JPS5959568U - 真空容器の気密カバ− - Google Patents
真空容器の気密カバ−Info
- Publication number
- JPS5959568U JPS5959568U JP14558082U JP14558082U JPS5959568U JP S5959568 U JPS5959568 U JP S5959568U JP 14558082 U JP14558082 U JP 14558082U JP 14558082 U JP14558082 U JP 14558082U JP S5959568 U JPS5959568 U JP S5959568U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- cover
- airtight cover
- airtight
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の真空容器の気密カバーを説明するための
概略縦断面図、第２図は本考案に依る真空容器の気密カ
バーを示す縦断面図、第３図？ｉ第２図の矢印Ｂで示す
部分の拡大詳細図、第４図は゛ 第３図のシール部材２
０ｂの変形例のシール部材 ２０′ ｂを示す図
である。 ２０・・・・・・気密カバー、２０ａ・・・・・・カバ
一本体部分、２０ｂ、２０’ ｂ・・・・・・シール部
材、２０Ｃ・・・・・・０−リング、２１・・・・・・
真空容器本体、２１ａ・・・・・・排気路、２１ｂ・・
・・・、Ｑ ＋）ング、２２・・・・・・取付ねじ、
２３・・・・・・開閉駆動部材、２３Ｃ・・・・・・駆
動部材２３の中間部、２４・・・・・・エアシリンダ、
２５．−２７．３０・・・・・・ピン、２６・・・・・
・支持部材、２９・・・・・・シリンダ支持部材。 第１図 ／°ン
概略縦断面図、第２図は本考案に依る真空容器の気密カ
バーを示す縦断面図、第３図？ｉ第２図の矢印Ｂで示す
部分の拡大詳細図、第４図は゛ 第３図のシール部材２
０ｂの変形例のシール部材 ２０′ ｂを示す図
である。 ２０・・・・・・気密カバー、２０ａ・・・・・・カバ
一本体部分、２０ｂ、２０’ ｂ・・・・・・シール部
材、２０Ｃ・・・・・・０−リング、２１・・・・・・
真空容器本体、２１ａ・・・・・・排気路、２１ｂ・・
・・・、Ｑ ＋）ング、２２・・・・・・取付ねじ、
２３・・・・・・開閉駆動部材、２３Ｃ・・・・・・駆
動部材２３の中間部、２４・・・・・・エアシリンダ、
２５．−２７．３０・・・・・・ピン、２６・・・・・
・支持部材、２９・・・・・・シリンダ支持部材。 第１図 ／°ン
Claims (1)
- 真空装置における真空容器本体に、ピン枢着さ１ れ
て開閉駆動される気密カバーにおいて、該カバーの本体
部分を軽量金属から形成すると共に、該カバーが前記容
器本体と気密接触するシール部分に硬質金属からなるシ
ール部材を取着して形成したことを特徴とする真空容器
の気密カバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14558082U JPS5959568U (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 真空容器の気密カバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14558082U JPS5959568U (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 真空容器の気密カバ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5959568U true JPS5959568U (ja) | 1984-04-18 |
Family
ID=30324304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14558082U Pending JPS5959568U (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 真空容器の気密カバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5959568U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004055419A1 (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-01 | Tokyo Electron Limited | 蓋体装置及び真空容器装置 |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP14558082U patent/JPS5959568U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004055419A1 (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-01 | Tokyo Electron Limited | 蓋体装置及び真空容器装置 |
| JP2004200257A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Tokyo Electron Ltd | 開閉機構及び真空容器 |
| CN100374761C (zh) * | 2002-12-17 | 2008-03-12 | 东京毅力科创株式会社 | 盖体装置及真空容器装置 |
| JP4559700B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2010-10-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空容器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5959568U (ja) | 真空容器の気密カバ− | |
| JPS5890989U (ja) | ドア等の戸体の気密装置 | |
| JPS58131395U (ja) | 冷蔵庫 | |
| JPS59186564U (ja) | 仕切弁 | |
| JPS6088167U (ja) | 密閉ダンパ | |
| JPS6143980U (ja) | プランジヤポンプ | |
| JPS59189241U (ja) | シリンダシ−ルフランジ | |
| JPS6054871U (ja) | ゲ−ト弁 | |
| JPS60106287U (ja) | カム機構を用いた蓋体の開閉機構 | |
| JPS5910258U (ja) | 密閉容器 | |
| JPS58100288U (ja) | エアコンプレツサ | |
| JPS5968869U (ja) | 環状メタルシ−ル部を有するバルブ | |
| JPS5984396U (ja) | ロ−タリ−キルン内容物のサンプリング装置 | |
| JPS6065478U (ja) | ゲ−ト・バルブ | |
| JPS58160329U (ja) | 密閉容器用サンプリング装置 | |
| JPS5879850U (ja) | 試料汚染防止装置 | |
| JPS58167438U (ja) | 試料導入装置 | |
| JPS5912225U (ja) | 自動ドアの開閉スイツチ構造 | |
| JPS6069999U (ja) | 製鋼用原料予熱装置 | |
| JPS5992262U (ja) | 高気密気体用弁 | |
| JPS60172143U (ja) | 密封構造カメラの裏蓋開閉装置 | |
| JPS58131393U (ja) | 冷蔵庫 | |
| JPS60183240U (ja) | デイ−ゼルエンジンの始動促進装置 | |
| JPS5954843U (ja) | 試料台の作動装置 | |
| JPS5888070U (ja) | ダイヤフラム装置 |