JP6464738B2 - 加速度センサ - Google Patents
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Description
そして、請求項1に記載の発明では、さらに、キャップ部には、積層方向から視たとき、周辺部と重複する領域のうち、センシング部と重複する領域を挟んで可動電極用パッドおよび固定電極用パッドが形成されている領域と反対側の領域に、可動電極、固定電極、および回路手段と電気的に接続されない第1ダミーパッド(121)が形成されていることを特徴としている。
請求項11に記載の発明では、さらに、キャップ部には、積層方向に貫通し、周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、第1周辺部用貫通孔に周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、他面には、周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、2つの第1周辺部用パッドは、可動電極用パッドを挟むように形成されていることを特徴としている。
請求項23に記載の発明では、センシング部の重心と、パッドを含むセンサ部およびキャップ部の重心とが一致していることを特徴としている。
そして、請求項6に記載の発明では、さらに、キャップ部には、積層方向から視たとき、周辺部と重複する領域のうち、可動電極用パッドおよび固定電極用パッドが形成されている領域と異なる領域に可動電極、固定電極、および回路手段と電気的に接続されない2つのダミーパッド(122)が形成され、可動電極用パッド、固定電極用パッド、2つのダミーパッドは、センシング部と重複する領域を挟む2つの領域、および当該2つの領域と異なるセンシング部と重複する領域を挟む2つの領域にそれぞれ離間して形成されていることを特徴としている。
請求項12に記載の発明では、さらに、キャップ部には、積層方向に貫通し、周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、第1周辺部用貫通孔に周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、他面には、周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、2つの第1周辺部用パッドは、可動電極用パッドを挟むように形成されていることを特徴としている。
請求項24に記載の発明では、センシング部の重心と、パッドを含むセンサ部およびキャップ部の重心とが一致していることを特徴としている。
本発明の第1実施形態について説明する。なお、本実施形態の加速度センサは、例えば、車両の加速度を検出するのに適用されると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してキャップ部80に第1ダミーパッドを形成したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対してキャップ部80に第2ダミーパッドを形成したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してキャップ部80に第1周辺部用パッド等を形成したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形態に対してキャップ部80に第2周辺部用電極用パッド等を形成したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して可動電極用パッド84dと第1〜第4固定電極用パッド85d〜88dとの配置関係を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態は、上記第6実施形態に上記第3実施形態を組み合わせたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態は、上記第6実施形態に上記第4実施形態を組み合わせたものであり、その他に関しては第6実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第9実施形態について説明する。本実施形態は、上記第6実施形態に上記第5実施形態を組み合わせたものであり、その他に関しては第6実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第10実施形態について説明する。本実施形態は、上記第6実施形態に対して可動電極用パッド84dと第1〜第4固定電極用パッド85d〜88dの配置関係を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 一面
24〜27 可動電極
28 可動電極用接続部
31〜61 固定電極用接続部
32〜62 固定電極
70 周辺部
80 キャップ部
80a 一面
80b 他面
84 可動電極用貫通孔
84b 可動電極用貫通電極
84c 可動電極用配線
84d 可動電極用パッド
85〜88 固定電極用貫通孔
85b〜88b 固定電極用貫通電極
85c〜88c 固定電極用配線
85d〜88d 固定電極用パッド
100 回路基板
110 ワイヤ
