JP4509031B2 - 窒化物半導体装置 - Google Patents
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Description
前記半導体領域と前記バッファ領域とのいずれか一方又は両方の側面に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に配置された導体膜と
を有していることを特徴とする窒化物系化合物半導体装置に係わるものである。
前記バッファ領域は、
化学式AlxMyGa1−x−yN
ここで、前記Mは、In(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種の元素、
前記x及びyは、0<x≦1、
0≦y<1、
x+y≦1
を満足する数値、
で示される材料を主成分とする第1の層と、
化学式AlaMbGa1−a−bN
ここで、前記MはIn(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種の元素、
前記a及びbは、0≦a≦1、
0≦b<1、
a+b≦1
を満足させる数値、
で示される材料を主成分とする前記第2の層と
の複合層から成ることが望ましい。
2、1a,2b,2c バッファ領域
3、3a 半導体領域
4 ソース電極(第1の電極)
5 ドレイン電極(第2の電極)
6 ゲート電極
7 絶縁膜
8 導体膜
9 コンタクト電極
17 傾斜側面
AlxMyGa1−x−yN
ここで、前記Mは、In(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種の元素、
前記x及びyは、0<x≦1、
0≦y<1、
x+y≦1
を満足する数値である。
AlxGa1−xN
ここで、xは0<x≦1を満足する任意の数値である。この化学式に従う
第1の層13は、AlN(窒化アルミニウム)又はAlGaN(窒化ガリウム アルミニウム)である。図1の実施例1では、前記化学式のxが1とされた材料に相当するAlN(窒化アルミニウム)が第1の層13に使用されている。
AlaMbGa1−a−bN
ここで、前記MはIn(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種の元素、
前記a及びbは、0≦a≦1、
0≦b<1、
a+b≦1
を満足させる数値である。
AlaGa1−aN
この化学式において、a=0の場合の第2の層14はGaNである。第2の層14にp型又はn型の導電型決定不純物を含めることができる。第2の層14にAl(アルミニウム)を含める場合には、Al(アルミニウム)の増大により発生する恐れのあるクラックを防ぐために上の化学式におけるアルミニウムの割合を示すaを0.8よりも小さくすることが望ましい。なお、この実施例1の第2の層14は、上記2つの化学式におけるa=0、b=0に相当するGaNから成る。
更に好ましくは、第2の層14の厚みを第1の層13の厚みより大きくするのがよい。このようにすれば、第1の層13と第2の層14との格子定数の差及び第1の層13と基板1との熱膨張係数差に起因して第1の層13に発生する歪みの大きさを第1の層13にクラックが発生しない程度に抑えること及びHEMTの特性の劣化を良好に抑えることができる。
(1)低コストであり且つ加工性も良いシリコンから成る基板1を使用するので、材料コスト及び生産コストの削減が可能である。このため、HEMTのコスト低減が可能である。
(2)基板1の一方の主面に形成されたバッファ領域2は、格子定数がシリコンとGaNとの間の値を有するAlNから成る第1の層13とGaNから成る第2の層14の積層体で構成されているので、バッファ領域2は、シリコンから成る基板1の結晶方位を良好に引き継ぐことができる。この結果、バッファ領域2の一方の主面に、GaN系半導体領域3を結晶方位を揃えて良好に形成することができる。このため、半導体領域3の平坦性が良くなり、HEMTの電気的特性も良くなる。もし、シリコンから成る基板1の一方の主面に、GaN半導体のみによって低温でバッファ層を形成した場合、シリコンとGaNとは格子定数の差が大きいため、このバッファ層の上面に平坦性に優れたGaN系半導体領域を形成することはできない。
(3)AlNから成る第1の層13とGaNから成る第2の層14との積層体から成るバッファ領域2は、従来のGaNやAlNの単一層から構成される低温バッファ層に比較して高温で結晶成長させることができる。このため、窒素源となるアンモニアを良好に分解させることができ、バッファ領域2はアモルファス層とならない。この結果、バッファ領域2の上に形成されるエピタキシャル成長層即ち半導体領域3の結晶欠陥の密度を十分に低くすることができる。
(4)基板1がサファイアに比較して熱伝導性に優れるシリコンから形成されるので、デバイスの動作中に発生する熱を基板1を通じて良好に放熱させることができ、デバイスの耐圧、利得等の諸特性が良好に得られる。
(5)シリコン基板1は窒化物系化合物半導体に比べて熱膨張係数が小さいため、熱不整に起因した引っ張り歪みがエピタキシャル層に加わる。このため、GaNから成る電子走行層15とAIGaNから成る電子供給層16との間の界面の引っ張り応力を更に強めることができ、結果的にピエゾ電界効果を高めることができる。この結果、電子走行層15即ちチャネルの電子密度をサファイア基板を使用したHEMTに比較して高濃度にすることができ、電子走行層15即ちチャネルのシート抵抗を減少してドレイン電流を増大させることが可能となる。
AlxInyGa1−x−yN
ここで、x、yは、0<x≦1、
0≦y<1、
x+y≦1
を満足する任意の数値である。
即ち、第1の層13aは、AlN(窒化アルミニウム)、AlGaN(窒化ガリウム アルミニウム)、AlInN(窒化インジウム アルミニウム)、及びAlInGaN(窒化ガリウム インジウム アルミニウム)から選択されたもので形成される。図5の実施例の第1の層13aのより好ましい材料は、前記式のxが0.5、yが0.01とされた材料に相当するAl0.5In0.01Ga0.49Nである。第1の層13aは、絶縁性を有する極く薄い膜である。アルミニウムを含む第1の層13aの格子定数及び熱膨張係数はシリコン基板1の格子定数及び熱膨張係数と半導体領域3又は3aの格子定数及び熱膨張係数との間の値を有する。
AlaInbGa1−a−bN
ここで、a、bは、0≦a<1、
0≦b<1、
a+b≦1
を満足する任意の数値である。
即ち、第2の層14aは例えばGaN、AlN、InN、InGaN、AlGaN、AlInN及びAlInGaNから選択されたもので形成される。図5の実施例の第2の層14aのより好ましい材料は、前記式のaが0.05、bが0.35とされた材料に相当するAl0.05In0.35Ga0.6Nである。第2の層14aの価電子帯と伝導帯との間のギャップ即ちバンドギャップが第1の層13aのバンドギャップよりも小さい。第1の層13aと第2の層14aとのいずれか一方又は両方にp型不純物又はn型不純物をドープすることができる。
AlxByGa1−x−yN
ここで、x、yは、0<x≦1、
0≦y<1、
x+y≦1
を満足する任意の数値である。
即ち、第1の層13bは、例えばAlN(窒化アルミニウム)、AlGaN(窒化ガリウム アルミニウム)、AlBN(窒化ボロン アルミニウム)、及びAlBGaN(窒化ガリウム ボロン アルミニウム)から選択されたもので形成される。図6の実施例の第1の層13bのより好ましい材料は、前記式のxが0.5、yが0とされた材料に相当するAl0.5Ga0.5Nである。絶縁性を有する極く薄い膜から成る第1の層13bの格子定数及び熱膨張係数は第2の層14bよりもシリコン基板1に近い。
AlaBbGa1−a−bN
ここで、a、bは、0≦a<1、
0≦b<1、
a+b≦1
を満足する任意の数値である。
即ち、第2の層14bはAl、B及びGaから選択された少なくとも1つの元素とNとを含む層であり、例えばGaN、BN、AlN、BGaN、AlGaN、AlBN及びAlBGaNから選択されたもので形成される。図6の実施例の第2の層14bのより好ましい材料は、前記式のaが0、bが0.3とされた材料に相当するB0.3Ga0.7Nである。第2の層14bの価電子帯と伝導率との間のギャップ即ちバンドギャップが第1の層13bのバンドギャップよりも小さい。
第1の層13bと第2の層14bとのいずれか一方又は両方にp型不純物又はn型不純物をドープすることができる。
バッファ領域2c及び半導体領域3の傾斜側面17に絶縁膜7を介して対向している導体膜8はこの延長部分9bを介してソース電極4に接続されている。半導体領域3の表面の周縁近傍に設けられたソース電極4は本来のソース電極機能の他に導体膜8に所定電位を付与するための機能を有する。導体膜8の延長部分9bは所定電位付与手段としてのソース電極4に導体膜8を接続する導体として機能している。従って、導体膜8の電位はソース電極4の電位に固定されている。
また、導体膜8が基板1又は1b、又はソース電極4、又は電位付与手段20、又は金属製支持板2等に接続されずに絶縁膜7上に配置されている場合であっても、導体膜8が半導体領域3及びバッファ領域2、2a,2b、2cの側面17の電位安定化に寄与し、漏れ電流が抑制される。
(1)図1、図5乃至図9のHEMTの半導体領域3を図4のMESFETの半導体領域3aに置き換えることができる。
(2)シリコン基板1を使用する場合において、半導体領域3又は3aのバッファ領域2又は2a又は2bに隣接する部分がn型半導体又はnライク半導体の場合に、バッファ領域2又は2a又は2bの複数の第2の層14の一部又は全部、又は第1及び第2の層13,14のいずれか一方又は両方にp型不純物を導入することができる。これにより、半導体領域3又は3aとバッファ領域2又は2a又は2bとの間にpn接合が形成されてバッファ領域2を通る漏れ電流が抑制される。また、バッファ領域2又は2a又は2bの中にpn接合を形成し、バッファ領域2を通る漏れ電流を抑制することができる。
(3)バッファ領域2又は2a又は2bに漏れ電流を抑制するための第3の層を付加することができる。多層構造のバッファ領域2又は2a又は2bの中に漏れ電流抑制対策を施す場合であっても、傾斜側面17及び導体膜8を設けると、漏れ電流の低減効果が更に大きくなる。
(4)HEMT及びMESFET以外の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ又はこれに類似の半導体素子に本発明を適用することができる。即ち半導体領域3又は3aの表面上の第1及び第2の電極間の漏れ電流が問題になる全ての半導体素子に本発明を適用できる。
(5)側面17は半導体領域3又は3aの表面に対して20〜70度の傾斜を有していることが望ましいが、これ以外の角度でもよい。
(6)半導体領域3、3aの各層を、GaN(窒化ガリウム)、AllnN(窒化インジウム アルミニウム)、AlGaN(窒化ガリウム アルミニウム)、InGaN(窒化ガリウム インジウム)、及びAlInGaN(窒化ガリウム インジウム アルミニウム)等から選択された窒化物半導体とすることができる。
(7)図1のHEMTにおいて、電子走行層15とバッファ領域2との間に電子供給層16と同様な電子供給層を設けることができる。
(8)図7及び図9において、ソース電極4を半導体領域3の表面の中央に配置し、ソース電極4を囲むようにゲート電極6とドレイン電極5とを順次に配置し、導体膜8をドレイン電極5に接続してもよい。また、図7及び図9において、ソース電極4の外側に更にゲート電極6を環状に形成し、これに導体膜8を接続してもよい。
Claims (10)
- 基板と、該基板の一方の主面上に配置されたバッファ領域と、前記バッファ領域の上に配置された少なくとも1つの窒化物半導体層を含んでいる半導体領域と、前記半導体領域の表面上に配置された少なくとも第1及び第2の電極と、前記半導体領域と前記バッファ領域とのいずれか一方又は両方の側面に配置された絶縁膜と、前記絶縁膜の上に配置された導体膜とを有し、前記基板は導電性を有する基板であり、前記導体膜は前記導電性を有する基板に電気的に接続されていることを特徴とする窒化物半導体装置。
- 前記半導体領域の側面は前記半導体領域の表面から前記基板に向って末広がり状の傾斜を有し、前記絶縁膜が前記半導体領域の側面に形成され、前記導体膜が前記半導体領域の側面に前記絶縁膜を介して対向していることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。
- 前記バッファ領域は前記半導体領域の側面に連続して傾斜している側面を有し、前記バッファ領域の側面にも絶縁膜が形成され、前記導体膜が前記バッファ領域の側面の絶縁膜の上にも延在していることを特徴とする請求項2記載の窒化物半導体装置。
- 前記基板は前記バッファ領域の側面に連続して傾斜している側面を有し、前記基板の側面にも絶縁膜が形成され、前記導体膜が前記基板の側面の絶縁膜の上にも延在していることを特徴とする請求項3記載の窒化物半導体装置。
- 基板と、該基板の一方の主面上に配置されたバッファ領域と、前記バッファ領域の上に配置された少なくとも1つの窒化物半導体層を含んでいる半導体領域と、前記半導体領域の表面上に配置された少なくとも第1及び第2の電極と、前記半導体領域と前記バッファ領域とのいずれか一方又は両方の側面に配置された絶縁膜と、前記絶縁膜の上に配置された導体膜と、前記導体膜に接続された電位付与手段とを有し、
前記電位付与手段は、所定電位を有する外部電極又は所定電位を有する外部導体又は所定電位を有する外部半導体又は所定電位を前記導体膜に印加する電圧印加回路であることを特徴とする窒化物半導体装置。 - 基板と、該基板の一方の主面上に配置されたバッファ領域と、前記バッファ領域の上に配置された少なくとも1つの窒化物半導体層を含んでいる半導体領域と、前記半導体領域の表面上に配置された少なくとも第1及び第2の電極と、前記半導体領域と前記バッファ領域とのいずれか一方又は両方の側面に配置された絶縁膜と、前記絶縁膜の上に配置された導体膜と、前記導体膜に接続された電位付与手段とを有し、
前記電位付与手段は、前記基板を支持し且つグランドに接続されている金属製支持板と該金属製支持板を前記導体膜に接続している導体とから成ることを特徴とする窒化物半導体装置。 - 前記基板はシリコン又はシリコン化合物又はサファイアから成ることを特徴とする請求項5又は6記載の窒化物半導体装置。
- 前記基板はシリコン又はシリコン化合物から成り、
前記バッファ領域は、
化学式 Alx My Ga1-x-y N
ここで、前記Mは、In(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種の元素、 前記x及びyは、 0<x≦1、
0≦y<1、
x+y≦1
を満足する数値、
で示される材料を主成分とする第1の層と、
化学式 Ala Mb Ga1-a-b N
ここで、前記MはIn(インジウム)とB(ボロン)とから選択された少なくとも1種の元素、 前記a及びbは、 0≦a≦1、
0≦b<1、
a+b≦1
を満足させる数値、
で示される材料を主成分とする前記第2の層と
の複合層から成ることを特徴とする請求項1又は5又は6記載の窒化物半導体装置。 - 前記バッファ領域は、前記第1及び第2の層が複数回繰り返して配置された積層体から成ることを特徴とする請求項8記載の窒化物半導体装置。
- 更に、前記第1の電極と前記第2の電極との間の電流を制御する制御電極を有し、
前記半導体領域は、前記制御電極で制御される半導体スイッチ素子を形成するための領域であることを特徴とする請求項1又は5又は6記載の窒化物半導体装置。
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