JP3664998B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空処理装置に関し、特別にはマルチチャンバータイプの真空処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は、従来例の真空処理装置１を示すが、これはいわゆるマルチチャンバータイプと言われるもので、中央に搬送室８を設け、この周囲に処理室２、３、４、５、６、７を配設させている。なお、このうち１つ又は２つの処理室は仕込室および／または取出室とされている。これら処理室２、３、４、５、６、７と中央の搬送室８との間には、各処理室と搬送室とを遮断する仕切弁Ｇが設けられている。搬送室８内には搬送ロボット９が設けられており、これにより各処理室から、例えば基板を取り出したり、次に処理をする基板を処理室内に導入させるようにしている。
【０００３】
通常の搬送室８の圧力は各処理室２乃至７の圧力と同じ又は高く又は低くと常に変化する必要があり、仕切弁Ｇは図４に示す構成とされている。弁体１０は右端面にシール部材１１を装着させており、駆動ロッド１２の先端部に固定されているが、これは駆動機構１３により処理室Ｃ内に連通する開口部１４を有する弁座１４ａから離脱する位置へと、そしてこれから下方へと移動させ、処理室Ｃと搬送室Ｄとを自由連通とする位置を取るべく駆動される。この駆動機構１３は、例えば本出願人が先に提案した特開平７−２７２３５号公報に記載されている「開閉機構」が用いられる。この機構によれば、弁体１０は図示する着座位置から反時計方向に若干、回動し（Ｂ方向）、この後、下方へと移動する（Ａ方向）。また図４に示す遮断位置を取る時には、弁体１０は上動し、弁座１４ａに対向すると時計方向に若干、回動して弁座１４ａに着座する。通常の真空処理中は、搬送室Ｄの圧力は処理室Ｃの圧力より高く、このため弁体１０は図示する着座位置で弁座１４ａに押圧されている。これにより安定な遮断作用が得られるのであるが、例えば他の処理室が連続して処理を行っているときに、処理室Ｃのメンテナンスを行なうべく、この処理室Ｃの圧力を大気圧にする場合がある。このとき搬送室Ｄの圧力は通常の圧力であるため、メンテナンス時の処理室Ｃの圧力は搬送室Ｄの圧力より高くなって弁体１０を弁座１４ａから離脱する方向に作用する。したがって、通常は仕切弁Ｇの弁体１０の駆動機構１３にこの差圧に耐えるだけのシール機能を持たせるようになっている。然るに、弁座１４ａの開口部１４の開口面積が大きくなるとこれに比例して弁体１０の全体にかかる押圧力は更に大きくなり、大気圧に耐えるだけのシール機能が持てなくなる場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、処理室のメンテナンスを行なう場合でも、搬送室とこのメンテナンスを行なう処理室との間を確実に遮断することのできる真空処理装置を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以上の課題は、搬送室のまわりに複数の処理室を配設させ、これら各処理室を前記搬送室にそれぞれ仕切弁を介して接続してなる真空処理装置において、前記仕切弁は大気から遮断されている弁室と、該弁室内で前記搬送室に連通する第１開口部を有する第１弁座と、前記処理室に連通して前記第１開口部と対向している第２開口部を有する第２弁座と、前記第１弁座と前記第２弁座との間に位置し、前記第１弁座または前記第２弁座に選択的に当接可能とされている弁体とを有することを特徴とする真空処理装置、によって解決される。
【０００６】
以上の構成により、処理室のメンテナンスを行なうべく大気圧とした場合には、弁体は搬送室に連通している第１開口部を有する第１弁座と当接しており、これにより処理室の大気圧により弁体を第１開口部を有する第１弁座に押圧させ、確実にこのメンテナンス時にも処理室と搬送室との間を遮断する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施の形態による真空処理室の要部を示すものであるが、仕切弁２０において、開口部３０及び３１はそれぞれ処理室Ｃの壁部及び搬送室Ｄの壁部に形成した開口と連接しており、その開口端３０ａ、３１ａは相対向しており、開口部３０、３１を形成させている弁ケース２６がシール部材３２を介して処理室Ｃ及び搬送室Ｄの側壁に気密に取り付けられており、内部に弁室Ｖを画成している。弁体２１は下方の駆動装置２４により、矢印Ａ’、Ｂ’で示すように、上下及び左右に必要に応じて駆動する。弁体２１の両面にはシール部材２２、２３が装着されており、図示する位置では開口端３０ａ、３１ａとの間にあり、弁座としての開口端３０ａか３１ａに選択的に着座するように構成されている。
