JPH06120159A - ロードロック式縦型ｃｖｄ・拡散装置 - Google Patents
ロードロック式縦型ｃｖｄ・拡散装置Info
- Publication number
- JPH06120159A JPH06120159A JP29643092A JP29643092A JPH06120159A JP H06120159 A JPH06120159 A JP H06120159A JP 29643092 A JP29643092 A JP 29643092A JP 29643092 A JP29643092 A JP 29643092A JP H06120159 A JPH06120159 A JP H06120159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- cassette
- load lock
- insertion holes
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセットチャンバ内のカセット及びロードロ
ックチャンバ内のボートの駆動によるパーティクルの発
生を抑止する。 【構成】 カセットチャンバ３及びロードロックチャン
バ１９にそれぞれ遊挿孔２２，２３を設け、カセット４
及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ取着され
た作動ロッド２４，２５を遊挿孔２２，２３より挿通
し、各遊挿孔２２，２３と各作動ロッド２４，２５の端
部を真空ベローズ２１，２０で接続し、各作動ロッド２
４，２５の端部にそれぞれガイド軸２６，２７に沿って
案内される上下駆動機構５，１５を連結してなる。
ックチャンバ内のボートの駆動によるパーティクルの発
生を抑止する。 【構成】 カセットチャンバ３及びロードロックチャン
バ１９にそれぞれ遊挿孔２２，２３を設け、カセット４
及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ取着され
た作動ロッド２４，２５を遊挿孔２２，２３より挿通
し、各遊挿孔２２，２３と各作動ロッド２４，２５の端
部を真空ベローズ２１，２０で接続し、各作動ロッド２
４，２５の端部にそれぞれガイド軸２６，２７に沿って
案内される上下駆動機構５，１５を連結してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロードロックチャンバ
を有し、これにより、反応チャンバ内にウェーハを挿入
して、膜生成を行う縦型ＣＶＤ・拡散装置に関するもの
である。
を有し、これにより、反応チャンバ内にウェーハを挿入
して、膜生成を行う縦型ＣＶＤ・拡散装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来装置の１例の構成を示す簡略
断面図である。図２において３はカセットチャンバ、８
はウェーハ移載用チャンバ、１９はロードロックチャン
バ、１２は反応チャンバ、２８はカセット４を上下動さ
せるための上下駆動機構５Ａの上下駆動軸、２，１，１
６はそれぞれカセットチャンバ３，ウェーハ移載用チャ
ンバ８及びロードロックチャンバ１９内にＮ2 ガスを供
給するための第１〜第３供給バルブである。
断面図である。図２において３はカセットチャンバ、８
はウェーハ移載用チャンバ、１９はロードロックチャン
バ、１２は反応チャンバ、２８はカセット４を上下動さ
せるための上下駆動機構５Ａの上下駆動軸、２，１，１
６はそれぞれカセットチャンバ３，ウェーハ移載用チャ
ンバ８及びロードロックチャンバ１９内にＮ2 ガスを供
給するための第１〜第３供給バルブである。
【０００３】７，９，１３はカセットチャンバ３とウェ
ーハ移載用チャンバ８間，ウェーハ移載用チャンバ８と
ロードロックチャンバ１９間及びロードロックチャンバ
１９と反応チャンバ１２間に挿着した第１〜第３ゲート
バルブ、６，１１，１７はそれぞれカセットチャンバ
３，ロードロックチャンバ１９及び反応チャンバ１２内
を排気するための第１〜第３排気バルブ、１０，１８は
ポンプ、２９はボート１４を上下動させるための上下駆
動機構１５Ａの上下駆動軸である。
ーハ移載用チャンバ８間，ウェーハ移載用チャンバ８と
ロードロックチャンバ１９間及びロードロックチャンバ
１９と反応チャンバ１２間に挿着した第１〜第３ゲート
バルブ、６，１１，１７はそれぞれカセットチャンバ
３，ロードロックチャンバ１９及び反応チャンバ１２内
を排気するための第１〜第３排気バルブ、１０，１８は
ポンプ、２９はボート１４を上下動させるための上下駆
動機構１５Ａの上下駆動軸である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、カセットチャンバ３，ウェーハ移載用チャンバ８，
ロードロックチャンバ１９及び反応チャンバ１２内を第
１，第２ゲートバルブ７，９及び第１〜第３排気バルブ
６，１１，１７を開いてポンプ１０，１８により一度真
空引きした後に各チャンバ３，８，１９，１２内に第１
〜第３供給バルブ２，１，１６を開き、Ｎ2 ガスを導入
