JP4595363B2 - 高温加熱炉 - Google Patents
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Description
=W(タングステン)の分光放射率×理想黒体の波長エネルギー
なお、理想黒体の波長エネルギーは、Plankの放射則から容易に求めることが可能である。また、分光放射率は、文献“The Science Of Incandescence" 著者“Dr. Milan R. Vukcevich”に記載されている下式を用いて算出可能である。
ここで、ε:放射率、λ:波長〔μm〕、T:温度〔K〕である。
ここで、R:反射率、ε:放射率である。
2 本加熱室(加熱室)
3 予備加熱室
5 予備加熱槽
6 ロッドヒータ(予備加熱手段)
9 連通口
10 Wメッシュヒータ(加熱手段)
11、7、43 反射板
14 試料台
15 支持棒
16 搬送機構
18 昇降ロッド
24 閉塞板
45 防着カバー
47 反射板シャッター
49 シャフト駆動部
50 制振機構
60a、60b 試料待機室
Claims (9)
- 試料を最適処理温度まで加熱する加熱手段が内蔵された加熱室を有する高温加熱炉において、
前記試料を予備加熱する予備加熱手段を内蔵する予備加熱槽を備え、前記加熱室に連通口を通じて連通して設けられた予備加熱室と、
先端部に試料を取付自在に構成され、前記試料が取り付けられた前記先端部を前記連通口を通じて上下方向に進退させて前記予備加熱室と前記加熱室との間で前記試料を搬送するロッドを有した搬送手段と、
前記予備加熱槽で予備加熱され前記予備加熱室に引き出された試料を前記ロッドの先端部に装着するようにスイングするアームとを備え、
前記ロッドには、前記先端部が前記連通口を通過して前記加熱室に進入した位置で前記加熱室と前記予備加熱室とを連通する前記連通口を塞ぎ前記加熱室と前記予備加熱室とを分離する閉塞板を設けた
ことを特徴とする高温加熱炉。 - 前記加熱室は、前記加熱手段からの熱輻射を反射する複数の反射板を備え、これら複数の反射板は、箱状に組まれて、前記加熱手段と前記試料とを収容する
ことを特徴とする請求項1に記載の高温加熱炉。 - 前記加熱室は、前記加熱手段から前記連通口に向かう熱輻射を反射する反射板を更に備えることを特徴とする請求項1または2に記載の高温加熱炉。
- 前記ロッドの移動に伴って発生する該ロッドの振動を抑制する制振機構とを備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の高温加熱炉。
- 前記ロッドの内部に冷却水を循環させて、当該ロッドを冷却する冷却機構を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の高温加熱炉。
- 前記試料が載置される試料台と、前記試料台を支持する支持棒とを備え、
前記予備加熱手段は、前記試料と共に、前記試料台と前記支持棒とを加熱し、
前記搬送手段は、前記試料を前記加熱室に搬送するときに、前記試料が載置された試料台及び前記支持棒のみを前記加熱室内に進入させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の高温加熱炉。 - 前記予備加熱室と前記加熱室との各々に設けられ、加熱によって前記試料から発生したガスを吸着するコールドトラップを備えることを特徴とする請求項1に記載の高温加熱炉。
- 前記試料が前記加熱室に配置されたときに、前記試料の上方全体を覆い、前記加熱手段の加熱によって前記試料から発生するガスを吸着するカバーを更に具備することを特徴とする請求項7に記載の高温加熱炉。
- 前記予備加熱室内から前記加熱室に向けて前記搬送手段により前記試料が搬送される間、搬送されている前記試料を加熱する補助加熱手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の高温加熱炉。
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