JP4171740B2 - 摩擦ディスク - Google Patents

摩擦ディスク Download PDF

Info

Publication number
JP4171740B2
JP4171740B2 JP2005312778A JP2005312778A JP4171740B2 JP 4171740 B2 JP4171740 B2 JP 4171740B2 JP 2005312778 A JP2005312778 A JP 2005312778A JP 2005312778 A JP2005312778 A JP 2005312778A JP 4171740 B2 JP4171740 B2 JP 4171740B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
porous structure
porous
densified
boundary portion
friction disk
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005312778A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006118716A (ja
Inventor
パーディ,マーク・ジェイ.
ルドルフ,ジェイムズ・ダブリュ.
ボック,ローウェル・ディー.
Original Assignee
グッドリッチ・コーポレイション
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by グッドリッチ・コーポレイション filed Critical グッドリッチ・コーポレイション
Publication of JP2006118716A publication Critical patent/JP2006118716A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4171740B2 publication Critical patent/JP4171740B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45561Gas plumbing upstream of the reaction chamber
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/71Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/78Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents containing non-metallic materials
    • C04B35/80Fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like
    • C04B35/83Carbon fibres in a carbon matrix
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/452Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by activating reactive gas streams before their introduction into the reaction chamber, e.g. by ionisation or addition of reactive species
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45557Pulsed pressure or control pressure
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/52Controlling or regulating the coating process
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16DCOUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
    • F16D65/00Parts or details
    • F16D65/02Braking members; Mounting thereof
    • F16D65/12Discs; Drums for disc brakes
    • F16D65/125Discs; Drums for disc brakes characterised by the material used for the disc body
    • F16D65/126Discs; Drums for disc brakes characterised by the material used for the disc body the material being of low mechanical strength, e.g. carbon, beryllium; Torque transmitting members therefor
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16DCOUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
    • F16D69/00Friction linings; Attachment thereof; Selection of coacting friction substances or surfaces
    • F16D69/02Composition of linings ; Methods of manufacturing
    • F16D69/023Composite materials containing carbon and carbon fibres or fibres made of carbonizable material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/614Gas infiltration of green bodies or pre-forms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/77Density
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S427/00Coating processes
    • Y10S427/10Chemical vapor infiltration, i.e. CVI
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/21Circular sheet or circular blank
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/21Circular sheet or circular blank
    • Y10T428/213Frictional
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/21Circular sheet or circular blank
    • Y10T428/218Aperture containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921Web or sheet containing structurally defined element or component
    • Y10T428/249953Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
    • Y10T428/249961With gradual property change within a component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921Web or sheet containing structurally defined element or component
    • Y10T428/249953Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
    • Y10T428/249962Void-containing component has a continuous matrix of fibers only [e.g., porous paper, etc.]
    • Y10T428/249964Fibers of defined composition
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921Web or sheet containing structurally defined element or component
    • Y10T428/249953Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
    • Y10T428/249978Voids specified as micro
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2913Rod, strand, filament or fiber
    • Y10T428/2918Rod, strand, filament or fiber including free carbon or carbide or therewith [not as steel]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Braking Arrangements (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Supplying Of Containers To The Packaging Station (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

