JP4503460B2 - 半導体製造装置のドア密閉機構 - Google Patents

Description

本発明は半導体製造装置のドア密閉機構に関し、特に、高温、減圧下での処理を行う半導体製造装置に使用されるドア密閉機構に関する。

半導体装置の製造におけるウエハプロセスのうち、高温、減圧下での処理、例えば減圧ＣＶＤ処理を行う減圧ＣＶＤ装置においては、反応炉内に処理対象となるウエハを搬入後、反応炉内を大気状態から真空状態にする必要があるが、その際に、ウエハの出入口に設けられるドアの密閉度が重要となる。

ドアの密閉度が充分でないと、大気（異物と同義）が反応炉内に引き込まれて、製品品質に多大な影響を及ぼすことになる。

ここで、反応炉を水平に配設した、いわゆる横型減圧ＣＶＤ装置においては、通常、ウエハの出入口はエンドキャップと呼称されるステンレス製の円筒状の部材で構成されており、円筒の端面は精密に平面加工され、その端面の表面には円周に沿って溝が形成されている。

この溝は、いわゆるＯリング（断面がＯ字形状の環状パッキン）を挿入するためのＯリング溝であり、エンドキャップの開口部を覆い、少なくともＯリングに当接する部分が精密に平面加工された開閉可能な部材をドアとして配設することで、ドアとＯリングとが密着して、装置内を密閉することが可能となる。このような横型減圧ＣＶＤ装置としては、例えば特許文献１に開示される構成が挙げられる。

特開平９−２１９３７４号公報（図１）

特許文献１に開示の横型減圧ＣＶＤ装置では、扉の押圧部材を逆Ｔ字形の剛性部材で構成し、その剛性部材の左右両端で扉の上下方向の中心両側を押圧するように構成されており、扉はエンドキャップの端面に対して前後にスライドするとともに、仰角方向にも移動可能に構成されており扉の開閉機構が構造的に複雑であった。

本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、構造が簡単であり、かつドアの密閉度が高く装置内を高真空に保つことが可能な半導体製造装置のドア密閉機構を提供することを目的とする。

本発明に係る請求項１記載の半導体製造装置のドア密閉機構は、半導体製造装置のウエハ出入口に開閉可能に設けられたフランジドアを密閉する半導体製造装置のドア密閉機構であって、前記半導体製造装置は、真空フランジとして加工され、前記ウエハ出入口を規定するエンドキャップフランジを備え、前記ドア密閉機構は、前記フランジドアの端縁部上に配設され、前記フランジドアに対面する下面とは反対側の上面に傾斜面を有し、前記傾斜面が、前記端縁部に向けて下がる方向となるように前記フランジドア上に固定されたスローププレートと、前記スローププレートの前記傾斜面上に固定され、前記フランジドアの前記端縁部に向けて下がる方向に傾斜する斜行ブロックと、前記斜行ブロックを一方向に貫通するように設けられた円筒形の中空部内にスライド自在に挿入され、一方の端部が前記中空部の一方の開口部から突出する円柱状のスライドバーと、前記スライドバーのスライド動作を規制する規制手段と、前記スライドバーの前記一方の端部に取り付けられたフックとを備え、前記斜行ブロックは、前記中空部の他方の開口部側の側面を覆うように設けられたエンドプレートと、前記エンドプレートと前記スライドバーとの間に位置するように前記中空部内に挿入され、前記スライドバーを前記中空部から押し出す方向に付勢するスプリングとを有し、前記フックの側面形状は略Ｌ字型をなし、Ｌ字の胴体に相当する本体部分と、Ｌ字の足に相当するフランジ受け部とを有し、前記フックは、前記フランジ受け部が前記フランジドア側を向くように、前記スライドバーの前記一方の端部に取り付けられ、前記スライドバーを、前記スプリングを圧縮する方向にスライドさせることで、前記フックが前記フランジドアに向けて斜めに移動し、前記規制手段は、前記スライドバーが前記スプリングを圧縮する方向にスライドした状態で前記スライドバーのスライド動作を規制する。

本発明に係る請求項１記載の半導体製造装置のドア密閉機構によれば、スライドバーを、スプリングを圧縮する方向にスライドさせることで、フックがフランジドアに向けて斜めに移動し、規制手段が、スライドバーがスプリングを圧縮する方向にスライドした状態でスライドバーのスライド動作を規制するので、フランジ受け部がエンドキャップフランジに接触した後は、フランジドアおよびエンドキャップフランジを斜め方向から押圧し、両者を強固に圧接することが可能となる。このため、フランジドアの密閉度が高くなって、大気が装置内に侵入することが防止されて、装置内を高真空に保つことが可能となる。

