JP2000136813A - 真空処理装置における部品接続機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 真空処理装置を小形化できる真空処理装置に
おける部品接続機構。 【解決手段】 真空処理装置を構成する部品であって互
いに接続されるべき２部品、例えば真空容器１とその蓋
体２のうち真空容器１に形成され、蓋体２に接続される
べき接続フランジ１１と、蓋体２に形成された接続フラ
ンジ２１と、一端部３１が容器側接続フランジ１１にそ
の外縁の外側から被さって該接続フランジ外面１１１に
対向するように配置されるとともに他端部３２が蓋体側
接続フランジ２１に係合される連結部材３と、連結部材
一端部３１と容器側接続フランジ１１の外面１１１との
間隙ａ１に配置される楔部材３４と、接続フランジ外面
１１１に略平行な方向から操作可能に連結部材３に設け
られ、楔部材３４を間隙ａ１の奥ａ１１の方向へ引き込
んで容器１及び蓋体２を相互押圧接続状態に固定できる
ボルト３３（楔部材駆動部の１部）とを含む真空処理装
置における部品接続機構Ａ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定真空下で薄膜
を形成する装置、所定真空下でエッチング処理を実施す
る装置、所定真空下でイオン注入を行う装置等の真空処
理装置における部品を互いに接続する部品接続機構に関
する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマＣＶＤ装置、真空蒸着装置等の
所定真空下で薄膜を形成する薄膜形成装置、反応性イオ
ンエッチング装置等の所定真空下でエッチング処理を実
施するエッチング装置、所定真空下でイオン注入を行う
イオン注入装置等の真空処理装置は多くの部品から組み
立てられている。

【０００３】真空処理装置は通常、目的とする処理を実
施する真空容器を備えており、この真空容器を例にとる
と、該容器には、該容器を閉じる蓋体、排気装置等の真
空機器、真空配管、他の真空容器等が必要に応じて接続
される。このように真空処理装置においては、構成部品
が互いに接続されるのであるが、その従来例を示すと、
図５（Ａ）に示すように互いに接続されるべき部品のそ
れぞれに設けた接続フランジ９１、９１をボルト或いは
ボルトナット９２で相互接続する、図５（Ｂ）に示すよ
うに互いに接続されるべき部品のうち一方（或いはそれ
に設けた接続フランジ）９３に予め立設され、他方の部
品（或いはそれに設けた接続フランジ）９４に貫通され
たボルト９２１にナット９２２を螺合させて緊締する、
図５（Ｃ）に示すように互いに接続されるべき部品のう
ち一方（或いはそれに設けた接続フランジ）９５に他方
の部品（或いはそれに設けた接続フランジ）９６を重
ね、該他方の部品９６に段付き押さえ部材９０を当接さ
せるとともに該部材９０をボルト９０１で一方の部品９
５に連結して両部品９５、９６を相互に接続する、とい
った手法が採用されている。

【０００４】また、真空容器相互の接続例を示すと、図
６（Ａ）に示すようにゲート弁９７１の弁枠体９７２を
介して互いに接続されるべき真空容器を真空容器内側か
ら容器壁９８１、９８２に通したボルトＢ１を弁枠体９
７２に螺合緊締して接続する、図６（Ｂ）に示すように
ゲート弁９７３の弁枠体９７４を介して互いに接続され
るべき真空容器を該弁枠体に設けた接続フランジ部９７
５に真空容器外側から通したボルトＢ２を真空容器壁９
８１、９８２に螺合緊締して接続する、といった手法が
採用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の部品接続機構では、部品の相互接続すべき部分
の近傍に他の部品や障害物があったり、相互接続部分が
部品間の奥まった位置にあるときなどのように相互接続
部分周辺の空間が狭いとき等には、部品同士を接続する
ボルト或いはボルトナットの中心軸線が接続されるべき
両部品を結ぶ方向に向けられることもあって、ボルト、
ナット等を所定の位置に配置することが困難であった
り、ボルト、ナット等の回し工具を挿入して使うことが
困難であることが多々ある。