本発明は多孔質構造物内の結合マトリックスの化学浸透および析出によって作られる高温複合材料の分野に関する。さらに詳しくは、本発明は多孔質構造物である摩擦ディスクに関する。なお、本明細書において、「析出」という用語は「堆積」と同じ意味で用いていると理解されるべきである。
化学浸透および析出(CVI/CVD)は多孔質構造物の内部に結合マトリックスを析出させるのに公知の技術である。用語「化学析出」とは一般的に表面皮膜の析出を示すが、それとともに多孔質構造物内のマトリックスの浸透および析出をいうときにも使用される。ここで使用されるように、用語“CVI/CVD”とは多孔質構造物内のマトリックスの浸透および析出をいうことが意図されている。その技術は、炭素/炭素航空機用ブレーキディスク、およびセラミック燃焼器またはタービンの部品のような非常に有用な構造となる炭素質またはセラミック多孔質構造物の内部に炭素質またはセラミックのマトリックスを析出することによって耐熱構造の複合材料を加工するのに特に好適である。一般的に知られているCVI/CVD法は、等温、熱勾配、圧力勾配、およびパルス流動の4つの一般的な区分に分類することができる。ケミストリエンドフィジックスオブカーボン、173、190−203(1973)に記載のダブリュ.ブイ.コトレンスキー著の「多孔質固体における熱分解炭素の析出8」、およびセラミックエンジニアリング サイエンス プロシーディング10[7−8]577、577−81(1989)に記載のダブリュ.ジェイ.ラッキイ著の「繊維強化されたセラミック複合材料の加工のための化学蒸気浸透工程の検討、状況、および未来」(ダブリュ.ジェイ.ラッキイは圧力勾配工程を「等温強制流動」として述べている。)
を参照のこと。
等温CVI/CVD法において、反応剤ガスは数ミリトールほどの低い絶対圧で加熱された多孔質構造物のまわりを通過する。ガスは、濃度勾配によって駆動されて多孔質構造物中に拡散し、そして分解して結合マトリックスを析出する。この方法は「慣用の」CVI/CVD法としても知られている。多孔質構造物は幾分均一の温度に加熱され、ゆえに「等温」と呼ばれるのだが、これは実際には誤称である。
多孔質構造物内の幾分の温度変化は不均一な加熱(大部分の加熱炉において回避することは実質的には不可能)、反応剤ガスの流動による部分的な冷却化、および反応効果の熱による他の部分の加熱および冷却化のため避けられない。本質的には、「等温」とは結合マトリックスの析出に優先的に影響する熱勾配を誘発する試みがないことを意味する。この方法は大量の多孔質物品の密度を同時に高めるのに非常に好適であり、特に炭素/炭素ブレーキディスクを製造するのに適している。適切な加工条件において、望ましい物理的特性を有するマトリックスが析出される。しかしながら、慣用のCVI/CVDは有用な密度に達するために数週間におよぶ連続した加工を必要とする可能性があり、そして表面の密度が最初に高くなる傾向があり、結果として多孔質構造物の内部領域への反応剤ガスのさらなる浸透を妨げる「封鎖塗膜」を生じる。従って、この技術は一般的に、密度を高める工程を妨げる幾つかの表面機械加工操作を必要とする。
熱勾配CVI/CVD法においては、多孔質構造物は、多孔質構造物の望ましい部分に析出を誘発する急な熱勾配を生じさせるような方法で加熱される。熱勾配は、多孔質構造物のある一つの表面だけを加熱すること、例えば多孔質構造物の表面をサセプターの壁に対して配置することによって誘発され、その反対側の表面を冷却化すること、例えば液体冷却された壁に対して多孔質構造物の反対側の表面を配置することによって強化される。結合マトリックスの析出は高温表面から低温表面へと進行していく。熱勾配法のための定着は複雑で、高価で、そしてかなり大量の多孔質構造物の密度を高めるのに実行するのは難しいという傾向がある。
圧力勾配CVI/CVD法においては、反応剤ガスは、圧力勾配を多孔質構造物のある一つの表面からその反対側の表面へと誘発することによって多孔質構造物を通過して流れることを強いられる。反応剤ガスの流動速度は、結合マトリックスの析出速度の増加を促す等温および熱勾配法に関して非常に増加する。この方法は「強制流動」CVI/CVDとしても知られている。圧力勾配CVI/CVDのための従来の定着は複雑で、高価で、そして大量の多孔質構造物の密度を高めるのに実行するのは難しいという傾向がある。一束の一方向繊維の長さに沿って縦圧力勾配を生み出す方法の例が、カーボン’80(ジャーマンセラミックソサイエティー)(1980)に記載のエス.カムラ、エヌ.タカセ、エス.カスヤ、およびイー.ヤスダ著の「Cファイバー/CCVDコンポジットの破壊挙動」に記載されている。環状多孔質壁の緻密化のため(密度を高めるため)の純粋な半径方向の圧力勾配を発生させる方法の例が、米国特許番号第4,212,906号および4,134,360号に記載されている。それらの特許に開示されている環状多孔質壁は(ブレーキディスクを作るための)複数の重ねられた環状のディスクから、または単一の管状構造として形成されてもよい。厚壁構造の複合材料にとって、純粋な半径方向圧力勾配法は環状多孔質壁の内部円筒面から外部円筒面へと非常に大きく且つ望ましくない密度勾配を生じさせる。また、高圧力を受ける表面は非常に急速に密度が高くなる傾向があり、その表面を封止し、また、低密度の領域への反応剤ガスの浸透を妨げる。この挙動は、純粋な半径方向圧力勾配法の有用性を深刻に制限してしまう。
最後に、パルス流動は反応剤ガスを有する加熱された多孔質構造物を包含する室の、急速且つ循環的な充填および排気を包含する。この循環的な動作は反応剤ガスの多孔質構造物への浸透を強いることとなり、また多孔質構造物からの分解された反応剤ガス副産物の除去も強いることとなる。そのような方法を実行するための装置は複雑で、高価で、しかも維持するのが困難である。この方法は多数の多孔質構造物の密度を高めるために実行するには非常に困難である。
当業者は熱勾配法と圧力勾配法を組み合せて、“熱勾配強制流動”法を生み出した。これら二つの方法を組み合せることはそれぞれの方法の弱点を克服するようであり、また多孔質構造物の非常に急速な緻密化を生じさせる。しかしながら、熱勾配および圧力勾配の両方をある程度の制御のもとに誘発させるためには定着法と装置が供給されなければならないため、これら二つの方法を組み合せることは複雑性を2倍にすることでもある。熱勾配強制流動法による小さなディスクおよびチューブの密度を高める方法は、米国特許番号第4,580,524号、および契約番号第DE−AD05−840R21400(1984)の下に米国エネルギー省のオーク リッジ ナショナル ラボラトリーによって作成されたエイ.ジェイ.クプトとダブリュ.ジェイ.ラッキイ著の「化学蒸気浸透による繊維強化されたセラミック複合材料の加工」によって開示されている。この方法によれば、繊維予備成形物は水冷却されたジャケットの内部に配置される。予備成形物の最上部は加熱され、ガスは予備成形物を通過し、それが分解し、そしてマトリックスを析出させる加熱された部分へと強制的に送られる。管状の多孔質構造物内でマトリックスを析出させる方法は米国特許番号第4,895,108号によって開示されている。この方法によれば、管状の多孔質構造物の外側円筒面は加熱され、内側円筒面は水ジャケットによって冷却される。反応剤ガスは内側円筒面へと導入される。様々な物品を成形するための同様な強制流動熱勾配法が、セラミック.エンジニアリング.サイエンス.プロシーディング.12[9−10]pp.2005−2014(1991)に記載のティ.ハン、シー.ブイ.ブルクランド、およびビー.バスタマンテ著の「CVI法によるシリコンカーバイドマトリックスを伴なう厚手のディスク予備成形物の緻密化」、ジャーナルデ フィジーク,コロキュ C5,サプルメント au n・5,トメ50(1989)に記載のティ.エム.ベストマン、アール.アイ.ローデン、デイ.ピー.スティントン、およびティ.エス.スター著の「セラミック複合材料の急速な化学浸透のための方法」、プロシーディングオブ エレクトロケミカル ソサイエティ(1990),90−12(プロシーディングオブ インタナショナル コンファレンス オブ ベーパ デポジション,11th,1990)546−52に記載のティ.ディ.グルデン、ジェイ.エル.カエ、およびケイ.ピー.ノルトン著の「セラミックマトリックス複合材料の強制流動熱勾配化学浸透(CVI)」によって開示されている。これらの開示の各々が、一度に多孔質物品を一つだけ緻密化する方法しか開示しておらず、炭素/炭素ブレーキディスクのような複合物を同時に大量に加工するには非実用的である。
これらの進歩にも関わらず、コストと複雑性を最小限に押さえた上で急速に且つ均一に多孔質構造物を緻密化するCVI/CVD法およびその方法を実行するための装置が望まれている。そのような方法は好ましくは(数百という)多数の多孔質構造物のそれぞれを同時に緻密化できる。特に、望ましい物理的特性を有する多数の航空機用ブレーキディスク用の環状繊維予備成形物構造を急速に且つ経済的に緻密化する方法が望まれている。
本発明のさらなる局面によると、環状多孔質構造内に堆積された第1炭素マトリックスと、該環状多孔質構造内に該第1炭素マトリックスに上掛けして堆積された第2炭素マトリックスとを持つ緻密化された環状多孔質構造からなる摩擦ディスクであって、該緻密化された環状多孔質構造は、内部円周面および該内部円周面から間隔を置いて離れ且つ該内部周面を取り巻いている外部円周面と境界を接している2つの平行な平坦面、該内部円周面に隣接する第1境界部分および該外部円周面に隣接する第2境界部分を有し、ここで該第1および第2境界部分は該2つの平行な平坦面と境界を接しており、該第2境界部分は該第1境界部分に比較して単位体積当り該第1炭素マトリックスを少なくとも10%少なく含有し、該第1炭素マトリックスと該第2炭素マトリックスは粗い積層ミクロ構造を有し、そして該第1炭素マトリックスは該第2炭素マトリックスよりも黒鉛化が進んでいる、ことを特徴とする摩擦ディスクが提供される。
本発明とその実施態様は図1から図29まで、および同番号が与えられている項目は同一である付属の図面に示されている。ここで使用されるように、用語「慣用CVI/CVD」とは先に説明された等温CVI/CVD法を云うことが意図されている。用語「圧力勾配CVI/CVD」とは先に説明された圧力勾配CVI/CVDすなわち強制流動法を云うことが意図され、さらに、先に説明された熱勾配および熱勾配強制流動法は、これらの方法が析出工程に影響する意図的に誘発された熱勾配を利用するという程度まで特に除外されることを意図している。
図1を参照すると、圧力勾配CVI/CVD法によって多孔質構造物22の内部にマトリックスを析出するように適応されたCVI/CVD加熱炉10の概略図が示されている。加熱炉10は、加熱炉の容積14を規定する内面12を持つシェル13と、ガスを加熱炉10に導入するためのガス導入口16を有する。サセプター30は反応炉の容積35の周りに配置され、当該技術分野で周知の方法によって誘導コイル20によって誘導加熱される。の範囲内にあると考えられるものはすべて、例えば抵抗加熱やマイクロ波加熱などの他の加熱方法が使用されてもよい。絶縁バリヤー31はサセプター30と誘導コイル20との間に配置される。サセプター30は加熱炉の容積14中に含有される反応器容積35を規定する内面33を有する。多孔質構造物22は反応器容積35内の固定具2の内部に配置され、そしてサセプター30からの輻射によって主に加熱される。減圧ポンプまたは蒸気減圧システムからなる減圧装置58は排気口32と流体連通の関係にあり、加熱炉の容積14を大気圧より低い圧力まで排気する。反応剤ガスは、加熱炉への供給ライン26から反応剤ガスを受け取るガス導入口16を通じて反応器容積35へと導入される。反応剤ガスは、それ自身が多孔質構造物22に浸透し、そこで分解して多孔質構造物22の内部にマトリックスを析出する。1種類のガスまたは複数種類のガスの混合物がガス導入口16へと供給されてもよい。
好ましい実施態様によれば、反応剤ガスは第1主要ガスライン42および第2主要ガスライン44を通じて導入される二種類のガスの混合物からなる。加熱炉への供給ライン26は第1および第2主要ガスライン42および44と流体連通の関係にあり、それによって導入口16は加熱炉10へと反応剤ガスを移動させる。第1流量計46は第1主要ガスライン42を通じて加熱炉への供給ライン26へと導入される第1ガスの流量(矢印50で表示)を測定し、第2流量計48は第2主要ガスライン44を通じて加熱炉への供給ライン26へと導入される第2ガスの流量(矢印52で表示)を測定する。加熱炉への供給ライン26へと流れるガスの流量は第1主要ガスライン42からの第1反応剤ガスの流量を制御する第1制御バルブ54と第2主要ガスライン44からの第2反応剤ガスの流量を制御する第2制御バルブ56によって制御される。
多孔質構造物22は多孔質構造物孔23を有する。チューブ60は固定具2および導入口16と流体連通の関係にあり、それによって固定具2へと反応剤ガスを移動させる。固定具2は対向するプレート38と40からなり、チューブ60はガス導入口16とプレート38に対して封止されている。多孔質構造物22は環状のスペーサー62と64によって二枚のプレートの間に封止されており、プレート38と40は引き棒66によって一緒に保持されている。多孔質構造物22は導入口16と排気口32の間に配置されている多孔質壁68を形成する。加熱炉の容積14と反応炉の容積35は大気圧より低い圧力まで下げられ、さらにガスは、多孔質壁68を通じて圧力勾配を発生させ、そして矢印34、36および28によって示されるようにガスが減圧装置58によって反応炉の容積35と加熱炉の容積14から排気されてしまう前に多孔質構造物22を通じて強制的にガスを分散させる反応炉の容積圧よりも大きな圧力において多孔質構造物孔23へと導入される。加熱炉の容積内の圧力は排気圧センサー72によって測定され、多孔質構造物孔23内の圧力は導入口圧センサー70によって測定される。多孔質構造物孔23内のおおよその反応剤ガスの温度は流れ温度センサー74によって測定され、多孔質構造物温度はプレート40に近接して配置されている構造温度センサー76によって近似される。後にさらに詳しく説明されるように、温度および圧力の条件は、ガスが分解して多孔質構造物22の内部においてある望ましい物理的特性を有するマトリックスを析出させるように選択される。上記方法は、炭素またはセラミックをベースとした多孔質構造物22内で析出している炭素またはセラミックのマトリックスを包含するがしかしこれらに限定されるわけではない、あらゆる種類のCVI/CVD析出マトリックスを析出するのに用いられる。上記方法は炭素ベースの多孔質構造物内で炭素マトリックスを析出させるのに特に有用であり、特に航空機用ブレーキディスクのような炭素/炭素複合構造を作り出すのに有用である。
図2を参照すると、多孔質構造物22を保持するための固定具2の詳細図が示されている。好ましい実施態様によれば、多孔質構造物は環状であり、内部円周面82と外部円周面84と境界を接している、対向するほぼ平坦な二つの面78と80を有する。外部円周面84よりも小さな平均直径を有する“OD”(外径)型の環状のスペーサー64は多孔質構造物22とプレート38との間に配置される。内部円周面82よりもわずかに大きな平均直径を有する“ID”(内径)型の環状のスペーサー62は多孔質構造物22とプレート40との間に配置される。環状のスペーサー62と64は多孔質構造物22とプレート38および40との間でのガスの流動を可能とするスペーサーとしての役割も担っており、またプレート38および40へと多孔質構造物22を封止する。引き棒66は一方の、または両方の端にねじ山が切られていてもよく、ねじのかみ合いにおいてナット67を有する。ワッシャー69がプレート38および40へと荷重を分配するのに使用されてもよい。
先に説明されたように、加熱炉の容積は減圧され反応剤ガスは加熱炉の容積よりも大きな圧力でチューブ60へと導入される。ゆえに、繊維質構造22の第1部分86(細かい平行線の陰影によって表示)は、矢印90で示されるように多孔質構造物22を通じて反応剤ガスの分散を誘発する繊維質構造22の第2部分88(細かい平行線の陰影によって表示)よりも大きな圧力に掛けられる。ガスが多孔質構造物を通じて分散するにつれて、矢印92で示されるように、さらなるガスがチューブ60を通過し多孔質構造物22に向かって流れる。このように、反応剤ガスは継続して供給され、そして多孔質構造物22を通じて強制的に分散される。本実施例において、第1部分86は2つの対向する面78と80の一方の面78を含有し、さらに第2部分88は対となる面78と80のもう一方の面80を含有する。第1部分86は内部円周面82を含有し、さらに第2部分88は外部円周面84を含有する。
図3を参照すると、二つの多孔質構造物22が重ねられ、そして同時に緻密化される、固定具2の代わりに使用可能な代用の固定具4が示されている。二つの環状のスペーサー64が使用され、引き棒65は図2の引き棒66よりも長いものである。(先に図2に関連して説明されたように)圧力勾配が多孔質構造物に適用され、矢印90によって示されるように多孔質構造物22を通じて反応剤ガスが分散することになる。固定具4の他の性質は固定具2と同様である。
反応剤ガスは、多孔質構造物22の他の部分の圧力よりも比較的大きな圧力に掛けられている多孔質構造物22のある部分中において分解し、優先的に析出する傾向がある。例えば、図8には多孔質構造物22から始まる図2と図3の工程から生じる緻密化された構造300が示されている。陰影の度合いは一般的に相対的な密度を示すように意図されている。細かく平行線で陰影をつけられた部分は、粗く陰影をつけられた部分に比べてより高い密度を示している。密度は最大密度領域302から最小密度領域308へと単調に減少していく。密度領域304と306は中間の密度範囲を表わす密度領域である。緻密化された構造300は平均嵩密度を有し、密度領域302は通常平均嵩密度の110%から140%であり、密度領域308は通常平均嵩密度の60%から90%である。最大密度領域302は通常第1部分86に対応し、さらに最小密度領域308は通常第2部分88に対応することに着目されたい。ゆえに、図2および図3に示される圧力勾配CVI/CVD法の間に第1部分86は第2部分88よりも大きな嵩密度の増加を有する。
図8に示される密度勾配は多くのアプリケーションに受け入れられない。密度勾配は、図2および図3に示されるように、圧力勾配CVI/CVD法を用いて多孔質構造物の内部に第1マトリックスを析出することによって下げることができる。この第1工程において、図8に示されるように、第1部分86は第2部分88よりも大きな嵩密度の増加を有する。その結果、多孔質構造物22は、第2部分88が第1部分86よりも大きな嵩密度の増加を有する、少なくとも1つの付加的緻密化工程を用いて第2マトリックスを析出することによってさらに緻密化されてもよい。例えば、図8の部分的に緻密化された構造300はフリップされて、さらに図2および図3に示される圧力勾配CVI/CVD法に掛けられる。第2部分88は第1部分86よりもより大きな圧力に掛けられ、その結果第2部分88が第1部分86よりもより大きな嵩密度の増加を有することになる。図9はこの二段/フリップ工程によって得られる緻密化された構造310を示している。密度は最大密度領域312から最小密度領域316へと単調に減少していく。密度領域314は中間の密度範囲を表わす密度領域である。緻密化された構造310は平均的な嵩密度を有し、密度領域312は通常平均嵩密度の105%から115%であり、密度領域316は通常平均嵩密度の85%から95%である。これにより圧力勾配は一般的にブレーキディスクへの適用に望ましい多孔質構造物22の厚みを通して対称となる。その圧力勾配はまた、図8に示される緻密化された構造300の密度勾配よりも低い。第2の、または追加の緻密化工程には圧力勾配CVI/CVD、慣用CVI/CVD、および炭化へと続く樹脂含浸を含有してもよい。加えて、炭素マトリックスを用いて部分的に緻密化された多孔質構造物は、さらにマトリックスを析出する前に炭素マトリックスの黒鉛化を増加するために前述のCVI/CVD法の加工温度よりも高い温度で熱処理されてもよい。
図4を参照すると、代わりの圧力勾配CVI/CVD法に用いられるための固定具2の代わりに使用可能な代用の固定具6が示されている。固定具6は“ID”環状スペーサー62のみを使用しており、その結果個々の多孔質構造物の内部円周面82が反応器容積35よりも大きな圧力に掛けられる。ゆえに、多孔質構造物22の第1部分87は第2部分89よりも大きな圧力に掛けられ、矢印91によって示されるような多孔質構造物22を通過する反応剤ガスの圧力によって動かされる流動を生じる。この実施例の場合、第1部分87は内部円周面82を含有し、さらに第2部分89は外部円周面84および対となる二つの面78と80とを含有する。反応剤ガスは多孔質構造物22を急速に通過し、環状スペーサー62の近くで排出する傾向がある。ゆえに、反応剤ガスは多孔質構造物22のすべてを通過して分散するように強制されない。図10は図4の方法によって生じる緻密化された構造320を示している。緻密化された構造320はコアにおいて最小密度領域328へと落ち込む内部円周面82に隣接する最大密度領域322からなる。密度は最小密度領域328から最大密度領域322へと単調に増加していく。密度領域324および326は中間の密度範囲を表わす密度領域である。緻密化された構造320は平均嵩密度を有し、密度領域322は通常平均嵩密度の約140%であり、密度領域324は通常平均嵩密度の約115%である。密度領域328は通常平均嵩密度の約80%である。最大密度領域322は通常図4の第1部分87に対応している。外部円周面320に隣接する中間密度領域324は、隣接する多孔質構造物から排気される十分に分解されなかった反応剤ガスの流動によって誘発される慣用CVI/CVD法によって生み出される。緻密化された構造320は、圧力勾配CVI/CVD、慣用CVI/CVD、および炭化へと続く樹脂含浸を含む第2の、または付加的緻密化工程によってさらに緻密化されてもよい。
図5を参照すると、代わりの圧力勾配CVI/CVD法のために固定具2の代わりに使用可能な代用の固定具8が示されている。固定具8は“OD”環状スペーサー64のみを使用しており、その結果個々の多孔質構造物の内部円周面82および対向する二つの面78と80が反応器容積35よりも大きな圧力に掛けられる。外部円周面84は反応器容積35の圧力に掛けられる。ゆえに、多孔質構造物22の第1部分94は第2部分96よりも大きな圧力に掛けられ、矢印98によって示されるような多孔質構造物22を通過する反応剤ガスの圧力によって動かされる流動を生じる。この実施例の場合、第1部分94は内部円周面82および対となる二つの面78と80を含有し、さらに第2部分96は外部円周面84を含有する。図解されるように、反応剤ガスは多孔質構造物22のすべてを強制的に通過して分散させられる。図11は図5の方法によって生じる緻密化された構造330を示している。緻密化された構造330は内部円周面82および対向する二つの面78と80の一部に隣接する最大密度領域332からなる。領域332は時には外部円周面84までずっと伸びていることがあり、対向する二つの面78と80のすべてを実質的に含有している。密度は最大密度領域332から最小密度領域338へと単調に減少していく。密度領域334および336は中間の密度範囲を表わす密度領域である。緻密化された構造330は平均嵩密度を有し、密度領域332は通常平均嵩密度の110%から125%であり、密度領域338は通常平均嵩密度の80%から90%である。図5の方法は構造厚を通じて対称な密度勾配を有する緻密化された構造330を生み出す。しかしながら、方法の変法によって幾つかの緻密化された構造330において二つの面78と80の一方に曲がってしまう可能性がある。領域332および334は通常図5の第1部分94に対応し、第2部分96は、領域336および338に示されるように、比較的少ない嵩密度増加を経験する。緻密化された構造330は、圧力勾配CVI/CVD、慣用CVI/CVD、および炭化へと続く樹脂含浸からなる第2の、または付加的緻密化工程によってさらに緻密化されてもよい。