＜実施の形態＞
以下、図１〜図７を用いて、本発明に係る半導体製造装置のドア密閉機構の実施の形態について説明する。

＜Ａ．装置構成＞
図１および図２は、高温、減圧下での減圧ＣＶＤ処理を行う横型減圧ＣＶＤ装置１００の、ウエハの出入口付近の構成を示す概略図であり、図１は、図２に示すフランジドア６を削除した状態を示している。なお、以下の説明においては、説明の便宜上、ウエハの配列方向に平行な軸をＺ軸とし、Ｚ軸に直交する２軸のうち、鉛直方向に平行な軸をＹ軸、Ｙ軸と直交する軸をＸ軸として説明する。なお、図１および図２では便宜上Ｚ軸が水平になるようには描いていないが、Ｚ軸に平行な方向が水平方向となる。

図１に示す横型減圧ＣＶＤ装置１００においては、例えば石英管で構成される反応炉（図示せず）が水平に配設され、複数のウエハ２が主面どうしが対向するように、反応炉の延在方向（Ｚ軸方向）に沿って１列に配列される構成となっている。

そして、反応炉には、ステンレス製の円筒状のエンドキャップ４の開口部ＯＰを通じて、ウエハ２が出し入れされる構成となっている。エンドキャップ４の開口部ＯＰ側の端面は真空フランジに加工されており、エンドキャップフランジＦＬとなっている。そして、その表面には開口部ＯＰの円周に沿ってＯリング溝が形成され、当該Ｏリング溝にはＯリング（断面がＯ字形状の環状パッキン）３が挿入されている。なお、エンドキャップ４は円筒状として説明したが、立方体状としても良く、その場合はエンドキャップフランジＦＬも四角形となる。

そしてエンドキャップフランジＦＬのＸ軸方向の端縁部にはヒンジ部５１が設けられ、図２に示すようにフランジドア６を開閉可能に取り付けることができる構成となっている。

図２に示すフランジドア６は、エンドキャップ４の開口部ＯＰを覆うとともに、少なくともＯリング３に当接する部分が精密に平面加工された金属製の部材であり、Ｘ軸方向の端縁部に設けられたヒンジ部６１を、エンドキャップフランジＦＬのヒンジ部５１に係合させることで、ヒンジ軸５２を中心にしてフランジドア６が開閉可能に取り付けられた構成となる。

また、フランジドア６のヒンジ部６１とは反対側のＸ軸方向の端縁部には、フランジドア６とエンドキャップ４とを締結するキャップロックＣＬ（ドア密閉機構）が設けられている。なお、キャップロックＣＬの詳細な構成について図３を用いて説明するが、キャップロックＣＬの各構成要素は基本的に金属材料で構成されている。

図３は、キャップロックＣＬの構成を示す斜視図である。なお、図３においては便宜的にフランジドア６は省略している。

図３に示すようにキャップロックＣＬは、フランジドア６（図示せず）にボルト９ｂにより締結されたスローププレート９と、スローププレート９上に溶接固定された斜行ブロック１１と、斜行ブロック１１の側面に固定されたプッシュボルト１３と、フック８とを主たる構成として備えている。

スローププレート９は、フランジドア６に対面する側の面（下面）とは反対側の面（上面）が傾斜面となるように構成されたブロック状の部材であり、当該傾斜面がフランジドア６の端縁部に向けて下がる方向となるようにフランジドア６に固定されているので、この傾斜面上に固定された斜行ブロック１１も、フランジドア６の端縁部に向けて下がる方向に傾斜することになる。

斜行ブロック１１は直方体のブロックで構成され、当該ブロックを長手方向に貫通するように設けられた円筒形の中空部１１ｂを有し、当該中空部１１ｂ内には、内径と同程度の直径を有する円柱状のスライドバー１０ｂが、中空部１１ｂの一方の開口部から突出するように挿入されている。

また、斜行ブロック１１は、中空部１１ｂの上方、すなわちＺ軸方向のスローププレート９に面する側の面（下面）は反対側の面内（上面内）には、中空部１１ｂに沿って延在するとともに、中空部１１ｂに達するように設けられたスライド溝１１ａを有している。

