JP5790920B2 - 機能素子、センサー素子、電子機器、および機能素子の製造方法 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、上記問題点に着目し、製造効率の低下を抑制した機能素子、センサー素子、電子機器、および機能素子の製造方法を提供することを目的とする。
第1の形態に係る機能素子は、主面を有する基板と、前記主面に配置された溝部と、前記溝部を跨いで配置された固定素子部と、を有し、前記溝部の内部には、前記固定素子部に平面視で重複する位置に前記基板を用いて形成された凸部が設けられ、前記凸部は接合面を有し、前記接合面は、前記主面と同一平面にあり、該接合面側に配線が配置され、前記配線を介して前記基板と前記固定素子部とが接続されていることを特徴とする。
第2の形態に係る機能素子は、第1の形態に係る機能素子において、前記基板と前記固定素子部との間には、前記凸部の接合面以外の少なくとも一部に絶縁膜が設けられたことを特徴とする。
第3の形態に係る機能素子は、第1の形態または第2の形態に係る機能素子において、前記固定素子部は、固定電極部を含み、前記基板上には、可動部が配置され、前記可動部は、前記固定電極部に対向する位置に可動電極部を設けたことを特徴とする。
第4の形態に係る機能素子は、第1の形態乃至第3の形態のいずれか1の形態に係る機能素子において、前記基板は絶縁材料で構成され、前記固定素子部は半導体で構成されたことを特徴とする。
本形態に係るセンサー素子は、第1の形態乃至第4の形態のいずれか1の形態に係る機能素子を備えたことを特徴とする。
本形態に係る電子機器は、第1の形態乃至第4の形態のいずれか1の形態に係る機能素子を備えたことを特徴とする。
第1の形態に係る機能素子の製造方法は、基板の主面に溝部と、前記溝部の内部の少なくとも一部に凸部と、を形成する工程と、前記溝部の内部、及び前記凸部の接合面に配線を形成する工程と、前記接合面に前記配線を介して固定素子部を接合する工程と、を含み、前記配線を形成する工程後において、前記凸部の前記接合面上に形成された前記配線の表面は、前記基板の前記主面よりも突出していることを特徴とする。
第2の形態に係る機能素子の製造方法は、第1の形態に係る機能素子の製造方法において、前記配線を形成する工程後において、前記凸部の前記接合面に形成された前記配線上にバッファ膜を形成する工程を含むことを特徴とする。
第3の形態に係る機能素子の製造方法は、第1の形態または第2の形態に係る機能素子の製造方法において、前記配線を形成する工程後において、前記基板の前記主面上に絶縁膜を形成し、少なくとも前記凸部の前記接合面の部分の前記絶縁膜を除去する絶縁膜形成工程を含み、前記絶縁膜形成工程後において、前記凸部の前記接合面に形成された前記配線の表面は、前記基板の前記主面に形成された前記絶縁膜の表面よりも突出していることを特徴とする。
第4の形態に係る機能素子の製造方法は、第1の形態乃至第3の形態のいずれか1の形態に係る機能素子の製造方法において、前記基板はアルカリ金属イオンを含む材料で構成され、前記固定素子部は半導体材料で構成され、前記固定素子部を接合する工程は、前記基板と前記固定素子部とを陽極接合により接合することを特徴とする。
[適用例1]主面を有する基板と、前記主面上に配置された溝部と、前記基板上の前記溝部を跨いで配置された固定素子部と、を有し、前記溝部の内部には、前記固定素子部に平面視で重複する位置に前記基板および前記固定素子部の少なくとも一方を用いて形成された凸部が設けられ、前記凸部は接合面を有し、該接合面側に配線が配置され、前記配線を介して前記基板と前記固定素子部とが接続されたことを特徴とする機能素子。
上記構成により、凸部の強度は基板の強度で確保できるので、配線と固定素子部との電気的接続の信頼性を高めることができる。
上記構成により、基板と固定素子部とを容易に絶縁分離することができる。
上記構成により、基板と固定素子部との接続の信頼性を高めるとともに、固定素子部と基板上の他の構成要素との絶縁の信頼性を高めたセンサー素子となる。
上記構成により、基板と固定素子部との接続の信頼性を高めるとともに、固定素子部と基板上の他の構成要素との絶縁の信頼性を高めた電子機器となる。
Claims (10)
- 主面を有する基板と、
前記主面に配置された溝部と、
前記溝部を跨いで配置された固定素子部と、を有し、
前記溝部の内部には、前記固定素子部に平面視で重複する位置に前記基板を用いて形成された凸部が設けられ、
前記凸部は接合面を有し、
前記接合面は、前記主面と同一平面にあり、
該接合面側に配線が配置され、前記配線を介して前記基板と前記固定素子部とが接続されていることを特徴とする機能素子。 - 前記基板と前記固定素子部との間には、前記凸部の接合面以外の少なくとも一部に絶縁膜が設けられたことを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
- 前記固定素子部は、固定電極部を含み、
前記基板上には、可動部が配置され、
前記可動部は、前記固定電極部に対向する位置に可動電極部を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の機能素子。 - 前記基板は絶縁材料で構成され、
前記固定素子部は半導体で構成されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の機能素子。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の機能素子を備えたことを特徴とするセンサー素子。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の機能素子を備えたことを特徴とする電子機器。
- 基板の主面に溝部と、前記溝部の内部の少なくとも一部に凸部と、を形成する工程と、
前記溝部の内部、及び前記凸部の接合面に配線を形成する工程と、
前記接合面に前記配線を介して固定素子部を接合する工程と、を含み、
前記配線を形成する工程後において、前記凸部の前記接合面上に形成された前記配線の表面は、前記基板の前記主面よりも突出していることを特徴とする機能素子の製造方法。 - 前記配線を形成する工程後において、前記凸部の前記接合面に形成された前記配線上にバッファ膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の機能素子の製造方法。
- 前記配線を形成する工程後において、
前記基板の前記主面上に絶縁膜を形成し、少なくとも前記凸部の前記接合面の部分の前記絶縁膜を除去する絶縁膜形成工程を含み、
前記絶縁膜形成工程後において、前記凸部の前記接合面に形成された前記配線の表面は、前記基板の前記主面に形成された前記絶縁膜の表面よりも突出していることを特徴とする請求項7または8に記載の機能素子の製造方法。 - 前記基板はアルカリ金属イオンを含む材料で構成され、
前記固定素子部は半導体材料で構成され、
前記固定素子部を接合する工程は、前記基板と前記固定素子部とを陽極接合により接合することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の機能素子の製造方法。
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