Claims (24)
- 一面(10a)を有するセンサ部(10)と、
前記センサ部の一面側に形成され、加速度に応じて変位可能とされた可動電極(24〜27)と、前記可動電極と対向して配置され、前記可動電極と共に櫛歯構造を構成する固定電極(32〜62)とを有し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(16)と、
前記センサ部の一面側に形成された前記センシング部を取り囲む周辺部(70)と、を備え、
前記センシング部には、前記可動電極と接続される可動電極用接続部(28)、および前記固定電極と接続される固定電極用接続部(31〜61)が形成された加速度センサにおいて、
前記センサ部には、一面(80a)および他面(80b)を有するキャップ部(80)が当該一面と前記センサ部の一面とが対向する状態で備えられ、
前記キャップ部には、当該キャップ部を前記キャップ部と前記センサ部との積層方向に貫通し、前記可動電極用接続部および前記固定電極用接続部をそれぞれ露出させる可動電極用貫通孔(84)および固定電極用貫通孔(85〜88)が形成され、前記可動電極用貫通孔に前記可動電極用接続部と電気的に接続される可動電極用貫通電極(84b)が形成されていると共に、前記固定電極用貫通孔に前記固定電極用接続部と電気的に接続される固定電極用貫通電極(85b〜88b)が形成され、さらに、前記他面には、前記可動電極用貫通電極と可動電極用配線(84c)を介して電気的に接続されると共に、回路手段(100)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される可動電極用パッド(84d)、および前記固定電極用貫通電極と固定電極用配線(85c〜88c)を介して電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続される固定電極用パッド(85d〜88d)が形成され、
前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域の所定箇所に隣接して形成されており、
さらに、前記キャップ部には、前記積層方向から視たとき、前記周辺部と重複する領域のうち、前記センシング部と重複する領域を挟んで前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドが形成されている領域と反対側の領域に、前記可動電極、前記固定電極、および前記回路手段と電気的に接続されない第1ダミーパッド(121)が形成されていることを特徴とする加速度センサ。 - 前記キャップ部には、前記積層方向から視たとき、前記周辺部と重複する領域のうち、前記可動電極用パッド、前記固定電極用パッド、および前記第1ダミーパッドが形成されている領域と異なる領域であって、前記センシング部と重複する領域を挟む2つの領域に、前記可動電極、前記固定電極、および前記回路手段と電気的に接続されない第2ダミーパッド(122)がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記ダミーパッドは、面積が前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドの合計の面積と等しくされていることを特徴とする請求項1または2に記載の加速度センサ。
- 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、前記第1周辺部用貫通孔に前記周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されており、
前記2つの第1周辺部用パッド、前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドの合計の面積は、前記ダミーパッドの面積と等しくされていることを特徴とする請求項1または2に記載の加速度センサ。 - 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第2周辺部用貫通孔(132)が形成され、前記第2周辺部用貫通孔に前記周辺部と接続される第2周辺部用貫通電極(132b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極と接続される2つの第2周辺部用パッド(132d)が形成され、
前記2つの第2周辺部用パッドは、前記キャップ部の中心を通り、前記2つの第1周辺部用パッドを結ぶ直線と平行な仮想線(K1)に対して前記2つの第1周辺部用パッドと線対称となるように形成されており、
前記2つの第1周辺部用パッド、前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドの合計の面積と、前記第1ダミーパッドおよび前記第2周辺部用パッドの合計の面積とが等しくされていることを特徴とする請求項4に記載の加速度センサ。 - 一面(10a)を有するセンサ部(10)と、
前記センサ部の一面側に形成され、加速度に応じて変位可能とされた可動電極(24〜27)と、前記可動電極と対向して配置され、前記可動電極と共に櫛歯構造を構成する固定電極(32〜62)とを有し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(16)と、
