JP2003257958A

JP2003257958A - 熱処理用ボート及び縦型熱処理装置

Info

Publication number: JP2003257958A
Application number: JP2002058262A
Authority: JP
Inventors: Takayasu Asano; 貴庸浅野; Manabu Honma; 学本間; Tomohisa Shimazu; 知久島津
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-03-05
Filing date: 2002-03-05
Publication date: 2003-09-12
Anticipated expiration: 2022-03-05
Also published as: JP3881567B2

Abstract

(57)【要約】【課題】一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連
結することが可能で、ボートの落下、転倒、破損を防止
し、耐震性の向上を図る。【解決手段】多数の被処理体ｗを上下方向に多段に支
持するボート本体１７と、該ボート本体１７を被処理体
ｗの周方向に回転させるための回転軸部２７に連結され
る一本足の脚部１８とを備えた熱処理用ボート１６にお
いて、前記ボート本体１７と脚部１８が一体に形成さ
れ、前記脚部１８の回転軸部２７との連結部にはフラン
ジ部１９が形成され、該フランジ部１９にはこれを回転
軸部２７にネジ２０で締結するための孔部２１が設けら
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理用ボート及
び縦型熱処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理体
例えば半導体ウエハに例えば酸化、拡散、ＣＶＤ、アニ
ール等の各種の熱処理を施す工程があり、これらの工程
を実行するための熱処理装置の一つとして多数枚のウエ
ハを一度に熱処理することが可能な縦型熱処理装置が用
いられている。

【０００３】一般的に、従来の縦型熱処理装置は、熱処
理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体を備
え、この蓋体上には回転導入機構によって回転される回
転テーブルが設けられ、この回転テーブル上に、多数枚
のウエハを上下方向に多段に支持する熱処理用ボートを
炉口保温手段である保温筒を介して載置する構造になっ
ている。

【０００４】なお、ボートとしては、一本足の支持台の
上に載置するようにしたものも提案されている（例え
ば、特開平８−１０２４４７号公報、特開２００１−１
５６００５号公報等参照）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記縦
型熱処理装置においては、ボートを保温筒や支持台の上
に載置しただけであるため、耐震性に劣り、強い地震や
振動等によってボートや保温筒などが落下したり、転倒
して破損する恐れがある。また、ボート本体に一本足の
脚部を一体に形成した一本足ボートの提案もなされてい
るが、石英製の一本足ボートの脚部と金属製の回転導入
機構の回転軸部とを確実に連結する方法が無かった。

【０００６】本発明は、前記事情を考慮してなされたも
ので、一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結す
ることができ、ボートの落下、転倒、破損を防止するこ
とができ、耐震性の向上が図れる熱処理用ボート及び縦
型熱処理装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のうち、請求項１
の発明は、多数の被処理体を上下方向に多段に支持する
ボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転
させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備
えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が
一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフ
ランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部
にネジで締結するための孔部が設けられていることを特
徴とする。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１記載の熱処理
用ボートにおいて、前記フランジ部の回転軸部と接触す
る面には鏡面加工が施されていることを特徴とする。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１記載の熱処理
用ボートにおいて、前記フランジ部と回転軸部との間に
はフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回
転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを
特徴とする。

【００１０】請求項４の発明は、熱処理炉と、該熱処理
炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該
蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段
に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボート
と、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機
構とを備えた縦型熱処理装置おいて、前記回転導入機構
は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記
ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してな
り、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が
前記回転軸部にネジで締結されていることを特徴とす
る。

【００１１】請求項５の発明は、請求項４記載の縦型熱
処理装置において、前記回転軸部の前記フランジと接触
する面には複合セラミックス被膜がコーティングされて
いることを特徴とする。

【００１２】請求項６の発明は、請求項４または５記載
の縦型熱処理装置において、前記フランジ部は、蓋体の
回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出す
る所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべ
く前記回転軸部が高さ調整可能に設けられていることを
特徴とする。

【００１３】請求項７の発明は、請求項４ないし６の何
れかに記載の縦型熱処理装置において、前記ネジには超
合金被膜がコーティングされていることを特徴とする。

【００１４】請求項８の発明は、請求項４ないし７の何
れかに記載の縦型熱処理装置において、前記フランジ部
とネジの頭部との間には多数の皿バネが介設されている
ことを特徴とする。

【００１５】請求項９の発明は、請求項４ないし８の何
れかに記載の縦型熱処理装置において、前記フランジ部
にはネジの頭部側を覆って不活性ガスでパージするため
のカバー部材が取付けられていると共に回転軸部側から
カバー部材内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入孔
が設けられていることを特徴とするを特徴とする。

【００１６】請求項１０の発明は、請求項４ないし９の
何れかに記載の縦型熱処理装置において、前記蓋体上に
は炉口保温手段が固定され、該炉口保温手段には前記ボ
ートの脚部が貫通する貫通穴が設けられていることを特
徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面に基いて詳述する。

【００１８】図１において、１は縦型熱処理装置で、こ
の縦型熱処理装置１は被処理体例えば半導体ウエハｗを
収容して所定の処理例えば酸化処理を施すための縦型の
熱処理炉２を備えている。この熱処理炉２は、下部が炉
口３として開口された縦長の処理容器例えば石英製の反
応管４と、この反応管４の炉口３を開閉する昇降可能な
蓋体５と、前記反応管４の周囲に設けられ、反応管
（炉）４内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加
熱制御可能な発熱抵抗体を備えたヒータ６とから主に構
成されている。

【００１９】反応管４は、例えば石英製であり、図示例
（実施例）では一重管からなっている。この反応管４の
下端部には外向きのフランジ部４ａが形成され、このフ
ランジ部４ａがフランジ保持部材７を介してベースプレ
ート８の下部に保持されている。ベースプレート８には
反応管４が下方から貫通されている。また、ベースプレ
ート８上に前記ヒータ６が設置されている。

【００２０】反応管４のフランジ部４ａには反応管４内
に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入する複数のガ
ス導入管９が設けられ、これらガス導入管９にはガス供
給系の配管が接続されている。また、反応管４の頂部は
漸次縮径され、この頂部には排気口１０が形成されてお
り、この排気口１０には反応管４内を減圧制御可能な真
空ポンプや圧力制御弁等を有する排気系の配管が接続さ
れている（図示省略）。

【００２１】熱処理炉２の下方は、蓋体５上に設けられ
た後述の熱処理用ボート１６を熱処理炉（すなわち反応
管４）２内に搬入（ロード）したり、熱処理炉２から搬
出（アンロード）したり、或いはボート１６に対するウ
エハｗの移載を行うための作業領域（ローディングエリ
ア）１２となっている。この作業領域１２にはボート１
６の搬入、搬出を行うべく蓋体５を昇降させるための昇
降機構１３が設けられている。

【００２２】前記蓋体５は、例えばＳＵＳ製であり、複
数の緩衝機構１４を介して保持板１５上に保持されてお
り、この保持板１５が前記昇降機構１３に連結されてい
る。蓋体５は炉口３の開口端に当接して炉口３を密閉す
るように構成されている。蓋体５の下部中央部にはボー
ト１６を回転するための後述の回転軸部２７を有する回
転導入機構２６が設けられている。

【００２３】前記ボート１６は、例えば石英製であり、
大口径例えば直径３００ｍｍの多数例えば７５〜１００
枚程度のウエハｗを水平状態で上下方向に間隔をおいて
多段に支持するボート本体１７と、このボート本体１７
をウエハの周方向に回転させるための回転軸部２７に連
結される一本足の脚部１８とを備え、これらボート本体
１７と脚部１８が一体に形成されている。図２に示すよ
うに前記脚部１８の回転軸部との連結部にはフランジ部
１９が形成され、このフランジ部１９にはこれを回転軸
部２７にネジ２０で締結するための複数例えば６つの孔
部２１が設けられている。

