KR100933508B1 - 게이트 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 그 구성은 지지판을 기준으로 서로 대향되는 방향으로 이동하는 제1,2 밀폐판에 의해 챔버를 단속하게 하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 제1,2 밀폐판 중 어느 하나에 마련되어 가압부재에 의해 작동하는 개폐부재를 포함하여 이루어진다.

본 발명에 따르면, 게이트 밸브의 일측 상에 별도의 밸브를 마련함으로써 게이트 밸브에 의해 단속되는 어느 한측의 챔버를 진공도를 유지한 상태로 유지보수할 수 있게 하는 효과가 있다.

게이트 밸브, 밀폐판, 개폐부재

Description

게이트 밸브{Vacuum Processing Apparatus}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 게이트 밸브의 일측 상에 별도의 밸브를 마련함으로써 게이트 밸브에 의해 단속되는 어느 한측의 챔버를 진공도를 유지한 상태로 유지보수할 수 있게 하는 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정은 여러개의 챔버를 직렬 배열하는 공정 흐름이 배치된 챔버를 따라 이동하며 진하는 인라인 방식과 하나의 중앙 챔버를 기준으로 다수개의 챔버가 배치되어 중앙에 위치한 챔버를 통해 다른 챔버들로 반입과 반출을 반복하며 공정을 진행하는 클러스터 방식이 있다.

이러한 방식 중 클러스터 방식의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 중앙 위치한 반송 챔버(2)를 기준으로 다수개의 공정 챔버(1)가 배치되며 상기 공정 챔버(1)와 반송 챔배(2) 사이에는 기판이 반송, 반출되는 과정에 입구를 단속하게 하는 게이트 밸브(3)가 마련된다.

이러한 클러스터 방식의 경우 종래에는 반송 챔버(2)나 공정 챔버(1) 중 어느 하나를 교체하거나 유지보수하기 위해서는 반송 챔버 또는 공정 챔버 측 어느 하나의 진공 상태를 파괴한 상태로 유지보수를 하게 되며, 유지보수가 끝난 후 진공 상태가 유지된 다른 챔버 측과 동일한 진공상태를 유지하기 위해 대기압 상태의 챔버를 진공 상태로 만들어 공정을 진행하였다.

또한 게이트 밸브의 유지보수를 위해서는 양측의 챔버를 모두 대기압 상태로 만든 후 챔버를 대기압에서 진공상태로 돌리는 방식으로 유지보수를 실시하였다.

그러나 이러한 종래의 경우 게이트 밸브의 유지보수시 게이트 밸브가 이용되는 양측의 챔버 모두를 대기압 상태로 돌린 후 작업을 진행하고 있어 유지보수가 끝난 후 각각의 챔버를 다시 진공상태로 돌린 경우 많은 시간이 소요되어 이로 인한 공정 수율이 저해되는 원인이 되어 있다.

그리고 게이트 밸브 측을 챔버측과 동일한 진공 상태로 만드는 과정에 압력 차로 인한 소음이 발생하고 이로 인해 게이트가 손상되는 문제점이 발생하였다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 게이트 밸브의 일측 상에 별도의 밸브를 마련함으로써 게이트 밸브에 의해 단속되는 어느 한측의 챔버를 진공도를 유지한 상태로 유지보수할 수 있게 하는 게이트 밸브를 제공함에 있다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.

본 발명의 게이트 밸브는, 지지판을 기준으로 서로 대향되는 방향으로 이동하는 제1,2 밀폐판에 의해 챔버를 단속하게 하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 제1,2 밀폐판 중 어느 하나에 마련되어 가압부재에 의해 작동하는 개폐부재를 포함하여 이루어진다.

또한 상기 가압부재는 실린더 또는 공압 튜브 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 개폐부재는 상기 제1,2 밀폐판과는 별도로 동작하게 한다.

본 발명에 따르면, 게이트 밸브의 일측 상에 별도의 밸브를 마련함으로써 게이트 밸브에 의해 단속되는 어느 한측의 챔버를 진공도를 유지한 상태로 유지보수할 수 있게 하는 효과가 있다.

본 발명에 따르면, 게이트 밸브는, 지지판을 기준으로 서로 대향되는 방향으 로 이동하는 제1,2 밀폐판에 의해 챔버를 단속하게 하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 제1,2 밀폐판 중 어느 하나에 마련되어 가압부재에 의해 작동하는 개폐부재를 포함하여 이루어진다.

또한 상기 가압부재는 실린더 또는 공압 튜브 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 개폐부재는 상기 제1,2 밀폐판과는 별도로 동작하게 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 제1 실시예를 설명한다.

도 2 내지 도 4에 도시된 바에 의하면, 상기 게이브 밸브(30)는 공정 챔버(10)와 반송 챔버(20)의 사이에 마련되어 각각의 챔버를 단속하게 하는 구성이다. 여기서 상기 게이트 밸브(30)는 공정 챔버(10)와 반송 챔버(20) 사이의 게이트 밸브 하우징(40)에 의해 각각의 챔버를 연결하고 있으며, 상기 게이트 밸브 하우징(40)은 각각의 챔버(10,20)와 동일한 진공상태를 유지하고 있다.

또한 상기 게이트 밸브(30)는 지지판(31)을 기준으로 서로 대향되는 위치에 제1 밀폐판(32)과 제2 밀폐판(33)이 마련되어 서로 대향되는 방향으로 이동하며 챔버를 단속하도록 하는 상태이며, 게이트 밸브의 유지보수를 위해 각각의 챔버(10,20) 중 제1 밀폐판이나 또는 제2 밀폐판 중 어느 하나를 챔버측에 밀착시킨 상태에서 유지보수를 위한 밀폐판을 탈건하게 된다. 즉, 제1 밀폐판을 유지보수 하기 위해서는 제2 밀폐판 측을 반송 챔버(20) 측에 밀착시킨 상태에서 공정 챔버(10) 측의 제1 밀폐판을 제거하게 되며, 이때는 공정 챔버 측과 게이트 밸브 하우징(40)이 대기압 상태가 되어 유지보수를 하게 된다. 유지보수가 끝난 후에는 제 1 밀폐판을 공정 챔버 측에 밀착시킨 상태에서 공정 챔버를 진공상태로 만들면 되고, 게이트 밸브 하우징은 상기 제2 밀폐판(33) 측에 별도로 마련된 개폐부재(50)를 개방시켜 반송챔버측과 연통시킴으로써 게이트 밸브 하우징을 진공상태로 만들 수 있게 된다. 이러한 경우 제2 밀폐판 전체를 개방하여 게이트 밸브 하우징의 진공을 만드는 것에 비해 반송 챔버 측의 진공도가 깨지지 않는 상태로 진공을 만들 수 있게 되며, 더불어 제2 밀폐판을 개방으로 인한 소음을 최소화할 수 있게 된다.

한편 본 실시예에서는 상기 개폐부재(50)를 제2 밀폐판(33)에 마련되는 것으로 기재하고 있으나 제1 밀폐판(32)에 구비되는 것도 가능하다.

또한 상기 개폐부재는 각각의 챔버에서 공정 진행시에는 차단된 상태를 유지하고 있게 되며, 유지보수를 위해서만 개방시킨 구성이다.

그리고 상기 개폐부재(50)는 가압부재(51)의 승강을 통해 개구(33a)를 단속하게 되는데, 상기 가압부재(51)는 실린더 또는 튜브 중 선택된 어느 하나에 의해 이루어진다. 상기 튜브의 경우 개구 타측을 가압하는 고무 형태의 튜브를 지지판(31)의 사이에 마련하여 튜브 내부로 주입되는 공기를 통해 팽창시켜 개폐부재를 이동하게 하는 것이다.

도 1은 종래 기술의 게이트 밸브를 나타내는 평면도.

도 2는 본 발명의 게이트 밸브를 나타내는 평면도.

도 3는 도 2에 도시된 게이트 밸브를 나타내는 확대도.

도 4는 본 발명에 따른 개폐부재를 나타내는 부분 확대도.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 공정 챔버 20 : 반송 챔버

30 : 게이트 밸브 40 : 게이트 밸브 하우징

50 : 개폐부재 51 : 가압부재

Claims (3)

1. 지지판을 기준으로 서로 대향되는 방향으로 이동하는 제1,2 밀폐판에 의해 챔버를 단속하게 하는 게이트 밸브에 있어서,

   상기 제1,2 밀폐판 중 어느 하나에 마련되며, 가압부재에 의해 상기 제1, 2 밀폐판과는 별도로 동작하는 개폐부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 가압부재는 실린더 또는 공압 튜브 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
3. 삭제

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