するための保護部材が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記揺動アームには、これを蓋体の開放方向に付勢する開閉操作力軽減手段が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明の実施の形態を示す真空処理装置の平面構成図、図２は同真空処理装置における搬送室の断面図である。
【００１５】
図１には、真空処理装置の一例として、いわゆるマルチチャンバ型の真空処理装置１が示されている。この真空処理装置１は、被処理体例えば半導体ウエハｗを一枚ずつ収容して所定の処理例えば成膜処理、エッチング処理等を施す複数例えば４つの処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと、ウエハｗを各処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄや後述のロードロック室３ａ，３ｂに搬送する搬送アーム機構４を有する搬送室５と、この搬送室５と大気圧の外部との間でウエハｗの出し入れを行うための例えば２つのロードロック室３ａ，３ｂとを備えている。
【００１６】
前記搬送室５はこの図示例では平面略六角形に形成されており、その外周の４つの面に処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれゲートバルブＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４を介して接続されている。搬送室５の外周の他の２つの面には搬入用もしくは搬出用としてのロードロック室３ａ，３ｂがそれぞれゲートバルブＧ５，Ｇ６を介して接続されている。ロードロック室３ａ，３ｂの外部に臨んで形成されたウエハの出し入れ口にはこれを開閉するためのゲートバルブＧ７，Ｇ８が設けられている。
【００１７】
前記処理室２ａ〜２ｄ、搬送室５およびロードロック室３ａ，３ｂは所定の圧力に真空可能な真空室として形成され、いずれも真空容器からなっている。図２は、上記搬送室５をなす真空容器６の断面が示されており、この真空容器６は内部に搬送室としての真空室５がくり抜き形成されたアルミニウム製の容器本体８と、この真空室（搬送室）５内を例えば１０−８Ｐａ程度に真空排気可能な真空排気手段（例えば真空ポンプ）１０と、この真空室５に窒素ガスまたは不活性ガスを供給するためのガス供給手段１１と、容器本体（本体）８の上部壁８ａに形成されたメンテナンス等用の開口部１２を閉塞する開閉対象物たるアルミニウム製の蓋体１４と、この蓋体１４と容器本体８との間に介在されて開口部１２の周囲をシールするＯリング等からなるシール部材１６と、図３の外観全体斜視図に示すように 蓋体１４を開閉自在に支持する開閉機構１８とを備えている。
【００１８】
容器本体８の上壁部８ａに形成される開口部１２は４角形あるいは６角形等の任意の多角形状をなし、この開口部１２を閉塞する蓋体１４も開口部１２に相似する多角形状になっていて、図３〜図９の図示例では平面視で矩形状になっている。また、この蓋体１４が着座される容器本体８の受け面（受部）２０にはシール部材１６の下部を挿入装着するための取付け溝２２が開口部１２の周縁部に沿って設けられている。
【００１９】
蓋体１４はその一辺の両側部が、容器本体８の上面に対称配置された一対の開閉機構１８によって上方に揺動可能に支持され、受け面２０から上方に揺動離間されて開閉されるようになっている。開閉機構１８は、揺動アーム２４と、この揺動アーム２４の基端部を枢支軸２６を介して回動自在に支持する軸受け部材３０と、揺動アーム２４の先端方の揺動端側に上記枢支軸２６と平行に取付けられた回動軸３４と、この回動軸３４に回動自在に垂下された蓋体１４用の取付ホルダー３８と、蓋体１４の開閉操作力を軽減補助するための操作力軽減手段６０とを有している。軸受け部材３０は例えばステンレス製であり、容器本体８の開口部１２の側方に位置されて上壁部８ａの上面に一体的に立設固定され、その軸受け孔３２は軸心が開口部１２の一側縁に沿って平行に指向されて形成されている。
【００２０】
揺動アーム２４は、例えばステンレス製であり、長手方向の横断面が矩形を呈する略直方体状をなしており、その基端部には枢支軸２６を嵌合させる横断面矩形状の軸孔２８が設けられている。枢支軸２６は一端側が揺動アーム２４の軸孔２８に対応されて横断面矩形状に形成されており、この矩形軸部２６ａが軸孔２８に圧入嵌合されて揺動アーム２４に回転を規制されて一体的に取付けられる一方、他端側が丸軸部２６ｂに形成されて、対称配置される一対の揺動アーム２４のそれぞれ外側に向けて突出され、その側方に立設されている上記軸受け部材３０の軸受け孔３２に回動自在に嵌合されて、揺動アーム２４を上方に向けて揺動可能（回動可能）に支持している。
【００２１】
また、揺動アーム２４の先端は開口部１２の受け面２０上に着座された蓋体１４の一側辺に向けて延び、その先端には回動軸３４を挿通嵌合させる軸孔３６が枢支軸２６と平行に貫通形成されている。回動軸３４は軸孔３６に嵌合されて、その両端が揺動アーム２４の側面から突出する。この回動軸３４に垂下された取付ホルダー３８が、開口部１２周縁の受け面２０上に着座される蓋体１４の一側辺近傍の上面にボルト４０で一体的に固定される。
【００２２】
この取付ホルダー３８は、揺動アーム２４の側面から突出する回動軸３４の両軸端に回動自在に嵌合する一対の軸受プレート（サイドプレートともいう）４２と、この軸受プレート４２に結合される断面Ｕ字状のブラケット４４とからなっている。軸受けプレート４２には、回動軸３４の両端部を支持する軸受孔４７と、複数例えば３本のボルト４１を螺合する３つのネジ孔４８とが設けられている。
【００２３】
ブラケット４４の両側壁４４ａ，４４ａ間には、揺動アーム２４が軸受プレート４２を介して支持され、各軸受プレート４２はブラケット４４の両側壁４４ａ，４４ａの内側面に複数例えば３本のボルト４１で固定されている。これらのボルト４１はブラケット４４の側壁部４４ａに設けられたボルト挿通孔４６ａ，４６ｂに外側から挿通されて、その先端が軸受プレート４２に形成されたネジ孔４８に螺合されてブラケット４４と軸受プレート４２とを締結結合している。
【００２４】
３本のボルト４１のうち１本は軸受孔４７の略直下に配され、２本はその揺動アーム２４の基端部側寄りに上下に配されている。前記ボルト挿通孔４６ａ，４６ｂは、上下方向に長い長穴状に形成されていて、例えば蓋体１４がシール部材１６に水平に当接された時に揺動アーム２４も水平となるように、それらの間の相対的な高さ位置の微調整が行えるようになっている。
【００２５】
また、揺動アーム２４には、蓋体１４が回動軸３４を中心にして自重で下方に回動するのを規制して、蓋体１４の開閉時のシール部材１６に対する着座姿勢を水平に保持させるための手段（回動規制部材）及びその着座姿勢の水平度を調整する手段として水平位置調整ねじ５０が設けられている。この水平位置調整ねじ５０は、水平状態にある揺動アーム２４をその上面側から下面側に略垂直に貫通して設けられたネジ孔５１に螺合されて取付けられている。水平位置調整ネジ５０には、固定用のナット（ロックナットともいう）５２が螺着されている。また、水平位置調整ネジ５０の先端部には、当接部材５４が被せられて取付けられている。
【００２６】
水平位置調整ネジ５０は、回動軸３４よりも基端部寄りに配されて、当接部材５４がブラケット４４の底壁部４４ｂ上面に臨まされて設けられていている。さらに、ブラケット４４の底壁部４４ｂには、当接部材５４が実際に当接してその当接時の衝撃を緩和する例えば硬質合成樹脂製の板状の保護部材５６が設けられている。また、同様に蓋体１４を開放したときに揺動アーム２４の先端にブラケット４４の底壁部４４ｂが直接当接するのを防止して、その当接時の衝撃を緩衝するための保護部材５８も設けられている。
【００２７】
また、図３と図６とに示すように、一対をなす開閉機構１８のそれぞれには、蓋体１４の開閉操作力を軽減するための操作力軽減手段６０が設けられている。
この操作力軽減手段６０は揺動アーム２４を枢支する軸受け部材３０の側方に枢支軸２６と同軸上に配されて設けられており、揺動アーム２４側に一端が固定係止されたコイルスプリング６２と、このコイルスプリング６２の他端を容器本体８側に固定係止するスプリング係止部材６４と、コイルスプリング６２の外側を囲繞する円筒状のカバー部材６６とからなる。
【００２８】
コイルスプリング６２は一対の揺動アーム２４の対向面側にそれぞれ設けられて両揺動アーム２４間の中央に向けて枢支軸２６と同軸上に延びており、その中央部において容器本体８に一体的に固定されて立設されているスプリング係止部材６４に他端が係止固定されている。コイルスプリング６２は蓋体１４を開放方向に付勢するように、予め捩られた状態で両端がスプリング固定部材６４と揺動アーム２４とに固定係止され、その捩り弾性力で蓋体１４を開放方向に付勢しており、蓋体１４を閉塞状態から開放状態に開動作させるとその付勢力が弱まるようになっている。
【００２９】
水平状態において蓋体１４と揺動アーム２４との自重によって発生する枢支軸２６周りのモーメントに、コイルスプリング６２の捩りモーメントを近似させて設定することで、蓋体１４の開閉操作力を可及的に軽減させることができるようになっている。また、軸受け部材３０の外側部には、揺動アーム２４の開閉動作を緩慢に抑制するためのダンパー６８が取付けられている（図６参照）。また、蓋体１４にはこれを開閉するための把手６９が設けられている。本実施の形態では、水平位置調整ねじ５０、当接部材５４及び保護部材５６が、枢支軸２６と回動軸３４との間にあって、蓋体１４が回動軸３４を中心にして自重で回動するのを規制して、蓋体１４の開閉時のシール部材１６に対する着座姿勢を水平にする回動規制部材を構成している。水平位置調整ねじ５０は製造誤差を吸収するものであり、製造誤差が極めて小さい場合は不要である。回動規制部材は、揺動アーム側及び蓋体側の何れか一方のみに設けるだけでもよい。
【００３０】
以上のように構成される真空容器６においては、開閉機構１８を介して開閉自在に設けられた蓋体１４を開閉する場合、蓋体１４および揺動アーム２４の荷重は開閉操作力軽減手段６０の付勢力によって相殺されているので、非常に軽い操作力で蓋体１４を開閉することができる。このとき、蓋体１４はその重心から離れた一側辺側に設けられた取付ホルダー３８を介して揺動アーム２４の回動軸３４に回動自在に支持されているから、自重で対向する他辺側が回動軸３４周りに下方に回動しようとするが、水平位置調整ねじ５０が蓋体１４に固定されたブラケット４４の底壁部４４ｂに保護部材５６を介して当接してその回動が規制される。
【００３１】
そして、閉塞時に蓋体１４が容器本体８の受け面２０に着座する際には、図８に示すように、まず蓋体１４の裏面が受け面２０上に設けられているシール部材１６に当接して着座することになる。このとき、蓋体１４の荷重は操作力軽減手段６０の付勢力によって相殺されているから、シール部材１６は殆ど潰れることはなく、蓋体１４は未だ受け面２０から若干離間してシール部材１６上に載置された状態に保持される。そして、蓋体１４のシール部材１６への当接時の姿勢は水平位置調整ねじ５０によって水平になるように調整されているから、蓋体１４は受け面２０に対して平行な状態を保ちつつ、シール部材１６に対しその全周長に亘って均一に当接することになる。
【００３２】
その後、蓋体を平行に下方に引く力（例えば、真空容器６内の真空室５内が真空排気手段１０によって減圧排気される内外の圧力差、または蓋体１４、容器本体８間の四方に設けられた図示しない締め付け具による締め付け力）により、図９に示すように、蓋体１４は平行に移動してシール部材１６を押圧し、容器本体８の受け面２０上に着座することになる。このとき、蓋体１４はシール部材１６潰れ代分だけ下降し、この下降に伴って取付ホルダー３８を介して揺動アーム２４も下方に引き下げられて若干回動することになる。
【００３３】
この場合、水平位置調整ねじ５０は回動軸３４と枢支軸２６の間に配置されていることから、水平位置調整ねじ５０の先端の下降量は回動軸３４の下降量よりも小さくなる。つまり、水平位置調整ねじ５０の下降量は蓋体１４の下降量よりも小さくなる。これため、蓋体１４がシール部材１６上に載った水平状態から下降するときには、水平位置調整ねじ５０の先端（当接部材５４）がブラケット４４に設けられた保護部材５６から離れ、蓋体１４の平行移動による受け面２０上への着座を阻害することはなく、蓋体１４は真空容器６の開口部１２を密閉して塞ぐことができる。従って、蓋体１４が傾いた状態で下降して閉じられることがないので、シール部材１６が擦れたり、蓋体１４が容器本体８の受け面２０にメタルタッチで擦れたりすることがなく、パーティクルの発生を抑制ないし防止することができる。
【００３４】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明に係る開閉機構および真空容器は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、上記実施の形態では真空容器におけるメンテナンス等用の開口部１２を開閉する蓋体１４を開閉対象物とした開閉機構の例を示したが、開閉対象物としてはこのような真空容器の開閉蓋に限らず、本体に形成された開口部をその周縁部の受け面に着座して閉塞するものであって、受け面に対して揺動離間して開閉するものであれば、本発明の開閉機構を適用し得る。この場合、開閉対象物と本体に形成された開口部とが僅かに離間した位置、つまり上記実施の形態において蓋体とシール部材とが当接する位置に相当する位置において、開閉対象物は回動規制部材により水平となる。
【００３５】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００３７】
（１）請求項１の発明によれば、真空可能な容器本体と、該容器本体内を排気する真空排気手段と、前記容器本体に形成された開口部と、該開口部周縁の受け面に着座されて開口部を閉塞する蓋体と、該蓋体と容器本体との間に介在されて開口部の周囲をシールするシール部材と、前記蓋体を受け面から揺動離間させて開閉可能に支持する開閉機構とを備え、該開閉機構は、基端部が枢支軸を介して容器本体に枢支されるとともに先端が開口部に着座される蓋体の一側辺に向けて延出されて受け面に対して揺動離間する揺動アームを有し、該揺動アームの先端部に蓋体の重心よりも一側辺側が回動軸を介して回動自在に軸支され、前記枢支軸と前記回動軸との間には前記蓋体が前記回動軸を中心にして自重で回動するのを規制して、前記蓋体の開閉時の前記シール部材に対する着座姿勢を水平にするための回動規制部材があるため、揺動アームの長さを短くすることができ、もってコンパクトな開閉機構を備えてスペース効率に優れた真空容器を提供することができる。また、蓋体を水平に支持しつつ開口部周縁の受け面に着座させることができる。
【００３８】
（２）請求項２の発明によれば、前記回動軸は前記蓋体に固定されたブラケットを介して軸支され、前記回動規制部材は前記ブラケットに当接する当接部材を備えているため、蓋体が自重で回動するのを規制して蓋体のシール部材に対する着座姿勢を水平にすることができる。
【００３９】
（３）請求項３の発明によれば、前記開口部周縁の受け面が容器本体の上壁部に水平に形成されており、前記回動規制部材には、前記着座姿勢の水平度を調整するための水平位置調整ねじを有し、該水平位置調整ねじの先端に前記当接部材が設けられているため、シール部材に対する蓋体の着座姿勢の水平度を容易に調整することができる。
【００４０】
（４）請求項４の発明によれば、前記ブラケットには、前記当接部材の当接時の衝撃を緩和するための保護部材が設けられているため、耐久性の向上が図れるとともに、当接時に発生する恐れがある金属粉等のパーティクルの発生を抑制できる。
【００４１】
（５）請求項５の発明によれば、前記揺動アームには、これを蓋体の開放方向に付勢する開閉操作力軽減手段が設けられているため、蓋体の開閉操作力が軽減され、操作性の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す真空処理装置の平面構成図である。
【図２】同真空処理装置における搬送室の断面図である。
【図３】同搬送室を形成する真空容器の全体斜視図である。
【図４】図３に示す真空容器に用いられている開閉機構の拡大斜視図である。
【図５】図４に示す開閉機構の分解斜視図である。
【図６】図３に示す真空容器の平面図である。
【図７】図６中のＡ−Ａ線部の断面図である
【図８】図７に相当し、蓋体が受け面のシール部材に当接した状態を示す図である。
【図９】図７に相当し、蓋体が真空室内の減圧により受け面に着座した状態を示す図である。
【符号の説明】
６ 真空容器
８ 容器本体（本体）
８ａ 上壁部
１０ 真空排気手段
１２ 開口部
１４ 蓋体（開閉対象物）
１６ シール部材
１８ 開閉機構
２０ 受け面
２４ 揺動アーム
２６ 枢支軸
３０ 軸受け部材
３４ 回動軸
４２ 軸受プレート
４４ ブラケット
５０ 水平位置調整ねじ
５６ 保護部材
６０ 操作力軽減手段
Claims (5)
- 真空可能な容器本体と、該容器本体内を排気する真空排気手段と、前記容器本体に形成された開口部と、該開口部周縁の受け面に着座されて開口部を閉塞する蓋体と、該蓋体と容器本体との間に介在されて開口部の周囲をシールするシール部材と、前記蓋体を受け面から揺動離間させて開閉可能に支持する開閉機構とを備え、該開閉機構は、基端部が枢支軸を介して容器本体に枢支されるとともに先端が開口部に着座される蓋体の一側辺に向けて延出されて受け面に対して揺動離間する揺動アームを有し、該揺動アームの先端部に蓋体の重心よりも一側辺側が回動軸を介して回動自在に軸支され、前記枢支軸と前記回動軸との間には前記蓋体が前記回動軸を中心にして自重で回動するのを規制して、前記蓋体の開閉時の前記シール部材に対する着座姿勢を水平にするための回動規制部材があることを特徴とする真空容器。