スライド溝１１ａの幅は、スライドバー１０ｂの直径より小さく設定され、当該スライド溝１１ａにはスライドシャフト１０が垂直に挿入され、スライドシャフト１０の一方の先端はスライドバー１０ｂに溶接固定され、スライドシャフト１０とスライドバー１０ｂとがほぼ垂直に接続された構成となっている。

従って、スライドシャフト１０をスライドさせることでスライドバー１０ｂを容易にスライドさせることができる。さらに、スライドシャフト１０の他方の先端には取っ手１０ａが取り付けられており、スライドシャフト１０をスライド溝１１ａ内でスライドさせる動作を人間が容易に行える構成となっている。

また、中空部１１ｂ内にはスプリング１５が挿入され、中空部１１ｂ内のスライドバー１０ｂの他方の端部に接触して、スライドバー１０ｂを中空部１１ｂから押し出す方向に付勢している。ここで、斜行ブロック１１の長手方向の一方の端面を覆うようにエンドプレート１２がボルトで締結され、スプリング１５が中空部１１ｂの他方の開口部から飛び出すことを防止している。

なお、スライド溝１１ａは、斜行ブロック１１のエンドプレート１２が配設された側の端面に達するように設けられており、斜行ブロック１１の中空部１１ｂ内に、スライドバー１０ｂとスライドシャフト１０との接続体を挿入する際には、エンドプレート１２が配設された側の端面からスライドバー１０ｂをスライドシャフト１０とともに挿入し、その後に、スプリング１５を挿入してエンドプレート１２を締結すれば良い。

斜行ブロック１１の中空部１１ｂ内にスライドバー１０ｂを挿入し、それがスプリング１５によって付勢されると、スライドシャフト１０がスライド溝１１ａ内をスライドすることになる。そして、中空部１１ｂから突出したスライドバー１０ｂの一方の端部にフック８が取り付けられている。

フック８の側面形状は略Ｌ字型をなし、Ｌ字の胴体に相当する本体部分８１と、Ｌ字の足に相当するフランジ受け部８２とを有している。ここで、本体部分８１は、フランジ受け部８２に対して垂直ではなく、フランジ受け部８２とは反対側にやや傾くように、好ましくはスライドバー１０ｂに対してほぼ垂直に係合されるように形成されており、フック８の側面形状は若干変形したＬ字型と言うこともできる。

そして、本体部分８１の主面を厚み方向に貫通するバー挿入孔（図示せず）にスライドバー１０ｂの他方の端部が挿入されている。なお、フック８は、フランジ受け部８２の本体部分８１側を向く平面部が、エンドキャップフランジＦＬ（図１）の裏面（Ｏリング３の配設面とは反対側の面）に押し当てられるフック押圧面８ｂとなるようにスライドバー１０ｂに取り付けられる。

スライドバー１０ｂは、フック８の本体部分８１の上端面から、スライドバー１０ｂの挿入されたバー挿入孔に達するようにねじ込まれたボルト８ｃによって本体部分８１に締結されるとともに、本体部分８１の幅方向の側面から挿入されるスプリングピン８ａによってフック８に係合している。

なお、スプリングピン８ａは、バー挿入孔とともに本体部分８１を幅方向に貫通するように設けられたピン挿入孔（図示せず）に挿入されている。そして、スプリングピン８ａは、スライドバー１０ｂの先端部側面に設けられ、バー挿入孔内に位置するピン受け貫通孔（図示せず）も通るようにピン挿入孔に挿入されている。

スプリングピン８ａは、ピン挿入孔に挿入された場合、径方向に広がるような弾性力を有したピンであれば良く、単純なものとしては割ピンを使用しても良い。スプリングピン８ａは、ピン挿入孔内で径方向に広がることでピン挿入孔から脱落することがなく、ピン挿入孔とスライドバー１０ｂのピン受け貫通孔とに係合することで、フック８がスライドバー１０ｂから脱落することを確実に防止することができる。

プッシュボルト１３は、スライドシャフト１０のスライド溝１１ａ内でのスライド動作を規制するストッパ１３ｃを有しており、斜行ブロック１１の側面に溶接固定されたＬ字ブラケット１４上に、固定ボルト１３ｄによって締結されている。

