JP6044320B2 - 物理量センサ - Google Patents
物理量センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6044320B2 JP6044320B2 JP2012276897A JP2012276897A JP6044320B2 JP 6044320 B2 JP6044320 B2 JP 6044320B2 JP 2012276897 A JP2012276897 A JP 2012276897A JP 2012276897 A JP2012276897 A JP 2012276897A JP 6044320 B2 JP6044320 B2 JP 6044320B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pad
- thermal expansion
- expansion coefficient
- relaxation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 91
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
また、請求項6に記載の発明では、基板の一面には、パッド部の熱膨張係数が基板の熱膨張係数より高い場合には熱膨張係数が基板の熱膨張係数より低くされていると共にパッド部の熱膨張係数が基板の熱膨張係数より低い場合には熱膨張係数が基板の熱膨張係数より高くされている緩和部(46)がパッド部に隣接して配置されており、パッド部および緩和部は、一方の基板と接触する部分が円状とされ、他方の基板と接触する部分が一方の基板と接触する部分を囲む円環状とされており、パッド部のうち基板と接触する部分の径方向の長さをL1r、パッド部の熱膨張係数をα1、緩和部のうち基板と接触する部分の径方向の長さをL2r、緩和部の熱膨張係数をα2、基板の熱膨張係数をα3としたとき、Llr×(α1−α3)=L2r×(α3−α2)が成立する形状とされていることを特徴としている。
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、可動電極および固定電極を有するセンシング部が形成されたセンサ部を備える加速度センサを例に挙げて説明する。
(数1)L1x×(α1−α3)=2×L2´x×(α3−α2)
が成立する形状とされている。
(数2)L1x×(α1−α3)=L2x×(α3−α2)
とも示せる。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して緩和部46の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(数3)4L1´x×(α1−α3)=5×L2´x×(α3−α2)
が成立する形状とされている。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して緩和部46の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(数4)L1y×(α1−α3)=2×L2´y×(α3−α1)
が成立する形状とされている。
(数5)L1y×(α1−α3)=L2y×(α3−α2)
となる。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態に対して緩和部46の形状を変更したものであり、その他に関しては第3実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(数6)L1r×(α1−α3)=2×L2´r×(α3−α1)
が成立する形状とされている。
(数7)L1r×(α1−α3)=L2r×(α3−α1)
となる。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形態に対してパッド部45および緩和部46の配置方法を変更したものであり、その他に関しては第4実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(数8)2×L1´r×(α1−α3)=L2r×(α3−α1)
が成立する形状とされている。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
34 SOI基板(基板)
36 センシング部
45 パッド部
46 緩和部
Claims (7)
- 一面を有する基板(34)と、
前記基板の一面側に形成され、物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(36)と、
前記基板の一面側に形成され、前記センシング部と電気的に接続されるパッド部(45)と、を備える物理量センサにおいて、
前記基板の一面には、前記パッド部の熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より高い場合には熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より低くされていると共に前記パッド部の熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より低い場合には熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より高くされている緩和部(46)が前記パッド部に隣接して配置されており、
前記センシング部は、前記基板の平面方向における所定方向に変位する可動部(40)を有し、
前記パッド部および前記緩和部は、前記パッド部のうち前記基板と接触する部分の前記所定方向の長さをL1x、前記パッド部の熱膨張係数をα1、前記緩和部のうち前記基板と接触する部分の前記所定方向の長さをL2x、前記緩和部の熱膨張係数をα2、前記基板の熱膨張係数をα3としたとき、Llx×(α1−α3)=L2×(α3−α2)が成立する形状とされていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記パッド部および前記緩和部は、前記所定方向において、前記パッド部および前記緩和部のうち一方の前記基板と接触する部分が他方の前記基板と接触する部分に挟まれており、
前記パッド部および前記緩和部のうち前記基板と接触する部分の中心を通り、前記所定方向と垂直方向に延びる基準線に対して前記他方の基板と接触する部分が対称形状とされていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記パッド部および前記緩和部は、前記基板と接触する部分が前記所定方向において交互となる状態で配置されていることを特徴とする請求項2に記載の物理量センサ。
- 前記パッド部および前記緩和部は、前記基板の平面方向における前記所定方向と垂直方向において、前記パッド部および前記緩和部のうち一方の前記基板と接触する部分が他方の前記基板と接触する部分に挟まれており、
前記パッド部および前記緩和部のうち前記基板と接触する部分の中心を通り、前記所定方向に延びる基準線に対して前記他方の基板と接触する部分が対称形状とされていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記パッド部および前記緩和部は、前記パッド部のうち前記基板と接触する部分の前記垂直方向の長さをL1y、前記緩和部のうち前記基板と接触する部分の前記垂直方向の長さをL2yとしたとき、L1y×(α1−α3)=L2y×(α3−α2)が成立する形状とされていることを特徴とする請求項4に記載の物理量センサ。
- 一面を有する基板(34)と、
前記基板の一面側に形成され、物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(36)と、
前記基板の一面側に形成され、前記センシング部と電気的に接続されるパッド部(45)と、を備える物理量センサにおいて、
前記基板の一面には、前記パッド部の熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より高い場合には熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より低くされていると共に前記パッド部の熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より低い場合には熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数より高くされている緩和部(46)が前記パッド部に隣接して配置されており、
前記パッド部および前記緩和部は、一方の前記基板と接触する部分が円状とされ、他方の前記基板と接触する部分が前記一方の前記基板と接触する部分を囲む円環状とされており、前記パッド部のうち前記基板と接触する部分の径方向の長さをL1r、前記パッド部の熱膨張係数をα1、前記緩和部のうち前記基板と接触する部分の径方向の長さをL2r、前記緩和部の熱膨張係数をα2、前記基板の熱膨張係数をα3としたとき、Llr×(α1−α3)=L2r×(α3−α2)が成立する形状とされていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記パッド部と前記緩和部とは、直接接触していることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の物理量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012276897A JP6044320B2 (ja) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | 物理量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012276897A JP6044320B2 (ja) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | 物理量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014119426A JP2014119426A (ja) | 2014-06-30 |
JP6044320B2 true JP6044320B2 (ja) | 2016-12-14 |
Family
ID=51174368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012276897A Expired - Fee Related JP6044320B2 (ja) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | 物理量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6044320B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6250634A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-05 | Fujikura Ltd | 半導体圧力センサ |
JPH07234243A (ja) * | 1994-02-23 | 1995-09-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
JP4486103B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2010-06-23 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 加速度センサ、及び加速度センサの製造方法 |
JP5076986B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2012-11-21 | 株式会社デンソー | 容量式物理量センサ |
JP5477434B2 (ja) * | 2012-08-23 | 2014-04-23 | 株式会社デンソー | 容量式物理量センサ |
-
2012
- 2012-12-19 JP JP2012276897A patent/JP6044320B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014119426A (ja) | 2014-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI390205B (zh) | 加速度感測器 | |
JP3956999B2 (ja) | 加速度センサ | |
US20140216156A1 (en) | Acceleration sensor | |
JP2008275325A (ja) | センサ装置 | |
US10302670B2 (en) | Acceleration sensor | |
US9726690B2 (en) | Angular acceleration sensor and acceleration sensor | |
JP6044320B2 (ja) | 物理量センサ | |
JP5859133B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6354603B2 (ja) | 加速度センサおよび加速度センサの実装構造 | |
US10955434B2 (en) | Resonant sensor device | |
JP4957414B2 (ja) | 容量式半導体加速度センサ | |
JP2006208272A (ja) | 半導体多軸加速度センサ | |
JP2006153519A (ja) | 加速度センサ | |
JP2010139430A (ja) | 半導体装置 | |
JP4631864B2 (ja) | 加速度センサ | |
WO2013089079A1 (ja) | 加速度センサ | |
JP4665733B2 (ja) | センサエレメント | |
JP6098399B2 (ja) | 加速度センサー | |
JP5299353B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6036609B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5929645B2 (ja) | 物理量センサ | |
JP5391880B2 (ja) | 力学量センサ | |
JP2008096146A (ja) | センサ装置 | |
JP2006184013A (ja) | 加速度センサ | |
WO2014073631A1 (ja) | 角加速度センサおよび加速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161031 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6044320 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |