JPH06120159A - ロードロック式縦型cvd・拡散装置 - Google Patents
ロードロック式縦型cvd・拡散装置Info
- Publication number
- JPH06120159A JPH06120159A JP29643092A JP29643092A JPH06120159A JP H06120159 A JPH06120159 A JP H06120159A JP 29643092 A JP29643092 A JP 29643092A JP 29643092 A JP29643092 A JP 29643092A JP H06120159 A JPH06120159 A JP H06120159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- cassette
- load lock
- insertion holes
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセットチャンバ内のカセット及びロードロ
ックチャンバ内のボートの駆動によるパーティクルの発
生を抑止する。 【構成】 カセットチャンバ3及びロードロックチャン
バ19にそれぞれ遊挿孔22,23を設け、カセット4
及びボート14の被動部30,31にそれぞれ取着され
た作動ロッド24,25を遊挿孔22,23より挿通
し、各遊挿孔22,23と各作動ロッド24,25の端
部を真空ベローズ21,20で接続し、各作動ロッド2
4,25の端部にそれぞれガイド軸26,27に沿って
案内される上下駆動機構5,15を連結してなる。
ックチャンバ内のボートの駆動によるパーティクルの発
生を抑止する。 【構成】 カセットチャンバ3及びロードロックチャン
バ19にそれぞれ遊挿孔22,23を設け、カセット4
及びボート14の被動部30,31にそれぞれ取着され
た作動ロッド24,25を遊挿孔22,23より挿通
し、各遊挿孔22,23と各作動ロッド24,25の端
部を真空ベローズ21,20で接続し、各作動ロッド2
4,25の端部にそれぞれガイド軸26,27に沿って
案内される上下駆動機構5,15を連結してなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ロードロックチャンバ
を有し、これにより、反応チャンバ内にウェーハを挿入
して、膜生成を行う縦型CVD・拡散装置に関するもの
である。
を有し、これにより、反応チャンバ内にウェーハを挿入
して、膜生成を行う縦型CVD・拡散装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図2は従来装置の1例の構成を示す簡略
断面図である。図2において3はカセットチャンバ、8
はウェーハ移載用チャンバ、19はロードロックチャン
バ、12は反応チャンバ、28はカセット4を上下動さ
せるための上下駆動機構5Aの上下駆動軸、2,1,1
6はそれぞれカセットチャンバ3,ウェーハ移載用チャ
ンバ8及びロードロックチャンバ19内にN2 ガスを供
給するための第1〜第3供給バルブである。
断面図である。図2において3はカセットチャンバ、8
はウェーハ移載用チャンバ、19はロードロックチャン
バ、12は反応チャンバ、28はカセット4を上下動さ
せるための上下駆動機構5Aの上下駆動軸、2,1,1
6はそれぞれカセットチャンバ3,ウェーハ移載用チャ
ンバ8及びロードロックチャンバ19内にN2 ガスを供
給するための第1〜第3供給バルブである。
【0003】7,9,13はカセットチャンバ3とウェ
ーハ移載用チャンバ8間,ウェーハ移載用チャンバ8と
ロードロックチャンバ19間及びロードロックチャンバ
19と反応チャンバ12間に挿着した第1〜第3ゲート
バルブ、6,11,17はそれぞれカセットチャンバ
3,ロードロックチャンバ19及び反応チャンバ12内
を排気するための第1〜第3排気バルブ、10,18は
ポンプ、29はボート14を上下動させるための上下駆
動機構15Aの上下駆動軸である。
ーハ移載用チャンバ8間,ウェーハ移載用チャンバ8と
ロードロックチャンバ19間及びロードロックチャンバ
19と反応チャンバ12間に挿着した第1〜第3ゲート
バルブ、6,11,17はそれぞれカセットチャンバ
3,ロードロックチャンバ19及び反応チャンバ12内
を排気するための第1〜第3排気バルブ、10,18は
ポンプ、29はボート14を上下動させるための上下駆
動機構15Aの上下駆動軸である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、カセットチャンバ3,ウェーハ移載用チャンバ8,
ロードロックチャンバ19及び反応チャンバ12内を第
1,第2ゲートバルブ7,9及び第1〜第3排気バルブ
6,11,17を開いてポンプ10,18により一度真
空引きした後に各チャンバ3,8,19,12内に第1