- 前記回動軸は前記蓋体に固定されたブラケットを介して軸支され、前記回動規制部材は前記ブラケットに当接する当接部材を備えていることを特徴とする請求項１記載の真空容器。
- 前記開口部周縁の受け面が容器本体の上壁部に水平に形成されており、前記回動規制部材には、前記着座姿勢の水平度を調整するための水平位置調整ねじを有し、該水平位置調整ねじの先端に前記当接部材が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の真空容器。
- 前記ブラケットには、前記当接部材の当接時の衝撃を緩和するための保護部材が設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空容器。
- 前記揺動アームには、これを蓋体の開放方向に付勢する開閉操作力軽減手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空容器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002364581A JP4559700B2 (ja) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | 真空容器 |
| PCT/JP2003/016091 WO2004055419A1 (ja) | 2002-12-17 | 2003-12-16 | 蓋体装置及び真空容器装置 |
| KR1020057011123A KR100657066B1 (ko) | 2002-12-17 | 2003-12-16 | 덮개 장치 및 진공 용기 장치 |
| CNB200380106579XA CN100374761C (zh) | 2002-12-17 | 2003-12-16 | 盖体装置及真空容器装置 |
| US10/539,571 US7762425B2 (en) | 2002-12-17 | 2003-12-16 | Vacuum container apparatus used for manufacturing semiconductor devices and lid apparatus for same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002364581A JP4559700B2 (ja) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | 真空容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004200257A JP2004200257A (ja) | 2004-07-15 |
| JP4559700B2 true JP4559700B2 (ja) | 2010-10-13 |
Family
ID=32588244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002364581A Expired - Fee Related JP4559700B2 (ja) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | 真空容器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7762425B2 (ja) |
| JP (1) | JP4559700B2 (ja) |
| KR (1) | KR100657066B1 (ja) |
| CN (1) | CN100374761C (ja) |
| WO (1) | WO2004055419A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4503460B2 (ja) * | 2005-02-16 | 2010-07-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置のドア密閉機構 |
| US7845891B2 (en) * | 2006-01-13 | 2010-12-07 | Applied Materials, Inc. | Decoupled chamber body |
| KR100790797B1 (ko) | 2006-06-08 | 2008-01-02 | 주식회사 아이피에스 | 진공처리장치 |
| JP5355103B2 (ja) * | 2009-01-20 | 2013-11-27 | チヨダエレクトリック株式会社 | 圧力容器 |
| JP2012087923A (ja) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Fukuhara Co Ltd | 真空チャンバーおよび真空保持方法 |
| JP5865343B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2016-02-17 | チヨダエレクトリック株式会社 | 圧力容器 |
| JP2012253198A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 開閉ダンパー装置 |
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
| CN103775643B (zh) * | 2014-01-15 | 2016-02-10 | 广西科技大学 | 带便捷装卸盖的密封装置及其密封方法 |