【０００６】例えば図６に示すゲート弁を介在させた真
空容器相互の接続において、両容器間に介在させるゲー
ト弁が横長の角形ゲート弁であるような場合、両容器間
の奥まった、狭い位置での接続作業は困難をきわめ、場
合によってはかかる奥まった位置での接続作業が不可能
なことさえあり、その結果、両容器の強固にして安全な
相互接続が困難になる場合がある。

【０００７】また、たとえ部品間の相互接続ができて
も、後日の分解が困難であったり、手間取ることもあ
る。そこで本発明は、真空処理装置を構成する部品のう
ち相互に接続すべき部品を、それら部品の相互に接続す
べき部分が比較的狭い箇所や込み入った箇所にあって
も、簡単、容易に相互接続したり、該接続状態から容易
に分解したりでき、また、このことから逆に真空処理装
置組み立てにあたり、部品間隔を狭める等してそれだけ
真空処理装置を小形化できる真空処理装置における部品
接続機構を提供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は、真空処理装置を構成する部品であって互いに
接続されるべき２部品のうち一方の部品に形成され、他
方の部品に接続されるべき接続フランジと、該他方の部
品に形成された被係合部と、一端部が前記一方の部品の
接続フランジに、該接続フランジの外縁の外側から被さ
って該接続フランジの前記他方の部品への接続面とは反
対側の外面に対向するように配置されるとともに他端部
が前記他方の部品の被係合部に係合される連結部材と、
該連結部材の前記一端部と前記接続フランジの外面との
間隙に配置される楔部材と、前記接続フランジの外面と
略平行な方向から操作可能に前記連結部材に設けられ、
前記楔部材を前記間隙の奥方向へ引き込んで前記両部品
を相互押圧接続状態に固定できる楔部材駆動部とを含む
真空処理装置における部品接続機構を提供する。

【０００９】かかる真空処理装置としては、プラズマＣ
ＶＤ装置、真空蒸着装置等の所定真空下で薄膜を形成す
る薄膜形成装置、反応性イオンエッチング装置等の所定
真空下でエッチング処理を実施するエッチング装置、所
定真空下でイオン注入を行うイオン注入装置等の各種真
空処理装置を挙げることができる。また、互いに接続す
べき部品としては、目的とする処理を実施する真空容器
同士、真空容器とこれに接続されるべきゲート弁、真空
容器と該容器を閉じる蓋体、真空容器と排気装置等の真
空機器、真空容器と真空配管、真空機器と真空配管等を
例示できる。互いに接続される部品間に必要に応じ気密
シール部材その他の部材が介在してもかまわない。

【００１０】本発明の部品接続機構によると、互いに接
続すべき２部品を向かい合わせ、連結部材の一端部を前
記一方の部品の接続フランジの外縁に被せるようにして
該接続フランジ外面に対向配置するとともに該一端部と
フランジ外面との間に楔部材を配置し、該連結部材の他
端部を他方の部品の被係合部に係合させ、この状態で連
結部材における楔部材駆動部にて楔部材を連結部材一端
部と接続フランジとの間隙の奥方向へ引き寄せ、それに
より接続フランジと他方部品とを相互押圧接続状態（互
いに接近して押圧しあうように接続される状態）に固定
して、両部品を相互接続できる。

【００１１】接続フランジと他方部品の間など、両部品
の相互接続部分の間には必要に応じオーリング等の気密
シール部材その他の部材を介在させることができる。両
部品の相互接続を解除するには、楔部材駆動部を逆に操
作して、或いは必要に応じさらに該駆動部を叩く等し
て、楔部材を前記間隙の外側へ向け移動させればよい。

【００１２】このように部品相互の接続は連結部材の簡
単で容易な装着と、楔部材駆動部の操作だけで行うこと
ができ、また、楔部材駆動部は、接続フランジ外面と略
平行な方向から操作可能に前記連結部材に設けられてい
るから、両部品や両部品の相互接続部分近傍の他部品等
に邪魔されることのない空間から容易に操作でき、かく
して、両部品の相互接続を簡単、容易に、さらに迅速に
行える。また、このように接続した両部品の分解も、逆
の操作で簡単、容易に、さらに迅速に行える。