〜第3供給バルブ2,1,16を開き、N2 ガスを導入
してN2 ガス雰囲気とし、各チャンバが大気圧になって
から第1〜第3ゲートバルブ7,9,13を開いてウェ
ーハをカセットチャンバ3のカセット4からウェーハ移
載用チャンバ8を経てロードロックチャンバ19のボー
ト14に移し、更にボート14を反応チャンバ12内に
挿入するのであるが、上下駆動機構5A,15Aの上下
駆動軸28,29に対しカセット4,ボート14の被動
部30,31が各チャンバ3,19内で上下動されるた
めパーティクルが発生し易いという課題がある。
は、カセットチャンバ3,ウェーハ移載用チャンバ8,
ロードロックチャンバ19及び反応チャンバ12内を第
1,第2ゲートバルブ7,9及び第1〜第3排気バルブ
6,11,17を開いてポンプ10,18により一度真
空引きした後に各チャンバ3,8,19,12内に第1
〜第3供給バルブ2,1,16を開き、N2 ガスを導入
してN2 ガス雰囲気とし、各チャンバが大気圧になって
から第1〜第3ゲートバルブ7,9,13を開いてウェ
ーハをカセットチャンバ3のカセット4からウェーハ移
載用チャンバ8を経てロードロックチャンバ19のボー
ト14に移し、更にボート14を反応チャンバ12内に
挿入するのであるが、上下駆動機構5A,15Aの上下
駆動軸28,29に対しカセット4,ボート14の被動
部30,31が各チャンバ3,19内で上下動されるた
めパーティクルが発生し易いという課題がある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明装置は、上記の課
題を解決するため、カセットチャンバ3及びロードロッ
クチャンバ19にそれぞれ遊挿孔22,23を設け、カ
セット4及びボート14の被動部30,31にそれぞれ
取着された作動ロッド24,25を遊挿孔22,23よ
り挿通し、各遊挿孔22,23と各作動ロッド24,2
5の端部を真空ベローズ21,20で接続し、各作動ロ
ッド24,25の端部にそれぞれガイド軸26,27に
沿って案内される上下駆動機構5,15を連結してな
る。
題を解決するため、カセットチャンバ3及びロードロッ
クチャンバ19にそれぞれ遊挿孔22,23を設け、カ
セット4及びボート14の被動部30,31にそれぞれ
取着された作動ロッド24,25を遊挿孔22,23よ
り挿通し、各遊挿孔22,23と各作動ロッド24,2
5の端部を真空ベローズ21,20で接続し、各作動ロ
ッド24,25の端部にそれぞれガイド軸26,27に
沿って案内される上下駆動機構5,15を連結してな
る。
【0006】
【作 用】このような構成とすることによりカセット4
及びボート14の被動部30,31にそれぞれ取着され
た作動ロッド24,25は、それぞれ上下駆動機構5,
15により各チャンバ3,11,19外のガイド軸2
6,27に案内されて上下動されるため、パーティクル
の発生が大幅に抑制されることになる。
及びボート14の被動部30,31にそれぞれ取着され
た作動ロッド24,25は、それぞれ上下駆動機構5,
15により各チャンバ3,11,19外のガイド軸2
6,27に案内されて上下動されるため、パーティクル
の発生が大幅に抑制されることになる。
【0007】
【実施例】図1は本発明装置の1実施例の構成を示す簡
略断面図である。図1において3はカセットチャンバ、
8はウェーハ移載用チャンバ、19はロードロックチャ
ンバ、12は反応チャンバ、7,9,13はカセットチ
ャンバ3とウェーハ移載用チャンバ8間、ウェーハ移載
用チャンバ8とロードロックチャンバ9間及びロードロ
ックチャンバ19と反応チャンバ12間に挿着した第1
〜第3ゲートバルブ、2,1,16はそれぞれカセット
チャンバ3,ウェーハ移載用チャンバ8及びロードロッ
クチャンバ19内にN2 ガスを供給するための第1〜第
3供給バルブである。
略断面図である。図1において3はカセットチャンバ、
8はウェーハ移載用チャンバ、19はロードロックチャ
ンバ、12は反応チャンバ、7,9,13はカセットチ
ャンバ3とウェーハ移載用チャンバ8間、ウェーハ移載
用チャンバ8とロードロックチャンバ9間及びロードロ
ックチャンバ19と反応チャンバ12間に挿着した第1
〜第3ゲートバルブ、2,1,16はそれぞれカセット
チャンバ3,ウェーハ移載用チャンバ8及びロードロッ
クチャンバ19内にN2 ガスを供給するための第1〜第
3供給バルブである。
【0008】6,11,17はそれぞれカセットチャン
バ3,ロードロックチャンバ19及び反応チャンバ12
内を排気するための排気バルブ、10,18は排気用の
ポンプである。カセットチャンバ3及びロードロックチ
ャンバ19にそれぞれ遊嵌孔22,23が設けられ、カ
セット4及びボート14の被動部30,31にそれぞれ
取着された作動ロッド24,25が遊挿孔22,23よ
り挿通されている。各遊挿孔22,23と各作動ロッド
24,25の端部は真空ベローズ21,20で接続さ
れ、各作動ロッド24,25の端部にそれぞれガイド軸
26,27に沿って案内される上下駆動機構5,15が
連結されている。
バ3,ロードロックチャンバ19及び反応チャンバ12
内を排気するための排気バルブ、10,18は排気用の
ポンプである。カセットチャンバ3及びロードロックチ
ャンバ19にそれぞれ遊嵌孔22,23が設けられ、カ
セット4及びボート14の被動部30,31にそれぞれ
取着された作動ロッド24,25が遊挿孔22,23よ
り挿通されている。各遊挿孔22,23と各作動ロッド
24,25の端部は真空ベローズ21,20で接続さ
れ、各作動ロッド24,25の端部にそれぞれガイド軸
26,27に沿って案内される上下駆動機構5,15が
連結されている。
【0009】上記の構成においてカセットチャンバ3,
ウェーハ移載用チャンバ8,ロードロックチャンバ19
及び反応チャンバ12内を第1,第2ゲートバルブ7,
9及び第1〜第3排気バルブ6,11,17を開いてポ
ンプ10,18により一度真空引きした後に各チャンバ
3,8,19,12内に第1〜第3供給バルブ2,1,
16を開き、N2 ガスを導入してN2 ガス雰囲気とし、
各チャンバが大気圧になってから第1〜第3ゲートバル
ブ7,9,13を開いてウェーハをカセットチャンバ3
のカセット4からウェーハ移載用チャンバ8を経てロー
ドロックチャンバ19のボート14に移し、更にボート
14を反応チャンバ12内に挿入して膜生成を行う。
ウェーハ移載用チャンバ8,ロードロックチャンバ19
及び反応チャンバ12内を第1,第2ゲートバルブ7,
9及び第1〜第3排気バルブ6,11,17を開いてポ
ンプ10,18により一度真空引きした後に各チャンバ
3,8,19,12内に第1〜第3供給バルブ2,1,
16を開き、N2 ガスを導入してN2 ガス雰囲気とし、
各チャンバが大気圧になってから第1〜第3ゲートバル
ブ7,9,13を開いてウェーハをカセットチャンバ3
のカセット4からウェーハ移載用チャンバ8を経てロー
ドロックチャンバ19のボート14に移し、更にボート
14を反応チャンバ12内に挿入して膜生成を行う。
【0010】この場合、カセット4及びボート14の被
動部30,31にそれぞれ取着された作動ロッド24,
25は、それぞれ上下駆動機構5,15により各チャン
バ3,11,19外のガイド軸26,27に案内されて
上下動されるため、パーティクルの発生が大幅に抑制さ
れることになる。
動部30,31にそれぞれ取着された作動ロッド24,
25は、それぞれ上下駆動機構5,15により各チャン
バ3,11,19外のガイド軸26,27に案内されて
上下動されるため、パーティクルの発生が大幅に抑制さ
れることになる。
【0011】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、カセット
チャンバ3及びロードロックチャンバ19にそれぞれ遊
挿孔22,23を設け、カセット4及びボート14の被
動部30,31にそれぞれ取着された作動ロッド24,
25を遊挿孔22,23より挿通し、各遊挿孔22,2
3と各作動ロッド24,25の端部を真空ベローズ2
1,20で接続し、各作動ロッド24,25の端部にそ
れぞれガイド軸26,27に沿って案内される上下駆動
機構5,15を連結してなるので、カセット4及びボー
ト14の被動部30,31並びにこれらにそれぞれ取着
された作動ロッド24,25が各上下駆動機構5,15
により各チャンバ3,19外のガイド軸26,27に案
内されて上下動されるため、パーティクルの発生を抑止
することができる。
チャンバ3及びロードロックチャンバ19にそれぞれ遊
挿孔22,23を設け、カセット4及びボート14の被
動部30,31にそれぞれ取着された作動ロッド24,
25を遊挿孔22,23より挿通し、各遊挿孔22,2
3と各作動ロッド24,25の端部を真空ベローズ2
1,20で接続し、各作動ロッド24,25の端部にそ
れぞれガイド軸26,27に沿って案内される上下駆動
機構5,15を連結してなるので、カセット4及びボー
ト14の被動部30,31並びにこれらにそれぞれ取着
された作動ロッド24,25が各上下駆動機構5,15
により各チャンバ3,19外のガイド軸26,27に案
内されて上下動されるため、パーティクルの発生を抑止
することができる。
【図1】本発明装置の1実施例の構成を示す簡略断面図
である。
である。
【図2】従来装置の1例の構成を示す簡略断面図であ
る。
る。
3 カセットチャンバ 4 カセット 5 上下駆動機構 7 第1ゲートバルブ 8 ウェーハ移載用チャンバ 9 第2ゲートバルブ 12 反応チャンバ 13 第3ゲートバルブ 14 ボート 15 上下駆動機構 19 ロードロックチャンバ 20,21 真空ベローズ 22,23 遊挿孔 24,25 作動ロッド 26,27 ガイド軸 30,31 被動部
Claims (1)
- 【請求項1】 カセットチャンバ(3),ウェーハ移載
用チャンバ(8),ロードロックチャンバ(19)及び
反応チャンバ(12)内を減圧し、カセットチャンバ
(3)内のカセット(4)に収納されているウェーハを
第1ゲートバルブ(7)を通してウェーハ移載用チャン
バ(8)に移し、更に第2ゲートバルブ(9)を通して
ロードロックチャンバ(19)内のボート(14)に移
し、更に第3ゲートバルブ(13)を通して反応チャン
バ(12)内に挿入して膜を生成するロードロック式縦
型CVD・拡散装置において、カセットチャンバ(3)
及びロードロックチャンバ(19)にそれぞれ遊挿孔
(22,23)を設け、カセット(4)及びボート(1
4)の被動部(30,31)にそれぞれ取着された作動
ロッド(24,25)を遊挿孔(22,23)より挿通
し、各遊挿孔(22,23)と各作動ロッド(24,2
5)の端部を真空ベローズ(21,20)で接続し、各
作動ロッド(24,25)の端部にそれぞれガイド軸
(26,27)に沿って案内される上下駆動機構(5,
15)を連結してなるロードロック式縦型CVD・拡散
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29643092A JPH06120159A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | ロードロック式縦型cvd・拡散装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29643092A JPH06120159A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | ロードロック式縦型cvd・拡散装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06120159A true JPH06120159A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17833440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29643092A Pending JPH06120159A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | ロードロック式縦型cvd・拡散装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06120159A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5571330A (en) * | 1992-11-13 | 1996-11-05 | Asm Japan K.K. | Load lock chamber for vertical type heat treatment apparatus |
JP2008273812A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
JP2009046378A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成方法、これを適用した炭素ナノチューブ合成装置及びシステム |
-
1992
- 1992-10-07 JP JP29643092A patent/JPH06120159A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5571330A (en) * | 1992-11-13 | 1996-11-05 | Asm Japan K.K. | Load lock chamber for vertical type heat treatment apparatus |
JP2008273812A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
JP4704418B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2011-06-15 | セメス株式会社 | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
JP2009046378A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成方法、これを適用した炭素ナノチューブ合成装置及びシステム |
US8834632B2 (en) | 2007-08-21 | 2014-09-16 | Korea Kumho Petrochemical Co., Ltd | Apparatus and system for manufacturing a carbon nanotube |
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