してＮ2 ガス雰囲気とし、各チャンバが大気圧になって
から第１〜第３ゲートバルブ７，９，１３を開いてウェ
ーハをカセットチャンバ３のカセット４からウェーハ移
載用チャンバ８を経てロードロックチャンバ１９のボー
ト１４に移し、更にボート１４を反応チャンバ１２内に
挿入するのであるが、上下駆動機構５Ａ，１５Ａの上下
駆動軸２８，２９に対しカセット４，ボート１４の被動
部３０，３１が各チャンバ３，１９内で上下動されるた
めパーティクルが発生し易いという課題がある。
は、カセットチャンバ３，ウェーハ移載用チャンバ８，
ロードロックチャンバ１９及び反応チャンバ１２内を第
１，第２ゲートバルブ７，９及び第１〜第３排気バルブ
６，１１，１７を開いてポンプ１０，１８により一度真
空引きした後に各チャンバ３，８，１９，１２内に第１
〜第３供給バルブ２，１，１６を開き、Ｎ2 ガスを導入
してＮ2 ガス雰囲気とし、各チャンバが大気圧になって
から第１〜第３ゲートバルブ７，９，１３を開いてウェ
ーハをカセットチャンバ３のカセット４からウェーハ移
載用チャンバ８を経てロードロックチャンバ１９のボー
ト１４に移し、更にボート１４を反応チャンバ１２内に
挿入するのであるが、上下駆動機構５Ａ，１５Ａの上下
駆動軸２８，２９に対しカセット４，ボート１４の被動
部３０，３１が各チャンバ３，１９内で上下動されるた
めパーティクルが発生し易いという課題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明装置は、上記の課
題を解決するため、カセットチャンバ３及びロードロッ
クチャンバ１９にそれぞれ遊挿孔２２，２３を設け、カ
セット４及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ
取着された作動ロッド２４，２５を遊挿孔２２，２３よ
り挿通し、各遊挿孔２２，２３と各作動ロッド２４，２
５の端部を真空ベローズ２１，２０で接続し、各作動ロ
ッド２４，２５の端部にそれぞれガイド軸２６，２７に
沿って案内される上下駆動機構５，１５を連結してな
る。
題を解決するため、カセットチャンバ３及びロードロッ
クチャンバ１９にそれぞれ遊挿孔２２，２３を設け、カ
セット４及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ
取着された作動ロッド２４，２５を遊挿孔２２，２３よ
り挿通し、各遊挿孔２２，２３と各作動ロッド２４，２
５の端部を真空ベローズ２１，２０で接続し、各作動ロ
ッド２４，２５の端部にそれぞれガイド軸２６，２７に
沿って案内される上下駆動機構５，１５を連結してな
る。
【０００６】
【作 用】このような構成とすることによりカセット４
及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ取着され
た作動ロッド２４，２５は、それぞれ上下駆動機構５，
１５により各チャンバ３，１１，１９外のガイド軸２
６，２７に案内されて上下動されるため、パーティクル
の発生が大幅に抑制されることになる。
及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ取着され
た作動ロッド２４，２５は、それぞれ上下駆動機構５，
１５により各チャンバ３，１１，１９外のガイド軸２
６，２７に案内されて上下動されるため、パーティクル
の発生が大幅に抑制されることになる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明装置の１実施例の構成を示す簡
略断面図である。図１において３はカセットチャンバ、
８はウェーハ移載用チャンバ、１９はロードロックチャ
ンバ、１２は反応チャンバ、７，９，１３はカセットチ
ャンバ３とウェーハ移載用チャンバ８間、ウェーハ移載
用チャンバ８とロードロックチャンバ９間及びロードロ
ックチャンバ１９と反応チャンバ１２間に挿着した第１
〜第３ゲートバルブ、２，１，１６はそれぞれカセット
チャンバ３，ウェーハ移載用チャンバ８及びロードロッ
クチャンバ１９内にＮ2 ガスを供給するための第１〜第
３供給バルブである。
略断面図である。図１において３はカセットチャンバ、
８はウェーハ移載用チャンバ、１９はロードロックチャ
ンバ、１２は反応チャンバ、７，９，１３はカセットチ
ャンバ３とウェーハ移載用チャンバ８間、ウェーハ移載
用チャンバ８とロードロックチャンバ９間及びロードロ
ックチャンバ１９と反応チャンバ１２間に挿着した第１
〜第３ゲートバルブ、２，１，１６はそれぞれカセット
チャンバ３，ウェーハ移載用チャンバ８及びロードロッ
クチャンバ１９内にＮ2 ガスを供給するための第１〜第
３供給バルブである。
【０００８】６，１１，１７はそれぞれカセットチャン
バ３，ロードロックチャンバ１９及び反応チャンバ１２
内を排気するための排気バルブ、１０，１８は排気用の
ポンプである。カセットチャンバ３及びロードロックチ
ャンバ１９にそれぞれ遊嵌孔２２，２３が設けられ、カ
セット４及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ
取着された作動ロッド２４，２５が遊挿孔２２，２３よ
り挿通されている。各遊挿孔２２，２３と各作動ロッド
２４，２５の端部は真空ベローズ２１，２０で接続さ
れ、各作動ロッド２４，２５の端部にそれぞれガイド軸
２６，２７に沿って案内される上下駆動機構５，１５が
連結されている。
バ３，ロードロックチャンバ１９及び反応チャンバ１２
内を排気するための排気バルブ、１０，１８は排気用の
ポンプである。カセットチャンバ３及びロードロックチ
ャンバ１９にそれぞれ遊嵌孔２２，２３が設けられ、カ
セット４及びボート１４の被動部３０，３１にそれぞれ
取着された作動ロッド２４，２５が遊挿孔２２，２３よ
り挿通されている。各遊挿孔２２，２３と各作動ロッド
２４，２５の端部は真空ベローズ２１，２０で接続さ
れ、各作動ロッド２４，２５の端部にそれぞれガイド軸
２６，２７に沿って案内される上下駆動機構５，１５が
連結されている。
【０００９】上記の構成においてカセットチャンバ３，
ウェーハ移載用チャンバ８，ロードロックチャンバ１９
及び反応チャンバ１２内を第１，第２ゲートバルブ７，
９及び第１〜第３排気バルブ６，１１，１７を開いてポ
ンプ１０，１８により一度真空引きした後に各チャンバ
３，８，１９，１２内に第１〜第３供給バルブ２，１，
１６を開き、Ｎ2 ガスを導入してＮ2 ガス雰囲気とし、
各チャンバが大気圧になってから第１〜第３ゲートバル
ブ７，９，１３を開いてウェーハをカセットチャンバ３
のカセット４からウェーハ移載用チャンバ８を経てロー
ドロックチャンバ１９のボート１４に移し、更にボート
１４を反応チャンバ１２内に挿入して膜生成を行う。
ウェーハ移載用チャンバ８，ロードロックチャンバ１９
及び反応チャンバ１２内を第１，第２ゲートバルブ７，
９及び第１〜第３排気バルブ６，１１，１７を開いてポ
ンプ１０，１８により一度真空引きした後に各チャンバ
３，８，１９，１２内に第１〜第３供給バルブ２，１，
１６を開き、Ｎ2 ガスを導入してＮ2 ガス雰囲気とし、
各チャンバが大気圧になってから第１〜第３ゲートバル
ブ７，９，１３を開いてウェーハをカセットチャンバ３
のカセット４からウェーハ移載用チャンバ８を経てロー
ドロックチャンバ１９のボート１４に移し、更にボート
１４を反応チャンバ１２内に挿入して膜生成を行う。
【００１０】この場合、カセット４及びボート１４の被
動部３０，３１にそれぞれ取着された作動ロッド２４，
２５は、それぞれ上下駆動機構５，１５により各チャン
バ３，１１，１９外のガイド軸２６，２７に案内されて
上下動されるため、パーティクルの発生が大幅に抑制さ
れることになる。
動部３０，３１にそれぞれ取着された作動ロッド２４，
２５は、それぞれ上下駆動機構５，１５により各チャン
バ３，１１，１９外のガイド軸２６，２７に案内されて
上下動されるため、パーティクルの発生が大幅に抑制さ
れることになる。
【００１１】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、カセット
チャンバ３及びロードロックチャンバ１９にそれぞれ遊
挿孔２２，２３を設け、カセット４及びボート１４の被
動部３０，３１にそれぞれ取着された作動ロッド２４，
２５を遊挿孔２２，２３より挿通し、各遊挿孔２２，２
３と各作動ロッド２４，２５の端部を真空ベローズ２
１，２０で接続し、各作動ロッド２４，２５の端部にそ
れぞれガイド軸２６，２７に沿って案内される上下駆動
機構５，１５を連結してなるので、カセット４及びボー
ト１４の被動部３０，３１並びにこれらにそれぞれ取着
された作動ロッド２４，２５が各上下駆動機構５，１５
により各チャンバ３，１９外のガイド軸２６，２７に案
内されて上下動されるため、パーティクルの発生を抑止
することができる。
チャンバ３及びロードロックチャンバ１９にそれぞれ遊
挿孔２２，２３を設け、カセット４及びボート１４の被
動部３０，３１にそれぞれ取着された作動ロッド２４，
２５を遊挿孔２２，２３より挿通し、各遊挿孔２２，２
３と各作動ロッド２４，２５の端部を真空ベローズ２
１，２０で接続し、各作動ロッド２４，２５の端部にそ
れぞれガイド軸２６，２７に沿って案内される上下駆動
機構５，１５を連結してなるので、カセット４及びボー
ト１４の被動部３０，３１並びにこれらにそれぞれ取着
された作動ロッド２４，２５が各上下駆動機構５，１５
により各チャンバ３，１９外のガイド軸２６，２７に案
内されて上下動されるため、パーティクルの発生を抑止
することができる。
【図１】本発明装置の１実施例の構成を示す簡略断面図
である。
である。
【図２】従来装置の１例の構成を示す簡略断面図であ
る。
る。
３ カセットチャンバ ４ カセット ５ 上下駆動機構 ７ 第１ゲートバルブ ８ ウェーハ移載用チャンバ ９ 第２ゲートバルブ １２ 反応チャンバ １３ 第３ゲートバルブ １４ ボート １５ 上下駆動機構 １９ ロードロックチャンバ ２０，２１ 真空ベローズ ２２，２３ 遊挿孔 ２４，２５ 作動ロッド ２６，２７ ガイド軸 ３０，３１ 被動部
Claims (1)
- 【請求項１】 カセットチャンバ（３），ウェーハ移載
用チャンバ（８），ロードロックチャンバ（１９）及び
反応チャンバ（１２）内を減圧し、カセットチャンバ
（３）内のカセット（４）に収納されているウェーハを
第１ゲートバルブ（７）を通してウェーハ移載用チャン
バ（８）に移し、更に第２ゲートバルブ（９）を通して
ロードロックチャンバ（１９）内のボート（１４）に移
し、更に第３ゲートバルブ（１３）を通して反応チャン
バ（１２）内に挿入して膜を生成するロードロック式縦
型ＣＶＤ・拡散装置において、カセットチャンバ（３）
及びロードロックチャンバ（１９）にそれぞれ遊挿孔
（２２，２３）を設け、カセット（４）及びボート（１
４）の被動部（３０，３１）にそれぞれ取着された作動
ロッド（２４，２５）を遊挿孔（２２，２３）より挿通
し、各遊挿孔（２２，２３）と各作動ロッド（２４，２
５）の端部を真空ベローズ（２１，２０）で接続し、各
作動ロッド（２４，２５）の端部にそれぞれガイド軸
（２６，２７）に沿って案内される上下駆動機構（５，
１５）を連結してなるロードロック式縦型ＣＶＤ・拡散
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29643092A JPH06120159A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | ロードロック式縦型ｃｖｄ・拡散装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29643092A JPH06120159A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | ロードロック式縦型ｃｖｄ・拡散装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120159A true JPH06120159A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17833440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29643092A Pending JPH06120159A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | ロードロック式縦型ｃｖｄ・拡散装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06120159A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5571330A (en) * | 1992-11-13 | 1996-11-05 | Asm Japan K.K. | Load lock chamber for vertical type heat treatment apparatus |
| JP2008273812A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
| JP2009046378A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成方法、これを適用した炭素ナノチューブ合成装置及びシステム |
-
1992
- 1992-10-07 JP JP29643092A patent/JPH06120159A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5571330A (en) * | 1992-11-13 | 1996-11-05 | Asm Japan K.K. | Load lock chamber for vertical type heat treatment apparatus |
| JP2008273812A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
| JP4704418B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2011-06-15 | セメス株式会社 | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
| JP2009046378A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Semes Co Ltd | 炭素ナノチューブ合成方法、これを適用した炭素ナノチューブ合成装置及びシステム |
| US8834632B2 (en) | 2007-08-21 | 2014-09-16 | Korea Kumho Petrochemical Co., Ltd | Apparatus and system for manufacturing a carbon nanotube |
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