【０００８】
図２において、駆動装置２４のケースには角部に丸みをおびさせたＴ字形状のガイド溝４０が形成されており、これに弁体２１の駆動ロッド２５が上下に挿通されていて、その中間部にローラ４２を設けている。また側方には圧空シリンダ４４が設けられており、この駆動ロッド４６に弁体２１の駆動ロッド２５が係合している。駆動装置である圧空シリンダ５０により弁体駆動ロッド２５を上方に駆動させると共に圧空シリンダ４４の駆動ロッド４６を図において右方へと押動させる（図２Ａ）。これにより圧空シリンダ５０の弁体駆動ロッド２５の上方への駆動と共にローラ４２は溝４０の垂直部４０ａの右壁部に沿って転動しながら上昇し、圧空シリンダ４４の駆動ロッド４６は右方に付勢されていることにより、ガイド溝４０のコーナー部に案内されて図２Ｂに示すようにガイド溝４０の水平部の右方側へと導入される。これにより弁体駆動ロッド２５の上端に固定された弁体２１は上動の後、図において右方へと駆動され、よって弁座３０ａに着座する。次にこの弁体２１を左方の弁座３１ａに着座させる場合には、まず弁体２１は弁体駆動ロッド２５の圧空シリンダ５０の駆動により下方へと移動し、図２Ａに示す位置をとり、これから圧空シリンダ５０の駆動により上動するが、この時には圧空シリンダ４４の駆動ロッド４６は弁体駆動ロッド２６を左方に付勢している。これによりローラ４２はガイド溝４０の左壁部に当接しながら転動し、Ｔ字状のガイド溝４０の水平部４０ｂの左方側へと導かれる。すなわち、弁体２１は弁座３１ａに着座する。
【０００９】
以上、本発明の実施の形態の構成について説明したが、次にこの作用について説明する。
【００１０】
今、通常の真空処理中である場合には、搬送室Ｄの圧力のほうが処理室Ｃの圧力より高く、弁体２１は図１に示す中間位置から駆動装置２４により右方へと移動させられ、シール部材２３が開口部３０の弁座３０ａに着座させられる。これにより搬送室Ｄと処理室Ｃとの雰囲気は相遮断される。搬送室Ｄの圧力のほうが高いので、この差圧が弁体２１に加わり、安定にシール作用を行なう。処理室Ｃのメンテナンスを行なうべく、この処理室の圧力を大気圧に戻す場合には、弁体２１は図１に示す位置から左方へと駆動装置２４により駆動され、開口部３１の弁座３１ａに着座する。なお、他の処理室では連続的に処理を行なっているものとする。すなわち、独立した排気系統を有するものである。搬送室Ｄと処理室Ｃとは、雰囲気が相離隔される。今、処理室Ｃの圧力は大気圧であるので、搬送室Ｄの圧力より高くなり、弁体２１は開口部３１の弁座３１ａにこの差圧で押圧される。メンテナンス中、弁体２１は開口部３１の弁座３１ａに差圧で押圧されて安定な遮断作用を行なうことができる。なお、通常の処理中に搬送室Ｄから処理室Ｃへ、または処理室Ｃから搬送室Ｄへ基板をロボットにより搬入、搬出される場合には、弁体２１は下方へ移動される。
【００１１】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００１２】
例えば以上の駆動装置２４では、図２に示す構成をとったが、勿論、これに限ることなく、弁体２１を図示の位置から時計方向、又は反時計方向に傾動させて、開口端３０ａ、３１ａと着脱させるようにしてもよい。
【００１３】
また以上の実施の形態では、弁体２１の両面にシール部材２２、２３を装着させたが、この代わりに開口部３０、３１の弁座３０ａ、３１ａの端面にシール部材を装着させるようにしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の真空処理装置によれば、処理室のメンテナンスにおいても、弁体により処理室と搬送室との間の雰囲気の遮断を確実に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による真空処理室の要部の断面図である。