| WO2020208796A1 (ja) * | 2019-04-11 | 2020-10-15 | 有限会社カンテック | ヒンジ構造 |
| CN110671499A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-01-10 | 武汉鑫华封机械制造有限责任公司 | 浮封环工作磨损间隙调节补偿装置 |
| TWI731778B (zh) * | 2020-08-27 | 2021-06-21 | 緯穎科技服務股份有限公司 | 浮動式樞軸機構及其相關用來減少氣體散逸的氣密裝置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1324277A (fr) * | 1962-02-22 | 1963-04-19 | Fermeture de réservoir | |
| JPS5959568U (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-18 | 富士通株式会社 | 真空容器の気密カバ− |
| JPH0369757U (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-11 | ||
| JP2000002281A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Kinugawa Rubber Ind Co Ltd | バンパーラバー |
| JP2001002281A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-09 | Seiko Epson Corp | 紙送り装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2941236A (en) * | 1955-04-18 | 1960-06-21 | Peerless Mfg Company | Hinge |
| US3758919A (en) * | 1971-08-19 | 1973-09-18 | Us Army | Hinge |
| US4404881A (en) * | 1981-08-19 | 1983-09-20 | Sage Products, Inc. | Needle and syringe destructor |
| US4570816A (en) * | 1984-10-10 | 1986-02-18 | Pullman Standard, Inc. | Hatch cover and locking structure |
| DE3516720A1 (de) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | Linke-Hofmann-Busch Waggon-Fahrzeug-Maschinen Gmbh, 3320 Salzgitter | Verschlusseinrichtung fuer behaelteroeffnungen, insbesondere fuer den dom auf schienengebundenen kessel- und schuettgutwagen |
| JPH0369757A (ja) | 1989-08-07 | 1991-03-26 | Mitsuo Kumabe | アンテナ取付部付屋根裏換気装置 |
| US5120087A (en) * | 1990-12-07 | 1992-06-09 | The Eastern Company | Bulkhead door locking |
| US5731678A (en) * | 1996-07-15 | 1998-03-24 | Semitool, Inc. | Processing head for semiconductor processing machines |
| JPH1059568A (ja) | 1996-08-19 | 1998-03-03 | Nec Shizuoka Ltd | 紙葉類給送装置 |
| US6050446A (en) | 1997-07-11 | 2000-04-18 | Applied Materials, Inc. | Pivoting lid assembly for a chamber |
| JP3069757U (ja) * | 1999-12-17 | 2000-06-30 | 光海陸産業株式会社 | 階段用手摺 |
| CN2425134Y (zh) | 2000-02-17 | 2001-03-28 | 魏从前 | 一种带有垫圈的窨井 |
-
2002
- 2002-12-17 JP JP2002364581A patent/JP4559700B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-12-16 US US10/539,571 patent/US7762425B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-12-16 WO PCT/JP2003/016091 patent/WO2004055419A1/ja active Application Filing
- 2003-12-16 KR KR1020057011123A patent/KR100657066B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-12-16 CN CNB200380106579XA patent/CN100374761C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1324277A (fr) * | 1962-02-22 | 1963-04-19 | Fermeture de réservoir | |