図12を参照すると、慣用CVI/CVD法によって図11の緻密化された構造330をさらに緻密化することによって作られる緻密化された構造340が示されている。示されるように、最大密度は図11の領域332からの残留である内部円周面82に隣接する領域342内に現れる。その後の慣用CVI/CVD法は半径方向の密度勾配を下げる。これは外部円周面84に隣接する中間密度領域344によって示される。より小さな密度領域346は最小密度領域のコア領域348を取り囲んでいる。続く工程は図11の緻密化された構造330に残っている低密度の部分を充填する。このように、図5の方法からの第2部分96は、引き続く慣用CVI/CVD法の間に第1部分94よりも高い嵩密度の増加を経験する。加えて、図5の方法によって生じる圧力勾配CVI/CVD法は、慣用CVI/CVD法によって、構造330を引き続く緻密化に極端に敏感にさせる、緻密化された構造330において望ましい多孔性分配を生じさせる。緻密化された構造330は、慣用CVI/CVD法のみによって以前は緻密化されていた同じ嵩密度を有する構造よりもより速く最終密度に達し、さらに引き続く慣用CVI/CVD法の間に封止被覆される傾向が最小である。これは引き続く方法中に表面機械操作の必要性を最小限に押え、緻密化の全行程を大きく簡略化し促進させる。この相乗効果は驚くべき発見である。
図6を参照すると、代わりの圧力勾配CVI/CVD法のための固定具2の代わりに使用可能な代用の固定具9が示されている。図6に示されている方法は、反応剤ガスが多孔質構造物22の内部からではなくむしろ外部から多孔質構造物22へと入り込む「逆流」工程である。これは多孔質構造物22をプレート38と41との間に配置することによって達成される。プレート41が孔43を含有することを除けばプレート41は実質的にプレート40と同じである。円筒バリヤー構造350はプレート38と41との間に配置され、且つそれらに対して封止されている。バリヤー構造350は多孔質構造物22を取り囲んでいる。面80の外径はプレート41から空間を置いて離れていて、且つ“OD”環状スペーサー64によってプレート41に対して封止されている。面78の外径は"OD"環状スペーサーから空間を置いて離れていて、且つ"OD"環状スペーサー64によって、多孔質構造物22とプレート38との間に配置されているプレート352に対して封止されている。複数の離間ブロック353がプレート38と封止プレート352との間に空間を開けており、それによって複数の孔354を形成している。反応剤ガスは矢印92の方向に固定具9へと導入される。封止プレート352は強制的にガスを半径方向に外へ向かって、さらに孔354を通過して流動させる。バリヤー構造350は矢印356によって示されるようにガスを強制的に上方に流れさせ、多孔質構造物22の外部円周面84に向かって流れさせる。プレート41の孔43は固定具の内部をチューブ60内のガス供給圧よりも小さい加熱炉の容積圧にさらす。このように、第1部分95は矢印99が示すようにガスを強制的に多孔質構造物22を通過して分散させる第2部分97よりも大きな圧力にさらされる。ガスは矢印358が示すように孔43を通じて固定具9から反応器容積35へと排気する。この実施例において、第1部分95は外部円周面84を含有し、第2部分97は内部円周面82および対向する二つの面78と80とを含有する。緻密化された構造は、圧力勾配CVI/CVD、慣用CVI/CVD、および炭化へと続く樹脂含浸を含む第2の、または付加的緻密化工程によってさらに緻密化されてもよい。
図7を参照すると、代わりの圧力勾配CVI/CVD法のための固定具2の代わりに使用可能な代用の固定具7が示されている。図7は図6の方法に非常に似ている逆流方法を示している。固定具7が“OD”環状スペーサー64ではなくむしろ“ID”環状スペーサー62からなっていることを除けば固定具7は実質的に固定具9と同じである。反応剤ガスの流れは、対向する二つの面78と80および外部円周面84から入り、矢印101に示されるように多孔質構造物22の内部円周面82から排気される。内部円周面82は反応器容積35の圧力にさらされ、また対向する二つの面78と80は反応剤ガスの供給圧にさらされる。
このように、多孔質構造物22の第1部分552は第2部分550よりも大きな圧力に掛けられる。この実施例において、第1部分552は内部円周面82を含有し、第2部分550は外部円周面84および対向する二つの面78と80とを含有する。図13は図7の方法によって生み出された緻密化された構造341を示している。緻密化された構造341は外部円周面84および対向する二つの面78と80の一部に隣接する最大密度領域343からなる。密度は最大密度領域343から最小密度領域349へと単調に減少していく。密度領域345および347は中間の密度範囲を表わす密度領域である。緻密化された構造341は平均嵩密度を有し、密度領域343は通常平均嵩密度の約120%であり、密度領域349は通常平均嵩密度の約80%である。緻密化された構造341は、圧力勾配CVI/CVD、慣用CVI/CVD、または炭化へと続く樹脂含浸を含む第2の、または付加的緻密化工程によってさらに緻密化されてもよい。
固定具2、4、6、7、8および9の様々な部品は好ましくはグラファイトから形成されるが、いかなる適切な耐熱性の材料でも本発明において使用されうる。様々な接合部が適合性のあるガスケットおよび/またはグラファイトセメントのような液体接着剤を使用して封止されてもよい。緻密化以前にもし多孔質構造物に適合性があれば、多孔質構造物は適切な封止を作るために環状スペーサーに対して加圧されてもよい。適切な適合性のあるガスケットが例えば、米国オハイオメントルのイージーシー エンタープライゼス インコーポレイテッドから入手可能なイージーシーサーマフォイル(登録商標)ブランドの可撓性グラファイトシートおよびリボン型式充填パックのような可撓性グラファイトから形成されてもよい。比較しうる材料が、米国オハイオクリーブランドのユーシーエーアール カーボン カンパニーインコーポレイテッドから入手可能である。
慣用CVI/CVD法は、図14に図解されるように、CVI/CVD加熱炉11を使用して実行されてもよい。加熱炉11は加熱炉10に非常によく似ている(図1)参照。しかしながら固定具2が除去され、固定具360に取って代えられている。固定具360は複数の支柱364上に配置されている支持プレート362からなっている。多孔質構造物は、多孔質構造物22を、プレート362と多孔質構造物22との間で反応剤ガスの分散を可能とするプレート362から引き離す複数のスペーサー368上に配置される。支持プレート362には反応剤ガスの分散をプレートを通じて、および多孔質構造物22の周りで可能とするための多数の孔(表示されていない)が空いている。支柱364、スペーサー368および孔開き支持プレート362は好ましくはグラファイトから形成される。図1のチューブ60はより大きな直径のチューブ366に取って変わられている。ガスは、矢印370に示されるように、加熱炉の容積に入り自由に膨張する。矢印34によって示されるように、ガスは多孔質構造物上を通過し、矢印36および28によって示されるように加熱炉の容積14から減圧装置58へと排気する。
通常、通常は多孔質構造物22の温度を感知する1つだけの温度センサー76が使用される。圧力センサー70で測定される圧力は、慣用CVI/CVD法の間に圧力センサー72で測定される圧力よりもわずかに大きい。図1に関して先に説明したように、複数の反応剤ガスの混合物が主要供給ライン42および44から導入されてもよい。
図2から図7までの個々の固定具について、個々の環状多孔質構造物22は、個々の環状多孔質構造物の表面積の大部分(50%以上)が、ガスが多孔質構造物22に出入りするときにそのガスに露出される表面積を有している。高い露出度を確立するということは各多孔質構造物を通じて強制的にガスの分散を行うために必要となる圧力勾配を下げることになる。できるだけ広い多孔質構造物の表面積が、好ましくは反応剤ガスに露出される。好ましくは、多孔質構造物の表面積の少なくとも80%が露出される。
図15を参照すると、CVI/CVD加熱炉400と第1ガスを加熱炉400へと導入するための装置402とが示されている。加熱炉400と装置402は多量の多孔質物品、例えば航空機用ブレーキディスクを製造するための500から1000の環状予備成形物を同時に緻密化するのに特に適している。矢印406によって示されるように、第1主要ガスライン404は第1反応剤ガスを供給する。複数の加熱炉への供給ライン408は第1主要ガスライン404およびCVI/CVD加熱炉400と流体連通の関係にある。複数の第1流量計410は個々の加熱炉への供給ライン408を通過する第1反応剤ガスの流量を測定する。複数の第1制御バルブ412は個々の加熱炉への供給ライン408を通過する第1反応剤ガスの流量を制御するように配置されている。装置402は4本の供給ライン408、4つの制御バルブ412、および4つの流量計からなるが、数は必要に応じて増加または減少するものなので、本発明は各々の部品の固体数「4」という数に限定されるものではない。
好ましい実施態様によれば、加熱炉400と反応剤ガス供給装置402は制御装置414によって制御される。個々の流量計410は第1流量センサーライン416を介して制御装置414に測定された流量を伝達し、そして制御装置414は第1バルブ制御ライン418を介して個々の制御バルブ412を制御することができる。ゆえに、加熱炉400への第1反応剤ガスの流量は個々の供給ライン408に対して独立に設定および制御されてもよい。制御装置414は好ましくはマイクロプロセッサーをベースにしたもので、反応剤ガス供給装置402と加熱炉400中の様々な条件および制御状態を監視するためのスクリーン415からなる。ある実施態様によれば、個々の加熱炉への供給ライン408は、図15に示されるように、一つの第1流量計410と一つの第1制御バルブ412、および第1主要ガスライン404中に配置された第1主要制御バルブ420からなる。
第1主要制御バルブ420は好ましくは第1主要ガスライン404中の圧力を制御する。第1主要流量計422は第1主要ガスライン404の内部に配置されていてもよい。
矢印426によって示されるように第2反応剤ガスを供給するための少なくとも第2主要ガス供給ライン424を供給することによって、ガスの混合物が加熱炉400へと供給されてもよい。個々の加熱炉への供給ライン408を通過する第2反応剤ガスの流量を制御するように形造られた複数の第2制御バルブ432を利用して、個々の加熱炉への供給ライン408を通過する第2反応剤ガスの流量を測定する複数の第2流量計430が備えられている。個々の第2流量計430は第2流量センサーライン436を介して制御装置414に測定された流量を伝達し、そして制御装置414は第2バルブ制御ライン438を介して個々の第2制御バルブ432を制御してもよい。ある実施態様によれば、第2主要ガスライン424は、第2主要ガスライン424の内部に配置された第2主要制御バルブ440からなる。第2主要流量計442もまた第2メインガスライン424の内部に配置されてもよい。第2主要制御バルブ440は好ましくは第2主要ガスライン424中の圧力を制御する。
加熱炉400は加熱炉の容積446を規定する加熱炉シェル444からなる。
反応炉の容積447は加熱炉の容積446の内部に含有される。加熱炉への供給ライン408は反応器容積447と流体連通の関係にある。減圧装置448は排気筒450を介して加熱炉の容積446と反応器容積447と流体連通の関係にある。減圧装置448は加熱炉の容積446中の圧力を減圧(大気圧以下まで下げ)、適切なフィルターおよび消費された反応剤ガスからの望ましくない副生成物を除去するスクラバーを有する減圧ポンプまたは蒸気減圧システムのような如何なる適切な装置からなっていてもよい。加熱炉への供給ライン408からの反応剤ガスは対応する予熱装置458に導入される。第1予熱装置458は反応器容積447の内部に配置され、導入口460と排気口461を有する。第1予熱装置458は、対応する加熱炉への供給ライン408から導入口460へと導入される実質的にすべてのガスが加熱され、且つそのガスが加熱炉の内部に配置されている少なくとも一つの多孔質構造物を浸透する対応する排気口461を通じて予熱装置から排気されるように封止されている。用語「実質的にすべてのガス」とは少量の漏れは考慮されることを意図されている。第1予熱装置458は、対応する加熱炉への供給ライン408からの反応剤ガスの温度よりも高い予熱装置の温度まで加熱される。多孔質構造物も加熱される。この実施例において、多孔質構造物は反応器容積447の内部に配置されている第1多孔質壁452からなっている。第1多孔質壁452は好ましくは環状であり、第1多孔質壁452の上方の開口端を封止する第1天板454からなり、それによって第1の囲まれた空洞456が規定される。第1多孔質壁452のもう一方の端は第1予熱装置458に対して封止され、第1予熱装置の排気口461は第1の囲まれた空洞456と流体連通の関係にある。
反応剤ガスの第1流は第1予熱装置458に導入され、それから反応器容積447内の圧力よりも大きな圧力下で第1囲まれた空洞456を通過する。ゆえに、第1多孔質壁452の片端は、第1多孔質壁のもう一方の端よりも大きな反応剤ガスの圧力にさらされる。図15に示される実施例において、多孔質壁452の内側(囲まれた空洞456)は、多孔質壁452の外側よりも大きな反応剤ガスの圧力にさらされる。圧力差が反応剤ガスの第1流を、加熱されたガスが分解され、そして加熱された第1多孔質壁452内で結合マトリックスを析出させる第1多孔質壁452を通じて強制的に分散させる。残りのガスとすべての副生成物はそのとき第1多孔質壁452を抜け出て、減圧装置448によって排気筒450を通じて反応器容積447から排気される。このように、反応剤ガスは環状多孔質壁の片側でCVI/CVD加熱炉へと反応剤ガスを導入、そして反対側で反応剤ガスをCVI/CVD加熱炉から排気することによって環状多孔質壁を通じて強制的に分散させられる。少なくとも一本の排気筒450が好ましくはそれぞれの1対の多孔質壁の間に与えられる。さらに、個々の予熱装置458は反応剤ガスを一つ以上の環状多孔質壁452に供給してもよい。反応炉400は、CVI/CVD加熱炉を加熱するのに、抵抗加熱および誘導加熱を含む技術上公知の如何なる方法によって加熱されてもよい。
好ましい実施態様によれば、予熱装置458と多孔質壁452は、第1予熱装置458と多孔質壁452をすべての側面から取り囲むサセプター462によって輻射加熱される。サセプター462は反応炉の容積447と、第1予熱装置458が設置されているフロア463を規定する。サセプター462は好ましくは円周部分464からなり、加熱炉400は円周部分464を取り囲む第1誘導コイル466、第2誘導コイル468、および第3誘導コイル470からなる。サセプター462は、当該技術分野で公知の方法でエネルギーを熱へ変換するサセプター462にエネルギーを移動する誘導コイル466、468、および470と誘導的に結合されている。大量(数百)の多孔質構造物を緻密化する際にCVI/CVD加熱炉の最下部から最上部にかけて均一の温度を維持することは難しい。
ガスが分解し、結合マトリックスを析出する速度は、反応剤ガスの濃度が十分であると仮定した上で、温度によって大部分が決定される。このように、加熱炉全体にわたる多孔質の温度の変化は、特定のCVI/CVDの一工程において収量を下げる、対応する嵩密度の増加における変化を生じさせる。図15に図解されるように、複数の誘導コイルを組み込むことは加熱炉の長さに沿った異なる熱量のアプリケーションを可能とする。これにより(ガスの流れる方向に)加熱炉の長さに沿ったさらに均一な多孔質構造物の温度プロフィールが得られる。
さらなる実施態様によれば、反応ガスの第1流の第1ガス温度は第1温度センサー490によって第1加熱炉の排気口461に近接しているところで検知される。温度センサー490は適切な保護外装を有するK型熱電対からなる。予熱装置の温度は望ましいガスの温度を得るように調節される。予熱装置の温度は排気口461におけるガスの温度に対流的に関係しているため、予熱装置の温度を直接測定することは必要ない。予熱装置の温度は第1予熱装置458の加熱を増加または減少させることによって調整される。図15において、サセプター壁464は、第1サセプター壁部分467、第2サセプター壁部分469、および第3サセプター壁部分471からなる。先に説明されたように、第1誘導コイル466は、電気エネルギーを第1誘導コイル466から第1サセプター壁部分467内の熱エネルギーへと変換させる手段で第1サセプター壁部分467へと誘導的に結合されている。同じことが第2サセプター壁部分469と第2誘導コイル468、および第3サセプター壁部分471と第3誘導コイル470に適応される。第1予熱装置458は第1誘導コイル466に隣接する第1サセプター壁部分467からの輻射熱エネルギーによって主に加熱される。ゆえに、第1予熱装置の温度は第1誘導コイル466の電力を調整することによって調整されてもよい。第2誘導コイル468と470への電力は、加熱炉の長さに沿った望ましい多孔質構造物の温度プロフィールを維持するために必要に応じて調整されてもよい。第1予熱装置458は好ましくは、輻射による熱エネルギーの移動を促進する第1サセプター壁部分467に近接して配置される。第1温度センサー490によって検知される温度は第1温度センサーライン494を介して制御装置414へと転送されてもよい。制御装置は温度センサーの情報を処理し、ガスの第1流が第1予熱装置の排気口461を離れるときに、第1のガス流の望ましい温度を得るように必要に応じて自動的に電力を第1誘導コイル466に合わせて調整してもよい。特定の加熱炉の配置において、予熱装置は加熱炉の中心に隣接して配置され、サセプター壁に近接する隣接する予熱装置によって取り囲まれ、さらに中央予熱装置への輻射によって熱エネルギーの移動を遮断する。そのような場合、中央予熱装置は輻射によって加熱された隣接する予熱装置からの伝導によって主に加熱される。
ゆえに、中央予熱装置はサセプター壁からの輻射によって間接的に加熱され、中央予熱装置の温度は第1誘導コイル466への電力を変化させることによって制御される。さらに、予熱装置は個々の予熱装置へ供給される熱エネルギーの直接的な制御を可能とする抵抗加熱される。
第2多孔質壁472は第2天板474を有する第2多孔質壁で第2予熱装置478に対して封止される。第2予熱装置478は第2予熱装置の導入口480と第2予熱装置の排気口481を有する。第2温度センサー492は反応剤ガスの第2流が第2予熱装置の排気口481を出るときの温度を検知するために供給されてもよい。第2多孔質壁472は第2予熱装置の排気口481と流体連通の関係にある第2の囲まれた空洞476を規定する。ガスの第2流が、対応する加熱炉への供給ライン408を通じて第2予熱装置へと導入され、第2多孔質壁472を通じて強制的に分散させられ、そして第1多孔質壁452に関して説明したと同様にして加熱炉の容積446に強制的に排気される。ゆえに、第2多孔質壁472片側は第2多孔質壁もう一方の側よりも高い圧力にさらされる。ある実施態様によれば、第2予熱装置478と第2多孔質壁472はサセプター壁464からの輻射によって主に加熱される。第2予熱装置478は、対応する加熱炉への供給ライン408からの反応剤ガスの温度よりも高い予熱装置の温度まで加熱される。加熱されたガスは、そのガスが分解結合マトリックスを析出する第2多孔質壁472を浸透する。残りのガスとすべての副生成物はそのとき第2多孔質壁472を抜け出て、減圧装置448によって反応炉の容積446から排気される。
第2温度センサー492は第2予熱装置の排気口481に近接して備えられる。
第2温度センサー492によって検知される温度は第2温度センサーライン496を介して制御装置414へと転送される。制御装置44は温度センサーの情報を処理し、ガスの第2流が第2予熱装置の排気口481を離れるときに、第2のガス流の望ましい温度を得るように必要に応じて自動的に電力を第1誘導コイル466に合わせて調整してもよい。第1誘導コイル466への電力もまた望ましいガスの流動温度を得るために必要に応じて手動で調節されてもよい。少なくとも第3多孔質壁は、少なくとも第3多孔質壁の一方の端を、少なくとも第3多孔質壁のもう一方の端よりも大きな圧力に掛けることによって、少なくとも反応剤ガスの第3流を少なくとも第3多孔質壁を通じて強制的に分散させ、さらに反応剤ガスの第3流が独立して制御される、類似の圧力勾配CVI/CVD法によって緻密化されてもよい。付加的多孔質壁が、付加的加熱炉供給ライン408および付加的予熱装置を利用する同じような手段で添加され且つ緻密化されてもよい。付加的予熱装置および個々の付加的予熱装置の排気口に近接するガスの流動温度を検知する温度センサーが必要に応じて備えられてもよい。このように、上記方法では大量の多孔質壁の同時の緻密化を可能とする。
多孔質壁の温度センサー498は、第1多孔質壁の温度を検知するために第1多孔質壁452に非常に近接して供給される。第1多孔質壁の温度は、第1多孔質壁452を通過する反応剤ガスの第1流を増加または減少することによって増加または減少する。例えば、反応剤ガスの第1流は、それが第1予熱装置の排気口461へ排気されるときには多孔質構造物よりも低い温度であってもよい。このより低い温度おいて反応剤ガスの第1流を増加することは多孔質壁の温度を下げることとなり、また、流量を減少させることは多孔質壁の温度を上げることとなる。
もし反応剤ガスの第1流が第1多孔質壁452よりも高い温度であったならば、この逆も適応される。第1多孔質壁温度センサー498は、望ましい第1多孔質壁温度を得るために必要であるような第1ガスの流量の自動または手動での制御を可能とする第1多孔質壁温度センサーライン502を介して制御装置414と伝達する。第2多孔質壁温度は第2多孔質壁温度センサー500によって同様に検知されてもよい。第2多孔質壁温度センサー500は、第2ガスの流量を増加または減少させることによって望ましい第2多孔質壁温度を得るために必要であるような第2ガスの流量の自動または手動での制御を可能とする第1多孔質壁温度センサーライン504を介して制御装置414と伝達する。第3および付加的多孔質壁の温度は同様な手段で検知および制御される。加熱炉供給ライン408からの個々のガスの流動は反応ガス供給装置402によってCVI/CVD析出法に影響するために独立して制御される。多孔質壁温度センサーはまた、温度センサー506によって示されるように、多孔質壁に直接挿入されてもよい。もし多孔質壁が多孔質構造物の積み重ねから形成されるのであれば、熱電対が隣接する一対の環状多孔質構造物の間に配置される。多孔質壁の温度はまた、隣接する一対の多孔質壁452と472の間に配置される光学標的544上の窓546を通じて集束される光学的ピロメーター548によって検知されてもよい。
好ましい実施態様によると、加熱炉の容積446は一定の真空圧に維持されている。第1囲まれた空洞456、第2囲まれた空洞476、および第3または追加の囲まれた空洞のすべての内部の圧力は、その空洞に導入される反応剤ガスの流量および対応する多孔質壁の多孔度によって決定される。例えば、第1囲まれた空洞456への流量は一定の値に維持されてもよい。緻密化工程の初期段階においては、第1囲まれた空洞内部の圧力は、囲まれた空洞の外側の加熱炉の容積圧よりもわずかに高いだけである。第1囲まれた空洞456内部の圧力は、多孔度が減少し、さらに反応剤ガスの第一流量が一定であるため、マトリックスが第一多孔質壁452の内部に析出する際に増加する。第1囲まれた空洞456内部の圧力は、第1囲まれた空洞への反応剤ガスの流量を増加または減少させることによって制御される。流量を増加させることは圧力を増加させ、流量を減少させることは圧力を減少させる。第1圧力センサー508は、第1囲まれた空洞456の内部の圧力を感知するために与えられる。第1圧力センサー508は、望ましい圧力を得るために必要であるように第1囲まれた空洞456へ導入される流量の自動または手動による制御を可能とする制御装置414と第1圧力センサーライン512を介して連結している。第2圧力センサー510と第2圧力センサーライン514とが、同様の方法で第2囲まれた空洞476の内部の流量および圧力を制御するために与えられてもよい。必要に応じて第3および付加的圧力センサーと圧力センサーラインが供給されてもよい。特定の囲まれた空洞へのガスの流量は好ましくは固定されており、そして圧力があまりにも急激に上昇するか或いは望ましい圧力の最大値を越えてしまう、そのような場合流量は減少するかまたは全く停止してしまうのだが、そのようなことが無ければ、多孔質壁が緻密化されるにつれて圧力は自然に上昇される。反応剤ガス供給装置402は個々の多孔質壁への独立した流量の制御を可能とする。多孔質空洞の内部の圧力を監視することは個々の多孔質壁の緻密化度の実時間での表示を提供する。圧力上昇の欠乏、または異常に遅い圧力上昇は予熱装置および/または多孔質壁に漏れがあることを示している。方法が中断され、一旦漏れが発見され修理されれば再開されてもよい。異常に速い圧力は一つ以上の環状の多孔質壁の煤煙の付着化またはタール化を示している。
図16を参照すると、図15の予熱装置458と478のための好ましい実施態様である予熱装置100が示されている。予熱装置100は、ジェームズダブリュ.ルドルフ,マーク ジェイ.パディ,およびロウレル デー.ボックを発明者として指名している、本明細書に引用としてその全容が導入される、本出願と同日に出願されたCVI/CVD法で使用されるための装置という名称の同時系属米国特許出願中にさらに詳しく説明されている。予熱装置100は、加熱炉10の内部に配置され、且つサセプター床463上に設置されている封止ダクト構造102を有している。予熱装置100はガス導入口460からガスを受け取る(図15参照)。ガス導入口460は封止ダクト構造102を通じてガスの分散を促進する一つ以上の孔開きチューブ19に接続される。予熱装置100は、封止ダクト構造102上に設置されている封止バッフル構造108を有している。
封止バッフル構造108は一連の空隙孔開きプレート128と129、およびバッフル構造の導入口104を有する下部孔開きプレートとバッフル構造の排気口106を有する上部孔開きプレートからなる。封止ダクト構造102と封止バッフル構造108は互いに封止され、ガスが封止バッフル構造108を通過して流れるのを避けられないように接合部118においてサセプター床463に封止されている。封止ダクト構造102は少なくとも2個の119、120、および121、二つ合わせて封止接合部124、125、166、168、170、172、および174を一緒に形成する上方環122と下方環123とからなる。支持棒119、120、121および下方環123は封止バッフル構造108の重量を支える。被覆板110は好ましくはバッフル構造の排気口106上に配置されている封止ダクト構造102に隣接する。被覆板110は多孔質構造物の固定具を支持する役割を担っている。被覆板110は圧力勾配CVI/CVD法で用いるために適応され、複数の孔114と116からなり、個々の孔は環状多孔質壁に反応剤ガスを供給する。被覆板110は封止ダクト構造102と被覆板110との間の接合部に設置されている適応性のあるガスケットによって封止ダクト構造102に封止されている。孔開きプレート128と129は完全に重なり合っており、バッフル構造の境界面132を規定する積み重ねの内に配置される。
個々の封止バッフル構造プレート128は一連の孔130からなり、1つのサセプタープレート128のその一連の孔130は隣接するサセプタープレート129の一連の孔131と一直線に並んではいない。この配置は輻射によるサセプタ一壁464から孔開きプレート128と129への直接の熱移動を大きく簡易化する。熱はプレート128と129に沿って伝導によって移動され、強制対流によってガスへと移動される。バッフル構造の境界面132は適応性のあるガスケット134によって封止され、個々のサセプタープレート128と129の外平面方向の限界からなり、さらにサセプター壁464に近接して配置される。適応性のあるガスケット134はまた孔開きプレート128と129を互いに空間を置いて離す役割も担っている。封止ダクト構造102は好ましくはその封止バッフル構造108が設置される押縁136を規定する。提示された実施態様において、支持棒119、120、および121は下方環123との組み合わせでその押縁を規定する。加熱炉へのバッフル構造108の負荷を簡易化し、さらに封止バッフル構造108と被覆板110を支持する複数の支柱140が与えられている。個々の支柱140はサセプターフロア463上に設置されるシート(表示されていない)を規定する拡大された部分からなる。封止バッフル構造108はシート上に設置される。予熱装置100の様々な部品は好ましくは一体式グラファイトから形成される。様々な封止接合部は好ましくは適応性のあるガスケットおよび/またはグラファイトセメントを用いて形成される。米国オハイオメントルのイージーシー エンタープライゼス インコーポレイテッドから入手可能なイージーシーサーマフォイル(登録商標)およびサーマブレイド(登録商標)ブランドの可撓性グラファイトシートおよびリボン型式充填パックのような可撓性グラファイトから形成されてもよい。比較しうる材料が、米国オハイオクリーブランドのユーシーエーアール カーボン カンパニーインコーポレイテッドから入手可能である。
図15の多孔質壁452および472は航空機用ブレーキディスクの製造に特に好ましいとされる環状多孔質構造物の積層体から形成されてもよい。図17を参照すると、好ましい固定具200は圧力勾配CVI/CVD法によって環状多孔質構造物22の積層体を緻密化するために提供されている。固定具200は、ジェームズダブリュ.ルドルフ、マーク ジェイ.パディおよびローウェル ディ.ボックを発明者として指名している本出願と同日に出願されたCVI/CVD法で用いられる装置という名称の同時系属米国特許出願中にさらに詳しく説明されている。固定具200は好ましくは図16の予熱装置100と併用される。多孔質構造物22は積層体202中に配置される。その固定具は基盤204、離間構造物206、および天板208からなる。天板208は被覆板212、適応性のあるガスケット213、および重り214によって封止される孔210を有していてもよい。基盤204は被覆板110に係合するように適応され、さらに被覆板孔114と116の一つと一列に並ぶ基盤孔(図18の項目216)を有する。基盤204は好ましくは複数の円錐ピン226によって設置される。基盤204は、円錐ピン226と一列に並び且つ円錐ピン226を受け入れる対となる円錐基盤孔を有する。この配置は基盤孔を対応する被覆板孔と対応する基板孔とを一直線に揃えることを簡略化する。基盤204は、好ましくは適応性のあるガスケットを用いることによって被覆板110へと封止される。天板208は基盤204から空間を置いて離れており、且つ基盤204に面している。離間構造物206は基盤204と天板208との間に配置され、且つそれらに係合している。提示された実施態様において、離間構造物は多孔質構造物の積層体の周りに配置され、そして基盤204と天板208の間に伸びている多数の離間柱218からなる。個々の柱218は基板204と天板208と合致する孔224に受け入れられるピン220を一方の端に有する。離間構造物206は好ましくは少なくとも3本の柱218からなる。離間構造物206は単一物として形成されてもよく、基盤204と天板208とに係合するための他のいかなる配置構造として形成されていてもよい。少なくとも一つの環状スペーサー234が、好ましくは隣り合う多孔質構造物22の個々のペアの間の多孔質構造物22の積層体202内に設置される。環状スペーサー234は隣り合う多孔質構造孔23を取り囲んでいる。少なくとも一つの環状スペーサー234が、好ましくは基盤204と基盤204に隣接する多孔質構造物22との間に、および天板208と天板208に隣接する多孔質構造物22との間に配置される。基盤204、多孔質構造物202の積層体、および少なくとも一つの環状スペーサー234は、基盤孔(図18の項目216)から伸び、個々の多孔質構造孔23を含み、さらに天板208の近くで終結している囲まれた空洞236を規定する。ある実施態様によれば、環状スペーサー234の外径は約21.9インチであり、スペーサーの内径は約21インチの外径を有する環状多孔質構造物22を処理するために約19.9インチとなっている。環状スペーサーは好ましくは少なくとも0.25インチの厚さである。
図18を参照すると、同時に多数の多孔質構造物22を緻密化する圧力勾配CVI/CVDのための好ましい固定具201が示されている。離間用構造物207は、基板204と天板208の間に配置され、多孔質構造物203の積み重ねを分割している少なくとも1つの中間板272からなっている。柱218は、天板208と中間板272の1つとの間に、基板204と中間板272の他の1つとの間におよび隣接する一対の中間板272の間に伸びている。
他の点で、固定具201は固定具200と実質的に同一である。それぞれの中間板272はそれを貫通する中間板穴274を有し、一対の多孔質構造物22の間に挟まれている。囲まれた空洞236はさらにそれぞれの中間板穴274を包含している。少なくとも1つの環状スペーサー234は中間板272と多孔質構造物22の間で中間板272の両側面に配置され、そして中間体272に対して封止される。複数の固定具201を積み重ねることもできる。そのような場合、1つの固定具201からの基板204は、上方の固定具の基板穴216が下方の固定具の天板穴210と流体連通するようにして、下方の固定具201の天板208と係合する。このように、囲まれた空洞は、最上位の天板穴210の上に配置される被覆板212によって停止されるまで、1つの固定具から次の固定具へと伸びている。この観測がさらに明らかに示されるように、基板204は、円錐ピン226の円錐部を受け入れる円錐穴230を備え、そして被覆板110は円錐ピン226の円筒部を受け入れる穴228を備えている。
図28を参照すると、多孔質構造物302の積み重ねを緻密化する圧力勾配のための代わりの別の固定具300が示されている。固定具299は積み重ね302がそれぞれの多孔質構造物22の外径の周りに配置された“OD”(外径)環状スペーサー234と、それぞれの多孔質構造物の内径の周りに配置された“ID”(内径)環状スペーサー284とが交互になっていることを除けば、固定具200と本質的に同じである。OD環状スペーサー234は、好ましくは多孔質構造物外径608よりも僅かに小さい内径233および多孔質構造物608と一般に同一である外径235を有している。
ID環状スペーサー284は、好ましくは多孔質構造物内径610よりも僅かに大きい外径286および多孔質構造物内径610と一般に同一である内径288を有している。
ID環状スペーサー284を用いると、多孔質構造物外径608は環状スペーサー284の外径286よりも大きい。それぞれの環状スペーサー234と284の壁厚は、好ましくは反応剤ガスがそれぞれの構造物22に入り、またそれを離れるように、多孔質構造物表面領域が反応剤ガスに曝されるのを最小限にするために、最低限とされる。図29を参照すると、多孔質構造物303の積み重ねを緻密化する圧力勾配の代わりの別の固定具301は、積み重ね303が全てそれぞれの多孔質構造物の内径の周りに配置された“ID”環状スペーサー284からなることを除けば、固定具200と本質的に同じである。
固定具200、201、299および301の種々の部品は、好ましくはグラファイトから形成される。固定具内に含まれる種々の継ぎ手は、好ましくは上記したとおり、可撓性グラファイト材料の圧縮可能な環状ガスケットを用いて封止される。もし多孔質構造物22が圧縮可能であれば、それらは十分なシールを与えるために環状スペーサー234に対して直接圧縮できるし、また多孔質構造物22と環状スペーサー234の間に圧縮可能ガスケットの必要性を排除する。使用前の環状スペーサーは、好ましくは緻密化された多孔質構造物からの環状スペーサーの除去、それに引き続くマトリックスの析出を容易にする、熱分解炭素の表面析出で封止被覆される。
固定具200と201に類似する固定具は、環状スペーサー234が多孔質構造物同志を分離し、そして反応剤ガスが多孔質構造物22を通じて、超えてそして周りを自由に通過するのを可能とするスペーサーブロックによって置換されている慣用CVI/CVD法で用いられてもよい。そのような場合、被覆板110は反応剤ガスが炉容積中を分散するのを促進するために図22の被覆板152によって置換されてもよい。被覆板152は、穴153の配列からなる。慣用CVI/CVD法のために適した固定具内に含まれる種々の継ぎ手を封止することは必ずしも必要なことではなく、また望ましいことでもない。
図19を参照すると、CVI/CVD法が前記した概念に従って表されている。好ましい態様によれば、複数の環状多孔質構造物はプレヒーター100の如き複数のプレヒーターに対して封止された、固定具201(図18)のような複数の固定具を用いて、炉400(図15)の如きCVI/CVD炉内で析出される。反応剤ガスはガス供給装置402(図15)の如き装置を用いて、炉に供給される。炉は条件が安定するまで加熱され、そして第1炭素マトリックスは圧力勾配CVI/CVD法によって多孔質構造物中に析出される。圧力勾配CVI/CVD法中に図17と18に示された以上の多孔質構造物のための支持は、多孔質構造物が圧力勾配CVI/CVD法中にたわむことがないので必要でない。多孔質構造物は、次いで多孔質構造物を炉からあるいは固定具から除去することなしに、熱処理法に付される。別法として、多孔質構造物は、熱処理法の前に、炉および圧力勾配CVI/CVD固定具から除去されることもできる。熱処理法は、第1炭素マトリックスの黒鉛化を増加させる、以前の析出法温度よりも高い温度で実施される。熱処理に続いて、多孔質構造物は、次いで正確な嵩密度測定を行うために、炉から除去されそして表面を機械削りされる。表面の機械削りは、表面における開放孔を増加させることにもなる。第2の炭素マトリックスは、慣用CVI/CVD法によって多孔質構造物中に析出される。このように第2マトリックスは、第1マトリックス上に重なる。最終密度に到達した後、緻密化された構造物は機械にかけられ最終部品となる。1つの態様において、圧力勾配CVI/CVD法および慣用CVI/CVD法は、約1750〜1900°Fで実施され、そして熱処理は約3300〜4000°Fで実施される。このように、第1マトリックスは、中間熱処理法により第2マトリックスよりも高度の黒鉛化がなされている。
図20を参照すると、第1炭素マトリックスが多孔質構造物内に析出される圧力勾配CVI/CVD法から出発するこれに代わる別の方法が示されている。多孔質構造物は、次いで多孔質構造物を炉からあるいは固定具から除去することなしに、熱処理法に付される。第2炭素マトリックスは、次いで他の圧力勾配CVI/CVD法で析出され、その後直ちに多孔質構造物を炉あるいは固定具から除去することなしに熱処理法に付される。これに代わる別法として、多孔質構造物が加熱処理法前に炉および圧力勾配CVI/CVD固定具から除去され、そして第2圧力勾配CVI/CVD法の前に圧力勾配CVI/CVD固定具中に置換されてもよい。多孔質構造物は次いで、表面機械削り操作に付される。さらに、第2炭素マトリックスは、次いで慣用CVI/CVD法で析出される。第1および第2圧力勾配法および熱処理法中、多孔質構造物を同じ炉および固定具中に放置することは、“連続”法を生じる。
圧力勾配CVI/CVD固定具中で隣接する多孔質構造物の対の間の付加物支持ブロックは、熱処理法中たわみを防止するため必要である。
図21を参照すると、第1炭素マトリックスが多孔質構造物中に析出される圧力勾配CVI/CVD法で開始されるこれに代わる別法が示されている。多孔質構造物は表面が機械処理され、そして第2炭素マトリックスが慣用CVI/CVD法で析出され、次いで熱処理法がつづく。熱処理後、十分に緻密化された多孔質構造物は、次いで機械処理されて最終部品となる。図19〜21の方法のシークエンスを再配列すること、そして付加的工程を挿入することが、可能であることは明らかである。
第1炭素マトリックスと第2炭素マトリックスは、好ましくは粗い積層ミクロ構造からなっている。粗い積層ミクロ構造は、大きい密度(約2.1g/cc)、大きい熱伝導性および円滑な積層ミクロ構造(1.9〜2.0g/ccもしくはそれより小さい)よりも小さい硬さを持っている。粗い積層ミクロ構造は、ある種の炭素/炭素航空気ブレーキディスクに特に好ましい。ミクロ構造は、エム.エル.リーベルマンおよびエイチ.オー.ピエルソン、炭素/炭素コンポジットにおける得られたマトリックス熱分解炭素に及ぼすガス相条件の影響12 カーボン 233〜41(1974)に記載されているとおり、光学的に特徴づけることができる。
図23を参照すると、図19、20もしくは21のいずれかの方法に従って製造された緻密化された多孔質構造物が示されている。緻密化された多孔質構造物600は、内部円周面82に隣接する第1境界領域612および外部円周面84に隣接する第2境界領域614からなる。第1および第2境界領域612614は、緻密化された多孔質構造物600の厚さ全体に伸びており、そして対向面78と80によって制限されている。緻密化された多孔質構造600は圧力勾配CVI/CVD法に従って炭素繊維からなる多孔質構造物中に析出された第1炭素マトリックスを含有する。好ましい態様によれば、第1炭素マトリックスは、図5に関して記載された方法と似ている、全て“OD”環状スペーサー(図17と18)を持つ固定具200および/または201を用いる方法によって析出され、図11の緻密化された多孔質構造物330に類似する、密度分布が不均一に析出された第1炭素マトリックスを生じる。第1境界領域612は、境界領域612が第2境界領域614よりも大きい嵩密度増加を経験する圧力勾配CVI/CVD緻密化法の間に、第2境界領域614よりも高い反応剤ガス圧力に付される。1つの態様によれば、第2境界領域614は第1境界領域612に関して単位容積当り第1炭素マトリックスを約15%以下で持っており、そして第1炭素マトリックスは、好ましくは実質的に粗い層ミクロ構造を持っている。第2境界領域614は、第1境界領域612に関して単位体積当り第1炭素マトリックスを少なくとも10%少なく持っており、そして第1炭素マトリックスを20%、30%、40%またはそれより少なく持つことができる。緻密化された多孔質構造物600は慣用CVI/CVD法で析出された第1炭素マトリックスの上に重なる第2炭素マトリックスからなり、図12の緻密化構造物340に類似する最終密度分布を持つ緻密化多孔質構造物600を生成する。第2炭素マトリックスは、好ましくは粗い積層ミクロ構造を持っている。第1および第2炭素マトリックスは、好ましくは少なくとも90%の粗い積層ミクロ構造、さらに好ましくは少なくとも95%の粗い積層ミクロ構造、そしてある好ましい態様では100%の粗い積層構造を有している。
第1炭素マトリックスは、第2炭素マトリックスよりもさらに黒鉛化が進んでいる第1炭素マトリックスとする熱処理に付すことができる。黒鉛化の増進は、見掛け密度と熱伝導性を増加させる。このように、圧力勾配CVI/CVD法による最初の密度勾配は、第2炭素マトリックスの析出の後緻密化された多孔質構造物600において同定することができる。もし第1炭素マトリックスが図11に示されるような分布を持つとすると、第1境界部612は第2境界部614よりも一般に大きい熱伝導性を有し、そして第2炭素マトリックスが析出した後でさえ第2境界部614よりも一般に大きい見掛け密度を有する。緻密化された多孔質構造物600内に残存する閉じられた孔は、見掛け密度に影響する。孔の影響は、破砕見掛密度としてここに定義される破砕された試料の見掛け密度を測定することによって最小化することができる。ある種の技術によって、破砕見掛密度は、緻密化された多孔質構造物から試料を切り出し、そして荷重試験機の平行なスチール板の間で材料を破砕することによって測定される。
この試料は好ましくは試料が一片に維持されるように破砕される。これは断片化なしに試料が降伏点を通過するように圧縮することによって達成される。見掛け密度は、アメリカ合衆国、テキサス、ハウストンのエクソンケミカル アメリカズから入手可能なイソパールM(合成イソパラフィン性炭化水素)の如き鉱油を用いるアルキメデス法に従って測定される。真空は構造物中に鉱油を押し込むために用いられる。見掛密度は鉱油による浸透を受け入れない材料の密度の値である。試料の破砕は鉱油による浸透を受け入れなかった以前閉じていた孔を開放し、そして孔の影響を最小限にする。別法として、粉末化された試料の破砕見掛け密度はヘリウムピコノメーターを用いて測定することができる。緻密化された多孔質構造物600に類似する加工された緻密化された多孔質構造物の測定は、内部円周面82に隣接する破砕見掛け密度が外部円周面84に隣接する破砕見掛け密度よりも常に少なくとも0.2%大きく、0.4%および0.5%程度大きいこともありうることが明らかにされた。このように、破砕見掛け密度は、内側面82から外側面84へ一般に減少する傾向にある。
緻密化された多孔質構造物600(すぐ上のパラグラフに記載したような)に類似する緻密化された多孔質構造物の熱伝導性は、2つの方向;“熱平板伝導性”と云われる対向面78と80に垂直な方向、および"熱端縁伝導性"と云われる境界面82と84に垂直な方向(半径方向)で測定された。境界部614の熱平板伝導性は、対向面78と80で測定したとき境界部612よりも少なくとも5%少なかった。境界部614の熱端縁伝導性は、対向面78と80の間の距離の1/2で境界部612よりも少なくとも12%少なかった。境界部614の熱端縁伝導性は、対向面78と80で測定したとき境界面612よりも少なくとも5%少なかった。境界部614の熱端縁伝導性は、対向面78と80の間の距離1/2で測定したとき境界部612よりも少なくとも4%少なかった。このように、熱伝導性は、内側境界部612から外側境界部614に向かって一般に減少する傾向にある。この傾向は、第1マトリックスが第2マトリックスよりもより黒鉛化が進行していることによって誘導される。
以下の実施例は、本発明の種々の局面をさらに説明している。
実施例1
慣用のCVI/CVD法のためのベースラインが次のようにして確立された。
約1.5インチ厚の繊維質テキスタイル構造物が一軸のポリアクリロニトリル繊維の320Kトウから出発して、米国特許第4,790,052号の図1〜4に従って製造された。次いで、外径約7.5インチ、内径約2.5インチを持つ環状多孔質構造物が、このテキスタイル構造物から切り取られた。
この環状多孔質構造物は、繊維を炭素に変換するため次いで熱分解された。嵩密度0.49g/ccを持つ熱分解された多孔質構造物が次いで図14の炉11に類似する炉内に置かれた。
炉容積中の圧力が10トルに減じられ、そして炉は加熱されそして図14の温度センサー76と同様に配置された温度センサーによって測定したとき、約1860°Fの温度で安定化された。反応剤ガス混合物が図14に関して記載されているとおりに導入され、そして慣用のCVI/CVD法の典型的手法で多孔質構造の上と周囲に自由に分散するのが許容された。反応剤ガス混合物は87%(容積パーセント)天然ガスと13%プロパンからなり、4000sccm(1分間当りの標準立方センチメートル)の流速と約1秒の反応容器容積中の滞留時間であった。天然ガスは96.4%メタン(容積パーセント)、1.80%エタン、0.50%プロパン、0.15%ブタン、0.05%ペンタン、0.70%二酸化炭素および0.4%窒素の組成を持っていた。この方法は、多孔質構造の嵩密度増加を測定するため3度停止された。全析出法時間は306時間であった。析出の平均速度は、3つの緻密化実験のそれぞれについて計算された。この実施例の試験条件とデータは、累積析出時間および注目した各累積時間における全密度増加と一緒に、表1に示した。
この方法の最後において、緻密化された多孔質構造物内に析出した炭素マトリックスは、多孔質構造物の表面に円滑な積層クロ構造の最小限の析出しか伴わず、ほとんど全て粗い積層クロ構造からなっていた。
Figure 0004171740
実施例2
1.6インチ厚、外径6.2インチおよび内径1.4インチを持つ環状多孔質構造物が繊維質テキスタイル構造物から切り取られ、そして慣用のCVI/CVD法によって実施例1に従って加工された。この実施例の試験条件とデータは表2に示されている。
Figure 0004171740
実施例3
繊維質テキスタイル構造物から製造され、そして実施例1に記載したと同じ大きさを持つ2つの環状多孔質構造物(ディスクAとB)が、図1の炉10に類似する炉、ID/ODスペーサーを持つ図2の固定具2に類似する固定具および実施例1の反応剤ガス混合物を用いて、圧力勾配CVI/CVD法によって緻密化された。この実施例の試験条件およびデータは表3示されている。
炉圧は10トルであった。ガス流の温度は、図1の温度センサー74のような温度センサーによって測定したとき1740°Fであると予測された。ガスは4000sccmの流速で、図2に関して前述したように、多孔質構造物を通して流された。
ディスクA内に析出された炭素マトリックスは、全て粗い積層クロ構造からなっていた。ディスクBのクロ構造は、評価されなかった。ディスクAは、小さなサンプルに切断され、そしてこれらのサンプルの嵩密度値がアルキメデス法を用いて決定され、そして図8に類似する密度プロファイルが得られた。

Figure 0004171740
実施例4
3つの環状多孔質構造物(ディスクA、BおよびC)が製造され、そして多孔質構造物が一層均一な最終密度分布を得るために、この方法中軽く払われて一部が除かれたこと以外、実施例3に従って圧力勾配CVI/CVD法によって独立に緻密化された。ガス流の温度は図1の温度センサー74のような温度センサーによって測定したとき約1740°Fであった。この実施例の試験条件およびデータは表4に示されている。ディスクAとC内に析出された炭素マトリックスは、軽く払う前は全て粗い積層であり、そして軽く払った後は本質的に円滑な積層であった。ディスクBのミクロ構造は決定されなかった。最終的な緻密化多孔質構造体は図9に類似の密度プロファイルを有していた。
Figure 0004171740
実施例5
繊維質テキスタイル構造物から製造され、そして実施例1に記載したと同じ大きさを持つ2つの多孔質構造物が、全て“ID”スペーサーを持つ図4の固定具6に類似する固定具と実施例1の反応剤ガス混合物を用いて、圧力勾配CVI/CVD法によって、同時に緻密化された。ガス流の温度は図1の温度センサー74の如き温度センサーによって測定したとき1745℃と予測された。この実施例の試験条件とデータは表5に示されている。表5の密度増加は2つのディスクの平均値である。この方法の最後における、緻密化された多孔質構造物内に析出した炭素マトリックスは全て粗い積層ミクロ構造からなっていた。ディスクの計算されたトマグラフィー走査は、図10に類似する密度プロファイルを示した。
Figure 0004171740
実施例6
繊維質テキスタイル構造物から製造され、そして実施例1に記載したと同じ大きさを持つ4つの環状多孔質構造物が、全て“OD”スペーサーを持つ図5の固定具8と同様の固定具および実施例1の反応剤ガス混合物を用いて、圧力勾配CVI/CVD法によって緻密化された。2つのディスクが同時に緻密化され(ディスク対AとB)、そして反応剤ガス流速がディスク当りの流速を4000sccmに維持するために2倍にされた。ガス流の温度は図1の温度センサー74の如き温度センサーによって測定したとき約1750°Fであった。この実施例の試験条件とデータは表6に示されている。表6の密度増加は各ディスク対の平均値である。この方法の最後における、緻密化された多孔質構造体内に析出された炭素マトリックスは、全て粗い積層ミクロ構造からなっていた。ディスク対Bの計算されたトマグラフィー走査は図11に類似する密度プロファイルを示した。
Figure 0004171740
実施例7
環状多孔質構造体が繊維質テキスタイル構造物から製造され、実施例2に記載されたと同じ大きさを有し、そして逆流法で、全て“ID”シールを持つ図7の固定具7に類似する固定具および実施例1の反応剤ガス混合物を用いて、圧力勾配CVI/CVD法によって緻密化された。ガス流の温度は図1の温度センサー74の如き温度センサーによって測定したとき1730℃と予測された。反応剤ガスは図7に関して、前に記載したとおりの多孔質構造を通して3000sccmの流速で(ディスクが実施例3〜6で用いられたディスクよりも小さかったので、流速は低かった)流された。この実施例の試験条件およびデータは表7に示されている。
この方法の最後において、緻密化された多孔質構造内に析出された炭素マトリックスはほとんど円滑な積層ミクロ構造からなっていた。
Figure 0004171740
さて、図24を参照すると、表1〜7に示されたデータがグラフの形で示されている。表1および2のデータは慣用のCVI/CVDを表している1本の円滑な曲線516として表されている。表3および4のデータは“ID/OD”スペーサーを用いる圧力勾配CVI/CVDを表している1本の円滑な曲線518として表されている。表5のデータは全て“ID”スペーサーを用いる圧力勾配CVI/CVDを表している1本の円滑な曲線520として表されている。表6のデータは、全て“OD”スペーサーを用いる圧力勾配CVI/CVDを表している1本の円滑な曲線522として表されている。表7のデータは全て“ID”スペーサーを用いる逆流圧力勾配CVI/CVDを表わす曲線524として表されている。緻密化速度は、慣用CVI/CVD緻密化速度の約1.1/2〜5倍の係数だけ増加した。1g/ccの嵩密度上昇(増加)を達成する時間は慣用CVI/CVD時間に関して約25%から80%減少した。可能な限り多くの漏れを防止することの重要性は図24から明らかである。如何なる漏れも最大到達可能速度から緻密化速度を減少させる。
増加した緻密化速度は少量であれば漏れを併った場合でさえ達成可能である。
このように、本発明の範囲内に残りながら幾分かの漏れは起こり得る。
さて、図25を参照すると、緻密化速度対標準化流れを表す曲線が示されている。標準化流れは、F*として示されており、そしてディスクの単位体積当りの流量を表している(例えばディスク体積1000cc当り4000sccm=4min−1)。付加的試験は、反応剤ガスの流速が1つの試験から次の試験へ変化されたことを除き、実施例6および7に従った試験であった。流れを変えて実施例6に従って行われた試験のデータが表8に示されており、そして流速を変えて実施例7に従って行われた試験のデータは表9に示されている。曲線526は慣用CVI/CVDを表している。表8のデータは全て“OD”スペーサー(図5)を用いた圧力勾配CVI/CVDを表す曲線528として表されている。表9のデータは全て“ID”スペーサー(図7)を用いた逆流圧力勾配CVI/CVDを表す曲線530として表されている。
Figure 0004171740
Figure 0004171740
さて、図26を参照すると、緻密化速度対標準化流れを表す曲線が示されている。付加的試験は、炉容積圧力および反応剤ガスの流速が1つの試験から次の試験へ変化されたことを除き、上記実施例6(全て“OD”スペーサーを用いた圧力勾配)に従う試験であった。これらの試験のデータは、表10に示されている。表10のデータは、3本の曲線532、534および536として表されている。曲線532は、図1のセンサー72の如き圧力センサーによって測定したとき、10トルの炉容積圧力におけるデータを表している。曲線534は図1のセンサー72の如き圧力センサーによって測定したとき25トルの炉容積圧力におけるデータを表している。曲線532は図1のセンサー72の如き圧力センサーによって測定したとき50トルの炉容積圧力におけるデータを表している。これらの試験の全てにおいて析出されたマトリックスは、全て粗い積層ミクロ構造からなっていた。図26に示されているとおり、緻密化速度における付加的増加は、所望の粗い積層ミクロ構造を維持しながら、炉容積圧力(反応器圧力)を増加させることによって実現されうる。これは驚くべき発見であった。
Figure 0004171740
さて、図27を参照すると、多孔質構造物を横切る圧力差対嵩密度が幾つかのガス流速について示されている。付加的試験は、流速を変えて実施例6に従う試験であった。これらの試験のデータは、表11に示されている。表11のデータは、図27に流速がディスク当り1000sccmについて曲線538の第1セット、流速がディスク当り2000sccmについて曲線540の第2セットおよび流速がディスク当り4000sccmについて曲線542の第3セットとして示されている。これらの試験の全てにおいて析出されたマトリックスは、全て粗い積層ミクロ構造からなっていた。表11は多孔質構造物を横切る最初の圧力差、多孔質構造物を横切る最後の圧力差、および一定に保持された炉積層圧力(反応器圧力)を包含する。
図27に示されているとおり、多孔質構造物を横切る圧力勾配は、所望の粗い積層ミクロ構造を維持しながら少なくとも80トル程に高かった(それは多孔質構造物の高圧側において90トルを示している)。
Figure 0004171740
力勾配CVI/CVD法が1800〜2000°Fの範囲の部分温度、10〜150トルの範囲の反応器圧力、0.4〜10min−1の範囲の標準化反応剤ガス流速(F*)および天然ガスと0−40%(容積%)プロパンの炭化水素反応剤ガス混合物で、実施できることがこれらの試験で示された。
これらの範囲にある方法の実施は、粗い積層および/または円滑な積層のミクロ構造を生み出す。これらのプロセスパラメーターの全てが、これらの範囲のそれぞれの高い極端にあるか、あるいはその近傍にあってこの方法を実施すると、タール化あるいはスス化を起こす。CVI/CVD方法の技術分野で知られた他の炭素を持つガス、圧力および温度は、置換できる。
力勾配CVI/CVD法、次いで慣用CVI/CVD法によって多孔質構造物を緻密化することは、慣用CVI/CVD法によってのみ緻密化された比較多孔質構造物よりも一層均一な密度分布を持つ緻密化された多孔質構造物を生成する。1つの態様によって、例えば約10.5インチの内径を持つ環状多孔質炭素構造物(図23に602として示されている)、約5.23インチのウェブ(図23に604として示されている)および約1.25インチの厚さ(図23に606として示されている)を持つ環状多孔質炭素構造物が炉400(図15)の如き炉中固定具201(図18)の如き固定具を用いて圧力勾配CVI/CVD法(実施例6の条件)によって析出された炭素マトリックスで先ず緻密化され、図11の緻密化構造330に類似する密度分布を与えた。炭素マトリックスは、さらに慣用CVI/CVD法(実施例1の条件)によって析出され、図12のそして約1.77g/ccの平均嵩密度を持つ緻密化構造340に類似した密度分布を与えた。標準統計実務に従えば、緻密化構造中の嵩密度の標準偏差は、約0.06g/ccである。慣用CVI/CVD法のみによって同等の平均嵩密度に緻密化された比較多孔質炭素構造中の嵩密度の標準偏差は、約0.09g/ccである。このように、圧力勾配CVI/CVD法、次いで慣用CVI/CVD法によって緻密化された多孔質構造は、慣用CVI/CVD法のみによって緻密化された多孔質構造よりもより均一である。境界変動および全変動が減少される。均一性は炭素/炭素航空機ブレーキディスクにとって望ましい。
上記方法に従って製造された炭素/炭素構造中の嵩密度の標準偏差は、好ましくは0.07g/ccよりも小さいか等しく、さらに好ましくは0.06g/ccもしくは0.05g/ccよりも小さいか等しく、そして最も好ましくは0.04もしくは0.03g/ccよりも小さいか等しい。どの緻密化された多孔質構造における嵩密度の変動係数も好ましくは4%より小さいか等しく、さらに好ましくは3.5%もしくは3%よりも小さいか等しく、最も好ましくは2.3%もしくは1.8%よりも小さいか等しい。
求範囲によって規定される本発明の範囲を逸脱することなしに、多くの変形が可能であることは明らかである。
本発明の説明のために用いられるCVI/CVD加熱炉の概略断面図である。 本発明の説明のために用いられる圧力勾配CVI/CVDのための固定具の断面図である。 本発明の説明のために用いられる固定具の断面図である。 本発明の説明のために用いられる固定具の断面図である。 本発明の説明のために用いられる固定具の断面図である。 本発明の説明のために用いられる固定具の断面図である。 本発明の説明のために用いられる固定具の断面図である。 本発明の一局面による緻密化された構造の断面図である。 本発明の一局面による緻密化された構造の断面図である。 本発明の一局面による緻密化された構造の断面図である。 本発明の一局面による緻密化された構造の断面図である。 本発明の一局面による緻密化された構造の断面図である。 発明の一局面による緻密化された構造の断面図である。 慣用CVI/CVD法のための加熱炉の概略断面図である。 本発明の説明のために用いられる圧力勾配CVI/CVD法によって多数の多孔質構造物を同時に緻密化するための加熱炉の概略断面図である。 本発明の説明のために用いられる予熱装置の透視図である。 本発明の説明のために用いられる多孔質構造物の固定具である。 本発明の説明のために用いられる多孔質構造物の固定具である。 本発明の説明のために用いられる方法である。 本発明の説明のために用いられる方法である。 本発明の説明のために用いられる方法である。 図16の予熱装置と使用される代わりの被覆板である。 本発明の一局面による緻密化された構造の側面図である。 本発明の説明のために用いられる様々な方法の嵩密度増加と時間の関係を表わすグラフである。 本発明の説明のために用いられる様々な方法に対する平均速度と標準化反応剤ガスの流れとの関係を表わすグラフである。 本発明の説明のために用いられる様々な反応器容積圧に対する平均析出速度と標準化反応剤ガスの流れとの関係を表わすグラフである。 本発明の説明のために用いられる様々な反応剤ガスの流動速度と反応器容積圧に対する多孔質壁を横切る圧力の変化と平均嵩密度との関係を表わすグラフである。 代わりの“OD”および“ID”環のようなスペーサーを有する多孔質構造物を保持するための固定具である。 すべて“ID”環のようなスペーサーだけを有する多孔質構造物を保持するための固定具である。

Claims (17)

  1. 環状多孔質構造内に堆積された第1炭素マトリックスと、該環状多孔質構造内に該第1炭素マトリックスに上掛けして堆積された第2炭素マトリックスとを持つ緻密化された環状多孔質構造からなる摩擦ディスクであって、該緻密化された環状多孔質構造は、内部円周面および該内部円周面から間隔を置いて離れ且つ該内部周面を取り巻いている外部円周面と境界を接している2つの平行な平坦面、該内部円周面に隣接する第1境界部分および該外部円周面に隣接する第2境界部分を有し、ここで該第1および第2境界部分は該2つの平行な平坦面と境界を接しており、該第2境界部分は該第1境界部分に比較して単位体積当り該第1炭素マトリックスを少なくとも10%少なく含有し、該第1炭素マトリックスと該第2炭素マトリックスは粗い積層ミクロ構造を有し、そして該第1炭素マトリックスは該第2炭素マトリックスよりも黒鉛化が進んでいる、ことを特徴とする摩擦ディスク。
  2. 該第1炭素マトリックスと該第2炭素マトリックス、少なくとも90%は、粗い積層ミクロ構造からなる、請求項1の摩擦ディスク。
  3. 該第1境界部分は、該2つの平行な平坦面に垂直な方向に、該第2境界部分よりも大きい熱伝導性を持つ、請求項1の摩擦ディスク。
  4. 該第1境界部分は、該内部および外部円周面に垂直な方向に、該第2境界部分よりも大きい熱伝導性を持つ、請求項1の摩擦ディスク。
  5. 該第1境界部分からの破砕試料は該第2境界部分からの破砕試料よりも大きい見掛密度を持つ、請求項1の摩擦ディスク。
  6. 該第1境界部分からの破砕試料は該第2境界部分からの破砕試料よりも0.2%大きい見掛密度を持つ、請求項1の摩擦ディスク。
  7. 該第1炭素マトリックスは該第2炭素マトリックスよりも大きい熱伝導性を持つ、請求項1の摩擦ディスク。
  8. 該第1炭素マトリックスは該第2炭素マトリックスよりも大きい見掛け密度を持つ、請求項1の摩擦ディスク。
  9. 該環状多孔質構造は炭素繊維からなる、請求項1の摩擦ディスク。
  10. 該緻密化された環状多孔質構造は環状の繊維質構造からなる、請求項1の摩擦ディスク。
  11. 該緻密化された環状多孔質構造は炭素繊維を持つ環状の繊維質構造からなる、請求項1の摩擦ディスク。
  12. 該第1境界部分は、該2つの平行な平坦面に垂直な方向に、該第2境界部分よりも大きい熱伝導性を持つ、請求項11の摩擦ディスク。
  13. 該第1境界部分は、該内部および外部円周面に垂直な方向に、該第2境界部分よりも大きい熱伝導性を持つ、請求項11の摩擦ディスク。
  14. 該第1境界部分からの破砕試料は該第2境界部分からの破砕試料よりも大きい見掛密度を持つ、請求項11の摩擦ディスク。
  15. 該緻密化された環状多孔質構造は、炭素繊維のみを持つ環状の繊維質構造からなる、請求項1の摩擦ディスク。
  16. 該2つの平行な平坦面に垂直方向の熱伝導性および該緻密化された環状多孔質構造の破砕試料の見掛密度は、該内部円周面から該外部円周面へ半径方向に減少している、請求項1〜15のいずれかによる摩擦ディスク。
  17. 該緻密化された環状多孔質構造は、炭素繊維からなる、請求項16の摩擦ディスク。
JP2005312778A 1994-11-16 2005-10-27 摩擦ディスク Expired - Fee Related JP4171740B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US34051094A 1994-11-16 1994-11-16

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51635896A Division JP3754450B2 (ja) 1994-11-16 1995-11-16 圧力勾配cvi/cvd法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006320423A Division JP2007146298A (ja) 1994-11-16 2006-11-28 圧力勾配cvi/cvd装置および方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006118716A JP2006118716A (ja) 2006-05-11
JP4171740B2 true JP4171740B2 (ja) 2008-10-29

Family

ID=23333684

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51635896A Expired - Fee Related JP3754450B2 (ja) 1994-11-16 1995-11-16 圧力勾配cvi/cvd法
JP2005312778A Expired - Fee Related JP4171740B2 (ja) 1994-11-16 2005-10-27 摩擦ディスク
JP2006320423A Pending JP2007146298A (ja) 1994-11-16 2006-11-28 圧力勾配cvi/cvd装置および方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51635896A Expired - Fee Related JP3754450B2 (ja) 1994-11-16 1995-11-16 圧力勾配cvi/cvd法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006320423A Pending JP2007146298A (ja) 1994-11-16 2006-11-28 圧力勾配cvi/cvd装置および方法

Country Status (12)

Country Link
US (4) US5853485A (ja)
EP (2) EP0792384B1 (ja)
JP (3) JP3754450B2 (ja)
KR (1) KR100389502B1 (ja)
CN (1) CN1171137A (ja)
AT (2) ATE172753T1 (ja)
AU (1) AU4240196A (ja)
CA (1) CA2205087A1 (ja)
DE (2) DE69526259T2 (ja)
DK (1) DK0792384T3 (ja)
ES (1) ES2125058T3 (ja)
WO (1) WO1996015285A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101483315B1 (ko) 2006-10-29 2015-01-15 메씨어-부가띠-다우티 다공성 제품들의 조밀화 방법

Families Citing this family (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69526259T2 (de) 1994-11-16 2002-11-07 Goodrich Co B F Vorrichtung zur Druckfeld CVD/CVI, Verfahren und Produkt
FR2732677B1 (fr) * 1995-04-07 1997-06-27 Europ Propulsion Procede d'infiltration chimique en phase vapeur avec parametres d'infiltration variables
FR2733254B1 (fr) * 1995-04-18 1997-07-18 Europ Propulsion Procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux disposes en piles annulaires
US5908792A (en) 1995-10-04 1999-06-01 The B. F. Goodrich Company Brake disk having a functional gradient Z-fiber distribution
US6669988B2 (en) * 2001-08-20 2003-12-30 Goodrich Corporation Hardware assembly for CVI/CVD processes
US6352430B1 (en) 1998-10-23 2002-03-05 Goodrich Corporation Method and apparatus for cooling a CVI/CVD furnace
US6062851A (en) * 1998-10-23 2000-05-16 The B. F. Goodrich Company Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid
US7476419B2 (en) 1998-10-23 2009-01-13 Goodrich Corporation Method for measurement of weight during a CVI/CVD process
US6440220B1 (en) 1998-10-23 2002-08-27 Goodrich Corporation Method and apparatus for inhibiting infiltration of a reactive gas into porous refractory insulation
US6162298A (en) * 1998-10-28 2000-12-19 The B. F. Goodrich Company Sealed reactant gas inlet for a CVI/CVD furnace
KR20000046418A (ko) * 1998-12-31 2000-07-25 추호석 브레이크 디스크의 제조방법
US6169274B1 (en) * 1999-03-01 2001-01-02 Tokyo Electron Ltd. Heat treatment apparatus and method, detecting temperatures at plural positions each different in depth in holding plate, and estimating temperature of surface of plate corresponding to detected result
IT1312150B1 (it) * 1999-03-25 2002-04-09 Lpe Spa Perfezionata camera di reazione per reattore epitassiale
EP1065294B1 (en) 1999-06-04 2003-10-15 Goodrich Corporation Method and apparatus for pressure measurement in a CVI/CVD furnace
US6257881B1 (en) 1999-06-04 2001-07-10 The B.F. Goodrich Company Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid
EP1063319B1 (en) 1999-06-04 2005-12-07 Goodrich Corporation Method and apparatus for cooling a CVI/CVD furnace
CA2299225C (en) * 1999-09-06 2006-09-19 Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing ceramic-based composite member
DE10009530A1 (de) * 2000-02-29 2001-09-13 Klaus J Huettinger Verfahren zur Chemischen Gasphaseninfiltration von refraktären Stoffen, insbesondere Kohlenstoff, sowie von faserverstärktem Kohlenstoff
JP2004510674A (ja) 2000-09-29 2004-04-08 グッドリッチ・コーポレイション 炭化ホウ素をベースとしたセラミックマトリックス複合材料
US7378362B2 (en) * 2000-09-29 2008-05-27 Goodrich Corporation Boron carbide based ceramic matrix composites
FR2821859B1 (fr) 2001-03-06 2004-05-14 Snecma Moteurs Procede pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur de substrats poreux ayant un passage central
DE10119571C1 (de) * 2001-04-21 2002-11-28 Schott Glas Verfahren zum gleichmäßigen Beschichten von Hohlkörpern und deren Verwendung
US6758909B2 (en) * 2001-06-05 2004-07-06 Honeywell International Inc. Gas port sealing for CVD/CVI furnace hearth plates
KR100400044B1 (ko) * 2001-07-16 2003-09-29 삼성전자주식회사 간격 조절 장치를 가지는 웨이퍼 처리 장치의 샤워 헤드
US6953605B2 (en) * 2001-12-26 2005-10-11 Messier-Bugatti Method for densifying porous substrates by chemical vapour infiltration with preheated gas
FR2834713B1 (fr) * 2002-01-15 2004-04-02 Snecma Moteurs Procede et installation pour la densification de substrats par infiltration chimique en phase vapeur
US6572371B1 (en) * 2002-05-06 2003-06-03 Messier-Bugatti Gas preheater and process for controlling distribution of preheated reactive gas in a CVI furnace for densification of porous annular substrates
FR2842193B1 (fr) 2002-07-12 2004-10-01 Messier Bugatti Procede et installation pour le traitement thermique a haute temperature et la densification par infiltration chimique en phase vapeur de textures en carbone
ATE398193T1 (de) * 2002-10-24 2008-07-15 Goodrich Corp Verfahren und vorrichtung zur stückweisen und zur kontinuierlichen verdichtung durch chemische dampfphaseninfitration (cvi)
JP2004143521A (ja) * 2002-10-24 2004-05-20 Sony Corp 薄膜形成装置
UA84862C2 (en) 2003-03-03 2008-12-10 Месье-Бугатти Substrate
FR2854168B1 (fr) * 2003-04-28 2007-02-09 Messier Bugatti Commande ou modelisation de procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux par du carbone
US7846506B1 (en) 2003-06-13 2010-12-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Metal coatings for reduced friction in composites
GB2403989B (en) * 2003-07-15 2006-06-14 Dunlop Aerospace Ltd Composite article
US7437944B2 (en) * 2003-12-04 2008-10-21 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for pressure and mix ratio control
US7335397B2 (en) * 2004-02-16 2008-02-26 Goodrich Corporation Pressure gradient CVI/CVD apparatus and method
US20050271876A1 (en) * 2004-06-04 2005-12-08 Walker Terrence B Method for producing carbon-carbon brake material with improved initial friction coefficient or 'bite'
US7332195B2 (en) * 2004-08-26 2008-02-19 Honeywell International Inc. Chemical vapor deposition method
US7241476B2 (en) * 2004-09-16 2007-07-10 Honeywell International Inc. Airflow masking of carbon-carbon composites for application of antioxidants
US7666475B2 (en) 2004-12-14 2010-02-23 Siemens Energy, Inc. Method for forming interphase layers in ceramic matrix composites
US7431978B2 (en) * 2004-12-22 2008-10-07 General Electric Company Reinforced matrix composite containment duct
US7332049B2 (en) * 2004-12-22 2008-02-19 General Electric Company Method for fabricating reinforced composite materials
US7335012B2 (en) * 2004-12-22 2008-02-26 General Electric Company Apparatus for fabricating reinforced composite materials
US7455433B2 (en) * 2005-01-05 2008-11-25 The L.D. Kichler Co. Light fixture with quick support assembly
FR2881145B1 (fr) 2005-01-24 2007-11-23 Snecma Propulsion Solide Sa Procede d'infiltration chimique en phase gazeuse pour la densification de substrats poreux par du carbone pyrolytique
FR2882064B1 (fr) * 2005-02-17 2007-05-11 Snecma Propulsion Solide Sa Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats
CN100460359C (zh) * 2005-03-21 2009-02-11 西安航天复合材料研究所 一种炭/炭磁浮列车滑撬的制造方法
US8057855B1 (en) 2005-05-31 2011-11-15 Goodrich Corporation Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
US7691443B2 (en) 2005-05-31 2010-04-06 Goodrich Corporation Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
KR100794719B1 (ko) * 2005-11-02 2008-01-15 주식회사 실트론 화학 기상 증착 장치용 서셉터
US20070269597A1 (en) * 2006-05-17 2007-11-22 Honeywell International Inc. Modified CVD cooling loop
US7771194B2 (en) * 2006-05-26 2010-08-10 Honeywell International Inc. Gas preheater for chemical vapor processing furnace having circuitous passages
US20100072002A1 (en) * 2006-08-29 2010-03-25 Honeywell International Inc. Aircraft brake using mixed carbon composite friction couple with different degrees of graphitization for improved rejected take off and wear performance
US7892646B1 (en) * 2007-04-04 2011-02-22 Goodrich Corporation Pressure gradient CVI/CVD process
FR2919309B1 (fr) * 2007-07-25 2011-07-22 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif d'infiltration d'une structure en materiau poreux par depot chimique en phase vapeur.
US20090061085A1 (en) * 2007-09-04 2009-03-05 Honeywell International Inc. Expedited manufacture of carbon-carbon composite brake discs
US8281907B2 (en) * 2007-12-03 2012-10-09 Honeywell International Inc. Brake assembly having multi-piece core and replaceable friction surfaces
US7897072B2 (en) * 2008-03-17 2011-03-01 Honeywell International Inc. Densification of carbon fiber preforms with pitches for aircraft brakes
US10655219B1 (en) * 2009-04-14 2020-05-19 Goodrich Corporation Containment structure for creating composite structures
US10689753B1 (en) * 2009-04-21 2020-06-23 Goodrich Corporation System having a cooling element for densifying a substrate
US9017761B2 (en) 2009-05-20 2015-04-28 Honeywell International Inc. Low cost, high density C-C composites densified by CVD/CVI for aircraft friction materials
US8383197B2 (en) * 2009-05-28 2013-02-26 Honeywell International Inc. Titanium carbide or tungsten carbide with combustion synthesis to block porosity in C-C brake discs for antioxidation protection
US20110033623A1 (en) * 2009-08-05 2011-02-10 Honeywell International Inc. Method of preventing carbon friction material anti oxidation system migration by utilizing carbon vapor deposition
US20110033622A1 (en) * 2009-08-06 2011-02-10 Honeywell International Inc. Nonwoven preforms made with increased areal weight fabric segments for aircraft friction materials
US20110064891A1 (en) * 2009-09-16 2011-03-17 Honeywell International Inc. Methods of rapidly densifying complex-shaped, asymmetrical porous structures
CN101671189B (zh) * 2009-09-23 2012-07-18 北京航空航天大学 国产炭纤维快速定向渗积制备高性能炭基复合材料的方法
US9353816B2 (en) * 2009-10-09 2016-05-31 Honeywell International Inc. Low cost, high density aircraft friction materials utilizing low fiber volume nonwoven preforms with pitch densification
US20110111123A1 (en) * 2009-11-12 2011-05-12 Honeywell International Inc. Increased area weight segments with pitch densification to produce lower cost and higher density aircraft friction materials
US10443124B1 (en) * 2010-09-09 2019-10-15 Goodrich Corporation Process and apparatus for making composite structures
CN101975735B (zh) * 2010-09-09 2012-05-16 西北工业大学 多孔材料多场耦合渗透率测量装置及其测量方法
CN101975734B (zh) * 2010-09-09 2012-05-30 西北工业大学 多孔材料流—固—热多场耦合渗透率测量装置及其测量方法
JP2012195565A (ja) * 2011-02-28 2012-10-11 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置、基板処理方法及び半導体装置の製造方法
US8956683B2 (en) * 2011-06-16 2015-02-17 Zimmer, Inc. Chemical vapor infiltration apparatus and process
JP5936394B2 (ja) * 2012-03-14 2016-06-22 日立造船株式会社 蒸着装置
US9523149B2 (en) 2013-03-14 2016-12-20 Rolls-Royce Corporation Rapid ceramic matrix composite production method
US9605345B2 (en) * 2013-08-23 2017-03-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Vertical furnace for improving wafer uniformity
KR101543217B1 (ko) * 2014-02-27 2015-08-10 (주) 데크카본 항공기 브레이크 디스크를 만드는 방법
DE102014226138A1 (de) 2014-12-16 2016-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
US10648075B2 (en) * 2015-03-23 2020-05-12 Goodrich Corporation Systems and methods for chemical vapor infiltration and densification of porous substrates
US9834842B2 (en) * 2015-05-15 2017-12-05 Goodrich Corporation Slotted seal plates and slotted preforms for chemical vapor deposition densification
CN105367105B (zh) * 2015-11-27 2017-12-29 西北工业大学 机械加工辅助cvi制备厚壁陶瓷基复合材料的方法
US9963779B2 (en) 2016-02-29 2018-05-08 Goodrich Corporation Methods for modifying pressure differential in a chemical vapor process
US10407769B2 (en) * 2016-03-18 2019-09-10 Goodrich Corporation Method and apparatus for decreasing the radial temperature gradient in CVI/CVD furnaces
DE102016215616B4 (de) 2016-08-19 2020-02-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur und Vorrichtung
DE102016215617A1 (de) 2016-08-19 2018-02-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
CA2974387A1 (en) * 2016-08-30 2018-02-28 Rolls-Royce Corporation Swirled flow chemical vapor deposition
KR102362032B1 (ko) * 2017-03-16 2022-02-14 삼성전자주식회사 기판 처리 장치
US20190092699A1 (en) * 2017-09-25 2019-03-28 General Electric Company Method for manufacturing ceramic matrix composite
US11236021B2 (en) 2017-12-22 2022-02-01 Goodrich Corporation Mitigating pyrophoric deposits in exhaust piping during SIC CVI/CVD processes by introducing water vapor into an outlet portion of a reaction chamber
JP7154777B2 (ja) * 2018-02-28 2022-10-18 イビデン株式会社 セラミック複合材の製造方法、及び、固定治具
US10471947B1 (en) 2018-04-27 2019-11-12 Honeywell International Inc. Determining estimated remaining use of brake assembly by transceiver
FR3083229B1 (fr) * 2018-06-27 2020-09-11 Safran Ceram Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaires poreux
US10941826B2 (en) 2018-09-12 2021-03-09 Honeywell International Inc. Determining estimated remaining use of brake assembly
US11820716B2 (en) * 2018-10-18 2023-11-21 Rolls Royce North American Technologies Inc. Method of fabricating cooling features on a ceramic matrix composite (CMC) component
US10837109B2 (en) * 2018-11-15 2020-11-17 United Technologies Corporation CVI/CVD matrix densification process and apparatus
FI129040B (fi) * 2019-06-06 2021-05-31 Picosun Oy Fluidia läpäisevien materiaalien päällystäminen
CN110428918B (zh) * 2019-08-08 2021-07-20 中国核动力研究设计院 一种高致密度复合材料包壳管的快速致密化方法及其装置
CN113683436B (zh) * 2021-08-27 2022-09-16 清华大学 一种进气组件、气相沉积装置及其复合材料制备方法
US11912628B1 (en) 2021-12-29 2024-02-27 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Slurry infiltration fixture
US11932941B1 (en) 2021-12-29 2024-03-19 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
CN114853495A (zh) * 2022-04-21 2022-08-05 西安超码科技有限公司 一种高压强热压烧结炉用炭/炭热压模具的制备方法

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3802849A (en) * 1969-01-31 1974-04-09 Toyoda Chuo Kenkyusho Kk Method for making a sintered body having integral portions of different density
US3895084A (en) * 1972-03-28 1975-07-15 Ducommun Inc Fiber reinforced composite product
US3991248A (en) * 1972-03-28 1976-11-09 Ducommun Incorporated Fiber reinforced composite product
GB1490347A (en) * 1974-02-08 1977-11-02 Dunlop Ltd Friction members
GB1586959A (en) * 1976-08-11 1981-03-25 Dunlop Ltd Method and apparatus for the production of carbon/carbon composite material
US4431450A (en) * 1981-02-23 1984-02-14 Jujo Paper Co., Ltd. Desensitizing ink for pressure sensitive copying sheets
FR2508999B1 (fr) * 1981-07-01 1986-08-22 Lorraine Carbone Disque de frein en materiau composite carbone-carbone et modes de realisation
US4369031A (en) * 1981-09-15 1983-01-18 Thermco Products Corporation Gas control system for chemical vapor deposition system
US4580524A (en) * 1984-09-07 1986-04-08 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Process for the preparation of fiber-reinforced ceramic composites by chemical vapor deposition
US4775705A (en) * 1984-10-20 1988-10-04 T&N Plc Friction materials and their manufacture
JPS6266353A (ja) * 1985-09-18 1987-03-25 Nec Corp デ−タ記憶回路
FR2587992B1 (fr) * 1985-10-02 1995-07-13 Europ Propulsion Materiau composite carbone-carbone pour pieces de friction, et son application aux dispositifs de freinage
US5391232A (en) * 1985-12-26 1995-02-21 Canon Kabushiki Kaisha Device for forming a deposited film
US5322568A (en) 1985-12-28 1994-06-21 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus for forming deposited film
JPH0785174B2 (ja) 1986-01-18 1995-09-13 キヤノン株式会社 超薄膜積層構造を有する光受容部材
FR2594119B1 (fr) * 1986-02-10 1988-06-03 Europ Propulsion Installation pour l'infiltration chimique en phase vapeur d'un materiau refractaire autre que le carbone
JPS63295476A (ja) * 1987-05-28 1988-12-01 Nippon Steel Corp 炭素繊維強化炭素材料の製造方法
FR2616779B1 (fr) * 1987-06-18 1992-09-04 Aerospatiale Procede de fabrication d'une piece notamment d'un disque de frein en carbone-carbone et piece obtenue
US5405560A (en) 1987-06-18 1995-04-11 Societe Nationale Industrielle Et Aerospatiale Process for the production of a part, particularly a carbon-carbon brake disk and to the part obtained
US4895108A (en) * 1988-06-22 1990-01-23 The Babcock & Wilcox Company CVD apparatus and process for the preparation of fiber-reinforced ceramic composites
JPH0387372A (ja) * 1988-07-22 1991-04-12 Canon Inc 堆積膜形成方法
DE3922539A1 (de) * 1989-07-08 1991-01-10 Sintec Keramik Gmbh Verfahren zur herstellung von hochpraezisen heizelementen aus c f c
US5250323A (en) * 1989-10-30 1993-10-05 Kabushiki Kaisha Toshiba Chemical vapor growth apparatus having an exhaust device including trap
US5298311A (en) * 1989-12-13 1994-03-29 The B. F. Goodrich Company Moisture and oxidation resistant carbon/carbon composites
CA2035685C (en) * 1990-02-09 2002-08-06 Jean-Philippe Rocher Process for the manufacture of a carbon fiber reinforced composite material having a ceramic matrix
US5080929A (en) * 1990-04-02 1992-01-14 Delco Electronics Corporation Method and apparatus for through hole substrate printing
EP0459916B1 (fr) * 1990-05-10 1995-04-12 Le Carbone Lorraine Eléments de friction en matériau composite carbone-carbone à texture différentielle, procédés et dispositifs pour les fabriquer
JP2626925B2 (ja) * 1990-05-23 1997-07-02 三菱電機株式会社 基板処理装置および基板処理方法
US5269847A (en) * 1990-08-23 1993-12-14 Applied Materials, Inc. Variable rate distribution gas flow reaction chamber
JP2849606B2 (ja) * 1990-08-29 1999-01-20 京セラ株式会社 気相含浸法およびその装置
FR2671797B1 (fr) * 1991-01-18 1994-02-25 Propulsion Ste Europeenne Procede de densification d'un substrat poreux par une matrice contenant du carbone.
JPH0766919B2 (ja) * 1991-02-20 1995-07-19 株式会社半導体プロセス研究所 半導体製造装置
JPH04295089A (ja) * 1991-03-26 1992-10-20 Kokusai Chodendo Sangyo Gijutsu Kenkyu Center 酸化物超電導膜製造装置
US5256162A (en) * 1991-05-01 1993-10-26 Hewlett Packard Company Apparatus for forming shallow electrical junctions
US5252134A (en) * 1991-05-31 1993-10-12 Stauffer Craig M Integrated delivery system for chemical vapor from non-gaseous sources for semiconductor processing
US5362228A (en) * 1991-11-04 1994-11-08 Societe Europeenne De Propulsion Apparatus for preheating a flow of gas in an installation for chemical vapor infiltration, and a densification method using the apparatus
US5447568A (en) * 1991-12-26 1995-09-05 Canon Kabushiki Kaisha Chemical vapor deposition method and apparatus making use of liquid starting material
EP0550058B1 (en) * 1991-12-30 1998-11-11 Texas Instruments Incorporated A programmable multizone gas injector for single-wafer semiconductor processing equipment
GB9220603D0 (en) * 1992-09-30 1992-11-11 Dunlop Ltd Toughened carbon composite brake discs
US5389152A (en) * 1992-10-09 1995-02-14 Avco Corporation Apparatus for densification of porous billets
JP3174856B2 (ja) * 1993-05-07 2001-06-11 日本エア・リキード株式会社 混合ガス供給装置
US5348774A (en) * 1993-08-11 1994-09-20 Alliedsignal Inc. Method of rapidly densifying a porous structure
US5654059A (en) * 1994-08-05 1997-08-05 Amoco Corporation Fiber-reinforced carbon and graphite articles and method for the production thereof
US5480678A (en) * 1994-11-16 1996-01-02 The B. F. Goodrich Company Apparatus for use with CVI/CVD processes
DE69526259T2 (de) 1994-11-16 2002-11-07 Goodrich Co B F Vorrichtung zur Druckfeld CVD/CVI, Verfahren und Produkt

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101483315B1 (ko) 2006-10-29 2015-01-15 메씨어-부가띠-다우티 다공성 제품들의 조밀화 방법

Also Published As

Publication number Publication date
ATE172753T1 (de) 1998-11-15
CN1171137A (zh) 1998-01-21
DE69526259T2 (de) 2002-11-07
WO1996015285A1 (en) 1996-05-23
US6057022A (en) 2000-05-02
JP2007146298A (ja) 2007-06-14
JP2006118716A (ja) 2006-05-11
AU4240196A (en) 1996-06-06
US6780462B2 (en) 2004-08-24
EP0832863A3 (en) 1998-04-29
EP0832863A2 (en) 1998-04-01
KR100389502B1 (ko) 2003-10-22
ES2125058T3 (es) 1999-02-16
DE69526259D1 (de) 2002-05-08
US5853485A (en) 1998-12-29
KR970707316A (ko) 1997-12-01
DE69505694D1 (de) 1998-12-03
EP0832863B1 (en) 2002-04-03
EP0792384B1 (en) 1998-10-28
CA2205087A1 (en) 1996-05-23
US5900297A (en) 1999-05-04
ATE215518T1 (de) 2002-04-15
DE69505694T2 (de) 1999-05-20
EP0792384A1 (en) 1997-09-03
JP3754450B2 (ja) 2006-03-15
DK0792384T3 (da) 1999-07-05
JPH10508906A (ja) 1998-09-02
US20010019752A1 (en) 2001-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4171740B2 (ja) 摩擦ディスク
EP1718783B1 (en) Pressure gradient cvi/cvd apparatus and method
EP0846787A1 (en) Apparatus for use with CVI/CVD processes
JP4960264B2 (ja) 化学蒸気浸透により薄い多孔質基体を高密度化する方法、及び当該基体のローディング装置
EP1728889B1 (en) CVI method
RU2410851C2 (ru) Установка для уплотнения пористого материала
KR101179769B1 (ko) 탄소로 다공성 기재의 조밀화를 위하여 증기 상으로 화학 침투를 위한 방법을 제어하는 방법
US7892646B1 (en) Pressure gradient CVI/CVD process
US7182980B2 (en) Chemical vapor infiltration method for densifying porous substrates having a central passage
AU2002364339A1 (en) Method and installation for densifying porous substrate by gas-phase chemical infiltration
US7476419B2 (en) Method for measurement of weight during a CVI/CVD process
US20040253377A1 (en) Batch and continuous CVI densification furnace
US8057855B1 (en) Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
RU2173354C2 (ru) Способ и устройство инфильтрации газовой фазы химического вещества и химического осаждения из газовой фазы (варианты), изделие, получаемое этим способом, устройство для подачи первого газа-реагента в печь для инфильтрации и осаждения из газовой фазы и фрикционный диск

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060828

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070820

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071113

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20071116

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080730

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080811

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees