JP4545401B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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図1(a)〜(c)は、本発明の第1の実施形態を示す工程順断面図である。
図2(a)〜(d)は、本発明の第2の実施形態を示す工程順断面図である。
2 酸化シリコン膜
3 窒化シリコン膜
4 酸化シリコン膜
5 ONO積層膜
6 ゲート電極
31 窒化シリコン膜
51 ONO積層膜
Claims (10)
- 半導体基板上に、電荷捕獲準位を有する絶縁膜を含む積層絶縁膜を形成する工程と、
前記積層絶縁膜上の一部にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極をマスクとして前記積層絶縁膜における前記電荷捕獲準位を有する絶縁膜中の電荷捕獲準位密度を減少させる工程と、
前記積層絶縁膜に電荷を注入する工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 前記積層絶縁膜は、下層より第1の絶縁膜、電荷捕獲準位を有する絶縁膜からなる第2の絶縁膜、および第3の絶縁膜で構成されている請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層絶縁膜における前記電荷捕獲準位を有する絶縁膜中の電荷捕獲準位密度を減少させる処理が、前記半導体基板を未反応の水素および酸素の混合気体中において高温に加熱し、前記水素および酸素を反応させて前記第2の絶縁膜を酸化する処理である請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層絶縁膜における前記電荷捕獲準位を有する絶縁膜中の電荷捕獲準位密度を減少させる処理が、塩素を含む高温の雰囲気中において前記第2の絶縁膜を熱酸化する処理である請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層絶縁膜における前記電荷捕獲準位を有する絶縁膜中の電荷捕獲準位密度を減少させる処理が、水素を含む高温の雰囲気中において前記第2の絶縁膜をアニールする処理である請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層絶縁膜における前記電荷捕獲準位を有する絶縁膜中の電荷捕獲準位密度を減少させる処理が、前記第2の絶縁膜中に酸素または水素のイオンを注入した後、前記第2の絶縁膜を高温でアニールする処理である請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層絶縁膜への電荷の注入が、紫外線照射により半導体基板中で電子・正孔対を生成させることによるものである請求項1から請求項6までのうちいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層絶縁膜への電荷の注入が、プラズマ・ドライエッチングあるいはプラズマ化学的気相成長法によるものである請求項1から請求項6までのうちいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1および第3の絶縁膜が酸化シリコン膜であり、前記第2の絶縁膜が窒化シリコン膜である請求項2から請求項6までのうちいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1および第3の絶縁膜が酸化シリコン膜であり、前記第2の絶縁膜が酸窒化シリコン膜である請求項2から請求項6までのうちいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
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