【００１３】前記楔部材駆動部は、それには限定されな
いが、例えば前記連結部材に回転可能に設けられ、前記
楔部材に螺合されたネジ棒（例えば頭付きボルト）から
構成することができる。前記接続フランジの外面と該接
続フランジ外面に対向する前記連結部材一端部の面は平
行面でっあてもよく、この場合には、前記楔部材は、例
えば前記間隙の奥へ引き込まれることで該間隙を広げる
傾斜面を有するものとできる。

【００１４】また、前記接続フランジの外面と該接続フ
ランジ外面に対向する前記連結部材一端部の面のうち少
なくとも一方は、前記間隙を該間隙の奥へ向かうに従い
次第に狭くする傾斜面に形成されていてもよい。この場
合、前記楔部材は、例えば断面円形状の（断面円形、断
面楕円形等の）棒部材とし、該棒部材の側周面部分が前
記接続フランジ外面及びそれに対向する前記連結部材一
端部の面に接触するように該間隙に配置し、前記楔部材
駆動部は、前記連結部材に回転可能に設けられ、前記楔
部材に螺合されたネジ棒（例えば該棒部材の中心部に螺
合する頭付きボルト）を含むものとしてもよい。

【００１５】このような断面円形状の棒部材（楔部材）
は、断面円形状であるので配置時の向きの点で扱いやす
し、前記間隙内に納め得る大きさに形成して使用できる
ので、それだけ接続機構をコンパクト化できる。また、
前記他方の部品に形成された被係合部は、前記一方の部
品に形成された接続フランジに対向配置される接続フラ
ンジとしてもよい。この場合、前記連結部材として、例
えば前記一端部が前記一方の部品の接続フランジに該接
続フランジの外縁の外側から被さって該接続フランジの
外面に対向配置されるとともに他端部が前記他方の部品
の接続フランジに該接続フランジの外縁の外側から被さ
って係合できるコの字状部材（Ｃ字状部材を含む）を採
用できる。

【００１６】また、前記他方の部品に形成された被係合
部は溝であってもよい。この場合該溝として、溝開口部
の幅が溝底部の幅より狭い溝（例えば断面形状がＴ字状
の溝や所謂蟻溝等）であって、溝長手方向における少な
くとも一端が開放された溝を採用できる。さらにこの場
合、前記連結部材の他端部は、該溝に溝長手方向に沿っ
て移動できるが、溝開口部からは脱離不能に該溝に係合
されるものとできる。該連結部材他端部の溝に対する着
脱は該溝の前記開放端から行える。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は真空容器１とその開口部１
０を閉じる蓋体２との相互接続機構の例を示している。
図１に示す接続機構Ａは、真空容器開口部１０を囲むよ
うに該真空容器に一体的に形成された接続フランジ１１
と、蓋体２の周縁に沿って一体的に形成された接続フラ
ンジ２１と、コの字状連結部材３と、連結部材３に遊嵌
された頭付きボルト３３（楔部材駆動部の１例）と、該
ボルトに螺合した楔部材３４とを含んでいる。

【００１８】楔部材３４は短円筒形の棒部材３４であ
り、その中央部を貫通するようにボルト３３が螺合して
いる。連結部材３の一端部３１の内面３１１は傾斜面に
形成されている。この接続機構Ａによると、真空容器１
側の接続フランジ１１と蓋体２側の接続フランジ２１と
が、それらの間に気密シール用オーリングＳ１を介在さ
せた状態で合わされ、両フランジ１１、２１の外縁の外
側からコの字状連結部材３が被せられる。

【００１９】連結部材３の一端部３１はフランジ１１の
外面１１１に対向配置され、且つ、該一端部内面３１１
とフランジ外面１１１との間に楔部材（棒部材）３４が
配置される。一方、連結部材３の他端部３２は蓋体側の
接続フランジ２１の外面２１１に係合配置される。

【００２０】この状態において、連結部材３の一端部３
１の内面３１１とこれが対向しているフランジ１１の外
面１１１との間には間隙ａ１が形成されており、且つ、
その間隙は、連結部材一端部の内面３１１が傾斜面に形
成されていることにより間隙奥ａ１１の方へ向かって次
第に狭くなっている。そして前記の円筒棒部材（楔部
材）３４はこの間隙ａ１に配置され、側周面部分が両面
３１１、１１１に線接触する状態で配置される。さら
に、ボルト３３は円筒棒部材３４の円筒中心軸線に略垂
直に該部材３４の中央部に螺合している。