| JPS5959568U (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-18 | 富士通株式会社 | 真空容器の気密カバ− |
| JPH0369757U (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-11 | ||
| JP2000002281A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Kinugawa Rubber Ind Co Ltd | バンパーラバー |
| JP2001002281A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-09 | Seiko Epson Corp | 紙送り装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100657066B1 (ko) | 2006-12-13 |
| WO2004055419A1 (ja) | 2004-07-01 |
| CN1726365A (zh) | 2006-01-25 |
| KR20050084354A (ko) | 2005-08-26 |
| US20060021992A1 (en) | 2006-02-02 |
| US7762425B2 (en) | 2010-07-27 |
| JP2004200257A (ja) | 2004-07-15 |
| CN100374761C (zh) | 2008-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4559700B2 (ja) | 真空容器 | |
| US4785962A (en) | Vacuum chamber slit valve | |
| TWI688538B (zh) | 高架搬運車 | |
| US20100108564A1 (en) | Clean device with clean box-opening/closing device | |
| JP3134137B2 (ja) | 縦型処理装置 | |
| US5857827A (en) | Cassette chamber | |
| US5743424A (en) | Sealable container | |
| WO2024012069A1 (zh) | 一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法 | |
| US6386511B1 (en) | Gate valve apparatus | |
| JP4219702B2 (ja) | 減圧処理装置 | |
| JP2004265917A5 (ja) | 減圧処理装置 | |
| JP4420328B2 (ja) | 蓋体の開閉機構 | |
| JPH0521421A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH0648508A (ja) | 密閉コンテナのガスパージ方法 | |
| JP2003257958A (ja) | 熱処理用ボート及び縦型熱処理装置 | |
| JP3638753B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| RU2003121039A (ru) | Устройство открывания и закрывания крышек разгрузочных люков вагона-хоппера | |
| JP2004356478A (ja) | 物品収容容器、および当該容器における蓋落下防止機構 | |
| JP2003303869A (ja) | 基板搬送装置における蓋部材開閉装置 | |
| JP4595363B2 (ja) | 高温加熱炉 | |
| JPH07293714A (ja) | ゲートバルブ | |
| JP4550554B2 (ja) | 試料処理装置 | |
| JPH11233393A (ja) | 半導体処理装置 | |
| JPH0875015A (ja) | ゲート弁 | |
| JPH0566619A (ja) | 画像形成装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051202 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060126 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060126 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060126 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090623 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090819 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090819 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100625 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100625 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100720 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100723 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |