JP6020335B2 - 物理量センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態の物理量センサは、加速度を検出するセンシング部を有するものであり、例えば、車両の加速度検出に用いられると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して金属膜52、72の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して金属膜52、72をセンシング部15の周囲に多重に複数配置したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してキャップ部60上にセンサ部10を積層したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 一面
10b 他面
15 センシング部
50 貫通溝
52 金属膜
53 金属膜
60 キャップ部
60a 一面
60b 他面
70 貫通溝
72 金属膜
92 金属膜
Claims (6)
- 一面(10a)側に物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(15)が形成されたセンサ部(10)と、
一面(60a)が前記センサ部の一面と対向する状態で配置されるキャップ部(60)と、
前記センサ部および前記キャップ部のいずれか一方に形成され、前記センシング部と電気的に接続されると共に前記センサ信号に所定の処理を行って検出信号を生成する回路素子(62)と、を備え、
前記センサ部のうち前記キャップ部と反対側の他面(10b)には第1金属膜(53)が形成され、
前記キャップ部のうち前記センサ部と反対側の他面(60b)には第2金属膜(92)が形成され、
前記センサ部および前記キャップ部には、前記センサ部および前記キャップ部の積層方向に貫通すると共に前記センシング部および前記回路素子を囲む貫通溝(50、70)が形成され、
前記貫通溝には、前記センシング部および前記回路素子を囲み、前記第1、第2金属膜と電気的に接続される第3金属膜(52、72)が埋め込まれており、
前記センシング部および前記回路素子は、前記第1〜第3金属膜によって囲まれていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記第3金属膜は、前記センサ部および前記キャップ部の積層方向から視た周方向において、複数の領域に分断されていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記センサ部の面方向に前記センシング部から放射状に延びる仮想線(L)を引いたとき、分断された前記第3金属膜における隣接する両端部は、同じ仮想線と交差して放射状に重なっていることを特徴とする請求項2に記載の物理量センサ。
- 前記センサ部および前記キャップ部には、前記センシング部および前記回路素子を囲む前記貫通溝が多重に複数形成され、前記複数の貫通溝にそれぞれ前記第3金属膜が埋め込まれており、
前記センサ部の面方向に前記センシング部から放射状に延びる仮想線(L)を引いたとき、前記仮想線が少なくとも1つの前記貫通溝に埋め込まれた前記第3金属膜と交差するように、前記第3金属膜がそれぞれ分断されていることを特徴とする請求項2に記載の物理量センサ。 - 前記回路素子は、前記キャップ部に形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の物理量センサ。
- 前記回路素子は、前記センサ部の他面側に形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の物理量センサ。
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