【００２１】かくして、ボルト３３を適当な回し工具で
回して楔部材３４を間隙ａ１の奥ａ１１の方へ引き寄せ
ることで、両フランジ１１、２１を相互に圧接状態に簡
単容易に固定でき、これにより、真空容器開口部１０を
蓋体２で簡単容易に閉じることができる。円筒棒部材
（楔部材）３４は側周面部分が両面３１１、１１１に線
接触する状態で間隙ａ１に配置されているので、ボルト
３３を回しても共回りすることはない。蓋体２を開ける
ときは、ボルト３３を逆方向に回し、楔部材３４を間隙
ａ１の外方向に押し出せばよい。楔部材３４がその方向
に移動しがたいときは、ボルト３３の頭を少し叩けばよ
い。

【００２２】このように接続機構Ａによると、真空容器
１と蓋体２との接続は連結部材３の簡単で容易な装着
と、ボルト３３の操作だけで行うことができ、また、ボ
ルト３３は、接続フランジ外面１１と略平行な方向か
ら、また、フランジ１１、２１の外縁の外側の余裕のあ
る空間から操作できるので、真空容器１や蓋体２そのも
の或いは他の部品に等に邪魔されることなく、真空容器
１と蓋体２との接続を簡単、容易に行える。また、ボル
ト３３は連結部材３に対し取り付け、取り外しする必要
がなく、単に緊締したり、緩めたりするだけでよいか
ら、この点でも一層接続操作が簡単、容易である。

【００２３】なお、図１には連結部材３、ボルト３３及
び楔部材３４の組み合わせを二組示しているが、その数
は蓋体２の大きさ等に応じて適宜変更できる。次に図２
及び図３を参照して接続機構の他の例を説明する。図２
はゲート弁４の両側に本発明に係る接続機構Ｂ１、Ｂ２
によりそれぞれ真空容器１３、１４を接続した状態の平
面図であり、図３（Ａ）は一方の真空容器１３とゲート
弁４を接続する接続機構Ｂ１の概略断面図であり、図３
（Ｂ）は他方の真空容器１４とゲート弁４を接続する接
続機構Ｂ２の概略断面図である。

【００２４】ゲート弁４は概略的に示してあるが、可動
弁本体４１と弁本体に組み合わされた弁枠体４２とを含
んでいる。弁枠体４２が真空容器１３、１４にそれぞれ
接続される。ゲート弁４と真空容器１３とを接続する機
構Ｂ１は、弁枠体４２の周縁に沿って弁枠体に一体的に
形成された接続フランジ４２１と、真空容器開口部１３
０を囲む開口部周囲の壁体１３１に形成された断面Ｔ字
形状の溝１３２と、連結部材５と、連結部材５に遊嵌さ
れた頭付きボルト５３（楔部材駆動部の１例）と、該ボ
ルトに螺合した楔部材５４とを含んでいる。

【００２５】ゲート弁４と真空容器１４とを接続する機
構Ｂ２は、弁枠体４２の周縁に沿って弁枠体に一体的に
形成された接続フランジ４２２と、真空容器開口部１４
０を囲む開口部周囲の壁体１４１に形成された断面略３
角形状の蟻溝１４２と、連結部材６と、連結部材６に遊
嵌された頭付きボルト６３（楔部材駆動部の１例）と、
該ボルトに螺合した楔部材６４とを含んでいる。

【００２６】接続機構Ｂ１における連結部材５は、一端
部５１が屈曲しており、他端部５２は真空容器１３側の
壁体１３１の断面Ｔ字形状溝１３２の断面形状に相似形
状の断面形状を有している。該他端部５２は溝１３２に
嵌まって溝長手方向に沿って移動できるが、溝開口から
は脱離できない。なお、溝１３２はその長手方向の少な
くとも一端が開放されており、そこから連結部材他端部
５２を溝１３２に嵌めることができる。

【００２７】接続機構Ｂ２における連結部材６は、一端
部６１が屈曲しており、他端部６２は真空容器１４側の
壁体１４１の蟻溝１４２の断面形状に相似形状の断面形
状を有している。該他端部６２は溝１４２に嵌まって溝
長手方向に沿って移動できるが、溝開口からは脱離でき
ない。なお、溝１４２はその長手方向の少なくとも一端
が開放されており、そこから連結部材他端部６２を溝１
４２に嵌めることができる。

【００２８】接続機構Ｂ１、Ｂ２における頭付きボルト
５３、６３及び楔部材５４、６４は同じもので、該楔部
材は、図１に示す接続機構の場合と同様に短円筒形の棒
部材であり、その中央部を貫通するようにボルトが螺合
している。また、各連結部材５、６の一端部５１、６１
の内面５１１、６１１は傾斜面に形成されている。

【００２９】接続機構Ｂ１によると、弁枠体４２の接続
フランジ４２１と真空容器１３の開口部周囲の壁体１３
１とが、それらの間に気密シール用オーリングＳ２を介
在させた状態で合わされ、連結部材５の一端部５１がフ
ランジ４２１の外縁の外側から該フランジ４２１に被せ
られ、該一端部内面５１１とフランジ４２１の外面４２
１１との間に楔部材（円筒棒部材）５４が配置される一
方、連結部材５の他端部５２が壁体１３１における断面
Ｔ字形状溝１３２にその一端開放部分から挿入される。

【００３０】この状態において、連結部材５の一端部５
１の内面５１１とこれが対向しているフランジ４２１の
外面４２１１との間には間隙ｂ１が形成されており、且
つ、その間隙は、連結部材一端部５１の内面５１１が傾
斜面に形成されていることにより間隙奥ｂ１１の方へ向
かって次第に狭くなっている。そして前記の楔部材５４
はこの間隙ｂ１に配置され、側周面部分が両面５１１、
４２１１に線接触する状態で配置される。さらに、ボル
ト５３は楔部材５４の円筒中心軸線に略垂直に該部材５
４の中央部に螺合している。

【００３１】かくして、ボルト５３を適当な回し工具で
回して楔部材５４を間隙ｂ１の奥ｂ１１の方へ引き寄せ
ることで、フランジ４２１と壁体１３２を相互に圧接状
態に簡単容易に固定でき、これにより、真空容器１３に
ゲート弁４（より正確には弁枠体４２）を簡単、容易に
接続することができる。両者を分解するときは、ボルト
５３を逆方向に回し、楔部材５４を間隙ｂ１の外方向に
押し出せばよい。楔部材５４がその方向に移動しがたい
ときは、ボルト５３の頭を少し叩けばよい。

【００３２】また、接続機構Ｂ２によると、弁枠体４２
の接続フランジ４２２と真空容器１４の開口部周囲の壁
体１４１とが、それらの間に気密シール用オーリングＳ
２を介在させた状態で合わされ、連結部材６の一端部６
１がフランジ４２２の外縁の外側から該フランジ４２２
に被せられ、該一端部内面６１１とフランジ４２２の外
面４２２１との間に楔部材（円筒棒部材）６４が配置さ
れる一方、連結部材６の他端部６２が壁体１４１におけ
る蟻溝１４２にその一端開放部分から挿入される。

【００３３】この状態において、連結部材６の一端部６
１の内面６１１とこれが対向しているフランジ４２２の
外面４２２１との間には間隙ｂ２が形成されており、且
つ、その間隙は、連結部材一端部６１の内面６１１が傾
斜面に形成されていることにより間隙奥ｂ２１の方へ向
かって次第に狭くなっている。そして前記の楔部材６４
はこの間隙ｂ２に配置され、側周面部分が両面６１１、
４２２１に線接触する状態で配置される。さらに、ボル
ト６３は楔部材６４の円筒中心軸線に略垂直に該部材６
４の中央部に螺合している。

【００３４】かくして、ボルト６３を適当な回し工具で
回して楔部材６４を間隙ｂ２の奥ｂ２１の方へ引き寄せ
ることで、フランジ４２２と壁体１４２を相互に圧接状
態に簡単容易に固定でき、これにより、真空容器１４に
ゲート弁４（より正確には弁枠体４２）を簡単、容易に
接続することができる。両者を分解するときは、ボルト
６３を逆方向に回し、楔部材６４を間隙ｂ２の外方向に
押し出せばよい。楔部材６４がその方向に移動しがたい
ときは、ボルト６３の頭を少し叩けばよい。

【００３５】このように接続機構Ｂ１、Ｂ２によると、
真空容器１３、１４とゲート弁４との接続は連結部材
５、６の簡単で容易な装着と、ボルト５３、６３の操作
だけで行うことができ、また、ボルト５３、６３は、弁
枠体のフランジ４２１、４２２と略平行な方向から、ま
た、該フランジの外縁の外側の余裕のある空間から操作
できるので、真空容器１３、１４やゲート弁４そのもの
或いは他の部品に等に邪魔されることなく、真空容器１
３、１４とゲート弁４との接続を簡単、容易に行える。
また、ボルト５３、６３は連結部材５、６に対し取り付
け、取り外しする必要がなく、単に緊締したり、緩めた
りするだけでよいから、この点でも一層接続操作が簡
単、容易である。

【００３６】なお、接続機構Ｂ１、Ｂ２を構成する、ボ
ルト及び楔部材を有する連結部材５、６は、通常、ゲー
ト弁４の周囲に沿って所定の間隔で複数個ずつ設置され
る。その数は適宜選択、変更できる。また、連結部材
５、６の配置に応じて、溝１３２や１４２も適当本数、
適当な方向に形成すればよい。以上説明した接続機構
は、いずれも、楔部材駆動部の１例であるボルトを弁枠
体の接続フランジ外面と略平行な方向から、且つ、該フ
ランジ外縁の外側の空間から操作できるものであるが、
操作方向はこれに限定されない。例えば、接続すべき部
品それ自体やその周囲の他の部品等に邪魔されずに楔部
材駆動部を操作できる方向として、楔部材駆動部を接続
フランジの外面と略平行な方向、且つ、該接続フランジ
外縁に略沿う方向の場合もある。

【００３７】図４はその例を示している。図４（Ａ）は
複数の接続機構の概略断面を示しており、図４（Ｂ）は
該各接続機構における連結部材を、その一部を除去して
示す側面図である。図４（Ｃ）は図４（Ｂ）のＸ−Ｘ線
に沿う断面図である。図４（Ａ）に示す接続機構は、接
近して隣り合うゲート弁７、７をゲート弁両側の真空容
器１５、１６にそれぞれ接続するものである。

【００３８】各ゲート弁７と真空容器１５を接続する各
接続機構と各ゲート弁７と真空容器１６を接続する各接
続機構は向きが反対に設置されているだけであり、図４
（Ａ）に示される各接続機構はいずれも同じ機構Ｃであ
る。この接続機構Ｃは、ゲート弁７の弁枠体７２の周縁
に沿って弁枠体に一体的に形成された接続フランジ７２
１と、真空容器開口部を囲む開口部周囲の壁体Ｗに形成
された断面Ｔ字形状の溝Ｇと、連結部材８と、連結部材
８に遊嵌された頭付きボルト８３（楔部材駆動部の１
例）と、該ボルトに螺合した楔部材８４とを含んでい
る。

【００３９】連結部材８は、一端部８１が屈曲している
とともに該屈曲部に一体的に平坦なボルト支持部８１０
が形成されている。他端部８２は真空容器側の壁体Ｗの
断面Ｔ字形状溝Ｇの断面形状に相似形状の断面形状を有
している。該他端部８２は溝Ｇに嵌まって溝長手方向に
沿って移動できるが、溝開口からは脱離できない。な
お、溝Ｇはその長手方向の少なくとも一端が開放されて
おり、そこから連結部材他端部８２を溝Ｇに嵌めること
ができる。

【００４０】楔部材８４は、短円柱形状の棒部材であ
り、その中央部を貫通するようにボルト８３が螺合して
いる。このボルト８３は前記のボルト支持部８１０に遊
嵌貫通している。また、連結部材８の一端部８１の内面
８１１は、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）から分かるよう
に、傾斜面に形成されている。この傾斜内面８１１は前
記のボルト支持部８１０に交わる方向に延びた面であ
る。

【００４１】接続機構Ｃによると、弁枠体７２の接続フ
ランジ７２１と真空容器の開口部周囲の壁体Ｗとが、そ
れらの間に気密シール用オーリングＳ３を介在させた状
態で合わされ、連結部材８の一端部８１がフランジ７２
１の外縁の外側から該フランジ７２１に被せられ、該一
端部の傾斜内面８１１とフランジ７２１の外面７２１１
との間に楔部材（円筒棒部材）８４が配置される一方、
連結部材８の他端部８２が壁体Ｗにおける断面Ｔ字形状
溝Ｇにその一端開放部分から挿入される。

【００４２】この状態において、連結部材８の一端部８
１の傾斜内面８１１とこれが対向しているフランジ７２
１の外面７２１１との間には間隙ｃ１（図４（Ｃ）参
照）が形成されており、且つ、その間隙は、間隙奥ｃ１
１の方へ向かって次第に狭くなっている。そして前記の
楔部材８４はこの間隙ｃ１に配置され、側周面部分が両
面８１１、７２１１に線接触する状態で配置される。さ
らに、ボルト８３はボルト支持部８１０に遊嵌されて接
続フランジ７２１の外面７２１１に略平行な方向から、
且つ、接続フランジ７２１の外縁に略沿う方向から楔部
材８４の円柱中心軸線に略垂直に該楔部材中央部に螺合
している。

【００４３】かくして、ボルト８３を適当な回し工具で
回して楔部材８４を間隙ｃ１の奥の方へ引き寄せること
で、フランジ７２１と壁体Ｗを相互に圧接状態に簡単容
易に固定でき、これにより、真空容器１５、１６にゲー
ト弁７（より正確には弁枠体７２）を簡単、容易に接続
することができる。両者を分解するときは、ボルト８３
を逆方向に回せばよい。さらに必要に応じボルト８３の
頭を少し叩けばよい。

【００４４】このように接続機構Ｃにおいても、真空容
器１５、１６と各ゲート弁７との接続は連結部材８の簡
単で容易な装着と、ボルト８３の操作だけで行うことが
でき、また、ボルト８３を、弁枠体のフランジ７２１の
外面７２１１と略平行な方向から、また、該フランジの
外縁に沿う方向から真空容器やゲート弁そのもの或いは
他の部品に等に邪魔されることなく容易に操作でき、そ
れにより真空容器とゲート弁の接続を簡単、容易に行え
る。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、真
空処理装置を構成する部品のうち相互に接続すべき部品
を、それら部品の相互に接続すべき部分が比較的狭い箇
所や込み入った箇所にあっても、簡単、容易に相互接続
したり、該接続状態から容易に分解したりでき、また、
このことから逆に真空処理装置組み立てにあたり、部品
間隔を狭める等してそれだけ真空処理装置を小形化でき
る真空処理装置における部品接続機構を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】真空容器とその開口部を閉じる蓋体との相互接
続機構の例を示す断面図である。

【図２】ゲート弁の両側に本発明に係る接続機構により
それぞれ真空容器を接続した状態の平面図である。

【図３】図３（Ａ）は図２に示す一方の真空容器とゲー
ト弁を接続する接続機構の概略断面図であり、図３
（Ｂ）は他方の真空容器とゲート弁を接続する接続機構
の概略断面図である。

【図４】図４（Ａ）は本発明に係る部品接続機構による
部品接続の他の例を示す断面図であり、図４（Ｂ）は図
４（Ａ）に示す各部品接続機構における連結部材を、そ
の一部を除去して示す側面図であり、図４（Ｃ）は図４
（Ｂ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。