前記センサ部の一面側に形成された前記センシング部を取り囲む周辺部(70)と、を備え、
前記センシング部には、前記可動電極と接続される可動電極用接続部(28)、および前記固定電極と接続される固定電極用接続部(31〜61)が形成された加速度センサにおいて、
前記センサ部には、一面(80a)および他面(80b)を有するキャップ部(80)が当該一面と前記センサ部の一面とが対向する状態で備えられ、
前記キャップ部には、当該キャップ部を前記キャップ部と前記センサ部との積層方向に貫通し、前記可動電極用接続部および前記固定電極用接続部をそれぞれ露出させる可動電極用貫通孔(84)および固定電極用貫通孔(85〜88)が形成され、前記可動電極用貫通孔に前記可動電極用接続部と電気的に接続される可動電極用貫通電極(84b)が形成されていると共に、前記固定電極用貫通孔に前記固定電極用接続部と電気的に接続される固定電極用貫通電極(85b〜88b)が形成され、さらに、前記他面には、前記可動電極用貫通電極と可動電極用配線(84c)を介して電気的に接続されると共に、回路手段(100a)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される可動電極用パッド(84d)、および前記固定電極用貫通電極と固定電極用配線(85c〜88c)を介して電気的に接続されると共に、前記回路手段と異なる回路手段(100b)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される固定電極用パッド(85d〜88d)が形成され、
前記可動電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域の所定箇所に形成されており、
前記固定電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域であり、かつ、前記可動電極用パッドが形成される領域と異なる領域に形成されており、
さらに、前記キャップ部には、前記積層方向から視たとき、前記周辺部と重複する領域のうち、前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドが形成されている領域と異なる領域に前記可動電極、前記固定電極、および前記回路手段と電気的に接続されない2つのダミーパッド(122)が形成され、
前記可動電極用パッド、前記固定電極用パッド、前記2つのダミーパッドは、前記センシング部と重複する領域を挟む2つの領域、および当該2つの領域と異なる前記センシング部と重複する領域を挟む2つの領域にそれぞれ離間して形成されていることを特徴とする加速度センサ。 - 前記固定電極用パッドは、前記センシング部と重複する領域を挟んで前記可動電極用パッドが形成されている領域と反対側の領域に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。
- 前記可動電極用パッドと前記固定電極用パッドとは、面積が等しくされていることを特徴とする請求項6または7に記載の加速度センサ。
- 前記可動電極用パッド、前記固定電極用パッド、前記2つのダミーパッドは、互いに面積が等しくされていることを特徴とする請求項6または7に記載の加速度センサ。
- 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、前記第1周辺部用貫通孔に前記周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されていることを特徴とする請求項1ないし3、6ないし9のいずれか1つに記載の加速度センサ。 - 一面(10a)を有するセンサ部(10)と、
前記センサ部の一面側に形成され、加速度に応じて変位可能とされた可動電極(24〜27)と、前記可動電極と対向して配置され、前記可動電極と共に櫛歯構造を構成する固定電極(32〜62)とを有し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(16)と、
前記センサ部の一面側に形成された前記センシング部を取り囲む周辺部(70)と、を備え、
前記センシング部には、前記可動電極と接続される可動電極用接続部(28)、および前記固定電極と接続される固定電極用接続部(31〜61)が形成された加速度センサにおいて、
前記センサ部には、一面(80a)および他面(80b)を有するキャップ部(80)が当該一面と前記センサ部の一面とが対向する状態で備えられ、
前記キャップ部には、当該キャップ部を前記キャップ部と前記センサ部との積層方向に貫通し、前記可動電極用接続部および前記固定電極用接続部をそれぞれ露出させる可動電極用貫通孔(84)および固定電極用貫通孔(85〜88)が形成され、前記可動電極用貫通孔に前記可動電極用接続部と電気的に接続される可動電極用貫通電極(84b)が形成されていると共に、前記固定電極用貫通孔に前記固定電極用接続部と電気的に接続される固定電極用貫通電極(85b〜88b)が形成され、さらに、前記他面には、前記可動電極用貫通電極と可動電極用配線(84c)を介して電気的に接続されると共に、回路手段(100)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される可動電極用パッド(84d)、および前記固定電極用貫通電極と固定電極用配線(85c〜88c)を介して電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続される固定電極用パッド(85d〜88d)が形成され、
前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域の所定箇所に隣接して形成されており、
さらに、前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、前記第1周辺部用貫通孔に前記周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されていることを特徴とする加速度センサ。 - 一面(10a)を有するセンサ部(10)と、
前記センサ部の一面側に形成され、加速度に応じて変位可能とされた可動電極(24〜27)と、前記可動電極と対向して配置され、前記可動電極と共に櫛歯構造を構成する固定電極(32〜62)とを有し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(16)と、
前記センサ部の一面側に形成された前記センシング部を取り囲む周辺部(70)と、を備え、
前記センシング部には、前記可動電極と接続される可動電極用接続部(28)、および前記固定電極と接続される固定電極用接続部(31〜61)が形成された加速度センサにおいて、
前記センサ部には、一面(80a)および他面(80b)を有するキャップ部(80)が当該一面と前記センサ部の一面とが対向する状態で備えられ、
前記キャップ部には、当該キャップ部を前記キャップ部と前記センサ部との積層方向に貫通し、前記可動電極用接続部および前記固定電極用接続部をそれぞれ露出させる可動電極用貫通孔(84)および固定電極用貫通孔(85〜88)が形成され、前記可動電極用貫通孔に前記可動電極用接続部と電気的に接続される可動電極用貫通電極(84b)が形成されていると共に、前記固定電極用貫通孔に前記固定電極用接続部と電気的に接続される固定電極用貫通電極(85b〜88b)が形成され、さらに、前記他面には、前記可動電極用貫通電極と可動電極用配線(84c)を介して電気的に接続されると共に、回路手段(100a)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される可動電極用パッド(84d)、および前記固定電極用貫通電極と固定電極用配線(85c〜88c)を介して電気的に接続されると共に、前記回路手段と異なる回路手段(100b)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される固定電極用パッド(85d〜88d)が形成され、
前記可動電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域の所定箇所に形成されており、
前記固定電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域であり、かつ、前記可動電極用パッドが形成される領域と異なる領域に形成されており、
さらに、前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、前記第1周辺部用貫通孔に前記周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されていることを特徴とする加速度センサ。 - 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、前記第1周辺部用貫通孔に前記周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されており、
前記2つの第1周辺部用パッドと前記可動電極用パッドの合計の面積は、前記固定電極用パッドの面積と等しくされていることを特徴とする請求項6または7に記載の加速度センサ。 - 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)が形成され、前記第1周辺部用貫通孔に前記周辺部と電気的に接続される第1周辺部用貫通電極(131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されており、
前記2つの第1周辺部用パッドと前記可動電極用パッドの合計の面積は、前記固定電極用パッドの面積、前記ダミーパッドの面積と互いに等しくされていることを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。 - 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)および2つの第2周辺部用貫通孔(132)が形成され、前記第1、第2周辺部用貫通孔には前記周辺部と接続される第1、第2周辺部用貫通電極(131b、131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記第1周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)および前記第2周辺部用貫通電極と接続される第2周辺部用パッド(132d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されており、
