JPH07293714A - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
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- JPH07293714A JPH07293714A JP10901494A JP10901494A JPH07293714A JP H07293714 A JPH07293714 A JP H07293714A JP 10901494 A JP10901494 A JP 10901494A JP 10901494 A JP10901494 A JP 10901494A JP H07293714 A JPH07293714 A JP H07293714A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- valve
- lock bar
- valve seat
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ゲートバルブに於いて、シール材、コーティン
グ材を使用することなく、弁座と弁体間の充分な気密性
を得る。 【構成】偏平な開口部１７を有する弁座１６を傾斜さ
せ、該弁座に当接する弁体５を弁体支承平行リンク３で
支持し、前記弁体に作用する力の作用線が前記弁座と傾
斜する弁体押圧手段を設け、又弁体を矯正可能に湾曲さ
せ、弁体押圧手段と弁座とを傾斜させていることにより
楔効果を発揮させ、或は弁体の湾曲を矯正することで生
ずる弁体の反力を利用して弁座と弁体間の密着性を補償
する。
グ材を使用することなく、弁座と弁体間の充分な気密性
を得る。 【構成】偏平な開口部１７を有する弁座１６を傾斜さ
せ、該弁座に当接する弁体５を弁体支承平行リンク３で
支持し、前記弁体に作用する力の作用線が前記弁座と傾
斜する弁体押圧手段を設け、又弁体を矯正可能に湾曲さ
せ、弁体押圧手段と弁座とを傾斜させていることにより
楔効果を発揮させ、或は弁体の湾曲を矯正することで生
ずる弁体の反力を利用して弁座と弁体間の密着性を補償
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気密容器の開口部を気密
に閉塞するゲートバルブ、特に偏平な開口部を気密に閉
塞するゲートバルブに関するものである。
に閉塞するゲートバルブ、特に偏平な開口部を気密に閉
塞するゲートバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置は気密な処理室内でシリ
コンウェーハ、或はガラス基板の表面に薄膜を生成し、
或は薄膜のエッチング等をしてウェーハ表面、ガラス基
板表面に回路を形成する。
コンウェーハ、或はガラス基板の表面に薄膜を生成し、
或は薄膜のエッチング等をしてウェーハ表面、ガラス基
板表面に回路を形成する。
【０００３】前記気密な処理室は基板搬送の為偏平な開
口部を有し、該開口部はゲートバルブにより開閉される
様になっている。
口部を有し、該開口部はゲートバルブにより開閉される
様になっている。
【０００４】該ゲートバルブが開口部を閉塞している状
態では気密性を要される為、ゲートバルブの弁体にはシ
ール材が設けられ、或はシール材がコーティングされ、
弁体が弁座に押圧された場合に弁体と弁座間の密着が保
証される様になっている。
態では気密性を要される為、ゲートバルブの弁体にはシ
ール材が設けられ、或はシール材がコーティングされ、
弁体が弁座に押圧された場合に弁体と弁座間の密着が保
証される様になっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記半導体
製造装置では真空下で加熱処理するので、前記シール
材、コーティング材からガスが発生し、処理雰囲気を汚
染し、基板処理に重大な欠陥を招いていた。又、ガスの
発生を抑止する為、弁体からシール材、コーティング材
を除去した場合は、弁体を直接弁座に当接させ複数箇所
で押圧しても充分な気密性が得られないという問題があ
った。
製造装置では真空下で加熱処理するので、前記シール
材、コーティング材からガスが発生し、処理雰囲気を汚
染し、基板処理に重大な欠陥を招いていた。又、ガスの
発生を抑止する為、弁体からシール材、コーティング材
を除去した場合は、弁体を直接弁座に当接させ複数箇所
で押圧しても充分な気密性が得られないという問題があ
った。
【０００６】本発明は斯かる実情に鑑み、シール材、コ
ーティング材を使用することなく、而も充分な気密性の
得られるゲートバルブを提供しようとするものである。
ーティング材を使用することなく、而も充分な気密性の
得られるゲートバルブを提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、偏平な開口部
を有する弁座を傾斜させ、該弁座に当接する弁体を弁体
支承平行リンクで支持し、前記弁体に作用する力の作用
線が前記弁座と傾斜する弁体押圧手段を設けたゲートバ
ルブに係り、又弁座を下方に向け傾斜させ、該弁座に当
接する弁体を弁体支承平行リンクで支承し、該弁体支承
平行リンクに対向してロックバー支障リンクを設け、該
ロックバー支障リンクにロックバーを設け、該ロックバ
ーに開閉ロッドを介して上下方向の押圧力を作用するシ
リンダを設け、前記弁体に突起を設け、前記ロックバー
が該突起に当接する様にすると共に開方向で前記突起に
係合する解除レバーを前記開閉ロッドに設けたゲートバ
ルブに係り、更に弁体を矯正可能に湾曲させたゲートバ
ルブに係るものである。
を有する弁座を傾斜させ、該弁座に当接する弁体を弁体
支承平行リンクで支持し、前記弁体に作用する力の作用
線が前記弁座と傾斜する弁体押圧手段を設けたゲートバ
ルブに係り、又弁座を下方に向け傾斜させ、該弁座に当
接する弁体を弁体支承平行リンクで支承し、該弁体支承
平行リンクに対向してロックバー支障リンクを設け、該
ロックバー支障リンクにロックバーを設け、該ロックバ
ーに開閉ロッドを介して上下方向の押圧力を作用するシ
リンダを設け、前記弁体に突起を設け、前記ロックバー
が該突起に当接する様にすると共に開方向で前記突起に
係合する解除レバーを前記開閉ロッドに設けたゲートバ
ルブに係り、更に弁体を矯正可能に湾曲させたゲートバ
ルブに係るものである。
【０００８】
【作用】弁座に弁体を弁体押圧手段、例えばシリンダに
より押圧し、開口部を閉塞する。弁座と弁体間の密着性
は弁体押圧手段と弁座とを傾斜させていることにより楔
効果を発揮させ、或は弁体の湾曲を矯正することで生ず
る弁体の反力を利用して補償する。
より押圧し、開口部を閉塞する。弁座と弁体間の密着性
は弁体押圧手段と弁座とを傾斜させていることにより楔
効果を発揮させ、或は弁体の湾曲を矯正することで生ず
る弁体の反力を利用して補償する。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１０】気密容器の１つである真空処理室１の正面
に水平方向に偏平な形状の基板搬送孔１７を設け、該基
板搬送孔１７の周囲には弁座１６を形成する。該弁座１
６は図示される様に下方に向かって傾斜している。又、
前記基板搬送孔１７を挾む真空容器１の両側面にリンク
支持ブロック２を固着し、両リンク支持ブロック２に弁
体支承平行リンク３をそれぞれ回動自在に取付ける。該
２組の弁体支承平行リンク３の先端に揺動ブロック４を
設け、該左右２つの揺動ブロック４に弁体５を掛渡して
設ける。
に水平方向に偏平な形状の基板搬送孔１７を設け、該基
板搬送孔１７の周囲には弁座１６を形成する。該弁座１
６は図示される様に下方に向かって傾斜している。又、
前記基板搬送孔１７を挾む真空容器１の両側面にリンク
支持ブロック２を固着し、両リンク支持ブロック２に弁
体支承平行リンク３をそれぞれ回動自在に取付ける。該
２組の弁体支承平行リンク３の先端に揺動ブロック４を
設け、該左右２つの揺動ブロック４に弁体５を掛渡して
設ける。
【００１１】該弁体５は図３（Ａ）に見られる様に、中
央が前記弁座１６より離反する様に若干湾曲し、更に該
弁体５は湾曲が矯正可能な様に薄肉形状となっている。
又、弁体５の反弁座面側には突起６を形成し、該突起６
の上端縁には明確な段差を形成し、下端縁はなだらかな
曲面に形成する。
央が前記弁座１６より離反する様に若干湾曲し、更に該
弁体５は湾曲が矯正可能な様に薄肉形状となっている。
又、弁体５の反弁座面側には突起６を形成し、該突起６
の上端縁には明確な段差を形成し、下端縁はなだらかな
曲面に形成する。
【００１２】鉛直方向に延びる開閉ロッド８が昇降自在
に設けられる。該開閉ロッド８はＬ字状の弁体支持ブロ
ック７の水平部を摺動自在に貫通し、前記開閉ロッド８
の下端には図示しない弁体押圧手段、例えば開閉シリン
シダが連結されている。
に設けられる。該開閉ロッド８はＬ字状の弁体支持ブロ
ック７の水平部を摺動自在に貫通し、前記開閉ロッド８
の下端には図示しない弁体押圧手段、例えば開閉シリン
シダが連結されている。
【００１３】前記開閉ロッド８の上端に昇降ブロック９
