JP5622105B2 - 機能素子、機能素子の製造方法、物理量センサー及び電子機器 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 298
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 17
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C3/00—Assembling of devices or systems from individually processed components
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/84—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure
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Description
第1の形態に係る機能素子は、第1基板と、前記第1基板上に設けられ、且つ、素子部を有する第2基板と、を備え、前記第1基板と前記第2基板との間には内部空間が設けられ、前記第1基板には、第1配線が配置される第1配線溝と、第2配線が配置されるとともに前記内部空間と外部とを連通する第2配線溝と、を有し、前記素子部は、前記第1配線溝及び前記第2配線溝を跨ぐように前記第1基板に接続している第1固定電極指、第2固定電極指を含み、前記第1固定電極指は、前記第1配線とバンプを介して電気的に接続されているとともに、前記第2配線からは絶縁しており、前記第2固定電極指は、前記第2配線とバンプを介して電気的に接続されているとともに、前記第1配線からは絶縁していることを特徴とする。
第2の形態に係る機能素子は、前記第1基板上には、前記第2基板を覆うようにリッドが接合され、前記第2基板は、前記第1配線溝及び前記第2配線溝に前記リッドを接合する接合部材が入り込むことにより封止されていることを特徴とする。
第3の形態に係る機能素子は、前記溝には、前記素子部と接続されている配線が設けられていることを特徴とする。
第4の形態に係る機能素子は、前記第1基板は、シリコンを含むガラス材料からなり、前記第2基板は、半導体材料からなり、前記第1基板と前記第2基板とは、陽極接合により接合されていることを特徴とする。
第5の形態に係る機能素子は、前記素子部は、可動部と、前記可動部を支持している支持部と、前記第1基板側に接続している固定電極指と、を有し、前記可動部は、前記固定電極指に対向している可動電極指と、前記可動部と前記支持部を接続している可撓部と、含むことを特徴とする。
第1の形態に係る機能素子の製造方法は、第1基板と第2基板とを用意し、前記第1基板および前記第2基板の少なくとも一方の面に溝を形成する工程と、前記第1基板上に前記第2基板を接合し、前記第1基板と前記第2基板との間に内部空間を形成し、前記溝により前記内部空間を通気させる工程と、前記第2基板に素子部を形成する工程と、前記第2基板を覆うようにリッドを前記第1基板に接合すると共に、封止部材により前記溝を封止する工程と、を備えたことを特徴とする。
第2の形態に係る機能素子の製造方法は、第1基板と第2基板とを用意し、前記第2基板に貫通孔を形成する工程と、前記第1基板上に前記第2基板を接合し、前記第1基板と前記第2基板との間に内部空間を形成し、前記貫通孔により前記内部空間を通気させる工程と、前記第2基板の前記貫通孔を含む領域をエッチングで抜いて素子部を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
第1の形態に係る物理量センサーは、第1の形態乃至第5の形態のいずれか1の形態の機能素子を有することを特徴とする。
第1の形態に係る電子機器は、第1の形態乃至第5の形態のいずれか1の形態の機能素子を有することを特徴とする。
上記構成により、リッドで第2基板を封止しつつ、溝をリッドの接着部材で封止することができるので、製造効率が格段に向上する。
上記構成により、溝を内部空間のガス抜きの用途だけでなく素子部の配線経路としても利用することができる。
上記構成により、接着剤を用いることなく第1基板と第2基板とを陽極接合により強固に接続することができる。また陽極接合時にガスが発生して内部空間に放出されるが、通気孔によりガスを外部に排出して可動部の製造の歩留を高めることができる。
上記構成により、例えば、外力を受けたときに、可動電極指と固定電極指との間の静電容量は、可動電極指の変位により変化する。よって、この静電容量の変化により加速度等の物理量を検知することができ、製造効率の優れたセンサーを実現できる。
上記方法により、第1基板と第2基板の積層時において前記ガスが内部空間から溝により形成された通気孔を通って外部に排出させることができるので、素子部の製造の歩留を高めることができる。
上記構成により、製造効率が優れた物理量センサーを提供できる。
上記構成により、製造効率が優れた電子機器を提供できる。
例えば、第1基板12はガラス等の絶縁体で形成されており、第2基板50は、シリコン等の半導体基板で形成されている。第1基板12の第2基板50側には凹部20と、第1の溝となる排気溝24、第2の溝となる第1配線溝26、第2配線溝28が形成されている。さらに第1基板12には、第1配線溝26、第2配線溝28とは別に第3配線溝30が形成されている。
Claims (6)
- 第1基板と、
前記第1基板上に設けられ、且つ、素子部を有する第2基板と、
を備え、
前記第1基板と前記第2基板との間には内部空間が設けられ、
前記第1基板には、
第1配線が配置される第1配線溝と、
第2配線が配置されるとともに前記内部空間と外部とを連通する第2配線溝と、を有し、
前記素子部は、
前記第1配線溝及び前記第2配線溝を跨ぐように前記第1基板に接続している第1固定電極指、第2固定電極指を含み、
前記第1固定電極指は、
前記第1配線とバンプを介して電気的に接続されているとともに、前記第2配線からは絶縁しており、
前記第2固定電極指は、
前記第2配線とバンプを介して電気的に接続されているとともに、前記第1配線からは絶縁していることを特徴とする機能素子。 - 前記第1基板上には、前記第2基板を覆うようにリッドが接合され、
前記第2基板は、
前記第1配線溝及び前記第2配線溝に前記リッドを接合する接合部材が入り込むことにより封止されていることを特徴とする請求項1に記載の機能素子。 - 前記第1基板は、シリコンを含むガラス材料からなり、
前記第2基板は、半導体材料からなり、
前記第1基板と前記第2基板とは、陽極接合により接合されていることを特徴とする請求項1または2に記載の機能素子。 - 第1基板と第2基板とを用意し、前記第2基板に貫通孔を形成する工程と、前記第1基板上に前記第2基板を接合し、前記第1基板と前記第2基板との間に内部空間を形成し、 前記貫通孔により前記内部空間を通気させる工程と、
前記第2基板の前記貫通孔を含む領域をエッチングで抜いて素子部を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする機能素子の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の機能素子を有することを特徴とする物理量センサー。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の機能素子を有することを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010292289A JP5622105B2 (ja) | 2010-12-28 | 2010-12-28 | 機能素子、機能素子の製造方法、物理量センサー及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010292289A JP5622105B2 (ja) | 2010-12-28 | 2010-12-28 | 機能素子、機能素子の製造方法、物理量センサー及び電子機器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014198831A Division JP5743121B2 (ja) | 2014-09-29 | 2014-09-29 | 機能素子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012141160A JP2012141160A (ja) | 2012-07-26 |
JP2012141160A5 JP2012141160A5 (ja) | 2014-02-13 |
JP5622105B2 true JP5622105B2 (ja) | 2014-11-12 |
Family
ID=46677593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010292289A Expired - Fee Related JP5622105B2 (ja) | 2010-12-28 | 2010-12-28 | 機能素子、機能素子の製造方法、物理量センサー及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5622105B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014156119A1 (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | 株式会社デンソー | 物理量センサ |
JP5783222B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2015-09-24 | 株式会社デンソー | 加速度センサ |
JP5900398B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2016-04-06 | 株式会社デンソー | 加速度センサ |
JP5783201B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2015-09-24 | 株式会社デンソー | 容量式物理量センサ |
JP6150056B2 (ja) | 2013-07-24 | 2017-06-21 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、電子機器、および移動体 |
JP6485260B2 (ja) * | 2015-07-10 | 2019-03-20 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサー装置、電子機器および移動体 |
WO2017183082A1 (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 株式会社日立製作所 | 加速度センサ |
JP2018148137A (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子モジュール、電子機器および移動体 |
CN112041688B (zh) * | 2018-04-24 | 2022-05-24 | 株式会社电装 | 半导体装置的制造方法 |
JP6897703B2 (ja) * | 2018-04-24 | 2021-07-07 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
JP7052625B2 (ja) * | 2018-08-02 | 2022-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 時計用部品、ムーブメント、時計および時計用部品の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0829448A (ja) * | 1994-07-18 | 1996-02-02 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体加速度センサ |
JP2003098026A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電容量型圧力センサの製造方法及び静電容量型圧力センサ |
JP2006201022A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Seiko Instruments Inc | 力学量センサ及び電子機器並びに力学量センサの製造方法 |
-
2010
- 2010-12-28 JP JP2010292289A patent/JP5622105B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012141160A (ja) | 2012-07-26 |
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