【００２４】前記ボート本体１７は、底板２２と天板２
３の間に前記複数の支柱２４を介設してなり、支柱２４
と底板２２及び天板２３とは例えば溶接等により一体的
に接合されている。支柱２４は、ウエハｗを囲むように
周方向に所定の間隔で配置され、両側の支柱２４間の正
面側（図１の左側）が図示しない移載機構によりウエハ
ｗの出し入れを行うための開口とされている。支柱２４
には多数のウエハｗを多段に保持するための溝部２５が
形成されている。前記脚部１８は所定の太さ例えば外径
３０〜５０ｍｍ程度、及び所定の高さ例えばフランジ部
１９を含めた高さが２５０〜３５０ｍｍ程度で形成され
ている。前記脚部１８は熱容量を減らすために上端（底
板２２を含む）からフランジ部１９近傍まで中空に形成
されていることが好ましい。

【００２５】前記回転導入機構２６は、例えば図２に示
すように、前記蓋体５の下部中央部に一体的に設けられ
て回転軸部２７を回転可能に収容する筒状の上部ハウジ
ング２８と、この上部ハウジング２８の下端部に気密に
連結された下部ハウジング２９とを備えている。下部ハ
ウジング２９の下側外周には軸心部に回転軸３０を一体
的に有する有底筒状の回転筒体３１が玉軸受３２を介し
て回転可能に設けられ、回転筒体３１の底部中央から起
立した回転軸３０が下部ハウジング２９内を封止手段例
えばＯリングまたは磁性流体シール３３を介して気密に
貫通されている。

【００２６】前記回転筒体３１には回転駆動手段である
モータがベルトを介して連結され（図示省略）、これに
より回転軸３０が回転駆動されるようになっている。前
記蓋体５の中央部には前記回転軸部２７が貫通する軸孔
部３４が形成され、この軸孔部３４が上部ハウジング２
８内と略同径で連通している。

【００２７】前記ボート１６の脚部１８のフランジ部１
９と回転軸部２７との間にはフランジ部１９よりも大径
の台座３５が介在され、この台座３５が前記蓋体５の軸
孔部３４の上面を覆っている。この台座３５は、ボート
１６と同じ材質、例えば石英製である。この台座３５
は、後述の炉口保温手段である炉口加熱機構（サーモプ
ラグ）６２の貫通穴６７にボート１６の脚部１８が挿通
し得るようフランジ部１９の大きさ（外径）が制限され
ている関係でフランジ部１９とは別体とされているが、
このような制限が無ければフランジ部１９と一体に形成
されていても良く、或いは、フランジ部１９の外径を大
きくすることにより台座３５を不要にしても良い。

【００２８】石英製のフランジ部１９と金属製の回転軸
部２７とを石英製の台座３５を介してネジ２０で締結し
ていることによる熱膨張時の熱膨張差に起因する接触面
（特に台座側）の擦れ傷みを防止するために、前記台座
３５の回転軸部２７と接触する面（実施例では下面全
体）には鏡面加工（研磨仕上げ）が施されている。ま
た、同様の理由により前記回転軸部２７の前記台座３５
と接触する面（上面全体）には例えばアルミナ（Ａｉ_２
Ｏ_３）、シリカ（ＳｉＯ_２）、クロミア（ＣｒＯ_３）を
主成分とする耐熱性及び耐食性に富む硬質の複合セラミ
ックス被膜がコーティングされている。

【００２９】この複合セラミックス被膜（クロム酸化物
被膜ともいう）のコーティング方法としては、例えば特
開昭６３−３１７６８０号公報に記載されているクロム
酸化物被膜の形成方法等が利用できる。なお、台座３５
を有しない場合は、フランジ部１９の回転軸部２７との
接触面に鏡面加工が施され、回転軸部２７のフランジ部
１９との接触面に複合セラミックス被膜がコーティング
される。

【００３０】前記フランジ部１９または台座（実施例で
は台座）３５は、図４にも示すように、蓋体５の回転軸
部２７が貫通する軸孔部３４の上面を不活性ガス例えば
窒素ガス（Ｎ_２）が噴出する所定の隙間Ｓを存して覆っ
ており、その隙間Ｓを調整すべく前記回転軸部２７が高
さ調整可能に設けられている。この回転軸部２７は、上
端が閉塞された筒状の上部材（上ハブ）３６と、この上
部材３６が昇降可能に被冠（嵌合）された下部材（下ハ
ブ）３７とから構成されている。

【００３１】下部材３７は、上端軸心部に芯出し用の突
軸部３８を有し、下端軸心部に前記回転導入機構２６の
回転軸３０の上端部が嵌合する嵌合孔３９を有してい
る。また、下部材３７の下端にはフランジ部４０が形成
され、このフランジ部４０から軸心部にねじ込んだ固定
ネジ４１により下部材３７が前記回転軸３０の上端部に
固定されている。上部材３６、脚部１８のフランジ部１
９及び台座３５の軸心部には下部材３７の突軸部３８が
嵌合する芯出し孔４２，４３，４４が形成されている。

【００３２】また、下部材３７のフランジ部４０上面に
は位置決めピン４５が立設され、上部材３６、脚部１８
のフランジ部１９及び台座３５には前記位置決めピン４
５が嵌合する位置決め孔４６，４７，４８が形成されて
いる。なお、上部材３６に形成された位置決め孔４６は
位置決め溝であっても良い。前記上部材３６は熱容量を
減らすために外周に環状溝４９が形成されていることが
好ましい。

【００３３】前記蓋体５の軸孔部３４ないし上部ハウジ
ング２８内に腐食性を有する処理ガスが侵入するのを防
止するために、軸孔部３４ないし上部ハウジング２８内
に不活性ガス例えば窒素ガス（Ｎ_２）が導入されるよう
になっている。すなわち、図２にも示すように、下部材
３７の下面と対向する下部ハウジング２９の上面部には
環状溝５０が設けられ、下部ハウジング２９にはその環
状溝５０に不活性ガスを導入する不活性ガス導入管５１
が接続されている。また、下部材３７のフランジ部４０
には環状溝５０から上部ハウジング２８内に不活性ガス
が入り易いように切欠部５２が設けられている。

【００３４】回転軸部２７の高さ調整すなわち上部材３
６の高さ調整を行うために、図３ないし図４に示すよう
に、上部材３６には下部材３７のフランジ部４０上面に
対して引き寄せたり押し返したりするための引きネジ５
３及び押しネジ５４が複数例えば３本ずつ設けられてい
る。引きネジ５３の下端部は下部材３７のフランジ部４
０に形成したネジ孔７０にねじ込まれ、押しネジ５４は
下部材３７のフランジ部４０上面に当接されている。前
記上部材３６には、ボート１６のフランジ部１９を締結
するネジ（締結ネジ）２０、引きネジ５２及び押しネジ
５４をねじ込むまたは挿入するためのネジ孔５５，５
６，５７が周方向に適宜間隔で且つバランス良い配置で
設けられている。

【００３５】前記ボート１６の脚部１８のフランジ部１
９を固定（締結）するネジ２０は、フランジ部１９上面
から台座３５を介して上部材３６のネジ孔５５にねじ込
まれている。前記ネジ２０は、例えばＳＵＳ製ないしイ
ンコネル製であり、ネジ２０のかじり付きを防止するた
めに例えばニッケルアルミニウム（ＮｉＡｌ）からなる
硬い超合金被膜がコーティングされている。

【００３６】熱膨張によるネジ２０の弛みを防止するた
めに、前記フランジ部１９とネジ２０の頭部２０ａとの
間には多数の皿バネ５８が介設されている。なお、フラ
ンジ部１９と皿バネ５８の間には図示しない座金が介設
されている。皿バネ５８は、ネジ２０の熱膨張を吸収し
得るよう図５に示すように凹面側同士及び凸面側同士が
対向するように複数例えば９枚積み重ねて用いられてい
る。

【００３７】腐食性を有する処理ガスによるネジ２０の
頭部２０ａや皿バネ５８の腐食を防止するために、図２
ないし図６に示すように前記フランジ部１９にはネジ２
０の頭部２０ａ側を覆って不活性ガス例えば窒素ガスで
パージするためのカバー部材５９が取付けられていると
共に、回転軸部２７側からカバー部材５９内に不活性ガ
スを導入する不活性ガス導入孔６０が設けられている。
カバー部材５９は、例えば石英製であり、フランジ部１
９上面に載ってネジ２０の頭部２０ａ側を覆うように断
面逆Ｕ字形状で環状に形成されており、また、着脱が容
易にできるよう半割に形成されている。上部材３６及び
台座３５にはフランジ部１９の不活性ガス導入孔６０と
対応して連通する不活性ガス導入孔６１が設けられてい
る（図３参照）。

【００３８】前記蓋体５上には炉口保温手段である炉口
加熱機構６２が固定されている。この炉口加熱機構６２
は、蓋体５の上面を覆うように載置される環状の覆い板
６３と、この覆い板６３上に周方向に適宜間隔で立設さ
れた複数の支柱６４と、これら支柱６４の上端部に水平
に掛け渡した設けられた面状の発熱抵抗体６５と、この
発熱抵抗体６５の下方に適宜間隔で支柱６４に掛け渡し
て設けられた複数例えば２枚の遮熱板６６とから主に構
成されている。

【００３９】前記覆い板６３、支柱６４及び遮熱板６６
は、例えば石英製であり、覆い板６６により蓋体５上面
が腐食性を有する処理ガスから保護されている。前記発
熱抵抗体６５及び遮熱板６６にはボート１６のフランジ
部１９を含む脚部１８が貫通する貫通穴６７が設けられ
ている。また、前記発熱抵抗体６５に電気を供給するケ
ーブルを導通するための導通管６８が保持板１５から蓋
体５を気密に貫通した状態で設けられている。前記覆い
板６３上には、前記フランジ部１９の周囲及び上方を覆
う環状の遮熱カバー６９が図示例で二重に設けられてい
る。これら遮熱カバー６９は、例えば石英製であり、着
脱が容易にできるよう半割に形成されている。

【００４０】以上の構成からなる熱処理用ボート１６に
よれば、多数のウエハｗを上下方向に多段に支持するボ
ート本体１７と、このボート本体１７をウエハｗの周方
向に回転させるための回転軸部２７に連結される一本足
の脚部１８とを備え、前記ボート本体１７と脚部１８が
一体に形成され、前記脚部１８の回転軸部２７との連結
部にはフランジ部１９が形成され、このフランジ部１９
にはこれを回転軸部にネジ２０で締結するための孔部２
１が設けられているため、例えば石英製の一本足ボート
１６の脚部１８と例えば金属製の回転軸部２７とを確実
に連結することができ、ボート１６の落下、転倒、破損
を防止することができ、耐震性の向上が図れる。

【００４１】また、前記フランジ部（実施例では台座）
１９の回転軸部２７と接触する面には鏡面加工が施され
て摩擦抵抗の低減が図られているため、熱膨張時の石英
製フランジ部１９と金属製回転軸部２７の熱膨張差に起
因するフランジ部１９の擦れ傷みを防止することがで
き、耐久性の向上が図れる。実施例の場合、前記フラン
ジ部１９と回転軸部２７との間にはフランジ部１９より
も大径の台座３５が介在され、この台座３５の回転軸部
２７と接触する面には鏡面加工が施されているため、熱
膨張時の石英製台座３５と金属製回転軸部２７の熱膨張
差に起因する台座３５の擦れ傷みを防止することがで
き、耐久性の向上が図れる。

【００４２】また、縦型熱処理装置１によれば、熱処理
炉２と、この熱処理炉２の炉口３を開閉すべく昇降可能
に設けられた蓋体５と、この蓋体５の上部に設けられ多
数のウエハｗを上下方向に多段に搭載して熱処理炉２に
搬入搬出される熱処理用ボート１６と、このボート１６
を回転すべく蓋体５に設けられた回転導入機構２６とを
備え、前記回転導入機構２６は蓋体５を貫通して炉内に
露出する回転軸部２７を有し、前記ボート１６はボート
本体１７に一本足の脚部１８を一体に形成してなり、こ
の脚部１８にはフランジ部１９が形成され、このフラン
ジ部１９が前記回転軸部２７にネジ２０で締結されてい
るため、石英製の一本足ボート１６の脚部１８と金属製
の回転軸部２７とを確実に連結することができ、ボート
の落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向
上が図れる。

【００４３】また、前記回転軸部２７の前記フランジ部
（なお実施例では台座）１９と接触する面には複合セラ
ミックス被膜がコーティングされて摩擦抵抗の低減が図
られているため、熱膨張時の石英製フランジ部１９と金
属製回転軸部２７の熱膨張差に起因するフランジ部１９
の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れ
る。前記フランジ部１９または台座５３５は、蓋体５の
回転軸部２７が貫通する軸孔部３４の上面を不活性ガス
例えば窒素ガスが噴出する所定の隙間Ｓを存して覆って
おり、その隙間Ｓを調整すべく前記回転軸部２７が高さ
調整可能に設けられているため、腐食防止用の不活性ガ
スを噴出する隙間Ｓの調整を容易に行うことができる。

【００４４】前記隙間Ｓの調整により回転側のフランジ
部１９または台座３５と固定側の蓋体５との接触及び接
触にによる擦れ傷みを防止することができると共に、隙
間Ｓからの不活性ガスの適正な噴出量を確保することが
できる。また、前記隙間Ｓから不活性ガスを吹出すこと
により熱処理に使用した腐食性を有する処理ガスが蓋体
５の軸孔部３４から上部ハウジング２８内へ侵入するの
を防止でき、回転軸部２７等の腐食を防止することがで
きる。前記回転軸部２７が上部材３６とこの上部材３６
を上下移動可能に支持する下部材３７とからなり、これ
ら上部材３６と下部材３７の間に引きネジ５３及び押し
ネジ５４を設けて上部材３６を高さ調整可能にしている
ため、簡単な構造で回転軸部２７の高さ調整を容易に行
うことができる。

【００４５】前記ネジ２０にはＮｉＡｌ等の超合金被膜
がコーティングされているため、ネジ２０のかじり付き
を防止することができる。引きネジ５３及び押しネジ５
４も同様の理由により超合金被膜がコーティングされて
いることが好ましい。更に、前記フランジ部１９とネジ
２０の頭部２０ａとの間には多数の皿バネ５８が介設さ
れているため、熱膨張時のネジ２０の弛みを防止するこ
とができる。

【００４６】前記フランジ部１９にはネジ２０の頭部２
０ａ側を覆って不活性ガスでパージするためのカバー部
材５９が取付けられていると共に回転軸部２７側からカ
バー部材５９内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入
孔６０が設けられているため、ネジ２０の頭部２０ａ側
の腐食を防止することができる。前記蓋体５上には炉口
保温手段例えば炉口加熱機構６２が固定され、この炉口
加熱機構６２には前記ボート１６の脚部１８が貫通する
貫通穴６７が設けられているため、炉口加熱機構６２と
は非接触状態でボート１６のみを回転させることができ
ると共に、炉口加熱機構６２の落下、転倒、破損を防止
することができ、耐震性及び耐久性の向上が図れる。

【００４７】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、熱処理装置として
は、酸化処理以外に、ＣＶＤ処理、拡散処理、アニール
処理等を行うように構成されていてもよい。前記ボート
の材質としては、石英以外に、例えば炭化珪素やポリシ
リコン（Ｓｉ）等であっても良い。被処理体としては、
半導体ウエハ以外に、例えばＬＶＤ基板等であっても良
い。また、反応管は、内管と外管の二重管構造とされて
いても良い。炉口保温手段としては、保温筒であっても
よい。

【００４８】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。

【００４９】（１）請求項１の発明によれば、多数の被
処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボ
ート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸
部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボート
において、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前
記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成さ
れ、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結する
ための孔部が設けられているため、一本足ボートの脚部
と回転軸部とを確実に連結することができ、ボートの落
下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が
図れる。

【００５０】（２）請求項２の発明によれば、前記フラ
ンジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されて
いるため、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、
耐久性の向上が図れる。

【００５１】（３）請求項３の発明によれば、前記フラ
ンジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台
座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面
加工が施されているため、熱膨張時の擦れ傷みを防止す
ることができ、耐久性の向上が図れる。

【００５２】（４）請求項４の発明によれば、熱処理炉
と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられ
た蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上
下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処
理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた
回転導入機構とを備えた縦型熱処理装置おいて、前記回
転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を
有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に
形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フ
ランジ部が前記回転軸部にネジで締結されているため、
一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結すること
ができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することがで
き、耐震性の向上が図れる。

【００５３】（５）請求項５の発明によれば、前記回転
軸部の前記フランジ部と接触する面には複合セラミック
ス被膜がコーティングされているため、熱膨張時の擦れ
傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。

【００５４】（６）請求項６の発明によれば、前記フラ
ンジ部は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不
活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、そ
の隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設け
られているため、腐食防止用の不活性ガスを噴出する隙
間の調整を容易に行うことができる。

【００５５】（７）請求項７の発明によれば、前記ネジ
には超合金被膜がコーティングされているため、ネジの
かじり付きを防止することができる。

【００５６】（８）請求項８の発明によれば、前記フラ
ンジ部とネジの頭部との間には多数の皿バネが介設され
ているため、熱膨張時のネジの弛みを防止することがで
きる。

【００５７】（９）請求項９の発明によれば、前記フラ
ンジ部にはネジの頭部側を覆って不活性ガスでパージす
るためのカバー部材が取付けられていると共に回転軸部
側からカバー部材内に不活性ガスを導入する不活性ガス
導入孔が設けられているため、ネジの頭部側の腐食を防
止することができる。

【００５８】（１０）請求項１０の発明によれば、前記
蓋体上には炉口保温手段が固定され、該炉口保温手段に
は前記ボートの脚部が貫通する貫通穴が設けられている
ため、ボートのみを回転させることができると共に、炉
口保温手段の落下、転倒、破損を防止することができ、
耐震性及び耐久性の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す縦型熱処理装置の縦
断面図である。

【図２】同縦型熱処理装置の要部拡大断面図である。

【図３】回転軸部上面の概略的平面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】皿バネの断面図である。

【図６】ボートのフランジに取付けられるネジカバーの
構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１縦型熱処理装置ｗ半導体ウエハ（被処理体）Ｓ隙間２熱処理炉３炉口５蓋体１６熱処理用ボート１７ボート本体１８脚部１９フランジ部２０ネジ２１孔部２６回転導入機構２７回転軸部３４軸孔部５８皿バネ５９カバー部材６０ガス導入孔６２炉口加熱機構（炉口保温手段）６７貫通穴

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者島津知久東京都港区赤坂五丁目３番６号ＴＢＳ放送センター東京エレクトロン株式会社内Ｆターム(参考） 4K030 CA04 CA12 GA02 GA06 KA04 LA15 5F045 BB20 DP19 DP28 EM10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多数の被処理体を上下方向に多段に支持
するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に
回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部と
を備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚
部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部に
はフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転
軸部にネジで締結するための孔部が設けられていること
を特徴とする熱処理用ボート。
【請求項２】前記フランジ部の回転軸部と接触する面
には鏡面加工が施されていることを特徴とする請求項１
記載の熱処理用ボート。
【請求項３】前記フランジ部と回転軸部との間にはフ
ランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸
部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴
とする請求項１記載の熱処理用ボート。
【請求項４】熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉す
べく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設け
られ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理
炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転
すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理
装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に
露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一
本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ
部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締
結されていることを特徴とする縦型熱処理装置。
【請求項５】前記回転軸部の前記フランジと接触する
面には複合セラミックス被膜がコーティングされている
ことを特徴とする請求項４記載の縦型熱処理装置。
【請求項６】前記フランジ部は、蓋体の回転軸部が貫
通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間
を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸
部が高さ調整可能に設けられていることを特徴とする請
求項４または５記載の縦型熱処理装置。
【請求項７】前記ネジには超合金被膜がコーティング
されていることを特徴とする請求項４ないし６の何れか
に記載の縦型熱処理装置。
【請求項８】前記フランジ部とネジの頭部との間には
多数の皿バネが介設されていることを特徴とする請求項
４ないし７の何れかに記載の縦型熱処理装置。
【請求項９】前記フランジ部にはネジの頭部側を覆っ
て不活性ガスでパージするためのカバー部材が取付けら
れていると共に回転軸部側からカバー部材内に不活性ガ
スを導入する不活性ガス導入孔が設けられていることを
特徴とするを特徴とする請求項４ないし８の何れかに記
載の縦型熱処理装置。
【請求項１０】前記蓋体上には炉口保温手段が固定さ
れ、該炉口保温手段には前記ボートの脚部が貫通する貫
通穴が設けられていることを特徴とする請求項４ないし
９の何れかに記載の縦型熱処理装置。