を固着し、該昇降ブロック９にプッシュピン１０を摺動
自在に貫通させ、該プッシュピン１０の上端と昇降ブロ
ック９の上面との間に皿バネ１１を挾設し、前記プッシ
ュピン１０を上方に付勢すると共に、該プッシュピン１
０の下端部に抜止め用止輪１２を嵌込む。前記プッシュ
ピン１０の上端は前記ロックバー１５に当接させる。
を固着し、該昇降ブロック９にプッシュピン１０を摺動
自在に貫通させ、該プッシュピン１０の上端と昇降ブロ
ック９の上面との間に皿バネ１１を挾設し、前記プッシ
ュピン１０を上方に付勢すると共に、該プッシュピン１
０の下端部に抜止め用止輪１２を嵌込む。前記プッシュ
ピン１０の上端は前記ロックバー１５に当接させる。
【００１４】前記昇降ブロック９に上方に向かって延出
する解除レバー１３を設ける。該解除レバー１３は上端
部が鉤状となっており、該上端部は前記突起６と係合可
能となっている。
する解除レバー１３を設ける。該解除レバー１３は上端
部が鉤状となっており、該上端部は前記突起６と係合可
能となっている。
【００１５】前記弁体支持ブロック７の垂直部上端部に
ロックバー支障リンク１４が枢着され、該ロックバー支
障リンク１４の先端部にロックバー１５を設ける。該ロ
ックバー１５には前記弁体５の中央の突起６に当接する
押圧突部１５ａを形成する。
ロックバー支障リンク１４が枢着され、該ロックバー支
障リンク１４の先端部にロックバー１５を設ける。該ロ
ックバー１５には前記弁体５の中央の突起６に当接する
押圧突部１５ａを形成する。
【００１６】以下、作動を説明する。
【００１７】図２の基板搬送孔１７開放の状態から、図
示しないシリンダを駆動して前記開閉ロッド８を上昇さ
せる。開閉ロッド８の上昇でプッシュピン１０を介して
前記ロックバー支障リンク１４が上方に回動され、ロッ
クバー１５の押圧突部１５ａが前記弁体５の突起６に当
接する。
示しないシリンダを駆動して前記開閉ロッド８を上昇さ
せる。開閉ロッド８の上昇でプッシュピン１０を介して
前記ロックバー支障リンク１４が上方に回動され、ロッ
クバー１５の押圧突部１５ａが前記弁体５の突起６に当
接する。
【００１８】更に、開閉ロッド８を上昇させるとプッシ
ュピン１０、押圧突部１５ａを介して弁体５が上方に押
上げられ、図１に示される様に弁体５が前記弁座１６に
押圧され、前記基板搬送孔１７が閉塞される。図３で示
される様に弁体５は湾曲しており、該弁体５の弁座１６
への密着は弁体５の湾曲を矯正しつつなされる。而し
て、弁体５の矯正に対する反力と前記ロックバー１５を
介した押圧とが相俟って弁体５の弁座１６への密着性が
保証される。又、弁座１６が下方に向かって傾斜してい
るので、前記開閉ロッド８を介して弁体５を上方に押上
げると、前記図示しないシリンダの力の作用線が前記弁
座１６と傾斜しており、該弁座１６と前記弁体５間で楔
効果が生じ、更に押圧突部１５ａが前記弁体５の突起６
に乗上げる如く作用するので、一層の押圧力の増大が図
られ、前記弁体５と弁座１６間の密着性はより増進す
る。
ュピン１０、押圧突部１５ａを介して弁体５が上方に押
上げられ、図１に示される様に弁体５が前記弁座１６に
押圧され、前記基板搬送孔１７が閉塞される。図３で示
される様に弁体５は湾曲しており、該弁体５の弁座１６
への密着は弁体５の湾曲を矯正しつつなされる。而し
て、弁体５の矯正に対する反力と前記ロックバー１５を
介した押圧とが相俟って弁体５の弁座１６への密着性が
保証される。又、弁座１６が下方に向かって傾斜してい
るので、前記開閉ロッド８を介して弁体５を上方に押上
げると、前記図示しないシリンダの力の作用線が前記弁
座１６と傾斜しており、該弁座１６と前記弁体５間で楔
効果が生じ、更に押圧突部１５ａが前記弁体５の突起６
に乗上げる如く作用するので、一層の押圧力の増大が図
られ、前記弁体５と弁座１６間の密着性はより増進す
る。
【００１９】ここで、弁体５からの反力はロックバー１
５、ロックバー支障リンク１４を介して前記弁体支持ブ
ロック７に伝達され、開閉ロッド８には曲げ方向の力は
作用しない。従って、開閉ロッド８の軸受、或は支持構
造を堅固とする必要がない。
５、ロックバー支障リンク１４を介して前記弁体支持ブ
ロック７に伝達され、開閉ロッド８には曲げ方向の力は
作用しない。従って、開閉ロッド８の軸受、或は支持構
造を堅固とする必要がない。
【００２０】又、前記皿バネ１１はシリンシダ押圧力に
応じて適宜撓み、誤差の吸収、或はシリンダによる安定
した押圧力を確保する。
応じて適宜撓み、誤差の吸収、或はシリンダによる安定
した押圧力を確保する。
【００２１】前記基板搬送孔１７を開放する場合は、前
記図示しないシリンダを駆動して開閉ロッド８を降下さ
せる。ロックバー支障リンク１４を介して弁体５に付与
していた押圧力が除去されると、前記ロックバー支障リ
ンク１４、ロックバー１５及び弁体５、弁体支承平行リ
ンク３の自重で前記ロックバー１５、弁体５が降下し、
前記基板搬送孔１７が開放される。
記図示しないシリンダを駆動して開閉ロッド８を降下さ
せる。ロックバー支障リンク１４を介して弁体５に付与
していた押圧力が除去されると、前記ロックバー支障リ
ンク１４、ロックバー１５及び弁体５、弁体支承平行リ
ンク３の自重で前記ロックバー１５、弁体５が降下し、
前記基板搬送孔１７が開放される。
【００２２】前記弁体５から押圧力が除去されても該弁
体５が前記弁座１６に密着した状態が生ずると、前記開
閉ロッド８が所要量降下したところで前記解除レバー１
３が前記突起６に係合し、前記弁体５を前記弁座１６か
ら強制的に離反させる。
体５が前記弁座１６に密着した状態が生ずると、前記開
閉ロッド８が所要量降下したところで前記解除レバー１
３が前記突起６に係合し、前記弁体５を前記弁座１６か
ら強制的に離反させる。
【００２３】而して、基板搬送孔１７は確実に開放され
る。
る。
【００２４】図４（Ａ）（Ｂ）は弁体５の両端が弁座１
６より離反する方向に矯正可能に湾曲した例を示し、弁
体５を図４（Ａ）で示される様に湾曲させた場合は、前
記押圧突部１５ａを前記弁体５の両端部に当接する様２
箇所に設け、前記弁体５を両端で押圧して弁座１６に密
着させる。
６より離反する方向に矯正可能に湾曲した例を示し、弁
体５を図４（Ａ）で示される様に湾曲させた場合は、前
記押圧突部１５ａを前記弁体５の両端部に当接する様２
箇所に設け、前記弁体５を両端で押圧して弁座１６に密
着させる。
【００２５】尚、上記皿バネ１１は他のコイルスプリン
グ、板バネに代えることが可能であることは言う迄もな
く、ロックバー支障リンク１４、ロックバー１５による
弁体押圧機構を複数組設けてもよく、更に押圧力の大き
さによってはロックバー支障リンク１４、ロックバー１
５を省略し、プッシュピン１０で直接弁体５を押圧する
様にしてもよい。又、前記弁座１６は下方に向かって傾
斜させたが、上方に向け傾斜させ、弁体を上方から下方
に向け押圧させるようにしてもよい。更に、本実施例で
は水平方向に偏平な開口部に実施した場合を説明した
が、上下方向に偏平な開口部にも実施可能であり、弁体
の押圧手段としてはシリンダの他、スクリューを有する
モータ等を使用することが可能であることは勿論であ
る。
グ、板バネに代えることが可能であることは言う迄もな
く、ロックバー支障リンク１４、ロックバー１５による
弁体押圧機構を複数組設けてもよく、更に押圧力の大き
さによってはロックバー支障リンク１４、ロックバー１
５を省略し、プッシュピン１０で直接弁体５を押圧する
様にしてもよい。又、前記弁座１６は下方に向かって傾
斜させたが、上方に向け傾斜させ、弁体を上方から下方
に向け押圧させるようにしてもよい。更に、本実施例で
は水平方向に偏平な開口部に実施した場合を説明した
が、上下方向に偏平な開口部にも実施可能であり、弁体
の押圧手段としてはシリンダの他、スクリューを有する
モータ等を使用することが可能であることは勿論であ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ゴム等
の可撓性材料を使用することなく気密室の開口部を気密
に密閉することが可能となり、真空高清浄雰囲気が要求
される場合に大きな効果を発揮する。
の可撓性材料を使用することなく気密室の開口部を気密
に密閉することが可能となり、真空高清浄雰囲気が要求
される場合に大きな効果を発揮する。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】同前本発明の一実施例を示す側面図である。
【図３】（Ａ）（Ｂ）は同前本発明の実施例の弁体の密
着状態を示す説明図で、図１のＡ−Ａ矢視図である。
着状態を示す説明図で、図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】（Ａ）（Ｂ）は同前本発明の実施例の他の弁体
の密着状態を示す説明図で、図１のＡ−Ａ矢視図であ
る。
の密着状態を示す説明図で、図１のＡ−Ａ矢視図であ
る。
１ 真空処理室 ３ 弁体支承平行リンク ５ 弁体 ６ 突起 ８ 開閉ロッド １０ プッシュピン １１ 皿バネ １３ 解除レバー １４ ロックバー支障リンク １５ ロックバー １６ 弁座
Claims (7)
- 【請求項１】 偏平な開口部を有する弁座を傾斜させ、
該弁座に当接する弁体を弁体支承平行リンクで支持し、
前記弁体に作用する力の作用線が前記弁座と傾斜する弁
体押圧手段を設けたことを特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項２】 ロックバー支障リンクに支持されたロッ
クバーを介して弁体に押圧力を作用させる様構成した請
求項１のゲートバルブ。 - 【請求項３】 弁体押圧手段に弁体開方向で弁体に係合
する解除レバーを設けた請求項１のゲートバルブ。 - 【請求項４】 弁座を下方に向け傾斜させ、該弁座に当
接する弁体を弁体支承平行リンクで支承し、該弁体支承
平行リンクに対向してロックバー支障リンクを設け、該
ロックバー支障リンクにロックバーを設け、該ロックバ
ーに開閉ロッドを介して上下方向の押圧力を作用するシ
リンダを設け、前記弁体に突起を設け、前記ロックバー
が該突起に当接する様にすると共に開方向で前記突起に
係合する解除レバーを前記開閉ロッドに設けたことを特
徴とするゲートバルブ。 - 【請求項５】 弁体を中央が弁座から離反する様矯正可
能に湾曲させた請求項１又は請求項４のゲートバルブ。 - 【請求項６】 弁体を両端が弁座から離反する様矯正可
能に湾曲させた請求項１又は請求項４のゲートバルブ。 - 【請求項７】 弁体とロックバーとが一部で当接する様
にした請求項１又は請求項４のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10901494A JPH07293714A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10901494A JPH07293714A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07293714A true JPH07293714A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=14499392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10901494A Pending JPH07293714A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07293714A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005252184A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Nippon Valqua Ind Ltd | 真空用ゲート弁のシールプレートおよびこれに用いられるシール部材 |
| JP5890929B1 (ja) * | 2015-07-01 | 2016-03-22 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
| JP2017194388A (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
-
1994
- 1994-04-25 JP JP10901494A patent/JPH07293714A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005252184A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Nippon Valqua Ind Ltd | 真空用ゲート弁のシールプレートおよびこれに用いられるシール部材 |
| JP4578829B2 (ja) * | 2004-03-08 | 2010-11-10 | 日本バルカー工業株式会社 | 真空用ゲート弁のシールプレートおよびこれに用いられるシール部材 |
| JP5890929B1 (ja) * | 2015-07-01 | 2016-03-22 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
| JP2017194388A (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
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