JP2008273812A - 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 炭素ナノチューブ合成装置及びそれの方法が開示される。
【解決手段】 炭素ナノチューブ合成装置は、 反応チャンバ、カセット、移送手段、ヒーター、ガス供給部、及びガス排出部を含む。実質的に垂直する長軸を有する反応チャンバ内では、炭素ナノチューブの合成が行われる。カセット内では、複数の基板が積載する。移送手段は、反応チャンバの垂直する長軸に沿って移動し、カセットを反応チャンバ内にロードさせるか反応チャンバからアンロードさせる。ヒーターは、前記反応チャンバに熱を供給する。ガス供給部は、反応チャンバ内に前記炭素ナノチューブの合成のためのガスを供給する。ガス排出部は、残留ガスを前記反応チャンバから外部に排出させる。反応チャンバを垂直に配置し、待機チャンバを反応チャンバの下部に配置することで、炭素ナノチューブの収去が容易であり、反応チャンバの管理により効率的であるだけでなく、炭素ナノチューブの生産性を増加させることができる。
Description
従来の炭素ナノチューブ合成装置は、反応チャンバ10、ヒーター20、周辺装置30、待機チャンバ60、及び移送手段70を含む。
ヒーター20は反応チャンバ10を囲んでおり、反応チャンバ10を加熱する。ヒーター20は、主に円筒状の反応チャンバ10を囲む構造を有するヒーティングコイルなどを含み、約1、000℃以上で反応チャンバ10を加熱する。
前記反応チャンバは、外部ハウジングと、前記外部ハウジング内に配置され、複数のガス注入孔を含む内部ハウジングを具備することができ、前記ガス供給部から前記外部ハウジングに注入されたガスは、前記ガス注入孔を通じて前記内部ハウジングに供給されることが可能である。前記ガス注入孔は、前記反応チャンバの長軸に対して実質的に直交する方向に沿って配列される。
前記炭素ナノチューブ合成装置は、前記反応チャンバの内部の圧力を調節するための圧力調節部を更に含むことができる。
前述した本発明の他の目的を達成するために、本発明の実施例による炭素ナノチューブの合成方法において、複数の基板上に触媒金属粉末を配置した後、前記触媒金属粉末の配置された前記基板をカセットに挿入する。前記基板が挿入された前記カセットを上昇させ、垂直する長軸を有する反応チャンバに配置させた後、前記反応チャンバを加熱しかつ前記反応チャンバ内に前記炭素ナノチューブ合成のためのガスを供給する。
前記ガスを供給する過程において、前記触媒金属粉末を還元させるためのガスを前記反応チャンバ内に供給して前記触媒金属粉末を還元させた後、前記反応チャンバ内に炭素ナノチューブのソースガスを含むガスを供給し、前記炭素ナノチューブを合成することができる。
前記触媒金属粉末を還元させるためのガスは水素を含み、前記炭素ガスソースは、炭化水素を含むことができる。
前記炭素ナノチューブの合成のためのガスは不活性ガス及び水素ガスを更に含むことができる。前記触媒金属粉末は、遷移金属を含むことができ、前記反応チャンバは、約600〜1200℃の温度で加熱することができる。
炭素ナノチューブ合成装置
図2は、本発明の実施例による炭素ナノチューブ合成装置を説明するための断面図であり、図3は、図2に示した炭素ナノチューブ合成装置の部分切開斜視図である。
本発明の実施例において、前記炭素ナノチューブ合成装置は、待機チャンバ160を更に含むことができる。待機チャンバ160は、反応チャンバ110の下部に配置することができる。反応チャンバ110にロードされる基板220または反応チャンバ110からアンロードされた基板220は待機チャンバ160で待機する。
図4は、図2に示した反応チャンバの内部ハウジングを説明するための斜視図である。
(炭素ナノチューブの合成方法)
以下、言及した合成装置を用いて炭素ナノチューブを合成する方法について説明する。
搬送ロボット310を用いて前記触媒粉末が上に配置された基板220をドア161を通じて待機チャンバ160内のカセット210にロードする。移送手段170は、カセット210を垂直に上昇させ、反応チャンバ110にロードする。
ヒーター120は、反応チャンバ110を約600℃〜1200℃で加熱して、触媒金属と水素ガスとが反応して触媒金属は還元されて水蒸気が生成され、生成された水蒸気は反応チャンバ110の下部に設置された排出管(図示せず)を通じて外部に排出される。
そして、後処理装置(図示せず)を用いて合成の行われた炭素ナノチューブから触媒を除去し、炭素ナノチューブを回収する。これによって、炭素ナノチューブの合成のための一連の工程が終了する。
111 内部ハウジング
112 外部ハウジング
120 ヒーター
130 ガス供給部
140 ガス排出部
170 移送手段
210 カセット
220 基板
Claims (20)
- 炭素ナノチューブの合成が行われ、実質的に垂直する長軸を有する反応チャンバと、
複数の基板が搭載されるカセットと、
前記反応チャンバの長軸に対して平行に移動し、前記カセットを前記反応チャンバ内にロードさせるか前記反応チャンバからアンロードさせる移送手段と、
前記反応チャンバに熱を供給するヒーターと、
前記反応チャンバ内に前記炭素ナノチューブの合成のためのガスを供給するガス供給部と、
前記反応チャンバ内の残留ガスを前記反応チャンバから外部に排出させるためのガス排出部と、を含むことを特徴とする炭素ナノチューブ合成装置。 - 前記ガス供給部は、前記反応チャンバの上部を通じて前記ガスを供給し、前記ガス排出部は、前記反応チャンバの下部を通じて前記残留ガスを排出させることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記反応チャンバは、
外部ハウジングと、
前記外部ハウジング内に配置され、複数のガス注入孔を含む内部ハウジングを具備し、
前記ガス供給部から前記外部ハウジングに注入されたガスは、前記ガス注入孔を通じて前記内部ハウジングに供給されることを特徴とする請求項2に記載の炭素ナノチューブ合成装置。 - 前記複数の前記ガス注入孔は、前記反応チャンバの長軸に対して実質的に直交する方向に沿って配列されることを特徴とする請求項3に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記ヒーターは、前記反応チャンバの前記外部ハウジングを囲むことを特徴とする請求項3に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記基板は、前記反応チャンバの長軸に対して実質的に平行する方向に沿って前記反応チャンバ内に積載されることを特徴とする請求項3に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記ガス供給部は、水素ガス保存部、不活性ガス保存部、及び炭素ガス保存部を含むことを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記反応チャンバの内部の圧力を調節するための圧力調節部を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記反応チャンバの下部に配置され、前記反応チャンバ内にロードするか、前記反応チャンバからアンロードされる前記カセットが待機する待機チャンバを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記待機チャンバは、前記基板を前記待機チャンバ内にロードするか、前記待機チャンバから前記基板をアンロードさせるためのドアを含むことを特徴とする請求項9に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記ドアと隣接するように配置され、前記基板をロードするかアンロードする搬送ロボットを更に含むことを特徴とする請求項10に記載の炭素ナノチューブ合成装置。
- 前記基板上に形成された炭素ナノチューブを洗浄するための洗浄装置を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブ装置。
- 複数の基板上に触媒金属粉末を配置する段階と、
前記触媒金属粉末が配置された前記基板をカセットに挿入する段階と、
前記基板が挿入された前記カセットを上昇させ、実質的に垂直する長軸を有する反応チャンバに配置させる段階と、
前記反応チャンバを加熱しかつ前記反応チャンバ内に前記炭素ナノチューブ合成のためのガスを供給する段階と、を含むことを特徴とする炭素ナノチューブの合成方法。 - 前記カセット内に前記基板が前記反応チャンバの長軸に対して実質的に平行な方向に積層されることを特徴とする請求項13に記載の炭素ナノチューブの合成方法。
- 前記ガスを供給する段階は、
前記触媒金属粉末を還元させるためのガスを前記反応チャンバ内に供給して前記触媒金属粉末を還元させる段階と、
前記反応チャンバ内に炭素ナノチューブのソースガスを含むガスを供給し、前記炭素ナノチューブを合成する段階と、を含むことを特徴とする請求項13に記載の炭素ナノチューブの合成方法。 - 前記触媒金属粉末を還元させるためのガスは水素を含み、前記炭素ガスソースは、炭化水素を含むことを特徴とする請求項15に記載の炭素ナノチューブの合成方法。
- 前記炭素ナノチューブの合成のためのガスは不活性ガス及び水素ガスを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の炭素ナノチューブの合成方法。
- 前記触媒金属粉末は、遷移金属を含むことを特徴とする請求項15に記載の炭素ナノチューブの合成方法。
- 前記反応チャンバは、約600〜1200℃の温度で加熱されることを特徴とする請求項13に記載の炭素ナノチューブの合成方法。
- 触媒金属粉末を還元させる段階と、
前記還元された触媒金属粉末を基板上に配置する段階と、
前記還元された触媒金属粉末が配置された基板をカセットに挿入する段階と、
前記基板が挿入された前記カセットを上昇させ、実質的に垂直する長軸を有する反応チャンバ内に配置させる段階と、
前記反応チャンバを加熱しかつ前記反応チャンバ内に炭素ナノチューブの合成のためのガスを供給する段階と、を含むことを特徴とする炭素ナノチューブの合成方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070041068A KR100851391B1 (ko) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 탄소나노튜브 합성장치 및 방법 |
KR10-2007-0041068 | 2007-04-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008273812A true JP2008273812A (ja) | 2008-11-13 |
JP4704418B2 JP4704418B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=39881491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007333600A Expired - Fee Related JP4704418B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-12-26 | 炭素ナノチューブ合成装置及び方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100284897A1 (ja) |
JP (1) | JP4704418B2 (ja) |
KR (1) | KR100851391B1 (ja) |
CN (1) | CN101293643B (ja) |
TW (1) | TWI402212B (ja) |
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2007
- 2007-04-27 KR KR1020070041068A patent/KR100851391B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-11-19 US US11/984,481 patent/US20100284897A1/en not_active Abandoned
- 2007-11-30 TW TW096145750A patent/TWI402212B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-12-26 JP JP2007333600A patent/JP4704418B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-12-29 CN CN2007103066354A patent/CN101293643B/zh not_active Expired - Fee Related
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CN101293643A (zh) | 2008-10-29 |
TWI402212B (zh) | 2013-07-21 |
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US20100284897A1 (en) | 2010-11-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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