JP5929645B2 - 物理量センサ - Google Patents
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本発明の第1実施形態について説明する。図1に示されるように、本実施形態の物理量センサは、センサチップ10が被搭載部材20に搭載されてなるものである。まず、本実施形態のセンサチップ10の構成について説明する。
上記第1実施形態において、センサチップ10をセンサ部30のみで構成するようにしてもよく、キャップ部80を備えない構成とすることもできる。また、上記第1実施形態において、圧力や角速度等を検出するセンサ部30を用いることもできる。
20 被搭載部材
30 センサ部
31 支持基板
31a 支持部
31b 接合部
31c 梁部
32 犠牲層
33 半導体層
34 SOI基板(半導体基板)
80 キャップ部
Claims (4)
- 物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(36)が形成されたセンサ部(30)と、
前記センサ部が接合部材(100)を介して接合される被搭載部材(20)と、を備え、
前記センサ部は、支持基板(31)と、前記支持基板上に配置された犠牲層(33)と、前記犠牲層を挟んで前記支持基板と反対側に配置された半導体層(32)と、を有する半導体基板(34)を用いて構成され、前記センシング部が前記半導体層に形成されており、
前記支持基板は、前記犠牲層を介して前記半導体層を支持する支持部(31a)と、前記被搭載部材に前記接合部材を介して接合される接合部(31b)と、前記支持部と前記接合部とを連結すると共に前記支持部を前記半導体基板の平面方向に変位させる梁部(31c)とを有し、前記接合部のみが前記被搭載部材に対して接合されることで前記支持部および前記梁部は前記被搭載部材に対して浮遊状態とされていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記梁部は、前記支持部を挟んで対称に偶数個備えられていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記センサ部は、前記センシング部が覆われるキャップ部と接合されていることを特徴とする請求項1または2に記載の物理量センサ。
- 前記センシング部は、加速度に応じた前記センサ信号を出力することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の物理量センサ。
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