JP4276176B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1にかかる製造方法を適用可能な、加速度センサの構造の一部を示す平面図である。図2(a),(b)はそれぞれ図1の位置AA及び位置BBにおける断面図である。半導体基板1上には絶縁層2、絶縁膜3がこの順に積層され、基板100を構成している。半導体基板1、絶縁層2、絶縁膜3は、それぞれ例えばシリコン、酸化シリコン、窒化シリコンが採用される。
図13は本発明の実施の形態2にかかる製造方法を適用可能な、加速度センサの構造の一部を示す平面図である。また図14(a),(b)はそれぞれ図13の位置EE及び位置FFにおける断面図である。図13の位置EE及び位置FFはそれぞれ図1の位置AA及び位置BBに相当する。
図24は図1の位置CCにおける断面図である。当該断面においては、シールド膜99を露出させる開口31の上方において可動電極53a、弾性部53cが設けられている。そして絶縁膜3が存在する領域において半導体膜50が設けられ、絶縁層2及び絶縁膜3を貫通して半導体基板1に到達する電極90が設けられている。
図35は本実施の形態を示す断面図であり、実施の形態3の図25に相当する。本実施の形態では実施の形態3で説明された工程のうち、半導体膜50、固定電極51,52及び質量体53を形成する際、ダミー体54をも併せて形成する。ダミー体54は加速度センサの機能に対して寄与する必要はない。ダミー体54は固定電極51、質量体53、半導体膜50と、開口83との間において犠牲層4上に設けられる。しかし半導体膜50、固定電極51,52及び質量体53とは異なり、いずれかの位置で絶縁膜2あるいは絶縁膜3に接触する必要はない。従って、犠牲層4に接して設け、後の工程において犠牲層4を除去する際に、犠牲層4と共に除去することも可能である。
図37は図36に示される処理が行われているときの、図1の位置DDに相当する断面図である。半導体基板1上に絶縁膜2、シールド膜99、絶縁膜3、犠牲層4がこの順に積層され、犠牲層4上には固定電極51,52並びに弾性部53c及び可動電極53aが形成されている。但し図37に示された断面ではダミー体54は現れない。また、フォトレジスト307が薄く形成され、フォトレジスト307の表面が固定電極51,52並びに弾性部53c及び可動電極53aの形状を反映して凹凸を有している場合が示されている。
Claims (16)
- (a)半導体基板(1)上に設けられた絶縁層(2)の表面に配線(61)を形成する工程と、
(b)前記絶縁層を選択的に除去して前記半導体基板を露出させる第1開口(80)を設ける工程と、
(c)前記工程(b)の後、前記絶縁層の上方に、前記配線の央部を露出させる第2開口(81)と、前記第1開口を含んでこれよりも広い第3開口(83)とを有する犠牲層(4)を形成する工程と、
(d)前記工程(c)で得られた構造の全面に導電性半導体(5)を形成する工程と、
(e)前記導電性半導体上に第1のマスク(301)を形成する工程と、
(f)前記第1のマスクを用いて前記導電性半導体のエッチングを行って、前記配線に接続される第1電極(51)を形成する工程と、
(g)前記工程(f)で得られた構造の全面に導電膜(9)を形成する工程と、
(h)前記導電膜を選択的に除去して前記第1開口において前記半導体基板と接触する第2電極(90)を形成する工程と、
(i)前記犠牲層を除去する工程と
を備える、半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)と前記工程(c)の間で実行され、
(j)前記配線の央部及び前記第1開口の央部を露出する絶縁膜(3)を形成する工程
を更に備え、
前記犠牲層は前記配線の上方において前記絶縁膜の端部を露出させる、請求範囲第1項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(e)は、
(e−1)前記導電性半導体上に酸化膜(301)を形成する工程と、
(e−2)前記第1電極が形成されるべき位置を覆うフォトレジスト(302)を形成する工程と、
(e−3)前記フォトレジストを第2のマスクとして前記酸化膜のエッチングを行って、前記第1のマスクを形成する工程と
を有する、請求範囲第1項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線の表面は前記絶縁層の表面とほぼ平坦に形成される、請求範囲第1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1電極は加速度センサの固定電極として機能し、前記第2電極は前記加速度センサの基板電極として機能する、請求範囲第1項記載の半導体装置の製造方法。
- (a)局所的に突出した凸部(1a)を有する半導体基板(1)の表面に、前記凸部を露出させる絶縁層(2)を形成する工程と、
(b)前記絶縁層(2)の表面に配線(61)を形成する工程と、
(c)前記絶縁層の上方に、前記配線の央部を露出させる第1開口(81)と、前記凸部の央部を露出させる第2開口(83)とを有する犠牲層(4)を形成する工程と、
(d)前記工程(c)で得られた構造の全面に導電性半導体(5)を形成する工程と、
(e)前記導電性半導体上に第1のマスク(301)を形成する工程と、
(f)前記第1のマスクを用いて前記導電性半導体のエッチングを行って、前記配線に接続される第1電極(51)を形成する工程と、
(g)前記工程(f)で得られた構造の全面に導電膜(9)を形成する工程と、
(h)前記導電膜を選択的に除去して前記凸部と接触する第2電極(90)を形成する工程と、
(i)前記犠牲層を除去する工程と
を備える、半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は
(a−1)前記凸部を前記半導体基板の前記表面に形成する工程
を有する、請求範囲第6項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)と前記工程(c)の間で実行され、
(j)前記配線の央部及び前記凸部の央部を露出する絶縁膜(3)を形成する工程
を更に備え、
前記犠牲層は前記配線の上方及び前記凸部の上方において、前記絶縁膜の端部を露出させ、請求範囲第6項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(e)は、
(e−1)前記導電性半導体上に酸化膜(301)を形成する工程と、
(e−2)前記第1電極が形成されるべき位置を覆うフォトレジスト(302)を形成する工程と、
(e−3)前記フォトレジストを第2のマスクとして前記酸化膜のエッチングを行って、前記第1のマスクを形成する工程と
を有する、請求範囲第6項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線の表面は前記絶縁層の表面とほぼ平坦に形成される、請求範囲第6項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1電極は加速度センサの固定電極として機能し、前記第2電極は前記加速度センサの基板電極として機能する、請求範囲第6項記載の半導体装置の製造方法。
- (a)半導体基板(1)上に絶縁層(2)を形成する工程と、
(b)前記絶縁層の上方に、第1開口(83)を有する第1犠牲層(4)を形成する工程と、
(c)前記犠牲層上に第1電極(51,53c)を形成する工程と、
(d)前記工程(c)で得られた構造の全面に第2犠牲膜(11)を形成する工程と、
(e)少なくとも前記第2犠牲膜のエッチバックを行う工程と、
(f)前記工程(e)で得られた構造を、前記第1開口よりも内側で開口する第2開口(86)を有するフォトレジスト(305)で覆う工程と、
(g)前記フォトレジストをマスクとして前記第2犠牲膜をエッチングする工程と、
(h)前記工程(g)で開口した範囲において前記半導体基板に接触する第2電極(90)を形成する工程と、
(i)前記第1犠牲層及び第2犠牲層を除去する工程と
を備える、半導体装置の製造方法。 - 前記工程(e)は、
(e−1)前記第2犠牲膜のエッチバックを行ってから、全面に絶縁膜(12)を形成する工程
を有する、請求範囲第12項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(h)は、
(h−1)前記工程(g)において開口した範囲において前記絶縁層をエッチングして前記半導体基板を露出させる工程と、
(h−2)前記工程(h−1)で得られた構造の全面に導電膜(9)を形成する工程と、
(h−3)前記導電膜を選択的に除去して前記第2電極を形成する工程と
を有する、請求範囲12項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1電極は加速度センサの固定電極として機能し、前記第2電極は前記加速度センサの基板電極として機能する、請求範囲第12項記載の半導体装置の製造方法。
- (a)半導体基板(1)上に絶縁層(2)を形成する工程と、
(b)前記絶縁層の上方に、第1開口(83)を有する第1犠牲層(4)を形成する工程と、
(c)前記犠牲層上に第1電極(51,53c)と、前記第1電極と前記第1開口の間に設けられるダミー体(54)を形成する工程と、
(d)前記工程(c)で得られた構造上に、前記第1開口の内側で開口する第2開口(86)を有するフォトレジスト(307)を形成する工程と、
(e)前記フォトレジストをマスクとして前記絶縁層をエッチングし、前記半導体基板を露出させる工程と、
(f)露出した前記半導体基板に接触する第2電極(90)を形成する工程と、
(g)前記犠牲層を除去する工程と
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US5461916A (en) * | 1992-08-21 | 1995-10-31 | Nippondenso Co., Ltd. | Mechanical force sensing semiconductor device |
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US5922212A (en) * | 1995-06-08 | 1999-07-13 | Nippondenso Co., Ltd | Semiconductor sensor having suspended thin-film structure and method for fabricating thin-film structure body |
US6048774A (en) * | 1997-06-26 | 2000-04-11 | Denso Corporation | Method of manufacturing dynamic amount semiconductor sensor |
JP2000074768A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 静電容量型圧力センサ及びその製造方法 |
JP2000186933A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Aisin Seiki Co Ltd | 表面マイクロマシン |
JP2001119040A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Denso Corp | 半導体力学量センサとその製造方法 |
US6430999B2 (en) * | 2000-03-30 | 2002-08-13 | Denso Corporation | Semiconductor physical quantity sensor including frame-shaped beam surrounded by groove |
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JP2002296038A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 角速度センサ |
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