Ｌ字ブラケット１４は、斜行ブロック１１のＹ軸方向の２つの側面の一方に、Ｌ字の足に相当する部分が溶接固定され、Ｌ字の胴体に相当する部分の平面部上にプッシュボルト１３が搭載されている。なお、プッシュボルト１３が搭載されている平面部は、Ｌ字の足が延在する方向とは反対側の平面部である。

プッシュボルト１３は、タキゲン製造株式会社から販売（商品番号Ｃ−１２５５）されている市販の部品であり、直方体の本体部に対して、ロッド状のストッパ１３ｃが進出／後退可能に構成されている。

すなわち、プッシュボルト１３の本体部内には、長手方向に沿ってストッパ１３ｃが収納される構成となっており、本体部上面に設けられたアンロックボタン１３ｂを押すと、本体部の長手方向の一方の側面から突出していたストッパ１３ｃが本体部の方向に後退する。

また、本体部の長手方向の一方の側面にはストッパ１３ｃに連結されたプッシュツマミ１３ａが設けられており、プッシュツマミ１３ａを押すとストッパ１３ｃが本体部内から進出する。

そして、プッシュボルト１３は、ストッパ１３ｃが出入りする本体部の一方の側面が斜行ブロック１１側を向くようにＬ字ブラケット１４上に配設されており、ストッパ１３ｃを進出させることで、スライドシャフト１０のスライド溝１１ａ内でのスライド動作を規制することができる。なお、図２は、ストッパ１３ｃがスライドシャフト１０に係合し、スライドシャフト１０のスライド動作が規制された状態を示している。

＜Ｂ．キャップロックの動作＞
次に、図３を参照しつつ、図４および図５を用いてキャップロックＣＬの動作について説明する。

図４は、図３に示すＣ−Ｃ線でのキャップロックＣＬの断面図であり、図４においてはフランジドア６が閉じた状態を示している。

スライドバー１０ｂにフック８が係合した状態でスライドシャフト１０がスライド溝１１ａ内をスライドすると、それに合わせてフック８がフランジドア６（図２）の端縁部に対して近づいたり離れたりする。図４では、スライドバー１０ｂが規制されず、フック８がフランジドア６の端縁部から離れた状態を実線で示し、スライドバー１０ｂが規制さ、れ、フック８がフランジドア６の端縁部に係合した状態を破線で示している。これは、図５においても同様である。

この状態では、エンドキャップフランジＦＬの裏面にフック押圧面８ｂ（図３）が押し当てられていないので、フランジドア６は開閉自在である。

一方、フランジドア６をエンドキャップフランジＦＬに密着させて、横型減圧ＣＶＤ装置１００内を減圧する場合には、図４に示す状態から、取っ手１０ａを握ってスライドシャフト１０をスプリング１５を圧縮する方向にスライドさせる。そして、スライドシャフト１０が、プッシュボルト１３のストッパ１３ｃと係合可能な位置まで移動した時点で、プッシュボルト１３のプッシュツマミ１３ａを押すことで、ストッパ１３ｃが本体部内から進出してスライドシャフト１０に係合し、スライドシャフト１０のスプリング１５の圧縮を解除する方向へのスライド動作が規制される。

ストッパ１３ｃがスライドシャフト１０に係合する位置まで、スライドシャフト１０をスライドさせることで、エンドキャップフランジＦＬの裏面にフック押圧面８ｂ（図３）が押し当てられて、フランジドア６とエンドキャップフランジＦＬとがＯリング３を押しつぶすように密着し、フランジドア６の密閉度が高くなって、大気が反応炉内（装置内）に侵入することが防止されて、反応炉内を高真空に保つことが可能となる。

なお、ストッパ１３ｃがスライドシャフト１０に係合することで、スライドバー１０ｂがスプリング１５の圧縮を解除する方向へ自由にスライドできなくなるので、フランジドア６とエンドキャップフランジＦＬとの密着状態が低下することが防止される。

ここで、先に説明したように、スローププレート９上に配設された斜行ブロック１１は、スローププレート９の傾斜によりフランジドア６の端縁部に向けて下がる方向に傾斜しており、スライドバー１０ｂも同様に傾斜している。

従って、スライドバー１０ｂの先端に取り付けられたフック８は、スライドシャフト１０をスプリング１５を圧縮する方向にスライドさせることで、単に水平に移動するのではなく斜め上方に移動してエンドキャップフランジＦＬの裏面にフック押圧面８ｂが接触する。そして、フック押圧面８ｂがエンドキャップフランジＦＬの裏面に接触した状態から、さらに斜め上方に移動した位置となるようにスライドシャフト１０とストッパ１３ｃとの係合位置を設定しておくことで、フランジドア６およびエンドキャップフランジＦＬはフック押圧面８ｂから、斜め方向の圧力を受け、両者を強固に圧接することが可能となる。ここで、フック押圧面８ｂは金属面が露出した状態としても良いが、シリコンゴムなどの緩衝材を貼付しても良い。

なお、スライドシャフト１０をストッパ１３ｃと係合可能な位置にまでスライドさせる場合、当該位置に達したか否かの目安として、スライドバー１０ｂに樹脂リング１６を挿入しておく。

樹脂リング１６はスライドバー１０ｂに沿って移動自在に配設され、図４に示す状態ではスライドバー１０ｂが傾斜しているので樹脂リング１６はフック８の本体部分８１に接触している。

スライドバー１０ｂに樹脂リング１６が係合した状態で、スライドシャフト１０をスプリング１５を圧縮する方向にスライドさせると、樹脂リング１６が斜行ブロック１１の端面に接触した時点でスライドシャフト１０の移動が停止し、その位置がスライドシャフト１０とストッパ１３ｃとが係合可能な位置となる。

換言すれば、上記の位置を確定するように樹脂リング１６の厚さを設定することで、スライドシャフト１０の移動量を自動的に決めることができ、スライドシャフト１０の過剰な移動を防止することができる。

なお、樹脂リング１６を有することでスライドシャフト１０の移動量が充分に得られず、エンドキャップフランジＦＬの裏面とフック押圧面８ｂとの接触が不充分になるとフランジドア６の密閉度が低下するので、樹脂リング１６を設けても、フランジドア６の密閉度が低下しないように、フック８の取り付け位置や、樹脂リング１６の厚さ等を設定することは言うまでもない。

また、樹脂リング１６はスライドバー１０ｂに固定する構成としても良いが、その場合は、スライドシャフト１０の移動量が充分に得られるように、樹脂リング１６の固定位置を考慮することになる。

また、フック８の本体部分８１は、フランジ受け部８２とは反対側にやや傾くように形成されているが、このような構成を採ることで、フランジ受け部８２とエンドキャップフランジＦＬの裏面との接触面積が広くなるとともに、フランジドア６の開閉動作時にフック８がエンドキャップフランジＦＬに干渉することが防止され、また、フック８を小型化することが可能となる。

これは、図５において示すように、変形したＬ字型のフック８を使用することで、スライドバー１０ｂが規制されず、フック８がフランジドア６の端縁部から最も離れた状態における隙間マージンＨ１およびＷ１を大きくとることができるからである。

ここで、隙間マージンＨ１は、エンドキャップフランジＦＬの裏面と、フック押圧面８ｂとの間の鉛直方向の距離で規定され、隙間マージンＷ１は、エンドキャップフランジＦＬの側面とフランジ受け部８２の先端部の端面との距離で規定される。

フック８の本体部分８１は、フランジ受け部８２に対して垂直ではなく、フランジ受け部８２とは反対側に傾くように形成されているので、フック８をスライドバー１０ｂに取り付けた状態では、フランジ受け部８２とエンドキャップフランジＦＬの側面との距離が、単純なＬ字型のフックに比べて広くなり、隙間マージンＨ１およびＷ１が大きくなる。

このため、フランジドア６の開閉動作時にフック８がエンドキャップフランジＦＬに接触するなどして干渉することを防止する効果が高まることになる。

また、隙間マージンＨ１およびＷ１の実用的な値としては３ｍｍ〜１０ｍｍであるが、これを単純なＬ字型のフックを使用して得ようとすると、当該フックの寸法を大きくする、あるいはスライドバー１０ｂ、斜行ブロック１１の長さをフック８を使用する場合に比べて大きくしなければならず、キャップロックＣＬ全体が大きくなるが、フック８を使用することで、キャップロックＣＬを小型化することができる。

なお、上述したような特有の効果を期待しないのであれば、単純なＬ字型のフックを使用しても良いことは言うまでもない。

＜Ｃ．効果＞
以上説明したように、横型減圧ＣＶＤ装置１００においては、キャップロックＣＬを使用することで、フランジドア６とエンドキャップフランジＦＬとがＯリング３を押しつぶすように密着し、フランジドア６の密閉度が高くなって、大気が反応炉内に侵入することが防止されて、反応炉内を高真空に保つことが可能となる。

また、キャップロックＣＬのフック８の側面形状は変形したＬ字型をなしているので、単純なＬ字型のフックを使用する場合に比べて、隙間マージンＨ１およびＷ１を大きくとることができ、フランジドア６の開閉動作時にフック８とエンドキャップフランジＦＬとの干渉を防止でき、かつキャップロックＣＬを小型化することができる。

＜Ｄ．フックの変形例１＞
以上説明した横型減圧ＣＶＤ装置１００においては、フック８のフック押圧面８ｂは、単なる平面として説明したが、図６に示すような構成としても良い。

すなわち、図６に示すフック８Ａにおいては、フランジ受け部８２Ａの主面表面内に、軸受け２０が配設されている。

軸受け２０は、円柱状の回転体２１を有して構成され、回転体２１の回転軸が、フック８の幅方向と平行になるように配設されており、エンドキャップフランジＦＬ（図１）の裏面に回転体２１が接触した後は、回転体２１が回転しながら転がり摩擦によりエンドキャップフランジＦＬを押圧する。

従って、エンドキャップフランジＦＬとの接触による異物の発生を抑制でき、異物が反応炉内に侵入することを防止できる。

なお、軸受け２０としては、針状コロベアリングや、カムフォロアを使用することができる。

＜Ｅ．フックの変形例２＞
以上説明した横型減圧ＣＶＤ装置１００においては、フック８は、本体部分８１とフランジ受け部８２とが一体で構成されていたが、図７に示すような構成としても良い。

すなわち、図７に示すフック８Ｂにおいては、本体部分８１Ｂにフランジ受け部８２Ｂをボルト８３で締結する構成となっている。

図７に示すように、フランジ受け部８２ＢはＬ字型の形状をなし、本体部分８１Ｂには、フランジ受け部８２ＢのＬ字の胴体に相当する胴体部分が挿入可能な凹部８４が設けられており、フランジ受け部８２ＢのＬ字の胴体部分を挿入することで、フランジ受け部８２Ｂと本体部分８１Ｂとが合体し、フック８Ｂとなる。

なお、フランジ受け部８２ＢのＬ字の胴体部分にはネジ孔が形成されており、本体部分８１Ｂの裏面からボルト８３を挿入して、両者を締結することができる。

ここで、フランジ受け部８２Ｂに設けた凹部８４の平面視形状は矩形をなし、その長手方向の長さは、フランジ受け部８２ＢのＬ字の胴体部分の長さよりも長く形成することで、胴体部分を凹部８４内で長手方向にスライドさせることができる構成となっている。

従って、図５を用いて説明した隙間マージンＨ１の距離を調整することが可能となり、フランジドア６およびエンドキャップフランジＦＬに対する圧接力を調整することができる。

なお、フランジ受け部８２Ｂを凹部８４内でスライドさせるために、ボルト８３を挿入するための本体部分８１Ｂを貫通するように設けるボルト挿入孔８５は、スライド方向に延在する長孔とする。

また、以上説明した横型減圧ＣＶＤ装置１００においては、スライドシャフト１０のスライド溝１１ａ内でのスライド動作を規制するために、プッシュボルト１３を使用する構成を示したが、スライドシャフト１０に係合可能で、係合状態を任意に解除できるように構成され、スライドシャフト１０に係合することでスライドシャフト１０のスライド動作を規制し、その状態を保つことができる規制手段であれば、プッシュボルト１３に限定されるものではない。

＜Ｆ．他の適用例＞
また、以上の説明では、キャップロックＣＬは、横型減圧ＣＶＤ装置に適用するものとして説明したが、減圧状態を必要とする半導体製造装置であれば、キャップロックＣＬを適用することは有効である。

本発明に係る実施の形態の横型減圧ＣＶＤ装置の、ウエハの出入口付近の構成を示す概略図である。 本発明に係る実施の形態の横型減圧ＣＶＤ装置の、ウエハの出入口付近の構成を示す概略図である。 キャップロックの構成を説明する斜視図である。 キャップロックの構成を説明する断面図である。 フックとエンドキャップフランジとの隙間マージンを説明する図である。 フックの変形例の構成を説明する図である。 フックの変形例の構成を説明する図である。

符号の説明

６ フランジドア、８ フック、９ スローププレート、１０ スライドシャフト、１０ｂ スライドバー、１１ 斜行ブロック、１２ エンドプレート、１５ スプリング、ＦＬ エンドキャップフランジ。

Claims (6)

1. 半導体製造装置のウエハ出入口に開閉可能に設けられたフランジドアを密閉する半導体製造装置のドア密閉機構であって、
   前記半導体製造装置は、真空フランジとして加工され、前記ウエハ出入口を規定するエンドキャップフランジを備え、
   前記ドア密閉機構は、
   前記フランジドアの端縁部上に配設され、前記フランジドアに対面する下面とは反対側の上面に傾斜面を有し、前記傾斜面が、前記端縁部に向けて下がる方向となるように前記フランジドア上に固定されたスローププレートと、
   前記スローププレートの前記傾斜面上に固定され、前記フランジドアの前記端縁部に向けて下がる方向に傾斜する斜行ブロックと、
   前記斜行ブロックを一方向に貫通するように設けられた円筒形の中空部内にスライド自在に挿入され、一方の端部が前記中空部の一方の開口部から突出する円柱状のスライドバーと、
   前記スライドバーのスライド動作を規制する規制手段と、
   前記スライドバーの前記一方の端部に取り付けられたフックとを備え、
   前記斜行ブロックは、
   前記中空部の他方の開口部側の側面を覆うように設けられたエンドプレートと、
   前記エンドプレートと前記スライドバーとの間に位置するように前記中空部内に挿入され、前記スライドバーを前記中空部から押し出す方向に付勢するスプリングとを有し、
   前記フックの側面形状は略Ｌ字型をなし、Ｌ字の胴体に相当する本体部分と、Ｌ字の足に相当するフランジ受け部とを有し、
   前記フックは、前記フランジ受け部が前記フランジドア側を向くように、前記スライドバーの前記一方の端部に取り付けられ、
   前記スライドバーを、前記スプリングを圧縮する方向にスライドさせることで、前記フックが前記フランジドアに向けて斜めに移動し、
   前記規制手段は、前記スライドバーが前記スプリングを圧縮する方向にスライドした状態で前記スライドバーのスライド動作を規制する、半導体製造装置のドア密閉機構。
2. 前記フックは、
   前記本体部分が、前記フランジ受け部とは反対側に傾くように形成される、請求項１記載の半導体製造装置のドア密閉機構。
3. 前記斜行ブロックは、
   前記スローププレートに接する下面とは反対側の上面内に設けられ、前記中空部に沿って延在するとともに、前記中空部に達するように設けられたスライド溝を有し、
   前記スライドバーは、
   前記スライドバーの側面に、その一方の先端が垂直に固定されたスライドシャフトを有し、
   前記スライドバーを前記中空部内に挿入した状態で、前記スライドシャフトが前記スライド溝内から垂直に突出する状態をなし、
   前記スライドシャフトを前記スライド溝内でスライドさせることで、前記スライドバーが前記中空部内をスライドする、請求項１記載の半導体製造装置のドア密閉機構。
4. 前記規制手段は、
   前記スライドシャフトに係合可能に構成され、前記スライドシャフトに係合することで、前記スライドシャフトの前記スライド溝内でのスライド動作を規制する部材を含む、請求項３記載の半導体製造装置のドア密閉機構。
5. 前記フックは、
   前記フランジ受け部の前記本体部分側を向く平面部の表面内に設けられた軸受けを備え、
   前記軸受けは、円柱状の回転体を有し、前記回転体の回転軸が、前記フックの幅方向と平行になるように配設される、請求項２記載の半導体製造装置のドア密閉機構。
6. 前記フックの前記フランジ受け部と前記本体部分とは、分離可能に構成され、
   前記フランジ受け部はＬ字型の形状をなし、
   前記本体部分は、
   前記フランジ受け部のＬ字の胴体に相当する胴体部分が挿入可能な凹部を有し、
   前記凹部に前記フランジ受け部の前記胴体部分を挿入することで、前記フランジ受け部と前記本体部分とが合体し、
   前記凹部の平面視形状は矩形をなし、その長手方向の長さは、前記フランジ受け部の前記胴体部分の長さよりも長く、前記胴体部分を前記凹部内で前記長手方向にスライド可能である、請求項２記載の半導体製造装置のドア密閉機構。
   

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