【図２】同同装置における駆動装置の概略側面図であって、弁体駆動ロッドの最下位置をとった場合を示す。
【図３】同右方位置をとった場合を示す。
【図４】同左方位置をとった場合を示す。
【図５】真空処理装置の平面図である。
【図６】本発明が適用される同真空処理装置における従来例の仕切弁の要部の拡大断面図である。
【符号の説明】
２０ 仕切弁
２１ 弁体
２４ 駆動装置
２６ 弁ケース
３０、３１ 開口部
３０ａ、３１ａ 弁座
【発明の属する技術分野】
本発明は真空処理装置に関し、特別にはマルチチャンバータイプの真空処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は、従来例の真空処理装置１を示すが、これはいわゆるマルチチャンバータイプと言われるもので、中央に搬送室８を設け、この周囲に処理室２、３、４、５、６、７を配設させている。なお、このうち１つ又は２つの処理室は仕込室および／または取出室とされている。これら処理室２、３、４、５、６、７と中央の搬送室８との間には、各処理室と搬送室とを遮断する仕切弁Ｇが設けられている。搬送室８内には搬送ロボット９が設けられており、これにより各処理室から、例えば基板を取り出したり、次に処理をする基板を処理室内に導入させるようにしている。
【０００３】
通常の搬送室８の圧力は各処理室２乃至７の圧力と同じ又は高く又は低くと常に変化する必要があり、仕切弁Ｇは図４に示す構成とされている。弁体１０は右端面にシール部材１１を装着させており、駆動ロッド１２の先端部に固定されているが、これは駆動機構１３により処理室Ｃ内に連通する開口部１４を有する弁座１４ａから離脱する位置へと、そしてこれから下方へと移動させ、処理室Ｃと搬送室Ｄとを自由連通とする位置を取るべく駆動される。この駆動機構１３は、例えば本出願人が先に提案した特開平７−２７２３５号公報に記載されている「開閉機構」が用いられる。この機構によれば、弁体１０は図示する着座位置から反時計方向に若干、回動し（Ｂ方向）、この後、下方へと移動する（Ａ方向）。また図４に示す遮断位置を取る時には、弁体１０は上動し、弁座１４ａに対向すると時計方向に若干、回動して弁座１４ａに着座する。通常の真空処理中は、搬送室Ｄの圧力は処理室Ｃの圧力より高く、このため弁体１０は図示する着座位置で弁座１４ａに押圧されている。これにより安定な遮断作用が得られるのであるが、例えば他の処理室が連続して処理を行っているときに、処理室Ｃのメンテナンスを行なうべく、この処理室Ｃの圧力を大気圧にする場合がある。このとき搬送室Ｄの圧力は通常の圧力であるため、メンテナンス時の処理室Ｃの圧力は搬送室Ｄの圧力より高くなって弁体１０を弁座１４ａから離脱する方向に作用する。したがって、通常は仕切弁Ｇの弁体１０の駆動機構１３にこの差圧に耐えるだけのシール機能を持たせるようになっている。然るに、弁座１４ａの開口部１４の開口面積が大きくなるとこれに比例して弁体１０の全体にかかる押圧力は更に大きくなり、大気圧に耐えるだけのシール機能が持てなくなる場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、処理室のメンテナンスを行なう場合でも、搬送室とこのメンテナンスを行なう処理室との間を確実に遮断することのできる真空処理装置を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以上の課題は、搬送室のまわりに複数の処理室を配設させ、これら各処理室を前記搬送室にそれぞれ仕切弁を介して接続してなる真空処理装置において、前記仕切弁は大気から遮断されている弁室と、該弁室内で前記搬送室に連通する第１開口部を有する第１弁座と、前記処理室に連通して前記第１開口部と対向している第２開口部を有する第２弁座と、前記第１弁座と前記第２弁座との間に位置し、前記第１弁座または前記第２弁座に選択的に当接可能とされている弁体とを有することを特徴とする真空処理装置、によって解決される。
【０００６】
以上の構成により、処理室のメンテナンスを行なうべく大気圧とした場合には、弁体は搬送室に連通している第１開口部を有する第１弁座と当接しており、これにより処理室の大気圧により弁体を第１開口部を有する第１弁座に押圧させ、確実にこのメンテナンス時にも処理室と搬送室との間を遮断する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施の形態による真空処理室の要部を示すものであるが、仕切弁２０において、開口部３０及び３１はそれぞれ処理室Ｃの壁部及び搬送室Ｄの壁部に形成した開口と連接しており、その開口端３０ａ、３１ａは相対向しており、開口部３０、３１を形成させている弁ケース２６がシール部材３２を介して処理室Ｃ及び搬送室Ｄの側壁に気密に取り付けられており、内部に弁室Ｖを画成している。弁体２１は下方の駆動装置２４により、矢印Ａ’、Ｂ’で示すように、上下及び左右に必要に応じて駆動する。弁体２１の両面にはシール部材２２、２３が装着されており、図示する位置では開口端３０ａ、３１ａとの間にあり、弁座としての開口端３０ａか３１ａに選択的に着座するように構成されている。
【０００８】
図２において、駆動装置２４のケースには角部に丸みをおびさせたＴ字形状のガイド溝４０が形成されており、これに弁体２１の駆動ロッド２５が上下に挿通されていて、その中間部にローラ４２を設けている。また側方には圧空シリンダ４４が設けられており、この駆動ロッド４６に弁体２１の駆動ロッド２５が係合している。駆動装置である圧空シリンダ５０により弁体駆動ロッド２５を上方に駆動させると共に圧空シリンダ４４の駆動ロッド４６を図において右方へと押動させる（図２Ａ）。これにより圧空シリンダ５０の弁体駆動ロッド２５の上方への駆動と共にローラ４２は溝４０の垂直部４０ａの右壁部に沿って転動しながら上昇し、圧空シリンダ４４の駆動ロッド４６は右方に付勢されていることにより、ガイド溝４０のコーナー部に案内されて図２Ｂに示すようにガイド溝４０の水平部の右方側へと導入される。これにより弁体駆動ロッド２５の上端に固定された弁体２１は上動の後、図において右方へと駆動され、よって弁座３０ａに着座する。次にこの弁体２１を左方の弁座３１ａに着座させる場合には、まず弁体２１は弁体駆動ロッド２５の圧空シリンダ５０の駆動により下方へと移動し、図２Ａに示す位置をとり、これから圧空シリンダ５０の駆動により上動するが、この時には圧空シリンダ４４の駆動ロッド４６は弁体駆動ロッド２６を左方に付勢している。これによりローラ４２はガイド溝４０の左壁部に当接しながら転動し、Ｔ字状のガイド溝４０の水平部４０ｂの左方側へと導かれる。すなわち、弁体２１は弁座３１ａに着座する。
【０００９】
以上、本発明の実施の形態の構成について説明したが、次にこの作用について説明する。
【００１０】
今、通常の真空処理中である場合には、搬送室Ｄの圧力のほうが処理室Ｃの圧力より高く、弁体２１は図１に示す中間位置から駆動装置２４により右方へと移動させられ、シール部材２３が開口部３０の弁座３０ａに着座させられる。これにより搬送室Ｄと処理室Ｃとの雰囲気は相遮断される。搬送室Ｄの圧力のほうが高いので、この差圧が弁体２１に加わり、安定にシール作用を行なう。処理室Ｃのメンテナンスを行なうべく、この処理室の圧力を大気圧に戻す場合には、弁体２１は図１に示す位置から左方へと駆動装置２４により駆動され、開口部３１の弁座３１ａに着座する。なお、他の処理室では連続的に処理を行なっているものとする。すなわち、独立した排気系統を有するものである。搬送室Ｄと処理室Ｃとは、雰囲気が相離隔される。今、処理室Ｃの圧力は大気圧であるので、搬送室Ｄの圧力より高くなり、弁体２１は開口部３１の弁座３１ａにこの差圧で押圧される。メンテナンス中、弁体２１は開口部３１の弁座３１ａに差圧で押圧されて安定な遮断作用を行なうことができる。なお、通常の処理中に搬送室Ｄから処理室Ｃへ、または処理室Ｃから搬送室Ｄへ基板をロボットにより搬入、搬出される場合には、弁体２１は下方へ移動される。
【００１１】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００１２】
例えば以上の駆動装置２４では、図２に示す構成をとったが、勿論、これに限ることなく、弁体２１を図示の位置から時計方向、又は反時計方向に傾動させて、開口端３０ａ、３１ａと着脱させるようにしてもよい。
【００１３】
また以上の実施の形態では、弁体２１の両面にシール部材２２、２３を装着させたが、この代わりに開口部３０、３１の弁座３０ａ、３１ａの端面にシール部材を装着させるようにしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の真空処理装置によれば、処理室のメンテナンスにおいても、弁体により処理室と搬送室との間の雰囲気の遮断を確実に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による真空処理室の要部の断面図である。
【図２】同同装置における駆動装置の概略側面図であって、弁体駆動ロッドの最下位置をとった場合を示す。
【図３】同右方位置をとった場合を示す。
【図４】同左方位置をとった場合を示す。
【図５】真空処理装置の平面図である。
【図６】本発明が適用される同真空処理装置における従来例の仕切弁の要部の拡大断面図である。
【符号の説明】
２０ 仕切弁
２１ 弁体
２４ 駆動装置
２６ 弁ケース
３０、３１ 開口部
３０ａ、３１ａ 弁座
Claims (3)
- 搬送室のまわりに複数の処理室を配設させ、これら各処理室を前記搬送室にそれぞれ仕切弁を介して接続してなる真空処理装置において、前記仕切弁は大気から遮断されている弁室と、該弁室内で前記搬送室に連通する第１開口部を有する第１弁座と、前記処理室に連通して前記第１開口部と対向している第２開口部を有する第２弁座と、前記第１弁座と前記第２弁座との間に位置し、前記第１弁座または前記第２弁座に選択的に当接可能とされている弁体とを有することを特徴とする真空処理装置。
- 前記処理室内での真空処理中は、前記弁体は前記第２弁座と当接して前記搬送室と前記処理室との間を遮断していることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
- 前記処理室のメンテナンスを行なう時には、前記弁体は前記第１弁座と当接して前記搬送室と前記処理室との間を遮断していることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189545A JP3664998B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003007623A JP2003007623A (ja) | 2003-01-10 |
| JP3664998B2 true JP3664998B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=19028449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001189545A Expired - Lifetime JP3664998B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP4437743B2 (ja) * | 2004-12-21 | 2010-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置用開閉機構及び真空処理装置 |
| JP4729035B2 (ja) * | 2005-02-16 | 2011-07-20 | 株式会社ユーテック | 加圧式ランプアニール装置 |
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2001
- 2001-06-22 JP JP2001189545A patent/JP3664998B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2003007623A (ja) | 2003-01-10 |
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