【図５】図５（Ａ）から図５（Ｃ）はそれぞれ従来の部
品接続の例を示す断面図である。

【図６】図６（Ａ）及び図６（Ｂ）はそれぞれ従来の部
品接続のさらに他の例を示す断面図である。

【符号の説明】 Ａ 部品接続機構 １ 真空容器 １１ 接続フランジ １１１ フランジ１１の外面 １０ 真空容器開口部 ２ 蓋体 ２１ 接続フランジ ２１１ フランジ２１の外面 ３ コの字状連結部材 ３１ 連結部材一端部 ３１１ 一端部３１の傾斜内面 ３２ 連結部材他端部 ３３ 頭付きボルト３３（楔部材駆動部の例） ３４ 楔部材（短円筒形の棒部材） Ｓ１ 気密シール用オーリング ａ１ 間隙 ａ１１ 間隙ａ１の奥 Ｂ１、Ｂ２ 部品接続機構 １３、１４ 真空容器 １３０、１４０ 真空容器開口部 １３１、１４１ 真空容器開口部を囲む壁体 １３２ 断面Ｔ字形状溝 １４２ 蟻溝 ４ ゲート弁 ４１ 弁本体 ４２ 弁枠体 ４２１、４２２ 接続フランジ ５、６ 連結部材 ５１、６１ 連結部材一端部 ５１１、６１１ 連結部材一端部の傾斜内面 ５２、６２ 連結部材の他端部 ５３、６３ 頭付きボルト（楔部材駆動部の例） ５４、６４ 楔部材（短円筒形の棒部材） Ｓ２ 気密シール用オーリング Ｃ 部品接続機構 １５、１６ 真空容器 Ｗ 真空容器開口部を囲む壁体 Ｇ 壁体Ｗに形成された溝 ７ ゲート弁 ７２ 弁枠体 ７２１ 接続フランジ ７２１１ フランジ外面 ８ 連結部材 ８１ 連結部材一端部 ８１１ 一端部８１の傾斜内面 ８１０ 一端部８１におけるボルト支持部 ８２ 連結部材他端部 ８３ 頭付きボルト８３（楔部材駆動部の例） ８４ 楔部材（短円柱形の棒部材） Ｓ３ 気密シール用オーリング ｃ１ 間隙 ｃ１１ 間隙ｃ１の奥

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空処理装置を構成する部品であって互い
   に接続されるべき２部品のうち一方の部品に形成され、
   他方の部品に接続されるべき接続フランジと、 該他方の部品に形成された被係合部と、 一端部が前記一方の部品の接続フランジに、該接続フラ
   ンジの外縁の外側から被さって該接続フランジの前記他
   方の部品への接続面とは反対側の外面に対向するように
   配置されるとともに他端部が前記他方の部品の被係合部
   に係合される連結部材と、 該連結部材の前記一端部と前記接続フランジの外面との
   間隙に配置される楔部材と、 前記接続フランジの外面と略平行な方向から操作可能に
   前記連結部材に設けられ、前記楔部材を前記間隙の奥方
   向へ引き込んで前記両部品を相互押圧接続状態に固定で
   きる楔部材駆動部とを含む真空処理装置における部品接
   続機構。
2. 【請求項２】前記接続フランジの外面と該接続フランジ
   外面に対向する前記連結部材一端部の面のうち少なくと
   も一方が前記間隙を該間隙の奥へ向かうに従い次第に狭
   くする傾斜面に形成されており、前記楔部材は、断面円
   形状の棒部材であって該棒部材の側周面部分で前記接続
   フランジ外面及びそれに対向する前記連結部材一端部の
   面に接触するように該間隙に配置され、前記楔部材駆動
   部は、前記連結部材に回転可能に設けられ、前記楔部材
   に螺合されたネジ棒を含んでいる請求項１記載の真空処
   理装置における部品接続機構。
3. 【請求項３】前記他方の部品に形成された被係合部が前
   記一方の部品に形成された接続フランジに対向配置され
   る接続フランジであり、前記連結部材は、前記一端部が
   前記一方の部品の接続フランジに該接続フランジの外縁
   の外側から被さって該接続フランジの前記外面に対向配
   置されるとともに他端部が前記他方の部品の接続フラン
   ジに該接続フランジの外縁の外側から被さって係合でき
   るコの字状部材である請求項１又は２記載の真空処理装
   置における部品接続機構。
4. 【請求項４】前記他方の部品に形成された被係合部は溝
   であり、該溝は溝開口部の幅が溝底部の幅より狭く、溝
   長手方向における少なくとも一端が開放された溝であ
   り、前記連結部材の他端部は、該溝に溝長手方向に沿っ
   て移動可能であるが溝開口部からは脱離不能に該溝に係
   合される請求項１又は２記載の真空処理装置における部
   品接続機構。