前記2つの第2周辺部用パッドは、前記キャップ部の中心を通り、前記2つの第1周辺部用パッドを結ぶ直線と平行な仮想線(K1)に対して前記2つの第1周辺部用パッドと線対称となると共に、前記固定電極用パッドを挟むように形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドおよび前記可動電極用パッドの合計の面積と、前記2つの第2周辺部用パッドおよび前記固定電極用パッドの合計の面積とが等しくされていることを特徴とする6または7に記載の加速度センサ。 - 前記キャップ部には、前記積層方向に貫通し、前記周辺部を露出させる2つの第1周辺部用貫通孔(131)および2つの第2周辺部用貫通孔(132)が形成され、前記第1、第2周辺部用貫通孔には前記周辺部と接続される第1、第2周辺部用貫通電極(131b、131b)がそれぞれ形成されており、さらに、前記他面には、前記第1周辺部用貫通電極とそれぞれ電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続され、前記周辺部を所定の電位に維持する2つの第1周辺部用パッド(131d)および前記第2周辺部用貫通電極と接続される第2周辺部用パッド(132d)が形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドは、前記可動電極用パッドを挟むように形成されており、
前記2つの第2周辺部用パッドは、前記キャップ部の中心を通り、前記2つの第1周辺部用パッドを結ぶ直線と平行な仮想線(K1)に対して前記2つの第1周辺部用パッドと線対称となると共に、前記固定電極用パッドを挟むように形成され、
前記2つの第1周辺部用パッドおよび前記可動電極用パッドの合計の面積と、前記2つの第2周辺部用パッドおよび前記固定電極用パッドの合計の面積と、前記ダミーパッドの面積とが互いに等しくされていることを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。 - 前記可動電極用配線および前記固定電極用配線は、前記積層方向から視たとき、前記櫛歯構造と重複する領域と異なる領域に形成されていることを特徴とする請求項1ないし16のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 前記センサ部は、支持基板(11)上に半導体層(13)が積層された半導体基板(14)を用いて構成され、
前記センシング部は、
前記半導体層に形成され、前記半導体層の面方向のうちの一方向を第1方向とし、前記第1方向と直交し、かつ前記面方向と平行となる方向を第2方向としたとき、前記第2方向と平行な方向に延設された第1方向用可動電極(24、25)と、
前記半導体層に形成され、前記第1方向と平行な方向に延設された第2方向用可動電極(26、27)と、
前記半導体層に形成された枠部(22)と、
前記半導体層に形成されて前記枠部に備えられ、前記第2方向の成分を含む加速度が印加されると当該第2方向に変位する第1梁部(23a)と、
前記半導体層に形成されて前記枠部に備えられ、前記第1方向の成分を含む加速度が印加されると当該第1方向に変位する第2梁部(23b)と、
前記半導体層に形成され、前記第2梁部を介して前記枠部を支持すると共に、前記可動電極用接続部を構成するアンカー部(28)と、
前記半導体層に形成され、前記第1方向用可動電極と対向して配置された第1方向用固定電極(32、42)と、
前記半導体層に形成され、前記第1方向用固定電極を支持すると共に、前記固定電極用接続部を構成する第1方向用固定支持部(31、41)と、
前記半導体層に形成され、前記第2方向用可動電極と対向して配置された第2方向用固定電極(52、62)と、
前記半導体層に形成され、前記第2方向用固定電極を支持すると共に、前記固定電極用接続部を構成する第2方向用固定支持部(51、61)と、
前記半導体層に形成され、前記枠部の中心を通り、前記第2方向に延設されると共に前記第1梁部を介して前記枠部と連結され、前記第1方向用可動電極および前記第2方向用可動電極を備える棒状の錘部(21)と、を有し、
前記固定電極用配線は、前記第1方向用固定電極と接続される第1方向用固定電極用配線と前記第2方向用固定電極と接続される第2方向用固定電極用配線とを有していることを特徴とする請求項1ないし17のいずれか1つに記載の加速度センサ。 - 前記キャップ部を前記積層方向から視たとき、第1方向用固定電極用配線の面積と、前記第2方向用固定電極用配線の面積とが等しくされることにより、前記第1方向用固定電極用配線の抵抗値と前記第2方向用固定電極用配線の抵抗値とが等しくされていることを特徴とする請求項18に記載の加速度センサ。
- 前記可動電極用配線と前記第1固定電極用配線とが隣接している部分の長さ(L1)と、前記可動電極用配線と前記第2固定電極用配線とが隣接している部分の長さ(L2)とが等しくされていることを特徴とする請求項18または19に記載の加速度センサ。
- 前記可動電極用接続部は、前記錘部を挟んで2つ備えられており、
前記可動電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域であって、前記2つの可動電極用接続部を結ぶ直線上に形成されており、
前記可動電極用配線は、前記可動電極用貫通電極と前記可動電極用パッドとの間に直線状に形成されていることを特徴とする請求項1ないし20のいずれか1つに記載の加速度センサ。 - 前記センシング部の重心と、前記パッドを含む前記センサ部および前記キャップ部の重心とが一致していることを特徴とする請求項1ないし21のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 一面(10a)を有するセンサ部(10)と、
前記センサ部の一面側に形成され、加速度に応じて変位可能とされた可動電極(24〜27)と、前記可動電極と対向して配置され、前記可動電極と共に櫛歯構造を構成する固定電極(32〜62)とを有し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(16)と、
前記センサ部の一面側に形成された前記センシング部を取り囲む周辺部(70)と、を備え、
前記センシング部には、前記可動電極と接続される可動電極用接続部(28)、および前記固定電極と接続される固定電極用接続部(31〜61)が形成された加速度センサにおいて、
前記センサ部には、一面(80a)および他面(80b)を有するキャップ部(80)が当該一面と前記センサ部の一面とが対向する状態で備えられ、
前記キャップ部には、当該キャップ部を前記キャップ部と前記センサ部との積層方向に貫通し、前記可動電極用接続部および前記固定電極用接続部をそれぞれ露出させる可動電極用貫通孔(84)および固定電極用貫通孔(85〜88)が形成され、前記可動電極用貫通孔に前記可動電極用接続部と電気的に接続される可動電極用貫通電極(84b)が形成されていると共に、前記固定電極用貫通孔に前記固定電極用接続部と電気的に接続される固定電極用貫通電極(85b〜88b)が形成され、さらに、前記他面には、前記可動電極用貫通電極と可動電極用配線(84c)を介して電気的に接続されると共に、回路手段(100)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される可動電極用パッド(84d)、および前記固定電極用貫通電極と固定電極用配線(85c〜88c)を介して電気的に接続されると共に、前記回路手段とワイヤ(110)を介して電気的に接続される固定電極用パッド(85d〜88d)が形成され、
前記可動電極用パッドおよび前記固定電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域の所定箇所に隣接して形成されており、
前記センシング部の重心と、前記パッドを含む前記センサ部および前記キャップ部の重心とが一致していることを特徴とする加速度センサ。 - 一面(10a)を有するセンサ部(10)と、
前記センサ部の一面側に形成され、加速度に応じて変位可能とされた可動電極(24〜27)と、前記可動電極と対向して配置され、前記可動電極と共に櫛歯構造を構成する固定電極(32〜62)とを有し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(16)と、
前記センサ部の一面側に形成された前記センシング部を取り囲む周辺部(70)と、を備え、
前記センシング部には、前記可動電極と接続される可動電極用接続部(28)、および前記固定電極と接続される固定電極用接続部(31〜61)が形成された加速度センサにおいて、
前記センサ部には、一面(80a)および他面(80b)を有するキャップ部(80)が当該一面と前記センサ部の一面とが対向する状態で備えられ、
前記キャップ部には、当該キャップ部を前記キャップ部と前記センサ部との積層方向に貫通し、前記可動電極用接続部および前記固定電極用接続部をそれぞれ露出させる可動電極用貫通孔(84)および固定電極用貫通孔(85〜88)が形成され、前記可動電極用貫通孔に前記可動電極用接続部と電気的に接続される可動電極用貫通電極(84b)が形成されていると共に、前記固定電極用貫通孔に前記固定電極用接続部と電気的に接続される固定電極用貫通電極(85b〜88b)が形成され、さらに、前記他面には、前記可動電極用貫通電極と可動電極用配線(84c)を介して電気的に接続されると共に、回路手段(100a)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される可動電極用パッド(84d)、および前記固定電極用貫通電極と固定電極用配線(85c〜88c)を介して電気的に接続されると共に、前記回路手段と異なる回路手段(100b)とワイヤ(110)を介して電気的に接続される固定電極用パッド(85d〜88d)が形成され、
前記可動電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域の所定箇所に形成されており、
前記固定電極用パッドは、前記積層方向から視たとき、前記キャップ部の他面のうちの前記周辺部と重複する領域であり、かつ、前記可動電極用パッドが形成される領域と異なる領域に形成されており、
前記センシング部の重心と、前記パッドを含む前記センサ部および前記キャップ部の重心とが一致していることを特徴とする加速度センサ。
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