JP2007161579A - カーボンナノチューブの合成装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボンナノチューブの合成装置は、カーボンナノチューブの生成空間を提供する反応炉と、前記反応炉を加熱する加熱部と、工程時に前記反応炉の生成空間に位置し、合成基板が置かれるボートと、前記反応炉の生成空間にソースガスを供給するノズルユニットとを有するガス供給部を備え、前記ノズルユニットは、互いに異なる高さからソースガスを供給する噴射部を備える。本発明に係るカーボンナノチューブの合成装置及び方法は、カーボンナノチューブ合成時に用いられるソースガスの均一な供給、ソースガスの効率的な排気、カーボンナノチューブの回収率の増加を図って、大量のカーボンナノチューブを効果的に合成させる。
【選択図】図1
Description
200 ステーション部
300 第1移送装置
400 基板保管部
500 触媒塗布部
600 回収部
700 第2移送装置
Claims (25)
- カーボンナノチューブの生成空間を提供する反応炉と、
前記反応炉を加熱する加熱部と、
工程時に前記反応炉の生成空間に位置し、合成基板が置かれるボートと、
前記反応炉の生成空間にソースガスを供給するノズルユニットを有するガス供給部とを備え、
前記ノズルユニットは、
互いに異なる高さからソースガスを供給する噴射部を備えることを特徴とするカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記噴射部は、
前記ボートより高い位置からソースガスを供給する第1噴射部と、
前記第1噴射部より低い位置からソースガスを供給する第2噴射部と
を備えることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記第1噴射部は、
前記ボートに隣接するように長く形成された少なくとも1つ以上のロングノズルを備えることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記第2噴射部は、
前記ロングノズルより短い長さを有する少なくとも1つ以上のミディアムノズルを備えることを特徴とする請求項3に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記第2噴射部は、
ソースガスが前記反応炉の全面積にわたって均一に拡散されるように、複数の噴射口を有するシャワーヘッドを備えることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記噴射部は、
上向き傾斜の噴射角度を有することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記ボートは、
多段及び多列からなることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記反応炉内のソースガスを排気するガス排気部と、
前記反応炉内に残留ガスが残っているかを検出して、前記反応炉から合成基板のアンロードを制御するための残留ガス検出部と
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記残留ガス検出部は、
前記反応炉から排気される残留ガスの濃度を検出するガスセンサが内蔵されたガス検出器と、
前記ガス検出器で検出された残留ガスの濃度値に応じて、前記反応炉のゲートバルブのロック状態を維持又は解除する検出制御部と
を備えることを特徴とする請求項8に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記ガス検出器は、
前記ガス排気部の排気ラインと接続して、前記排気ラインを介して排気されるガスが流入する第1流入ポートと、
外部空気が流入する第2流入ポートと、
前記検出制御部により、前記第1流入ポートと前記第2流入ポートとを選択的に開閉するバルブと
を備えることを特徴とする請求項9に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記検出制御部は、
カーボンナノチューブの合成工程が完了した前記反応炉が不活性ガスによりパージされた後に、前記第1流入ポートが開放されるように前記バルブを制御することを特徴とする請求項10に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記カーボンナノチューブの合成装置は、
前記反応炉内のソースガスを排気するガス排気部をさらに備え、
前記ガス排気部は、
前記反応炉と接続するメイン排気ライン、前記メイン排気ラインから分岐される送風排気ラインと真空排気ライン、及び前記送風排気ラインと前記真空排気ラインとを選択的に開閉させるための排気制御部を備えることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記合成基板は、
所定高さのフェンスが枠に沿って形成されていることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記フェンスは、
前記ガスが流入する方向と平行な前記合成基板のサイドに形成される第1側壁と、
前記ガスが流入する方向と垂直な前記合成基板の前方に形成される第2側壁と、
前記ガスが流入する方向と垂直な前記合成基板の後方に形成される第3側壁と
を備えることを特徴とする請求項13に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 前記第2側壁は、
前記第1側壁より高さが低いことを特徴とする請求項14に記載のカーボンナノチューブの合成装置。 - 反応炉の内部空間に合成基板をロードするステップと、
前記反応炉の内部に残留する酸素を除去するステップと、
前記反応炉の内部にソースガスを供給して、合成基板の表面にカーボンナノチューブを合成するステップと、
前記反応炉を開放して、カーボンナノチューブが合成された合成基板をアンロードするステップと
を含み、
前記ソースガスの供給は、
前記反応炉の内部において前記ソースガスの到達距離が異なるように、前記反応炉内の互いに異なる位置から前記ソースガスの噴射が行われることを特徴とするカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記酸素除去ステップは、
前記反応炉の内部に不活性ガスを供給しながら排気することを特徴とする請求項16に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記酸素除去ステップは、
前記反応炉の内部を真空状態にするステップと、
前記反応炉の内部に不活性ガスを供給して、前記反応炉の内部を常圧状態にするステップと
を含むことを特徴とする請求項17に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記カーボンナノチューブを合成するステップは、
前記反応炉の圧力を調節するために、前記反応炉から排気される排気ガスの速度を調節することを特徴とする請求項18に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記カーボンナノチューブを合成するステップは、
前記反応炉でのカーボンナノチューブの合成工程が完了すると、ソースガス供給を中断するステップと、
前記反応炉に残っている残留ガスを除去するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項19に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記カーボンナノチューブの合成方法は、
前記反応炉を開放して、カーボンナノチューブが合成された合成基板をアンロードするステップの前に、
前記反応炉でのカーボンナノチューブの合成工程が完了すると、ソースガス供給を中断するステップと、
前記反応炉に残っている残留ガスを除去するステップと、
前記反応炉内に残留ガスが残っているか否かを検出するステップと、
前記残留ガスの検出有無に応じて、前記反応炉の開放を制御するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記カーボンナノチューブの合成方法は、
前記反応炉内に残留ガスが検出されると、前記残留ガスの除去ステップを再度行うことを特徴とする請求項21に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記残留ガスの除去ステップは、
前記反応炉の内部に不活性ガスを供給しながら排気することを特徴とする請求項22に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記残留ガスの除去ステップは、
前記反応炉の内部を真空状態にするステップと、
前記反応炉の内部に不活性ガスを供給して、前記反応炉の内部を常圧状態にするステップと
を含むことを特徴とする請求項23に記載のカーボンナノチューブの合成方法。 - 前記検出ステップは、
前記反応炉の内部に残留する水素ガスを検出することを特徴とする請求項24に記載のカーボンナノチューブの合成方法。
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